电荷面密度
Qs rs 0 Es ( n ) 2 rs 0 KT qV o p s F , KT ( p ) qLD 0 p
金属为正时,VG>0,QS为负号 金属为负时,VG<0,QS为正号
空间电荷层的电容
Qs Cs Vs
qVs qVs (n0 ) p exp( ) 1 exp( ) 1 kT ( p ) kT rs 0 0 p Cs LD qVs (n0 ) p F , kT ( p ) 0 p 空间电荷层单位面积上的电容, 单位F/m2
第七章 半导体的表面、 界面及接触现象
半导体表面 半 — 半接触 金 — 半接触
§7.1 半导体的表面
表面对半导体各中物理过程有重要影 响,特别是对许多半导体器件的性能影 响更大。
一、理想表面和实际表面
理想表面: 指表面层中原子排列的对称性与体内原子 完全相同,且表面上不附着任何原子或分 子的半无限晶体表面。
(2) 载流子浓度
体内:EC,EV n0 NC e
Ec EF KT
p0 NV e
空间电荷区 :
EF EV KT
n( x) NC e
EC ( x ) EF KT
p( x) NV e
EF EV ( x ) KT
V(x)>0,能带向下弯 空间电荷区 :
EF
qVs KT
2) VG=0,VS=0
平带
Vs 0
ns n0 e q|Vs | p p e KT 0 s
q|Vs | KT
3) VG<0,VS<0
能带上弯,ns < (n0)n 为电子势垒 多子耗尽 4) VG<<0 表面处形成了p型材料, 即反型层 弱反型:ns<ps<(no)n 强反型:ps>(no)n