1、目的为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。2、适用范围适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。3、单晶炉操作工艺流程作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩

单晶炉设备

单晶炉水循环操作示意图

全自动单晶炉参数简介

LDK单晶炉热场结构介绍

第3章 硅半导体材料基础讲解

直拉式单晶炉测温方案知识讲解

碳碳复合材料应用单晶炉热场

员工知识培训1 硅的简介1.1半导体材料材料按其电阻率可分为超导体材料、导体材料、半导体材料和绝缘材料.半导体材料的电阻率一般介于导体和绝缘体之间,数值一般在10-4-108之间.半导体的电阻率有如下特点:(1)杂质对半导体电阻率的影响很显著,微量的杂质就能引起较大的变化.(2)温度能引起电阻率较大的变化,一般金属材料的电阻率随温度的上升而增大.半导体材料种

碳碳复合材料应用单晶炉热场

直拉法生产硅单晶，必须使用石英坩埚。石英坩埚按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级，而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与支持，石英坩埚的工艺技术、产品质量都得到了长足的进步：部分替代进口，而且批量出口，国产坩埚在国际市场争得了一席之地。但是应该看到，国产石英坩埚与国外高品质的石英坩埚在工艺技术和产品性

直拉单晶培训

半导体制造工艺培训课程(56页)

培训资料培训提纲1．拉制单晶过程异常情况及其处理。2．石英坩埚的相关知识3．直拉单晶操作及工艺流程，操作注意事项。拉单晶过程中的异常情况及其处理在拉单晶过程中，经常会出现一些异常情况，作为操作人员除了对设备运行要严密监控之外，对出现的异常情况，应具有一定的应急处理能力，本章节针对各种可能出现的异常情况，介绍一下简单的概念和应急处理的方法。1、挂边和搭桥挂边是

一：拉棒设备技术支持以及设备技术参数与规范1. 设备参数：设备名称（设计参数）规格数量备注单晶炉1、结晶直径： 8”，6”2、结晶全长： 2000mm以下3、投料量： 120kg4、热场规格： 16’18’ 20’5、炉内最高温度： 1600℃6、坩埚规格：φ20”³H157、保护气氛：氩气，负压8、软轴：无螺旋编织（不锈钢304材质以上）9、主副室连接法兰

培训资料培训提纲1．2．3．拉制单晶过程异常情况及其处理。石英坩埚的相关知识直拉单晶操作及工艺流程，操作注意事项。拉单晶过程中的异常情况及其处理在拉单晶过程中，经常会出现一些异常情况，作为操作人员除了对设备运行要严密监控之外，对出现的异常情况，应具有一定的应急处理能力，本章节针对各种可能出现的异常情况，介绍一下简单的概念和应急处理的方法。1、挂边和搭桥挂边是

单晶硅片单晶炉设备工艺流程

培训资料培训提纲1．拉制单晶过程异常情况及其处理。2．石英坩埚的相关知识3．直拉单晶操作及工艺流程，操作注意事项拉单晶过程中的异常情况及其处理在拉单晶过程中，经常会出现一些异常情况，作为操作人员除了对设备运行要严密监控之外，对出现的异常情况，应具有一定的应急处理能力，本章节针对各种可能出现的异常情况，介绍一下简单的概念和应急处理的方法。1、挂边和搭桥挂边是指

2021春节前安全意识培训

单晶硅设备工艺流程(精选PPT)