MoS掺杂DLC薄膜的摩擦磨损行为Ⅰ载荷的影响-摩擦学学报

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( 1 . 河南科技大学 材料科学与工程学院, 河南 洛阳㊀4 7 1 0 0 3 ; 2 .河南科技大学 化工与制药学院, 河南 洛阳㊀4 7 1 0 0 3 ; 3 .中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室,甘肃 兰州㊀7 3 0 0 0 0 ; 4 .河南省材料摩擦学重点实验室,河南 洛阳㊀4 7 1 0 0 3 ) 摘㊀要:采用射频等离子体增强化学气相沉积与非平衡磁控溅射复合技术制备了 M o S L C薄膜( a - C : H : x 掺杂的 D M o : S ) , 在Q G- 7 0 0摩擦试验机上考察了其在不同载荷下的摩擦磨损行为. 通过对摩擦表面的扫描电镜( S E M) 观察 及能谱( E D S ) 分析, 简单探讨了其摩擦磨损机理. 结果表明: 随着载荷的增加, a - C : H : M o : S / S i N 3 4 体系的摩擦系数及 初步分析认为该现象与摩擦热效应导致的接触层结构转化相关. 磨损率均呈先降后升的趋势, 在高速下尤为明显. 关键词:D L C膜; 掺杂; 摩擦磨损; 载荷 中图分类号:T H 1 1 7 . 1 文献标志码: A 文章编号: 1 0 0 4- 0 5 9 5 ( 2 0 1 2 ) 0 5- 0 5 1 6- 0 8
( 1 .S c h o o l o f M a t e r i a l s S c i e n c e a n dE n g i n e e r i n g ,H e n a nU n i v e r s i t yo f S c i e n c e a n dT e c h n o l o g y ,L u o y a n g4 7 1 0 0 3 , C h i n a 2 .S c h o o l o f C h e m i c a l E n g i n e e r i n g a n dP h a r m a c e u t i c s ,H e n a nU n i v e r s i t yo f S c i e n c e a n dT e c h n o l o g y ,L u o y a n g4 7 1 0 0 3 , C h i n a 3 .S t a t e K e yL a b o r a t o r yo f S o l i dL u b r i c a t i o n , L a n z h o uI n s t i t u t e o f C h e m i c a l P h y s i c s ,C h i n e s e A c a d e m yo f S c i e n c e s ,L a n z h o u7 3 0 0 0 0 , C h i n a ,L u o y a n g4 7 1 0 0 3 ,C h i n a ) 4 .H e n a nK e yL a b o r a t o r yo f M a t e r i a l s T r i b o l o g y A b s t r a c t :M o S o p e dd i a m o n d-l i k ec a r b o n( a-C : H : M o : S )f i l m sw e r ep r e p a r e du s i n gah y b r i dr a d i of r e q u e n c y x -d p l a s m a - e n h a n c e dc h e m i c a l v a p o r d e p o s i t i o na n du n b a l a n c e dm a g n e t r o ns p u t t e r i n g d e p o s i t i o nt e c h n i q u e .T h e i r f r i c t i o na n d w e a r b e h a v i o r s u n d e r d i f f e r e n t n o r m a l l o a d s w e r ei n v e s t i g a t e do naQ G- 7 0 0t r i b o m e t e r a n d3 Ds u r f a c ep r o f i l o m e t e r .T h e f r i c t i o na n dw e a r m e c h a n i s mw a sb r i e f l yd i s c u s s e db a s e do nt h ec h a r a c t e r i z a t i o n so f f r i c t i o n a l s u r f a c e s .T h er e s u l t sr e v e a l ,e s p e c i a l l y a t t h a t b o t ht h ef r i c t i o nc o e f f i c i e n t a n dt h e w e a r r a t e f i r s t d e c r e a s e a n dt h e ni n c r e a s e w i t hi n c r e a s i n g n o r m a l l o a d ,w h i c hi s c o n s i d e r e dt ob ec l o s e l yr e l a t e dt ot h ef r i c t i o n - i n d u c e dh e a t i n ge f f e c t . ah i g h e r s l i d i n gs p e e d K e yw o r d s :D L Cf i l m ,d o p i n g ,f r i c t i o na n dw e a r ,l o a d
F r i c t i o na n dWe a rB e h a v i o r s o f Mo S o p e d x -d D L Cf i l ms E f f e c t o f N o r ma l L o a d Ⅰ:
1 , 4 2 , 4 1 , 4 1 , 4 Z H A OF e i ,P A N GX i a n - j u a n ,D US a n - m i n g ,L I UJ i n g - c h a o , 2 , 4 3 1 , 4 N I UY o n g - p i n g ,L I H o n g - x u a n ,Z H A N GY o n g - z h e n
第3 2卷㊀第 5期 2 0 1 2 年 9月
摩 擦 学 学 报
T r i b o l o g y
V o l 3 2 ㊀N o 5 S e p t , 2 0 1 2
Mo S L C薄膜的摩擦磨损 x 掺杂 D 行为 Ⅰ : 载荷的影响
, 4 , 4 , 4 , 4 , 4 ,, 李红轩3, 张永振1