Si基高效电池工艺路线汇总
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高效太阳能电池的工艺流程高效单晶硅太阳电池工艺流程如下:1)去除损伤层2)表面绒面化3)发射区扩散4)边缘结刻蚀5)PECDV沉积SiN6)丝网印刷正背面电极浆料7)共烧形成金属接触8)电池片测试。
下面我们着重来看一下每一个工艺,1.首先是绒面制备:硅片采用0.5~2Ω.cm,P型晶向为(100)的单晶硅片。
利用氢氧化钠溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。
当各向异性因子=10时(所谓各向异性因子就是(100)面与(111)面单晶硅腐蚀速率之比),可以得到整齐均匀的金字塔形的角锥体组成的绒面。
绒面具有受光面积大,反射率低的特点。
可提高单晶硅太阳电池的短路电流,从而提高太阳电池的光电转换效率。
金字塔形角锥体的表面积S0等于四个边长为a正三角形S之和S0 = 4S = 4×a×a = a2由此可见有绒面的受光面积比光面提高了倍即1.732倍。
当一束强度为E0的光投射到图中的A点,产生反射光Φ1和进入硅中的折射光Φ2。
反射光Φ1可以继续投射到另一方锥的B点,产生二次反射光Φ3和进入半导体的折射光Φ4;而对光面电池就不产生这第二次的入射。
经计算可知还有11%的二次反射光可能进行第三次反射和折射,由此可算得绒面的反射率为9.04%。
2.绒面制备:采用三氯氧磷气体携带源方式,这个工艺的特点是生产高,有利于降低成本。
新购的8吋硅片扩散炉、石英管口径达270mm,可以扩散156×156(mm)的硅片。
由于石英管口径大,恒温区长,提高了扩散薄层电阻均匀性,有利于降低太阳电池的串联电阻Rs,从而提高太阳电池填充因子FF。
3.SiN钝化与APCVD淀积TiO2:先期的地面用高效单晶硅太阳电池一般采用钝化发射区太阳电池(PESC)工艺。
在扩散过去除磷硅玻的硅片上,热氧化生长一层10nm~25nm厚SiO2为,使表面层非晶化,改变了表面层硅原子价键失配情况,使表面趋于稳定,这样减少了发射区表面复合,提高了太阳电池对蓝光的响应,同时也增加了短路电流密度Jsc,由于减少了发射区表面复合,这样也就减少了反向饱和电流密度,从而提高了太阳电池开路电压Voc。
两步扩散法提高Si太阳电池效率的研究摘要提出先高温恒定源扩散后再低温恒量扩散的两步扩散法制作Si背面场太阳电池的新工艺.与常规的一步恒定源扩散工艺比较,所制作的太阳电池短路电流Isc提高了约20%,开路电压Voc也有明显的改善,光电转换效率提高了近4%.关键词太阳电池;扩散;效率;缺陷复合目前背面场Si太阳电池的制作一般采用一步扩散工艺.这是由于一步扩散工艺有利于控制结深,便于制作浅结.但是,这样很容易导致表面杂质浓度过高,过高的表面杂质浓度会造成“死层”.“死层”中存在着大量的填隙原子、位错和缺陷,少子寿命远低于1ns以下[1].光在“死层”中发出的光生载流子都无谓地复合掉,导致效率下降.降低表面杂质浓度,减少缺陷,是提高效率的有效途径.本文以采用恒定源扩散加恒量扩散的两步扩散工艺对这一问题进行了研究,取得了较好的效果.表 1 不同结深两步扩散法的工艺参数1 实验1.1 实验设计结深xj 和方块电阻R□是制作Si太阳电池p-n结的两个基本衡量标准.xj和R□的优化值分别为 0.2~0.4μm[2]和20~70Ω/□[1],而表面杂质浓度是决定x j 和R□的一个重要参量.为了使杂质浓度快速达到方块电阻的要求,同时不会因为淀积时间过长而造成结深过深,第一步恒定源扩散拟采用1000℃的高温扩散,结深接近所要求的值,为0.2μm左右.第二步拟采用850℃的低温恒量扩散,适当选择扩散时间,使结深推进不深,最终结深为0.3μm左右.为了设计合理的扩散时间,必须知道恒定源扩散的表面杂质硼浓度Ns1.Ns1由下式给出[3]:N s1=1/[1.13μq R□(Dt)1/2], (1)式中,μ为空穴迁移率,约为400cm2/(V.s);q为电子电量;D为扩散系数(可查表得出);t为扩散时间.为此,对给定的固态硼源,在1000℃的温度和氮气氛下,专门制作了三个不同扩散时间的样品,用四探针法测定R□,由式(1)计算表面杂质浓度Ns1,取平均值,约为7.3×1019cm-3.根据式(1)和xj=A(Dt)1/2得到xj 和R□的关系[3]为R□=A/(1.13qμxjNs1),式中 A=2erfc-1(NB /Ns1),NB为衬底掺杂浓度.选择三个不同的恒定源扩散时间t1,分别为15 min,12min和10min.对应的结深xj1分别约为0.237μm,0.216μm和0.197μm,R□的计算值分别为45Ω/□,50Ω/□和55Ω/□.对应每个t1,采用三个不同的恒量扩散时间t2,分别为1h,2h和3h.恒量扩散后,xj与表面杂质浓度Ns2由表1给出.表中Ns2根据Smith函数计算[3]:N s2=[(2Ns1)/π]×arctan[D1t1/(D2t2)]1/2.1.2 样品制备衬底是电阻率为1.8Ω.cm、表面为(111)面、杂质浓度为4×1015cm-3、厚度约为400μm的n型Si片.Si片清洗后化学抛光,再清洗、干燥后与固态硼源交替置于扩散炉的恒温区中.恒定源扩散每组四个样品,在1000℃的温度和氮气氛保护下进行.扩散后自然冷却取出.再将其中三个Si片按不同的扩散时间在850℃的温度和氮气氛保护下进行第二步无固态硼源即恒量扩散,另外一片不作恒量扩散用于比较.扩散后的样品去除背面p层,化学镀Ni制作n+背电场及下电极,用栅条掩模真空蒸镀Al制作上电极,蒸SiO减反膜后划片制作成背面场Si太阳电池.1.3 测试影响太阳电池光电转换效率的物理参量较多,如电池本身的串联电阻、并联电阻和工作温度等.就样品本身而言,除了扩散不同外,基体材料参量和其他制作工艺是相同的.考虑到可比性,测试的环境温度也必须一致.为此,特研制了一种恒温测试台.在25 ℃、卤钨灯AM1.5光照度下,通过改变负载电阻测试I-V特性.2 结果与讨论FF=Im Vm/(IscVoc), η=IscVocFF/Pin,式中,FF 为填充因子;ImVm为电池的最大输出功率;Isc Voc为电池的极限功率;Pin为入射光功率(AM1.5光照度下为100mW);η为光电转换效率.根据I-V特性曲线及以上两式,用最小二乘法编程计算出FF和η(见表 2).从表2明显看出,两步扩散后Isc 和Voc较大幅度提高,FF 也有所增加,效率改善较大.从表1的计算结果看,两步扩散后,表面杂质浓度下降了,这使得高掺杂效应有所改善,少子寿命延长.更重要的是,恒量扩散实际上是杂质再分布和退火过程,这使得由于杂质造成的缺陷大为下降,复合速率降低,有效地减少了因为复合带来的Isc损失,且避免了“死层”出现.同时,耗尽区中陷阱能级的复合是限制Voc 的一个重要因素[4],所以两步扩散后,Voc也有所提高.另外,结构因子因为缺陷下降得以改善,FF也得到改善.综合而论,由于减少了缺陷进而减少了复合,使得光谱响应增大,光电转换效率η提高,提高的幅度接近4%.从实验结果来看,由于设备等诸多方面的原因,效率并不算高,但两步扩散工艺的先进性是显而易见的.表 2 一步法 (a) 和两步扩散法 (b) 制作的太阳电池的结果比较 (t1同表1)。
太阳能电池关键工艺流程简介背景太阳能电池是一种利用光能直接转换为电能的装置,具有环保、可再生等优点,被广泛应用于生活和工业生产中。
太阳能电池的性能取决于制造过程中的关键工艺流程,下面将介绍太阳能电池的关键工艺流程。
关键工艺流程1. 染料敏化太阳能电池(DSSC)DSSC是一种使用染料吸收光能的太阳能电池。
其关键工艺包括以下几个步骤:•制备透明导电玻璃(FTO玻璃): FTO玻璃是DSSC的基底材料,需经过清洗和表面处理后才能使用。
•制备TiO2电极:在FTO玻璃表面涂覆一层二氧化钛(TiO2)薄膜,提高光的吸收率和光电转换效率。
•染料吸附:将染料涂覆在TiO2电极上,使染料吸收光能并转化为电子。
•电解质注射:在染料上覆盖电解质层,维持电子传输和产生电流。
•制备对电极:在另一块FTO玻璃上涂覆一层碘化钙电解质,形成对电极,完成DSSC的组装。
2. 硅基太阳能电池硅基太阳能电池是目前应用最广泛的太阳能电池,其关键工艺包括以下步骤:•硅晶体生长:利用Czochralski法或浮区法制备单晶硅。
•切片:将硅晶体切割成薄片,作为太阳能电池的基片。
•清洗和表面处理:对硅片表面进行化学处理,提高光电转换效率。
•扩散:通过高温扩散法在硅片表面扩散p型或n型掺杂物,形成pn 结。
•金属化:在硅片表面涂覆金属电极,连接太阳能电池的正负极。
•封装:使用透明树脂封装太阳能电池,保护电池不受环境影响。
3. 薄膜太阳能电池薄膜太阳能电池是一种利用薄膜材料制成的太阳能电池,在轻薄柔性方面有优势。
其关键工艺包括以下几个步骤:•薄膜材料制备:制备薄膜材料,如非晶硅、铜铟镓硒等。
•薄膜沉积:将薄膜材料沉积在基底上,形成太阳能电池结构。
•光电特性调控:调控薄膜材料的光电性能,提高光电转换效率。
•封装:对薄膜太阳能电池进行封装,保护电池并提高稳定性。
结论太阳能电池的关键工艺流程对电池性能和效率有重要影响。
各种类型的太阳能电池都有其独特的工艺流程,需要精细操作和严格控制。
电池生产工艺流程电池生产工艺流程是指生产电池所需的一系列工艺步骤和流程。
以下是一个典型的电池生产工艺流程:第一步:原料准备电池生产的原料主要包括阳极材料、阴极材料、电解液以及隔膜等。
在生产开始之前,需要对原料进行检验和准备工作,确保其质量和可用性。
第二步:材料处理阳极材料和阴极材料需要进行一些处理工艺,以提高其电池性能。
例如,对阳极材料进行钝化处理,可以提高其稳定性和循环寿命;对阴极材料进行活化处理,可以提高其放电容量和充电速率。
第三步:电极制备电池电极是由阳极、阴极和隔膜组成的。
制备电极的过程主要包括料浆制备、涂覆、压制和烘干等步骤。
在料浆制备过程中,需要将阳极材料和阴极材料与粘合剂、导电剂等混合,形成电极料浆。
然后将电极料浆涂覆在铝箔或铜箔基片上,并通过压制和烘干等工艺步骤,形成电池电极。
第四步:装配电池的装配主要包括将阳极、阴极和隔膜层按照一定顺序叠放在一起,并通过热封或压合等方式将它们固定在一起。
在装配过程中,需要注意保持电极和隔膜之间的一定距离,以避免短路和内部损坏。
第五步:注电解液在装配完成后,需要将电解液注入到电池中。
电解液主要是由溶剂、盐类和添加剂等组成,可以提供电池所需的离子传导和反应媒介。
注液过程需要控制液体的容量和浓度,以确保电池内部的化学反应正常进行。
第六步:密封和成型注液完成后,需要对电池进行密封和成型。
通过热封或机械密封等方式,将电池的上下壳体封闭,并保护电极和电解液不受外界环境的污染和侵蚀。
第七步:检测和测试生产完成后,需要对电池进行检测和测试,以确保其质量和性能达到标准要求。
检测和测试项目包括电压、容量、内阻、循环寿命、安全性等。
第八步:包装和出厂通过包装工艺,将电池放入适当的包装盒中,并贴上标签和说明书等。
然后,将成品电池进行仓储和运输准备,最终出厂销售。
总结起来,电池生产工艺流程包括原料准备、材料处理、电极制备、装配、注电解液、密封和成型、检测和测试、包装和出厂等一系列步骤。
高效能电池材料的制备方法与工艺优化随着现代科技的发展,电池在日常生活中扮演着越来越重要的角色。
为了满足快速充电、高容量和长寿命等需求,高效能电池材料的研发变得尤为重要。
本文将介绍一些常见的高效能电池材料的制备方法,并探讨工艺优化的重要性。
一、锂离子电池材料的制备方法1. 正极材料的制备方法正极材料是锂离子电池中最重要的组成部分之一。
常见的正极材料有锂铁磷酸盐(LFP)、锂镍酸钴(NCA)等。
接下来介绍两种常用的制备方法:(1)固相法:该方法将含有阳离子、阴离子和溶剂的混合物通过高温固相反应制备。
例如,将Li₂CO₃、Fe₃(PO₄)₂、C等混合物在高温下反应得到LFP材料。
(2)溶胶-凝胶法:该方法是将金属盐和胶体溶液混合,在室温下形成凝胶,然后通过热处理得到所需的正极材料。
这种方法能制备出均匀的材料,具有高的结晶度。
2. 负极材料的制备方法负极材料主要是碳材料,如石墨、硅基负极等。
下面以硅基负极为例介绍其制备方法:(1)机械研磨法:通过机械研磨将硅粉体与碳材料,如C黑等混合,形成均匀的复合材料。
(2)化学气相沉积法:通过化学反应在硅基材料表面沉积一层碳膜。
这种方法能提高材料的导电性和循环稳定性。
二、高效能电池材料的工艺优化1. 界面优化界面是影响电池性能的关键因素之一。
优化界面可以提高电池的容量、循环寿命和能量效率。
例如,采用表面修饰技术可以增强正负极材料之间的粘附力,减少材料的析出和锂离子的损失。
2. 组装工艺优化电池的组装工艺也对电池性能产生重要影响。
例如,采用高精密自动装配设备可以提高制造效率和质量稳定性。
此外,合理选择电池内部材料和设计电池结构也能改善电池的性能。
3. 循环寿命优化为了延长电池的循环寿命,可在电池材料中引入添加剂或涂层。
例如,硅基负极在循环过程中可发生体积膨胀,导致电池失效。
添加多孔性的包覆层能够缓冲体积膨胀并提高循环寿命。
4. 快速充电优化现代社会对电池的快速充电需求越来越高。
电池制造工艺流程一、原材料准备阶段电池制造的第一步是准备原材料。
常见的电池原材料包括正极材料、负极材料、电解液和隔膜。
正极材料通常是金属氧化物,如氧化钴或氧化锂。
负极材料通常是碳或金属。
电解液可以是溶解在有机溶剂中的盐溶液。
隔膜用于隔离正负极,防止短路。
二、电极制备阶段电极制备是制造电池的核心步骤之一。
首先,需要将正极和负极材料分别与导电剂和粘结剂混合,形成电极浆料。
然后,将电极浆料涂覆在电极片上,并通过压力或辊压等方式将其均匀压实。
最后,将电极片放入烘箱中进行干燥,以去除水分和溶剂。
三、装配阶段在装配阶段,需要将正极、负极和隔膜叠放在一起,并注入电解液。
这一过程通常在无尘室中进行,以避免杂质的污染。
叠放的方式可以是卷绕式或叠片式,具体选择取决于电池的类型和设计。
注入电解液后,需要进行密封处理,以确保电解液不泄漏。
四、充放电测试阶段在制造出电池后,需要进行充放电测试,以确保电池的性能符合要求。
充放电测试可以评估电池的容量、循环寿命和内阻等指标。
测试过程中会记录电池的电压、电流和时间等参数,并根据测试结果进行分析和评估。
五、封装和包装阶段充放电测试合格后,电池需要进行封装和包装。
封装是将电池放入外壳中,并密封以防止电解液泄漏。
外壳通常由金属或塑料制成,具有良好的密封性和机械强度。
封装完成后,电池需要进行包装,以便运输和销售。
六、质量检验阶段在电池制造的最后阶段,需要进行质量检验。
质量检验包括外观检查、电池容量测试、内阻测试、电池保护功能测试等。
只有通过质量检验的电池才能出厂销售。
在质量检验过程中,还需要对不合格产品进行分类和处理,以确保产品质量和安全。
七、成品检验和出厂阶段通过质量检验的电池会进行成品检验。
成品检验包括电池的外观检查、电池容量测试、内阻测试、电池保护功能测试等。
只有通过成品检验的电池才能出厂销售。
出厂的电池需要进行包装,并标注相关的信息,如电池型号、生产日期和质量标识等。
八、售后服务阶段电池制造工艺的最后一步是售后服务。
电池片工艺流程一、电池片工艺流程:制绒(intex)---扩散(diff)----后清洗(刻边/去psg)-----镀减反射膜(pecvd)------丝网、烧结(printer)-----测试、分选(tester+sorter)------包装(packing)二、各工序工艺了解:(一)前清洗1.rena前冲洗工序的目的:(1)去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤)(2)去除表面油污(利用hf)和金属杂质(利用hcl)(3)形成起伏不平的绒面,利用陷光原理,增加对太阳光的吸收,在某种程度上增加了pn结面积,提高短路电流(isc),最终提高电池光电转换效率。
2、前冲洗工艺步骤:制绒→碱洗→酸洗→揉搓etchbath:刻蚀槽,用于制绒。
所用溶液为hf+hno3,作用:(1).除去硅片表面的机械受损层;(2).形成无规则绒面。
alkalinerinse:碱洗槽。
所用溶液为koh,促进作用:(1).对形成的多孔硅表面进行清洗;(2).中和前道退火后残余在硅片表面的酸液。
acidicrinse:酸洗槽。
所用溶液为hcl+hf,作用:(1).中和前道碱洗后残余在硅片表面的碱液;(2).hf可去除硅片表面氧化层(sio2),形成疏水表面,便于吹干;(3).hcl中的cl-存有随身携带金属离子的能力,可以用作除去硅片表面金属离子。
3.酸制绒工艺涉及的反应方程式:hno3+si=sio2+nox↑+h2osio2+4hf=sif4+2h2osif4+2hf=h2[sif6]s i+2koh+h2o→k2sio3+2h24.前冲洗工序工艺建议(1)片子表面5s控制不容许用嘴巴片子的表片,必须很湿手套,防止蔓延后发生脏片。
(2)称重a.自噬体片子的腐蚀深度都必须检测,不容许捏造数据,混用批次等。
b.要求每批测量4片。
c.摆测量片时,把握住平衡原则。
例如第一批放到1.3.5.7道,下一批则放到2.4.6.8道,易于检测设备稳定性以及溶液的光滑性。
目前世界最先进的电池技术路线一、概述随着科技的迅速发展,电池技术作为能源存储和传输的重要组成部分,受到了广泛关注。
各国科研机构和企业竞相研发新型电池技术,以应对全球能源需求不断增长的挑战。
本文将就目前世界最先进的电池技术路线进行探讨,并对其发展前景进行分析。
二、锂离子电池技术1.锂离子电池是目前电动汽车、手机等电子产品中广泛采用的电池技术。
其高能量密度和长周期寿命是其优势所在。
随着新型材料的不断研究和应用,锂离子电池的能量密度和循环寿命有望进一步提升。
2.硅基负极材料的研究是当前锂离子电池技术的热点之一。
硅具有高容量的优点,但由于体积膨胀导致循环稳定性差。
科研人员通过纳米结构设计和合金化改性等手段,不断提升硅负极材料的性能,有望实现硅负极材料在锂离子电池中的商业化应用。
3.固态电池作为下一代电池技术备受瞩目。
固态电池具有高安全性、高能量密度和长循环寿命等优势,然而其制备工艺和成本仍是挑战。
目前,固态电池技术正处于不断探索和突破的阶段,有望在未来取代传统锂离子电池成为主流技术。
三、钠离子电池技术1.钠离子电池因其原料丰富、成本低廉的特点备受关注。
钠离子电池的主要难点在于钠离子在负极材料中的嵌入和脱嵌过程中体积变化大,导致循环性能下降。
钠离子电池的研究重点之一是寻找高容量的负极材料,以提升其储能密度和循环寿命。
2.钠空气电池作为一种新型电池技术,具有高理论能量密度的优势。
钠空气电池的关键问题在于阴极氧化和还原反应的效率和稳定性。
科研人员正在寻找高效稳定的催化剂和设计新型电解质,以提升钠空气电池的性能。
四、锂硫电池技术1.锂硫电池具有高能量密度、低成本和可再生性的特点,备受研究者的关注。
但由于硫正极材料的电导率低、反应产物溶解以及锂枝晶等问题,锂硫电池的循环寿命和安全性受到挑战。
科研人员正在通过多孔导电材料、高分子包覆等手段,解决硫正极材料的电导率问题,并对电解质以及负极材料等进行相关研究,以提升锂硫电池的性能。
电池生产工艺流程电池是一种储存电能的设备,其生产工艺流程是一个复杂的过程。
本文将介绍电池的生产工艺流程,包括原材料准备、电池组装和测试等环节。
第一阶段:原材料准备电池的制作需要用到多种原材料,包括正极材料、负极材料、电解液和隔膜等。
在这个阶段,首先需要检查和准备这些原材料,确保其质量符合要求。
然后根据需要将原材料进行混合和加工,以制备出符合要求的正、负极材料。
第二阶段:电池组装电池组装是电池生产的核心环节。
在这个阶段,正极材料和负极材料被涂布到铜箔和铝箔上,分别制作成正极片和负极片。
然后将正负极片分别铺放在隔膜上,形成电池的极片堆叠。
接下来,将极片堆叠与电解液一同放入电池壳体中,密封好壳体。
在壳体密封之前,需要确保极片堆叠与电解液的质量和配比符合标准,这是电池性能的关键因素之一。
第三阶段:壳体封装和组装在壳体密封后,还需要进行电池的后续封装和组装工作。
首先是加入电池标签和电池防护装置,以便电池在使用过程中的识别和保护。
然后将电池与外部连接器进行连接,以便将来电池可以与其他设备进行连接和使用。
第四阶段:测试和质量控制在电池生产的最后一个阶段,将进行电池的测试和质量控制。
首先是对电池的容量进行测试,以确保其符合设计要求。
然后进行电池的循环测试和安全性能测试,以确保电池在长时间使用和各种环境下的安全和可靠性。
同时,还需要对一定数量的电池进行抽样测试,并进行质量控制,以确保整个批次的电池质量符合要求。
总结:电池的生产工艺流程包括原材料准备、电池组装和测试等多个环节。
在每个环节中,都需要严格控制质量,确保电池的性能和可靠性符合要求。
只有经过严格的生产工艺流程,才能制造出高质量的电池产品。
第五阶段:包装和标识在电池通过测试和质量控制后,需进行包装和标识的阶段。
这是为了方便电池的储存、运输和销售。
电池通常会使用塑料或纸盒进行包装,以保护电池免受潮湿、震动和碰撞等外界因素的影响。
在包装的同时,还需要进行电池的标识工作。