激光平面干涉仪

乾曜激光干涉仪系列介绍目录一、产品系列简介二、平面干涉仪三、球面干涉仪四、干涉仪附件五、技术支持一、产品系列简介1、产品特性与优势乾曜光学科技有限公司（简称乾曜光学）开发的平面、球面激光干涉仪面向光学加工行业的客户，适用于加工车间现场检验。

产品核心竞争力强，测试精确、操作方便、外观现代、附件齐全，且可依据客户需要进行产品定制。

乾曜秉承“超越精密，源自理想”的信念，以客户需求以本。

以下两点，是乾曜光学的准则：第一，保证核心品质，力求精确。

干涉仪是光学加工水平的裁决者，应当具备很高的测试精度。

乾曜研发团队在设计、加工、装配等各个环节精益求精，规避各种可能带来测试误差的因素。

核心光学元件的性能均经过ZYGO干涉仪及其他进口仪器的测试，仪器最终性能也经过与ZYGO干涉仪的比对测试，力求精确与稳定。

第二，方便客户。

仪器在设计的每一个细节都充分考虑客户的使用习惯与需求，使客户能够方便快捷的完成测量，并进行准确判读。

2、产品系列乾曜光学开发的车间用激光干涉仪（及附件），可分为以下三个系列：2.1、平面干涉仪平面干涉仪标准测试口径有Φ100mm、Φ150mm、Φ200mm三种规格，为利于防震，采用立式结构。

仪器结构可依据客户需要改为卧式，其他更大口径的干涉仪也可依据客户需要定制。

2.2、球面干涉仪球面干涉仪标准口径为Φ60mm，立式结构。

标配球面镜头为F0.75，并可选配F1.0、F1.5、F2.0、F3.3、F5.0的球面镜头。

可依据客户需求定制其他F数的球面镜头。

2.3、干涉仪配件乾曜光学提供各种规格的高精度平面标准镜、球面镜头，可与ZYGO、富士能、奥林巴斯等厂家的干涉仪标准光学件兼容。

二、平面干涉仪乾曜光学开发的平面干涉仪，标准测试口径有Φ100mm、Φ150mm、Φ200mm三种规格。

主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形的测量。

1、仪器规格参数表：QY-P-INF-200产品型号 QY-P-INF-100QY-P-INF-150测试口径Φ100mm Φ150mm Φ200mm标准镜面形精度λ/20 λ/20 λ/15标准镜材料熔石英（康宁7980）光源 He-Ne激光（632.8nm）光路切换对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换标准配件高分辨率黑白显示器（10寸）供选配件密封罩、衰减过滤片仪器尺寸(长X宽X高) 350x280x800mm380x300x1000mm420x320x1000mm100KGKG80仪器重量 75KG50Hz 电源 AC220V（附注：更大口径平面干涉仪可依据客户需求定制）2、仪器特点：精度高标准镜精度高，且材料经过精密退火处理，稳定可靠；调整方便可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式，方便调整；条纹真实可调节共轭成像位置，得到清晰、准确、真实的干涉条纹；性能优良仪器具备良好的隔振性能，适合光学加工现场使用；选配简易密封罩，可将测试腔与外界气流隔离，降低测试过程中气流扰动，提高判断的准确性。

相移式激光平面干涉仪校准规范相移式激光平面干涉仪校准规范1 范围本规范适用于测量光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的相移式激光平面干涉仪（以下简称相移干涉仪）的校准。

2 引用文件本规范引用下列文件：JJG28-2000《平晶检定规程》JJF1100-2016《平面等厚干涉仪校准规范》ISO 14999-2：ISO 14999-4：使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。

3 定义3.1 标准平面镜干涉仪上，用于透射并产生反射参考光的光学平板，是平面面形偏差测量的基准。

标准平面镜是指安装在固定夹具中的标准平面平晶。

3.2 面形偏差被测面形相对参考面形状的偏差，其值以被测面上的点偏离参考面的距离来度量。

3.3 绝对面形偏差被测面形相对理想表面形状的偏差，其值以被测面上的点偏离理想表面的距离来度量。

3.4 PVPV也称为峰-谷值，用于评定面形偏差（或绝对面形偏差）的参数。

其值为被测表面上所有测量点中面形偏差（或绝对面形偏差）最大值与最小值的代数差。

3.5 PV10值PV10用于评定面形偏差（或绝对面形偏差）的参数。

其值为被测表面上所有测量点中，面形偏差（或绝对面形偏差）10个最大值的平均值与10个最小值的平均值的代数差。

3.6 PV rPV r定义为面形偏差的36项Zernike多项式拟合面PV加上3倍拟合残差（面形偏差减去36项Zernike多项式拟合面）的均方根值。

注：Zernike多项式定义按ISO 14999-2附录A和ISO 14999-4:附录B标准定义。

3.7 RMSRMS也称均方根值。

用于评定面形偏差（或绝对面形偏差）的参数，其值为被测表面上所有测量点面形偏差（或绝对面形偏差）的均方根值。

4 概述相移干涉仪是利用压电陶瓷微位移机构产生相位移动，获得不同相位的系列干涉图像，并按相应数学公式(1)进行处理和分析、计算，得到与理想平面面形偏差的干涉仪。

相移干涉仪按光轴方位分为立式（见图1）和卧式（见图2）结构。

激光干涉仪工作原理
激光干涉仪是一种用于测量光程差的仪器，基于激光干涉原理。

其工作原理如下：
1. 激光发生器产生一束单色、相干、准直的激光光源。

2. 光源经过分束器后，被分为两束光线，各自经过不同的光路。

3. 分别经过不同的光路后，光线再次汇聚在一个检测平面上，形成干涉条纹。

4. 当两束光线的光程差为整数倍的波长时，即满足相干条件，干涉条纹会呈现明暗交替的条纹图案。

5. 通过调节其中一条光路的长度，即可改变光程差，从而改变干涉条纹的位置和形态。

6. 引入被测物体时，可以通过测量光程差的变化来获取被测物体的形貌或长度等信息。

7. 干涉条纹的观察可以使用目视或使用光电探测器等设备进行记录和分析。

激光干涉仪广泛应用于光学、物理、电子等领域中的测量和检测工作中，可以用于精密测量、表面形貌测量、物体位移测量等。

其主要优点包括高分辨率、非接触性、非破坏性等。

平面玻璃激光干涉仪测试标准
平面玻璃激光干涉仪是一种用于测量光学平面的工具，其测试
标准包括以下几个方面：
1. 精度要求，平面玻璃激光干涉仪的测试标准首先包括其测量
精度的要求。

这涉及到仪器的分辨率、重复性和准确性等指标。

通
常会规定仪器在不同测量范围内的精度要求，以确保其能够满足不
同精度要求的测量任务。

2. 环境要求，激光干涉仪对测试环境的要求也是测试标准的一
部分。

这包括温度、湿度、振动等环境因素对仪器测量精度的影响，以及仪器本身对环境的要求，如工作温度范围、稳定性要求等。

3. 校准要求，平面玻璃激光干涉仪的测试标准还包括对仪器校
准的要求。

这涉及到仪器的定期校准频率、校准方法和标准，以及
校准后的验证要求等内容。

4. 测试程序，测试标准还应包括对平面玻璃激光干涉仪测试程
序的规定，包括仪器的启动、测量参数的设定、数据采集和处理等
步骤，以确保测试结果的准确性和可靠性。

5. 安全要求，最后，测试标准还应包括对使用平面玻璃激光干涉仪时的安全要求，包括激光辐射防护、仪器操作规范、紧急救援措施等内容，以确保操作人员和设备的安全。

总之，平面玻璃激光干涉仪的测试标准涵盖了仪器精度、环境要求、校准要求、测试程序和安全要求等多个方面，以确保仪器能够准确、可靠地完成测量任务，并保障操作人员和设备的安全。

激光干涉仪原理及应用
激光干涉仪是一种利用激光光束干涉现象进行测量和检测的仪器。

它利用激光的单色性、相干性和定向性等特点，通过激光光束的干涉现象来测量光线的相位和波前差，从而达到测量目的。

激光干涉仪的原理和应用都具有重要的科学研究价值和实际应用意义。

激光干涉仪的原理可以简单描述为：两束激光光束通过分束器分开，分别在一边经过样品（或目标物）后再次合并在一起，然后通过干涉物后进入光电探测器进行信号采集。

当两束光经过样品后的相位有差异时，就会产生干涉，形成干涉条纹。

通过观察和分析干涉条纹的变化，可以得到样品的相关信息，如形状、厚度、折射率等。

激光干涉仪的原理中，常见的有两种干涉方式，即自由空间干涉和光纤干涉。

自由空间干涉指的是激光光束在空气中进行干涉，可用于测量样品的曲率、平面度、倾斜度等参数。

而光纤干涉则是将激光光束传输到光纤中进行干涉，可用于对光纤的插入损耗、光纤传输的延迟等进行测量。

激光干涉仪的应用非常广泛。

首先，在科学研究中，激光干涉仪可用于测量光学元件的表面形貌，如透镜、棱镜等，以及光学薄膜的厚度和折射率。

其次，激光干涉仪在工业领域中也得到广泛应用，如测量金属工件的平面度、光滑度等，以及检测半导体器件的曲率、形状等。

此外，激光干涉仪还可用于测量纳米颗粒、生物细胞和薄膜等微小尺度的物体，应用于生物医学领域，如细胞生长的监测、精确测量等。

总之，激光干涉仪作为一种精密测量和检测仪器，在科学研究和工业应用中具有重要意义。

其原理的理解和应用的熟练掌握可推动光学测量和微纳技术的发展，为实现精确测量和控制提供基础和技术支持。

激光干涉仪的基本原理激光干涉仪是一种高精度的测量仪器，它可以用来测量物体的形状、表面质量、位置以及运动状态等。

在工业、航空航天、医学等领域都有广泛的应用。

本文将介绍激光干涉仪的基本原理。

1. 激光的特性首先，我们需要了解激光的特性。

激光是一种单色性和相干性极高的光波。

其波长稳定，方向一致，段差小，能够形成高质量的平行光束。

这些特性使得激光在干涉测量中有着很大的优势。

2. 干涉原理干涉现象是指两束光波在空气中相遇时，由于相位差的存在，会发生一系列的干涉现象。

常见的干涉现象有等厚干涉、等附加厚度干涉、菲涅尔双棱镜干涉、迈克尔逊干涉等。

在迈克尔逊干涉中，激光光束从分束器射出，经过反射镜反射后再次聚焦于分束器，形成一种干涉图形。

在干涉图形中，可以通过测量干涉带的位移、亮度等来计算物体的形态、位置、偏移量等信息。

3. 激光干涉仪的工作原理激光干涉仪是一种基于干涉原理的测量仪器。

它包括激光源、分束器、反射镜、检测器等部分。

当激光从激光源经过分束器后，会被分为两束光束。

其中一束光束经过反射镜后返回分束器，与另一束光束发生干涉。

通过调整反射镜的位置，可以改变干涉光束之间的相位差，从而形成干涉图形。

检测器会将干涉图形转化为电信号，通过电路处理后输出测量结果。

4. 激光干涉仪的优点和应用激光干涉仪有着高精度、高稳定性、非接触性测量等一系列优点。

它可以被应用于各种领域，例如：在机械加工领域，激光干涉仪可以用来测量机床导轨、定位板、工件表面形态等参数，从而提高加工质量和效率。

在医学领域，激光干涉仪可以用来测量角膜曲率、晶体位移等参数，从而用于诊断和治疗眼科疾病。

在航空航天领域，激光干涉仪可以用来测量航天器的姿态、运动状态等参数，从而实现精确的导航和控制。

总之，激光干涉仪是一种重要的测量仪器，具有广泛的应用前景。

了解其基本原理可以帮助我们更好地理解其工作原理和优点，从而更好地应用于实际应用中。

激光干涉仪的工作原理
激光干涉仪是一种利用激光的干涉现象来测量物体形状、表面粗糙度、位移等参数的仪器。

其工作原理可以概括为以下几个步骤：
1. 激光发射：激光器产生一束单色、相干性很好的激光束。

2. 激光分束：激光束通过半透镜或棱镜等光学元件进行分束，形成两束平行光。

3. 光程差：其中一束光线经过反射镜或透射片，到达被测物体表面，而另一束光线不经过被测物体。

4. 光程相差：经过被测物体后的一束光线与不经过被测物体的光线发生干涉，形成干涉图样。

5. 干涉图案检测：通过光电转换器或像素阵列等器件，捕捉并分析干涉图案。

6. 信号处理：利用计算机或其他电子设备对捕捉到的干涉图案进行处理，得到测量结果。

7. 测量结果：根据干涉图案的特征，可以测量出物体的形状、表面粗糙度或位移等参数。

总的来说，激光干涉仪利用激光的干涉效应来测量物体的特性，通过计算机或其他电子设备对干涉图案进行处理，得到物体的相关参数。

激光干涉仪测量原理及应用激光干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量仪器，广泛应用于科学研究、工业制造和医疗领域。

本文将介绍激光干涉仪的测量原理、测量对象以及应用领域。

一、测量原理激光干涉仪利用激光光束的干涉现象进行测量。

首先，通过激光发生器产生一个相干的激光束，然后将光束分为两束，其中一束通过参比光路径传播，另一束通过待测物体的表面反射。

两束光束重新合并后，通过干涉现象形成干涉条纹。

根据干涉条纹的变化，可以计算出待测物体的表面形态、位移或变形信息。

在激光干涉仪中，常用的测量原理有两条著名的分支：相位差法和长度差法。

1. 相位差法相位差法通过测量干涉条纹的相位差来确定待测物体的形态、位移或变形信息。

当待测物体发生形变或位移时，相位差会发生变化。

利用激光干涉仪测量相位差，并通过相位差与位移间的关系，可以获得待测物体的位移信息。

2. 长度差法长度差法通过测量干涉条纹的长度差来确定待测物体的形态、位移或变形信息。

待测物体的表面形态、位移或变形导致光程差的改变，进而影响干涉条纹的长度差。

通过测量长度差，并通过长度差与位移间的关系，可以获得待测物体的位移信息。

二、测量对象激光干涉仪广泛应用于各个领域的测量任务中，包括科学研究、工业制造和医疗领域。

1. 科学研究在科学研究领域，激光干涉仪常用于测量微小位移和形变。

例如，在光学领域，激光干涉仪可用于测量光学元件的表面形态和位移，以及光学系统的变形；在材料科学中，激光干涉仪可用于测量材料的热膨胀、压力变形等。

2. 工业制造在工业制造领域，激光干涉仪被广泛应用于检测和测量任务中。

例如，激光干涉仪可以用于检测零件的形状和尺寸，以确保制造过程的准确性和一致性。

此外，激光干涉仪还可以用于测量机械零部件的运动、振动和变形。

3. 医疗领域在医疗领域，激光干涉仪被应用于眼科手术和体内干涉成像。

在眼科手术中，激光干涉仪可以测量眼角膜的形态和厚度，以辅助眼科医生进行手术；在体内干涉成像中，激光干涉仪可以测量生物组织的纤维结构和表面形态，以帮助医生进行疾病诊断。

激光干涉仪原理激光干涉仪是一种利用激光干涉现象来测量物体表面形状、薄膜厚度、折射率等参数的精密光学仪器。

其原理基于激光的相干性和干涉现象，通过激光光束的分束、干涉和合束，实现对被测物体的精密测量。

激光干涉仪的原理主要包括干涉、分束、合束和干涉图样的形成。

首先，激光干涉仪利用激光的相干性，使得两束光线相互叠加形成干涉条纹。

当两束相干光线相遇时，由于光波的叠加效应，形成明暗交替的干涉条纹，通过测量干涉条纹的位置和形态，可以得到被测物体的形状和参数信息。

其次，激光干涉仪通过分束器将激光光束分为两束，分别照射到被测物体表面，然后再利用合束器将两束光线重新合成一束，使得两束光线相互干涉，形成干涉条纹。

通过测量干涉条纹的位置和形态变化，可以得到被测物体表面的形状信息。

激光干涉仪的干涉图样是由两束相干光线相互叠加形成的，其形态和位置的变化与被测物体的形状和参数密切相关。

通过对干涉图样的分析和处理，可以得到被测物体的形状、薄膜厚度、折射率等参数信息。

总的来说，激光干涉仪利用激光的相干性和干涉现象，通过分束、干涉和合束的过程，实现对被测物体的精密测量。

其原理简单而又精密，广泛应用于工业制造、科学研究、医学诊断等领域，为精密测量提供了重要的技术手段。

激光干涉仪的应用非常广泛，包括但不限于工业制造中的零件测量、表面质量检测、薄膜厚度测量；科学研究中的光学实验、材料表征、精密测量；医学诊断中的眼底成像、生物组织测量等。

随着激光技术的不断发展和完善，激光干涉仪的应用领域将会更加广阔，为各行各业的精密测量提供更加可靠、精准的技术支持。

综上所述，激光干涉仪利用激光的相干性和干涉现象，通过分束、干涉和合束的过程，实现对被测物体的精密测量。

其原理简单而又精密，应用广泛，为精密测量提供了重要的技术手段。

随着激光技术的不断发展，激光干涉仪的应用领域将会更加广阔，为各行各业的精密测量提供更加可靠、精准的技术支持。

激光干涉仪角度、垂直度、直线度、平面度测量原理激光干涉仪是一种利用光的干涉原理进行高精度测量的仪器。

以下是激光干涉仪在角度、垂直度、直线度和平面度测量中的原理：1.角度测量原理：当角度反射镜旋转或移动产生角摆时，两束反射光会有相对应的光程差产生。

激光干涉仪采集到该光程差的干涉信号，经过运算处理，即可得出对应的角度值。

这种技术主要应用于运动轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量。

2.垂直度测量原理：垂直度测量是通过比较正交轴的直线度值从而确定正交轴的非直角度。

例如，三坐标测量机的垂直度误差可能由导轨磨损、事故造成导轨损坏、机器地基差、正交轴上两原点传感器未准直等因素造成。

垂直度误差将对机器的定位精度及插补能力产生直接影响。

SJ6000激光干涉仪以光波为载体，在动态测量软件的配合下，可实现三坐标测量机的垂直度检测分析。

3.直线度测量原理：通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的横向位移，可以得到导轨相对于激光光路参考线的直线度误差。

这可以在水平面或垂直面上进行，取决于直线度干涉镜和反射镜的布置。

激光干涉仪的直线度测量组件包括LH2000激光测头、直线度光学镜组、直线度测量附件和LaserLC测量软件。

数据采集方法通常涉及使待测机床轴移动到若干个不同位置（或“目标”），然后测量直线度误差。

4.平面度测量原理：激光干涉仪中的一束光经过分束器分成两束光线，经过不同的光路后重合在屏幕上形成干涉条纹。

根据干涉条纹的形状和变化，可以获得被测物体表面的形状、位移和平面度等信息。

在测量平面度时，首先在被测试的表面上涂抹一层反光涂料，以便激光光线能够被反射回来形成干涉条纹。

然后将激光干涉仪垂直于被测表面，调整其位置和角度，使得激光光线能够正常照射到被测表面上。

通过观察和记录干涉条纹的图案，可以确定表面的平整度和精度。

请注意，这些测量原理都依赖于激光干涉技术，它利用光的干涉现象来测量物体的几何特性。

激光干涉仪具有高精度和高灵敏度的特点，因此在工业测量和质量控制等领域中得到了广泛应用。

测量天体距离的激光干涉仪操作指南激光干涉仪是一种常用的仪器，它能够精确测量物体的距离。

在天文学领域，激光干涉仪也被广泛应用于测量天体之间的距离。

本文将为您提供一份激光干涉仪的操作指南，帮助您在天文学研究中运用激光干涉仪进行精确的距离测量。

1. 准备工作在使用激光干涉仪之前，首先需要做一些准备工作。

确定测量的目标天体，并将激光干涉仪设定为相应的模式。

同时，确保仪器的稳定性，消除任何可能影响测量结果的干扰因素。

2. 设置参考平面激光干涉仪需要一个参考平面来确定测量的基准。

在天文学中，我们通常选择恒星作为参考平面。

通过测量天体与恒星之间的干涉条纹变化，我们可以计算出天体的距离。

3. 进行测量在设置好参考平面后，即可进行距离测量。

激光干涉仪会发出一束激光并照射到目标天体上。

激光从天体上反射回来后，会与参考激光产生干涉，形成一系列的干涉条纹。

4. 记录干涉条纹在测量过程中，需要记录下干涉条纹的变化情况。

可以使用相机或其他光学设备将干涉条纹投影到探测器上。

确保记录到清晰、准确的干涉条纹图像，以便后续的数据分析和处理。

5. 数据处理获得干涉条纹图像后，需要进行数据处理来获取天体的距离。

首先，利用图像处理软件对图像进行处理和增强，以提高数据的可靠性和准确性。

其次，通过分析干涉条纹的相位变化，利用干涉仪的原理计算出天体的距离。

6. 精度评估在进行距离测量后，需要对测量结果进行精度评估。

可以通过与其他独立的测量结果进行对比来验证数据的可靠性。

如果有必要，可以进行多次测量并取平均值，以提高测量的精确性。

总结：激光干涉仪是一种重要的测量工具，可用于测量天体之间的距离。

本文提供了一份激光干涉仪的操作指南，包括准备工作、设置参考平面、测量过程、数据处理和精度评估等步骤。

通过正确操作激光干涉仪，我们可以获取准确的天体距离数据，进一步深入研究天文学领域的问题。

在实际操作中，需要注意仪器的稳定性和准确性，以确保结果的可信度。

激光干涉仪的使用方法和技巧激光干涉仪（Laser Interferometer）是一种常用于测量物体长度和表面形貌等精密测量的仪器。

本文将介绍激光干涉仪的基本原理、使用方法和技巧，以帮助读者更好地应用激光干涉仪进行精密测量。

一、激光干涉仪的基本原理激光干涉仪基于干涉现象进行测量。

激光光源发出的单色光通过分束板分成两束光，然后分别经过两个光路，最后再次汇聚到一起。

当两束光的相位差为整数倍的波长时，两束光相互叠加干涉，形成明暗交替的干涉条纹。

通过测量干涉条纹的特征，可以计算出被测物体的长度、形状等信息。

二、激光干涉仪的使用方法1. 准备工作在使用激光干涉仪之前，需要确保仪器处于良好的工作状态。

首先，检查激光光源是否正常工作，确保光束的稳定性和质量。

其次，校准激光干涉仪的光路，确保两束光在汇聚时能够产生明确的干涉条纹。

2. 调整测量位置将激光干涉仪放置在待测物体的旁边或上方，并使用调节装置将光束对准物体表面。

确保光束垂直于物体表面，以获得准确的测量结果。

3. 观察干涉条纹打开激光干涉仪的显示屏或调节装置上的干涉条纹显示功能。

观察干涉条纹的形态和变化，根据实际测量需求调整光路或物体位置，使干涉条纹清晰可辨。

4. 实施测量根据所需测量的参数，选择合适的测量模式和功能。

根据干涉条纹的特征，采集测量数据，并使用仪器自带的软件或计算工具进行数据处理和分析。

三、激光干涉仪的使用技巧1. 注意环境条件激光干涉仪对环境条件相对敏感，尤其是光线和振动。

在测量过程中，尽量避免光线的干扰，选取较为安静的环境。

如果必要，可以使用隔离罩或振动吸收装置来降低外界环境对测量的影响。

2. 规避反射干扰激光干涉仪对光线的反射比较敏感，测量时应注意避免光线被反射到其他表面上，产生干涉干扰。

可以通过调整光源角度、使用吸光材料等方式减少反射干扰。

3. 熟悉仪器功能熟悉激光干涉仪的各种功能和测量模式，合理选择并设置相应的参数。

根据不同测量对象和要求，调整仪器的测量范围、采样率、干涉条纹的对比度等，以获得最佳的测量结果。

激光干涉仪原理介绍激光干涉仪（Interferometer）是一种基于干涉原理的精密测量仪器。

它利用激光的相干性和波动性，通过测量光程差或位相差的变化，可以对物体的长度、形状、表面质量等进行高精度的测量。

本文将介绍激光干涉仪的原理、构成和使用方法。

一、激光干涉原理激光干涉仪的基本原理是激光光束的干涉，干涉是指两个或多个波的叠加形成的干涉图案。

激光干涉仪一般是利用两束平行或近似平行的激光光束进行干涉。

当两束光束相遇时，由于光的波动性，会产生相长相消的干涉条纹。

根据干涉条纹的变化，可以测量物体表面的形状、光程差等。

二、激光干涉仪的构成1.激光器：激光干涉仪使用的激光器一般是氦氖激光器或半导体激光器，能够提供稳定的、单色、相干光源。

2.分束器：分束器是将激光光束分为两束平行的光束的光学元件，常用的分束器有半反射镜或分波镜。

分束器分为两个光路，一个称为参考光路，另一个称为测量光路。

3.反射镜：反射镜用于将分离出的两束光束反射回归并形成干涉。

反射镜一般被安置在待测物体的两端，将参考光束和测量光束反射回到检波器。

4.检波器：检波器用于测量干涉条纹的强度和位置。

常用的检波器有光电二极管和CCD相机等。

它将干涉图案转化为电信号，方便进行数据分析和处理。

三、激光干涉仪的使用方法1.相对干涉法：相对干涉法是通过比较两个物体之间的长度差异来测量物体的形状或表面质量。

在测量时，将待测物体和参考物体分别安置在两个光路中。

随后，根据两个干涉图案的变化，可以计算出两个物体之间的长度差异。

2.绝对干涉法：绝对干涉法是通过测量干涉图案中的位相差来进行测量。

在测量时，同时测量待测物体和参考物体表面的干涉图案。

通过分析两个干涉图案的位相差，可以计算出物体表面的形状和高度差。

应用领域：在制造业中，激光干涉仪常用于测量工件的形状、平整度和表面光洁度。

例如，在光学元件的制造中，可以使用激光干涉仪来精确测量元件的曲率和表面误差。

在科学研究中，激光干涉仪可用于测量物体的振动、变形和位移等动态过程。

激光干涉仪使用方法
激光干涉仪是一种常用的测试和测量仪器，通常用于检测光学元件的平整度、光波长、薄膜厚度等。

下面是激光干涉仪的基本使用方法：
1. 准备工作：确保激光干涉仪及相关设备的电源和连接线正常。

检查仪器的对准状态，并打开激光器的电源。

2. 注意安全：激光干涉仪使用激光器产生一束高能的激光光束，因此在操作之前应注意安全，佩戴适当的防护眼镜，确保视线不直接暴露于激光光束中。

3. 对准仪器：将被测物或样品放置在激光光束路径上，并通过调整仪器的参数和位置，使得光束能够正确穿过被测物或样品。

确保光束垂直于被测物或样品表面，并调整焦距以使光束聚焦。

4. 参数设置：根据被测物或样品的特性，选择合适的激光波长和功率等参数。

通过调整仪器上的参数控制面板，设置激光器的工作参数。

5. 干涉图像的获取：打开干涉仪的显示屏或连接到计算机上的软件，观察干涉图像。

根据显示屏上的干涉图案，调整仪器的参数，使得干涉图案达到最优状态。

6. 测量结果的分析：根据干涉图像的特征，可以进行各种参数的测量和分析。

例如，可以测量出被测物或样品的表面平整度、薄膜厚度等。

根据需要，可以使
用仪器上的测量功能或将数据传输到计算机上进行进一步分析处理。

7. 关闭仪器：在使用完毕后，先关闭激光器的电源，然后关闭仪器的电源。

注意安全，确保无人在仪器附近时再进行关闭操作。

以上是激光干涉仪的基本使用方法，具体使用步骤和参数设置可能因不同型号的仪器而略有差异，因此在操作之前最好参考仪器的使用说明书或向厂家咨询。

同时，在使用激光干涉仪时要格外小心，避免对眼睛和皮肤造成伤害。

激光平面干涉仪原理嘿，朋友们！今天咱来聊聊激光平面干涉仪原理。

这玩意儿啊，就像是一个超级敏锐的眼睛，能看到我们肉眼看不到的奇妙世界。

你想啊，激光那可是厉害得很呢！它就像一束笔直的光箭，嗖地一下就冲出去了。

而激光平面干涉仪呢，就是利用这厉害的激光来大显身手的。

它的原理其实并不复杂。

简单说，就是把激光分成两束，然后让它们再相遇。

这就好比两个小伙伴一起出去玩，跑着跑着又碰到了一块儿。

可别小看这一相遇，这里面可藏着大学问呢！当这两束光再次碰到一起的时候，就会产生一些奇妙的现象，就像变魔术一样。

它们会形成一些明暗相间的条纹，这些条纹可有着大用处呢！通过观察这些条纹，我们就能知道很多关于被测物体的信息，比如它平不平啊，有没有什么细微的变化啊。

这就好像我们看一个人的脸，通过脸上的表情就能知道他心情好不好。

激光平面干涉仪就是这样厉害的“观察大师”。

你说神奇不神奇？它能检测到那些极其微小的变化，比我们的眼睛可厉害多了。

这要是在工厂里，用它来检测那些精密的零件，那可真是再合适不过了。

想象一下，如果没有激光平面干涉仪，我们怎么能保证那些高科技产品的质量呢？怎么能让我们的生活变得更加便捷和精彩呢？它就像是一个默默奉献的幕后英雄，虽然我们平时可能不太注意到它，但它却在为我们的生活贡献着自己的力量。

而且啊，激光平面干涉仪的应用可广泛了呢！不仅仅是在工业领域，在科学研究中也是大显身手。

科学家们用它来探索那些我们还不太了解的领域，解开一个又一个的谜团。

它就像是一把钥匙，打开了通往未知世界的大门。

让我们能更深入地了解这个世界，发现那些隐藏在背后的秘密。

总之，激光平面干涉仪原理虽然听起来有点高深莫测，但其实只要我们用心去理解，就会发现它其实也没那么难。

它就像是我们生活中的一个好朋友，默默地帮助我们，让我们的世界变得更加美好。

所以啊，我们可不能小看了它哟！原创不易，请尊重原创，谢谢!。

⼀⽂弄懂激光⼲涉仪与激光平⾯⼲涉仪⼀⽂弄懂激光⼲涉仪与激光平⾯⼲涉仪很多朋友弄不清激光⼲涉仪与激光平⾯⼲涉仪的区别，主要是很多时候，客户把激光平⾯⼲涉仪简称为激光⼲涉仪，到⽹上⼀搜，发现激光⼲涉仪全是⽤来检测导轨运动精度的，不是⾃⼰需要的激光平⾯⼲涉仪，今天⼩编就告诉⼤家如何区分这两种激光⼲涉仪。

激光⼲涉仪1.测量原理▲线性测量的光路原理构建图(1)从SJ6000激光⼲涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；(2)两束激光分别经由⾓锥反射镜A和⾓锥反射镜B反射后平⾏于出射光（红⾊线条）返回，通过分光镜后进⾏叠加，由于两束激光频率相同、振动⽅向相同且相位差恒定，即满⾜⼲涉条件；(3)⾓锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产⽣⼀次完整的明暗⼲涉现象。

测量距离等于⼲涉条纹数乘以激光半波长。

2.功能SJ6000激光⼲涉仪具有测量精度⾼、测量范围⼤、测量速度快、最⾼测速下分辨率⾼等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、⾓度、直线度、垂直度、平⾏度、平⾯度等⼏何参量的⾼精度测量。

在SJ6000激光⼲涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、⾓度和直线度的动态测量与性能检测，以及进⾏位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

3.应⽤激光⼲涉仪可⼴泛⽤于数控机床、直线电机、电动滑台、线性模组、三坐标、⾃动化加⼯设备等运动精度检测。

▲SJ6000激光⼲涉仪检测数控机床▲SJ6000激光⼲涉仪检测线性模组▲SJ6000激光⼲涉仪⽤于⾃动化设备装调激光平⾯⼲涉仪1.测量原理在测试平⾯之上有个参考平⾯，两个平⾯间的距离⾮常的近，以保证这两个平⾯反射的光线具有相⼲性。

作为参考的反光块的上表⾯与下表⾯有个很⼩的夹⾓，这样可以保证上表⾯的反光不参与⼲涉条纹的形成。

参考平⾯与待检测平⾯的反光发⽣⼲涉后产⽣⼲涉条纹，通过成像系统来接收。

乾曜激光干涉仪系列介绍目录一、产品系列简介二、平面干涉仪三、球面干涉仪四、干涉仪附件五、技术支持一、产品系列简介1、产品特性与优势乾曜光学科技有限公司（简称乾曜光学）开发的平面、球面激光干涉仪面向光学加工行业的客户，适用于加工车间现场检验。

产品核心竞争力强，测试精确、操作方便、外观现代、附件齐全，且可依据客户需要进行产品定制。

乾曜秉承“超越精密，源自理想”的信念，以客户需求以本。

以下两点，是乾曜光学的准则：第一，保证核心品质，力求精确。

干涉仪是光学加工水平的裁决者，应当具备很高的测试精度。

乾曜研发团队在设计、加工、装配等各个环节精益求精，规避各种可能带来测试误差的因素。

核心光学元件的性能均经过ZYGO干涉仪及其他进口仪器的测试，仪器最终性能也经过与ZYGO干涉仪的比对测试，力求精确与稳定。

第二，方便客户。

仪器在设计的每一个细节都充分考虑客户的使用习惯与需求，使客户能够方便快捷的完成测量，并进行准确判读。

2、产品系列乾曜光学开发的车间用激光干涉仪（及附件），可分为以下三个系列：2.1、平面干涉仪平面干涉仪标准测试口径有Φ100mm、Φ150mm、Φ200mm三种规格，为利于防震，采用立式结构。

仪器结构可依据客户需要改为卧式，其他更大口径的干涉仪也可依据客户需要定制。

2.2、球面干涉仪球面干涉仪标准口径为Φ60mm，立式结构。

标配球面镜头为F0.75，并可选配F1.0、F1.5、F2.0、F3.3、F5.0的球面镜头。

可依据客户需求定制其他F数的球面镜头。

2.3、干涉仪配件乾曜光学提供各种规格的高精度平面标准镜、球面镜头，可与ZYGO、富士能、奥林巴斯等厂家的干涉仪标准光学件兼容。

二、平面干涉仪乾曜光学开发的平面干涉仪，标准测试口径有Φ100mm、Φ150mm、Φ200mm三种规格。

主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形的测量。

1、仪器规格参数表：QY-P-INF-200产品型号 QY-P-INF-100QY-P-INF-150测试口径Φ100mm Φ150mm Φ200mm标准镜面形精度λ/20 λ/20 λ/15标准镜材料熔石英（康宁7980）光源 He-Ne激光（632.8nm）光路切换对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换标准配件高分辨率黑白显示器（10寸）供选配件密封罩、衰减过滤片仪器尺寸(长X宽X高) 350x280x800mm380x300x1000mm420x320x1000mm100KGKG80仪器重量 75KG50Hz 电源 AC220V（附注：更大口径平面干涉仪可依据客户需求定制）2、仪器特点：精度高标准镜精度高，且材料经过精密退火处理，稳定可靠；调整方便可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式，方便调整；条纹真实可调节共轭成像位置，得到清晰、准确、真实的干涉条纹；性能优良仪器具备良好的隔振性能，适合光学加工现场使用；选配简易密封罩，可将测试腔与外界气流隔离，降低测试过程中气流扰动，提高判断的准确性。