惯性传感器技术及发展
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惯性导航系统一、惯性导航系统(Inertial Navigation System,INS)1、基本概念惯性导航系统(INS)是一种不依赖于外部信息、也不向外部辐射能量的自主式导航系统。
其工作环境不仅包括空中、地面,还可以在水下。
惯性导航系统目前已经发展出挠性惯导、光纤惯导、激光惯导、微固态惯性仪表等多种方式。
陀螺仪由传统的绕线陀螺发展到静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺、微机械陀螺等。
激光陀螺测量动态范围宽,线性度好,性能稳定,具有良好的温度稳定性和重复性,在高精度的应用领域中一直占据着主导位置。
由于科技进步,成本较低的光纤陀螺(FOG)和微机械陀螺(MEMS)精度越来越高,是未来陀螺技术发展的方向。
我国的惯导技术近年来已经取得了长足进步,液浮陀螺平台惯性导航系统、动力调谐陀螺四轴平台系统已相继应用于长征系列运载火箭。
其他各类小型化捷联惯导、光纤陀螺惯导、激光陀螺惯导以及匹配GPS修正的惯导装置等也已经大量应用于战术制导武器、飞机、舰艇、运载火箭、宇宙飞船等。
如漂移率0.01°-0.02°/h 的新型激光陀螺捷联系统在新型战机上试飞,漂移率0.05°/h 以下的光纤陀螺、捷联惯导在舰艇、潜艇上的应用,以及小型化挠性捷联惯导在各类导弹制导武器上的应用,都极大的改善了我军装备的性能。
惯性导航系统有如下主要优点:(1)由于它是不依赖于任何外部信息,也不向外部辐射能量的自主式系统,故隐蔽性好,也不受外界电磁干扰的影响;(2)可全天流全球、全时间地工作于空中、地球表面乃至水下;(3)能提供位置、速度、航向和姿态角数据,所产生的导航信息连续性好而且噪声低;(4)数据更新率高、短期精度和稳定性好。
其缺点是:(1)由于导航信息经过积分而产生,定位误差随时间而增大,长期精度差;(2)每次使用之前需要较长的初始对准时间;(3)设备的价格较昂贵;(4)不能给出时间信息。
但惯导有固定的漂移率,这样会造成物体运动的误差,因此射程远的武器通常会采用指令、GPS等对惯导进行定时修正,以获取持续准确的位置参数。
惯性导航技术的新进展及其发展趋势惯性导航技术是一种利用加速度计和陀螺仪等惯性传感器来确定车辆、飞机或船只在空间中的位置、方向和速度的技术。
随着科技的不断进步,惯性导航技术也在不断更新和发展。
本文将介绍惯性导航技术的新进展以及未来的发展趋势。
近年来,随着MEMS(微电子机械系统)技术的快速发展,惯性传感器的性能得到了大幅提升。
其精度、稳定性和温度漂移都得到了显著改善。
这使得惯性导航技术在自动驾驶、航空航天等领域的应用更加广泛和可靠。
现代汽车的自动驾驶系统中就广泛采用了惯性导航技术,能够实现车辆的精准定位和导航。
惯性导航技术在无人机、航天器等领域也发挥着重要作用。
惯性导航系统可以独立于卫星定位系统,能够实现对位置、速度和姿态的精确测量,因此在GPS信号受限或不可用的环境下,惯性导航技术能够保持导航系统的稳定性和可靠性。
在新兴的应用领域中,惯性导航技术也有了更多的突破。
在虚拟现实(VR)和增强现实(AR)设备中,惯性导航传感器可以实现用户头部的实时姿态跟踪,为用户提供更加流畅、自然的交互体验。
惯性导航技术还广泛应用于体感游戏、运动监测等领域,为用户带来更加真实和沉浸式的体验。
在惯性导航技术的发展趋势方面,有以下几个重要方向:惯性导航技术将继续向着小型化、集成化和高性能化的方向发展。
随着MEMS技术的不断成熟,惯性传感器将变得更加微小、轻便,同时在精度和稳定性上也将有更大的提升。
这将为惯性导航技术的应用提供更大的便利和灵活性。
惯性导航技术将与其他传感技术相结合,形成多传感器融合导航系统。
利用惯性传感器与GPS、视觉、超声波等传感器相结合,可以弥补各自的不足,提高导航系统的精度和可靠性。
这种融合技术将成为未来导航系统发展的重要趋势。
随着人工智能和大数据技术的发展,惯性导航技术还将实现更智能化、自适应化。
通过对大量的导航数据进行分析和学习,导航系统能够不断优化自身的参数和算法,适应不同的环境和应用场景,提高导航系统的适用性和稳定性。
惯性导航技术的新进展及其发展趋势惯性导航技术是一种利用惯性测量装置(IMU)和相关算法来确定机器或车辆的位置、方向和速度的导航技术。
它不依赖于外部信号源(如卫星信号或地面标志),因而在GPS信号不可用的环境下仍然能够提供可靠的导航信息。
惯性导航技术已经在军事、航空航天、海洋和陆地交通等领域得到了广泛的应用,随着物联网和自动驾驶技术的发展,惯性导航技术也迎来了新的发展机遇。
近年来,随着MEMS(微电机系统)技术的发展,惯性导航传感器变得更加小型化、高性能化和低成本化,这为惯性导航技术的应用提供了更广阔的空间。
相关的数据处理算法和定位方法也得到了不断的改进和优化,提高了惯性导航系统的精度和稳定性。
这些新进展为惯性导航技术在自动驾驶车辆、智能机器人、无人机等领域的应用提供了更可靠的技术支持。
在自动驾驶领域,惯性导航技术可以作为辅助定位手段,提高自动驾驶车辆在GPS信号不良或无法使用的环境下的定位精度和可靠性。
利用惯性导航技术可以实现车辆的姿态控制和运动轨迹规划,从而提高车辆的驾驶稳定性和安全性。
惯性导航技术还可以结合其他传感器(如摄像头、雷达、激光雷达等)进行多传感器融合,进一步提高自动驾驶系统的整体性能。
在智能机器人领域,惯性导航技术可以帮助机器人实现精准的定位和导航,从而提高机器人在复杂环境中的工作效率和可靠性。
利用惯性导航技术,机器人可以实现自主避障、自主探索和路径规划等功能,从而更好地适应各种工作场景和任务需求。
惯性导航技术还可以为机器人的协作和集群行为提供定位和相对位置信息,进一步提高机器人团队的整体协同能力。
除了在以上领域的应用之外,惯性导航技术还可以为物联网设备、智能家居、智慧城市等领域提供定位和导航支持,推动物联网和智能化技术的发展和应用。
惯性导航技术还可以为室内定位、虚拟现实、增强现实等新兴应用场景提供技术支持,满足不同领域的定位和导航需求。
未来,随着人工智能、大数据、5G通信等新一代信息技术的发展,惯性导航技术将迎来更多的发展机遇和挑战。
惯性导航与惯性测量利用惯性原理进行导航与测量的技术导航和测量是现代科技中的重要领域,而惯性导航和惯性测量则是其中基于惯性原理的关键技术。
本文将介绍惯性导航与惯性测量的原理、应用和发展前景。
一、惯性导航的原理惯性导航是利用惯性传感器实时测量载体的加速度和角速度,并通过姿态解算,将导航过程分解为短时间段的位移累加,从而得到导航信息的方法。
惯性导航系统最重要的组成部分是惯性传感器,包括加速度计和陀螺仪。
1. 加速度计加速度计用于测量载体的加速度,在导航中起到检测载体运动状态的作用。
加速度计基于牛顿第二定律,通过测量物体所受到的惯性力从而确定加速度。
常见的加速度计有微机电系统(MEMS)加速度计,它通过测量微小的弹性变形或热量效应来测量加速度。
2. 陀螺仪陀螺仪用于测量载体的角速度,通过检测载体的旋转状态来确定导航方向。
陀螺仪基于旋转物体的自旋保持直线动量的特性,通过测量角动量的变化来计算载体的角速度。
目前常见的陀螺仪有MEMS陀螺仪和激光陀螺仪等。
二、惯性导航的应用惯性导航技术在军事、航空航天、无人驾驶等领域广泛应用。
以下是几个典型的应用案例:1. 卫星导航系统卫星导航系统如GPS可以提供非常准确的位置信息,但在某些环境下(如隧道、城市高楼等)信号可能受阻,导致导航信息不准确。
惯性导航技术可以在这些情况下提供较为可靠的导航信息,保证导航的连续性和准确性。
2. 无人驾驶无人驾驶技术需要实时准确的导航信息,以确保无人车在道路上安全行驶。
惯性导航技术能够对车辆的状态进行实时监测和控制,提供精确的位置、速度和姿态信息,为无人车的智能决策和控制提供重要数据支持。
3. 航空航天航空航天领域对导航精度和可靠性要求极高。
惯性导航技术可以独立于地面信号,提供直接可靠的导航信息,用于导航系统的校准和误差补偿,提高导航的准确性和可靠性。
三、惯性测量的原理惯性测量是利用惯性传感器测量目标物体的加速度和角速度等物理量的方法。
惯性测量传感器主要包括加速度计和陀螺仪等。
传感器技术在航空航天领域的发展趋势近年来,传感器技术在各个领域中发挥着越来越重要的作用。
在航空航天领域中,传感器技术也在不断地得到应用和发展。
本文将就传感器技术在航空航天领域的发展趋势进行探讨。
一、需求驱动在航空航天产业中,传感器技术的应用受到需求的驱动。
其中,飞行安全、节能环保以及舒适性等方面的需求推动了传感器技术的快速发展。
为了保障飞行安全,航空航天领域需要监测和控制飞机的各种参数。
例如,通过监测飞机的飞行高度、速度、位移等信息实现对飞机的准确掌控。
此外,为了提高航空运输的节能环保效率,航空公司也在不断地研究和开发各种新型传感器技术,如飞机外壳表面温度传感器、动态温度传感器等。
二、传感器技术的发展趋势1、微纳米技术目前,微纳米技术是传感器技术的一个重要发展方向。
随着微纳米技术的进一步发展,新型传感器不仅更小巧灵活,而且测量精度和响应速度也有了进一步提高。
以微机电系统(MEMS)传感器为例,它们主要采用微加工技术来制造微型、多功能的传感器,其尺寸可以达到毫米级以下,用于研究和测量的对象可以是任何物质和现象。
2、智能传感器技术智能传感器技术是另一个发展前沿。
智能传感器可以集成处理器和存储器,实现数据的采集、处理和传输。
其运用领域广泛,包括机场集中式管制、航空器飞行控制、发动机保养等等,使得整个系统的稳定性和可靠性得到了提升。
3、光电传感器技术光电传感器技术是一种新型传感器技术,主要应用于航空航天领域的光学测量、光学计量和光学探测等方面。
在过去,传统的光学传感器主要使用多个组件构成,需要进行复杂的组装工作,成本较高。
而光电传感器技术则是集成式的,可以在一块芯片上实现多个任务,其制造成本也相对较低,不仅能够准确测量光学信号,而且还具有易于集成和控制的优势。
三、航空航天领域应用在航空航天领域,越来越多的传感器技术得到了应用。
下面就来介绍一些典型应用案例。
1、光学传感器光学传感器是用于航空航天领域的航空器完整性监测的重要手段之一。
mems惯导原理摘要:一、MEMS惯导原理简介二、MEMS惯性传感器的工作原理1.加速度计2.陀螺仪三、MEMS惯导系统的应用1.航空航天领域2.汽车行业3.智能手机4.军事领域四、MEMS惯导技术的发展趋势1.微陀螺仪的研究2.高精度加速度计的开发3.智能化与集成化正文:MEMS(微电子机械系统)惯导原理及其在各领域的应用日益受到人们的关注。
MEMS惯导技术作为一种关键技术,为航空、汽车、智能手机等产业提供了精确的导航和定位功能。
一、MEMS惯导原理简介MEMS惯导原理主要基于角动量守恒定律和牛顿运动定律。
在MEMS惯性传感器中,通过测量质量块受到的惯性力,可以得到物体的加速度和角速度。
二、MEMS惯性传感器的工作原理1.加速度计:MEMS加速度计利用惯性原理,将角动量守恒应用于微小的质量块上。
在加速度计中,质量块与弹性结构连接,当受到惯性力时,弹性结构产生形变,通过测量形变量,可以得到物体的加速度。
2.陀螺仪:MEMS陀螺仪的工作原理基于斯特林定律。
陀螺仪由一个固定的支撑结构和一支旋转的转子组成。
转子在外部磁场作用下旋转,通过测量转子的角速度,可以得到物体的角加速度。
三、MEMS惯导系统的应用1.航空航天领域:MEMS惯导系统在航空航天领域具有广泛应用,如飞行器的导航、姿态控制和着陆系统等。
2.汽车行业:MEMS惯导系统在汽车行业中主要用于防抱死制动系统(ABS)、电子稳定程序(ESP)和导航系统等。
3.智能手机:MEMS惯导系统在智能手机中发挥着重要作用,如加速度计用于检测用户的行为(如晃动、摔落等),陀螺仪用于实现流畅的触摸屏操作等。
4.军事领域:MEMS惯导系统在军事领域具有广泛的应用,如导航定位、战术级惯性测量单元(IMU)和头盔显示器等。
四、MEMS惯导技术的发展趋势1.微陀螺仪的研究:随着技术的进步,微陀螺仪在精度和灵敏度方面取得了显著的提升,未来将继续研究更高精度的微陀螺仪。
2.高精度加速度计的开发:为了满足各种应用场景的需求,研究人员将继续开发高精度、低噪声的MEMS加速度计。
综述与评论惯性传感器技术及发展徐景硕(海军航空工程学院青岛分院航空特设系,山东青岛266041)摘要:论述了惯性传感器的发展过程和其在惯性导航系统中的地位,对新型惯性传感器:壳体谐振陀螺仪、微机械电子系统惯性传感器、光纤陀螺仪的原理、性能和研究现状作了分析,最后指出了惯性传感器的发展方向。
关键词:惯性传感器;半球谐振子陀螺仪;光学陀螺仪中图分类号:TP212.9;U666.12+3文献标识码:A文章编号:1000-9787(2001)05-0001-04Technology and development of inertial measurement unitXU Jing-shuo(Dept.of Aero-Special-Equipment,The Branch,Naval AeronauticalEngineering Academy,Qingdao266041,China)Abstract:The developmen t of inertial measurement unit(IMU),along with their important situation in inertial navigation system(INS),T hen the principle and implementation of new IMU:HRG、MEMS-IMU、fiber-optic gyro are discussed, and finally the development direction i s proposed.Key words:inertial measurement unit(IMU);hemispherical resonatior gyro(HRG);op tical gyroscope0引言惯性导航系统(inertial navigation system,I NS)是随着惯性传感器的发展而发展起来的一门导航技术,它完全自主、不受干扰、输出信息量大、输出信息实时性强等优点使其在军用航行载体和民用相关领域获得了广泛应用。
惯导系统的精度、成本主要取决于惯性传感器)))陀螺仪和加速度计的精度和成本,尤其是陀螺仪其漂移对惯导系统位置误差增长的影响是时间的三次方函数,而高精度的陀螺仪制造困难,成本很高,因此惯性技术界一直在寻求各种有效方法来提高陀螺仪的精度,同时降低系统成本。
从20世纪50年代的液浮陀螺仪到70年代的动力调谐陀螺仪(dyna mically tuned gyrosc ope,DTG);从80年代的环形激光陀螺仪(ring laser gyroscope.RLG)、光纤陀螺仪(fiber optic gyroscope,FOG)到90年代的振动陀螺仪以及目前研究报道较多的微机械电子系统陀螺仪(micro-electro-mechanical-收稿日期:2001-02-09system gyroscope,ME MSG)相继出现,从而推动了惯性传感器不断向前发展。
1惯性传感器的发展过程惯性传感器包括陀螺仪和加速度计,加速度计目前精度可达10-5g n且对INS误差影响较小,目前依然是以挠性支承摆式加速度计为主。
陀螺仪由于其结构复杂、制造困难且其漂移误差对INS精度影响大,从而成了惯性传感器重点研究对象。
从广义上讲凡是能测量载体相对惯性空间旋转的装置就可以称为陀螺仪,随着技术的发展,相继发现了多种物理效应可以实现这一要求,因而出现了许多不同型号和不同结构的陀螺仪,尽管陀螺仪有型号和结构的差异,但从理论上讲可以划分为两大类[1]:(1)以经典力学为基础的陀螺仪,它包括各类机械陀螺仪;(2)以现代物理学为基础的陀螺仪,包括光学陀螺仪。
框架式刚体转子陀螺仪是应用最早和最广泛的一类陀螺仪,这方面的技术有:液浮、气浮、磁悬浮、12001年第20卷第5期传感器技术(Journal of Transducer Technology)静电悬浮、挠性支承、超导悬浮等,至今它们依然是保证惯性传感器精度和其它技术要求的有效手段。
国外惯性技术先进国家在超高精度(陀螺漂移小于0.005b/h)系统和特殊应用场合仍然是以液浮或静电陀螺仪为主。
20世纪70年代挠性支承技术用于陀螺仪的设计,在结构上它把陀螺仪传统的外框架支承方式改为内挠性支承,从而把框架式刚体转子陀螺仪因支承方式产生的无规律的摩擦力矩变为相对易于补偿的弹性力矩,同时它克服了液浮陀螺仪密封充液、温控要求高的缺点,尤其是动力调谐陀螺仪的出现,它依靠陀螺仪自身的动力学效应来补偿弹性力矩,从而大大简化了陀螺仪的结构,降低了系统成本,提高了系统可靠性,它的出现促进了平台式惯导系统的发展。
20世纪80年代则以环形激光陀螺仪(RLG)为主的捷联惯导系统处于大面积推广阶段,基于Sagnac效应的光学陀螺仪,其突出优点是:结构简单、完全固态(无活动部件)、不存在支承系统、启动迅速不需要启动准备时间、对加速度和震动不敏感、测量范围宽特别适合捷联系统、数字输出便于计算机接口。
目前激光陀螺仪技术完全成熟,光纤陀螺仪(FOG)在中低精度(漂移在0.05b~1b/h)上已形成小批量生产能力,而动力调谐陀螺仪许多公司不再研制,正逐步被激光陀螺仪取代[2,3]。
从系统成本、可靠性考虑,在常规武器上平台惯导系统正逐步被捷联惯导系统取代。
进入90年代,机械类陀螺仪研究较多的是振动陀螺仪、微机械电子系统陀螺仪,而光学陀螺仪则向着集成光学系统发展[4~6]。
2振动陀螺仪基于振动理论的振动陀螺仪,由于没有高速旋转的转子和相应的支承系统,因而具有性能稳定、结构简单、可靠性高、承载能力大、体积小、成本低的特点,具有激光陀螺仪所具有的技术优势,是80年代末期机械类陀螺仪报道最多的一类。
振动陀螺仪的共同机理是利用高频振动的质量在被基座带动旋转时,所产生的哥氏(C oriolis)效应来敏感角运动的。
目前有音叉振动陀螺仪、压电振动陀螺仪、壳体谐振陀螺仪等形式,在各类振动陀螺仪中尤其以半球谐振子陀螺仪(he mispherical res-onator gyro,HRG)最引人注目,美国台尔卡(Delco)仪器公司所生产的HRG,已达到了惯性级的技术要求[4]。
半球谐振子陀螺仪是根据一百多年前剑桥大学布瑞安(G.H.Bryan)教授关于杯体振动理论研制成功的。
该理论指出半球型的杯体绕着杯的中心线旋转时,其四波幅振动图案将发生偏转。
布瑞安教授进一步分析这种现象后指出振动图案偏转的机理乃是哥氏效应,不过圆环振型各点的速度是不相同的,对其几个特殊点分析就可以看到,哥氏惯性力将使半球在角速度作用下的振型转动。
同时他还证明了陀螺的增益和比例因子与材料无关,而仅仅是薄壳体上产生的应力波振荡模的函数,后来研究证明半球谐振子陀螺仪具有很精确的比例因子(不确定性小于1@ 10-6)和令人满意的随机漂移及偏置稳定性。
半球谐振子陀螺仪有谐振腔外壳、传感器/力发生器和一个用于调节电容性传感器信号的缓冲器电子线路板组成,如图1所示。
图1H RG外形Fig.1H RG configuration谐振外壳由石英材料制成,其边缘具有均匀槽口,精确修正槽口可以使振子达到动平衡要求,使各方面的振荡相等,力发生器用于对振子激振并形成精确的四波幅振型,当此半球绕其轴线以一定的角速度旋转时,这个四波幅振型将相对壳体产生与输入轴转角成比例的角度,成为/进动角0如图2所示。
图2杯体口振动波形Fig.2Hemispherical res onator wave2传感器技术第20卷其比例关系为B=K A,(1)式中B为进动角;A为壳体转动角;K为系数,其理论与实验值约为0.3[4]。
显然只要测出振形转动的角速度B,就可以由公式(1)得到壳体转动角速度A。
传感器用于感测振动波形沿圆周的变动并经数控回路输出,整个陀螺仪真空密封以保持良好的工作条件,由于陀螺仪结构简单,适合批量生产,成本低,目前的精度可以与RLG相比拟,是机械陀螺仪中的佼佼者,且被认为比RLG更具有竞争优势。
3微惯性传感器从20世纪80年代开始,以IC工艺为基础的微机械加工技术开始应用于传感器的制造。
随着L m/ nm技术的迅速发展,微机电系统(ME MS)脱颖而出。
微惯性传感器是一种重要的ME MS,它由微型陀螺仪、微型加速度计、专用集成电路(ASIC)、嵌入式微机及相用的软件组成,可以测出载体的位置、速度、姿态等信息[5~8]。
目前微惯性传感器的生产厂商主要集中在美国,Draper Lab是其中的佼佼者,早在1989年就推出了硅材料结构的双框架微型谐振陀螺仪[5],原理上它是一种振动陀螺仪,但在结构上它是蚀刻出来的双框架结构,在陀螺仪内框上由一个作为陀螺惯性质量的垂直板,各框架之间是相互正交的挠性轴,通过外框架上和其相对的内外电极极板的电场激励,可以使惯性质量产生所需要的振动,当沿输入轴有角速度输入时,即可得到沿输出轴的振动输出,测出载体角速率。
据报道这类陀螺仪的尺寸只有十分之几毫米,由于尺寸上的有利因素,无论是内部还是外部的谐振频率都达到2000Hz以上。
1979年美国Standford大学首先采用微加工技术研制出开环微型加速度计,此后许多商业公司纷纷涉足这一领域。
德国LITEF公司生产的B-290硅结构微加速度计[7],不但在硅体上蚀刻出加速度计的敏感块,还蚀刻出所需要的挠性支承,利用离子注入技术还使支承上形成热敏电阻以感受支承应力,从而送出摆块敏感的加速度信号。
尤其方便的是可将它与有关电子线路的大部分集成在同一块硅片上,保证了体积、质量、和运行的可靠性。
从目前情况来看,微惯性传感器总体上精度不是很高,仅在一些低精度场合应用,但随着技术的发展和需求的牵引其前景十分广阔。
尤其是其低廉的价格(在美国市场上微陀螺价格在50美元左右,微加速度计价格在20美元左右[5])是常规惯性传感器无法比拟的。
据美国防务高级研究计划局(ARPA)预测:21世纪初微传感器将占据至少40%的传感器市场,而ME MS惯性传感器将至少占据20%的微传感器份额,年增长率为15%~25%。
4光学陀螺仪光学陀螺仪包括激光陀螺仪(RLG)和光纤陀螺仪(FOG)两种,其工作原理都是基于Sagnac效应。
目前RLG技术已经成熟,其所面临的最大问题是制造成本仍然偏高(国际市场上惯性级RLG售价6万美元左右),这是由于RLG的制造工艺过程比较复杂,也比较特殊。
如它的腔体材料(石英或陶瓷)十分坚硬,必须采用金刚石刀具并在专用的数控机床上凿削,而加工精度需保持在0.05L m以内;再如反射镜镀膜工艺要求极高,需镀多层SiO2和TiO2薄膜共20~30层,每层厚度为K/4,K为氦氖激光器波长0.6328L m,镜面反射率要达到99.93%。