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真空镀膜操作注意事项

真空镀膜操作注意事项
真空镀膜操作注意事项

1、概述

DM220型高真空镀膜台主要适用于电子显微镜制作样品时蒸镀金属膜、碳膜,也可用于清洗电子显微镜的光栏及其它金属膜,以及实验室和工厂用于一般蒸镀薄膜、金属镀层,也可对某些小零件作真空加热定型处理,配件附上,可作旋转倾斜、离子溅射、离子减薄、离子电镀和冰冻蚀刻等用途。

DM220型高真空镀膜台结构紧凑、小巧、美观大方、操作方便,可靠性好,其真空示意图见图所示。

2、主要技术参数:

2.1 真空室容积? 220*230mm

2.2 蒸发电流50A

2.3 蒸发电压20V

2.4 工作真空度 2.7*10^-3 Pa

2.5 主机功能单相50HZ 220V 2KVA

2.6 外形尺寸640*300*940(长*宽*高)mm

2.7质量(净重)小于70Kg

3、工作原理

该仪器是采用了淀积原理的技术,对试样进行表面镀膜,也可作真空定型,真空清洗。

4、结构特点:

4.1 结构

该仪器分为独立的五大部件

a、真空系统

b、安全保护系统

c、工作室

d、控制系统

e、供电系统

4.2 特点

4.21 仪器采用了机械、电气相结合,自锁、互锁相结合的保护系统。

4.22 仪器配有可升降的试样台,从50mm~75mm,满足不同距离的喷镀要求。

4.23 仪器突然停电后真空泵能自动进气以免真空泵返油,再恢复供电时,仪器不

会自动启动。

4.24 仪器配上定向蒸发套,可在小区域内进行喷镀,避免整个钟罩污染。

5、安装调试和安全使用

5.1、安装条件

5.1.1 工作室内环境应清洁,不应有可能引起电器及其它金属件表面腐蚀或引起金属间

导电尘埃和气体的存在。

5.1.2 环境温度10℃~30℃

5.1.3 相对湿度不大于80%

5.1.4 冷却水进水温度不高于25℃

5.1.5 供电电源单相220V 电压波动范围 198-231V 频率波动范围49-51HZ 容量不

小于2KVA

5.2、调试和安全使用

5.2.1 检查所有紧固件不得有松动,电器接插件应接触良好。安装时应看图一。

5.2.2 各活动调节部分应灵活、手感良好,不应有卡死和急跳现象。

5.2.3 切断水源或降低水压小于5*10^4 Pa 时,机内报警。

5.2.4 打开预抽阀V2时,主阀V1应不打开(机械互锁装置)。

5.2.5 打开预抽阀V2或主阀V1中的任何一只,按下进气开关时,应不起作用(起到保

护作用)

5.2.6 冷却水进水压力不低于5*10^4Pa,可调节进水压力器内的调节螺钉(以不报警

为准)。

5.2.7 冷却水流量不低于21/min

5.2.8 镀膜台的操作旋钮、开关的动作,应按工作顺序操作(后附操作说明)

5.2.9 操作中突然停电后,在恢复供电时各用电器件不能自行接通。

6、检测维修

6.1 真空检测维修

6.1.1 当仪器开机后,初真空度上不去时(达不到6.7Pa)可仔细检查可有密封部位是否松动和密封圈损坏(如旋转手柄、蝶阀轴封,电极棒下端,电磁阀等),也可对机械泵单独测量(可取下机内较短的一根橡皮管,插入机械泵抽口,另一端插入ZJ-51型热偶真空规,并用SG-3型复合真空计来检验机械泵的真空度,一般应在5Pa左右,如低于5Pa时,应对机械泵清洗或修理。

6.1.2 如仪器初真空达5.33Pa以上,属正常,但高真空度上不去时,可先检查扩散泵底部的电热丝是否断,如高真空度再上不去,方可考虑对扩散泵进行清洗,换油(275 硅油50毫升)

DM220高真空镀膜台操作步骤说明:

该仪器属半自动控制的操作,它的原理是通过机械()轮的位置,控制微动开关,起到在同一时间内,预抽阀V2和电磁截止阀V3相互交替工作,即预抽阀V2打开,截止阀V3关闭。当()轮位置变化时,电磁截止阀V3开启(抽扩散泵);预抽阀V2就出在关闭状态,来保证仪器的真空系统正常工作。

开机过程

当仪器需工作时,首先接通电源(AC220V、50HZ),并按插头上标注的L、N极性位置,然后把真空测量仪的电源线插入机箱外后底部的插座内,接上进出水管和热偶规管及电离规管(按示意图三)。

按下“总电源”开关此时若机内讯响器发出报警声,应开自来水龙头,直至消除响声,把予抽旋钮旋开450左右,前面板上的指示灯亮,按下“真空泵”开关2秒后把予抽旋钮复位,按下真空测量仪电源开关,观察热偶真空度(扩散泵真空度)并注意真空规管的起始电流值,当测量仪上指示达5Pa~2Pa时,把予抽旋钮旋至开的位置,此时对真空室进行抽空,当测量仪再指示为5Pa~2Pa时,把予抽旋钮旋至关的位置。按下“扩散泵”开关,此时扩散泵下部的电炉开始加热,30~35分钟后,再把予抽旋钮旋开1~2分钟(不能超过2分钟)后关,稍后,打开主阀,2~5分钟后即获得高真空5*10-3Pa~3*10-3Pa(可用电离规管测量)。

工作过程

控制器上的蒸发Ⅱ一般为清洗光栏和蒸镀铬金、铝等物,而蒸发Ⅰ一般为蒸碳所用,如只需对试样蒸镀黄金、铬、铝等,可将这些物逐次放入钨篮中(图2),根据需要蒸镀厚度,旋转电流旋钮,这时电流表上即反映出蒸镀电流,一般控制在50A左右,如清洗光栏时,应拆去钨篮,在另一夹具上,夹上钼舟(注意两端接触电阻相等为宜)。在舟中放上光栏,在真空中要加电流,最大不超过75A,直至钼舟白炽光,但时间不长,一般在3~5S,但可重复烧几次,如需蒸碳,在控制器上应按下“蒸发Ⅰ”,此时,碳棒应与电极接触良好,在装入碳棒前,应将碳棒表面用皱纹纸擦净,无细颗粒,碳棒尖端与另一平头碳棒之间要有点力,一般在0.5N

调换蒸镀样品过程

当要取出真空室内的样品时,只需关闭主阀V t和预抽阀V2旋钮,在控制器上按下“进气”开关,对真空室充气,约一分半钟后,可把钟罩向上提(可先在水平方向推移一下),提高到最高位置,(不能再提)向左旋转120°轻轻放下。钟罩搁起,方可更换样品,再把钟罩恢复原状态:关闭进气开关,打开预抽阀V2一分钟左右关上,如继续工作再打开主阀V p。

停机过程

当仪器不在工作时,只需关闭“扩散泵”开关,把主阀V1和预抽阀V2转到“关”位置(向右旋紧),过35分钟后把预抽阀V2向左旋到V2指示灯亮即可,再关“真空泵”开关,然后再把预抽阀转到“关”位置,按下“总电源”开关,再去切断水源和输入电源。

注意事项:

1.如半小时后,高真空达不到,应检查扩散泵电炉丝是否断。

2.蒸碳时,如电流上不去,应查二碳棒之间应有一定的压力。

3.蒸碳时,调节电流旋钮应慢慢旋转,这样可防因电流突然大而蒸镀颗粒过大。

4.当仪器长期不用时,应每周抽一次初真空,使真空系统保持真空。

DM220高真空镀膜台的验收指标

1.真空镀测试:达到

2.7*10^3Pa的真空度约需35分钟。

2.蒸发电流测试:当真空室内的两对电极(蒸发碳或烧光栏)只要处在工作位置时,旋

转电流旋钮均能达到50A(电流)、误差10%。

3.恢复真空度时间:当真空室内更换样品时,需对真空室进气,待真空室为大气时,

方能更换好样品,恢复高真空度时,应在10分钟左右不超过15分钟。

4.断水报警:当切断水源或水压低于5*10^4Pa时应自动报警。(讯响器发出响声)。

5.误操作进气考核:当打开主阀V1或预抽阀V2中任何一只阀按下“进气”开关时,

应不起作用。

6.阀门保险(真空):当预抽阀V2打开后,主阀V1打不开,当主阀V1打开时,预抽

阀V2打不开。(互锁保险)

真空镀膜实验报告

真空镀膜实验报告 摘要:本实验在获得真空环境的基础上,在真空室内进行镀膜。在实验中需要复习获得真空的步骤和注意事项,学会使用蒸发镀膜设备,和在玻璃上镀锡的操作方法。 关键词:真空镀膜 蒸发镀膜 引言: 真空镀膜又叫物理气相沉积,它是利用某种物理过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。在薄膜沉积技术发展的最初阶段,由于蒸发法相对于溅射法具有一些明显的优势,包括较高的沉积速度,相对较高的真空度以及由此导致的较高的薄膜质量等,因此蒸发法受到了相对教大程度的重视。但另一方面,溅射法也有自己的优势,包括在沉积多元合金薄膜时化学成分容易控制,沉积层对衬底的附着力较好等。 真空镀膜的操作是将固体材料置于真空室内,在真空条件下,将固体材料加热蒸发,蒸发出来的原子或分子能自由地弥布到容器的器壁上。当把一些加工好的基板材料放在其中时,蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。 正文: 一、实验原理 1、真空泵简介 (1)机械泵 机械泵通过不断改变泵内吸气空腔的容积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀压缩从而获得真空,常用的是旋片式机械泵。它主要由定子、转子、旋片、弹簧等组成。机械泵的极限真空度为Pa 1 10 ,它主要由机械泵油的饱和蒸汽压和泵的机械加工精度决定的。当达到极限真空度时,抽气和漏气的速度相等,真空度不再变化。如果将两个机械泵组合起来,可以将真空度提高一个数量级。

旋片式机械泵使用注意: 1) 检查油槽中油液面的高度是否符合规定,机械泵转子的转动方向与规定方向是否一 致; 2) 机械泵停止工作时,要立即使进气口与大气相通,防止回油现象。这步由机械泵上 的电磁阀自动进行。 3) 机械泵不宜工作过长,否则会影响使用寿命。 (2)扩散泵 扩散泵利用气体扩散现象来抽气的。利用高速定向喷射的油分子在喷嘴出口处的蒸汽流中形成一低压,将扩散进入蒸汽流的气体分子带至泵口被前级泵抽走。 扩散泵使用注意: 启动压强低于1Pa ,保证绝大部分的气体分子以定向扩散形式进入高速蒸汽流,高压会导致一些副反应的发生,影响真空的形成。扩散泵一般能达到-5到-7的压强数量级。 2、真空的测量 测量真空的装置称为真空计,常用的油热耦真空计和电离真空计。 热耦真空计可以测量0.1~10Pa 的压强,利用低压下气体的热传导与压强成正比的原理;电离真空计利用电子与气体分子碰撞产生电离电流随压强变化的原理制成,可测量范围是10的-1~-6数量级。注意,电离真空计必须在0.1Pa 一下使用,否则会损坏装置。 3、蒸发镀膜 蒸发镀膜是在真空中通过电流加热,电子束轰击加热和激光加热等方法,使薄膜材料蒸

分子生物学实验室常用仪器及使用方法

实验指导 目录 实验一分子生物学实验室常用仪器及使用方法实验二质粒DNA的提取-碱裂解法 实验三琼脂糖凝胶电泳 实验四限制性内切核酸酶的酶切与鉴定 实验五大肠杆菌感受态细胞的制备及转化 实验六动物组织细胞基因组 DNA提取 实验七 DNA的定量 实验八 PCR基因扩增 实验九琼脂糖凝胶电泳分离与纯化目的DNA 实验十 DNA重组 实验十一动物组织细胞总RNA的提取 实验一分子生物学实验室常用仪器及使用

事实证明,在科学飞速发展的今天,无论从事哪个领域的研究,要想突破,除了有良好的理论基础外,更重要的是依赖于先进的技术和优良的仪器设备以及良好的研究环境。一个标准的分子生物学实验室除了具有一般生物学实验室的常规仪器设备外,还具有一些特殊用途的仪器,这些仪器一般较精密,价格昂贵。下面介绍这些仪器的使用方法和注意事项。 一、冷冻离心机 低温分离技术是分子生物学研究中必不可少的手段。基因片段的分离、酶蛋白的沉淀和回收以及其它生物样品的分离制备实验中都离不开低温离心技术,因此低温冷冻离心机成为分子生物学研究中必备的重要仪器。在国内,有多个厂家生产冷冻离心机,本实验室的高速冷冻离心机为GL-20G-Ⅱ型(上海安亭),落地式。配有角式转头:6×50ml、12×10ml和12×1.5ml。极限转速20000rpm。 1. 安装与调试 离心机应放置在水平坚固的地面上,应至少距离10cm以上且具有良好的通风环境中,周围空气应呈中性,且无导电性灰尘、易燃气体和腐蚀性气体,环境温度应在0~30℃之间,相对湿度小于80%。试转前应先打开盖门,用手盘动转轴,轻巧灵活,无异常现象方可上所用的转头。转子准确到位后打开电源开关,然后用手按住门开关,再按运转键,转动后立即停止,并观察转轴的转向,若逆时针旋转即为正确,机器可投入使用。 2. 操作程序 (1)插上电源,待机指示灯亮;打开电源开关,调速与定时系统的数码管显示的闪烁数字为机器工作转速的出厂设定,温控系统的数码管显示此时离心腔的温度。 (2)设定机器的工作参数,如工作温度,运转时间,工作转速等。 (3)将预先平衡好的样品放置于转头样品架上,关闭机盖。 (4)按控制面板的运转键,离心机开始运转。在预先设定的加速时间内,其运速升至预先设定的值。 (5)在预先设定的运转时间内(不包括减速时间),离心机开始减速,其转速在预先设定的减速时间内降至零。 (6)按控制面板上的停止键,数码管显示dedT,数秒钟后即显示闪烁的转速值,这时机器已准备好下一次工作。 3. 注意事项 (1)离心机应始终处于水平位置,外接电源系统的电压要匹配,并要求有良好的接地线,机器不使用,要拔掉电源插头。

真空镀膜机安全操作规程

真空镀膜机安全操作规程 一.开机前作到: 1.检查工作环境清洁、干净。 2.检查电线无破损,接地牢固。 3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。 4.机械泵、罗茨泵油位过半。 5.检查四只阀加注满3#真空脂,真空室转轴加注满3#真 空脂。 6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。 7.准备相关工位器具,适量J-7钨丝、ABOO型99.99% 的铝丝。 8.接通水、气、电,气压0.5-0.6Mpa,水压0.3-0.4Mpa。二.操作要点: 1.通电,开启机械泵,3分钟后开启阀3,开扩散泵,预 热1-1.5小时。 2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝,转架进烘箱预热(温 度、时间符合工艺)。 3.开阀4,开启真空室,转架进真空室,卡销定位,试转 动平稳无异常振动。 4.关闭真空室,关阀4,关阀3,开阀2,开始抽气,开 启复合真空计。 5.当真空度达至-0.1Mpa时,开启罗茨泵。

6.当真空度达到1-1.5Pa(52-64格)时,关阀2,开阀3, 开阀1。 7.当真空度达到2×10-2Pa时,开启转动(转速符合工艺), 分二次进行蒸镀(电压、时间符合工艺),蒸镀结束关 复合真空计。 8.停止蒸镀0.5-1分钟后关转动,关阀1,关罗茨泵。 9.开阀4,开真空室,拉出镀膜转架,取下成品,换装待 镀产品,装上铝丝,进行下次工作。 10.严守开关阀、泵的顺序步骤,防止损坏设备。 11.生产中注意产品安装到位牢固。 12.注意转架电极、紧固件是否松脱,及时加固补全。 13.及时更换断裂、积球、老化的钨丝。 三.关机及保养: 1.拉出转架后,关扩散泵,冷却1-1.5小时,后关阀3, 关机械泵。 2.关整机电源,关冷却水、关高压空气。 3.每星期检查清洁镀膜转架工装。 4.每三个月检查更换机械泵油。 5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。 制定:王思忠审批: 时间:2002.09.10 时间:

真空镀膜试验

真空镀膜实验 一、 实验目的 真空镀膜技术广泛地应用在现代工业和科学技术中,光学仪器的反射镜,增透镜,激光器谐振腔的高反射膜,计算机上存储和记忆用的磁性薄膜,以及材料表面的超硬薄膜。此外在电子学、半导体等其它各尖端学科也都采用了真空技术。 本实验的目的是学习真空蒸发镀膜技术。通过本门实验,要求学生掌握如下几点:①较系统了解真空镀膜仪器的结构;②了解真空系统各组件的功能;③了解石英晶体振荡器测厚原理;④掌握真空蒸镀的基本原理;⑤了解真空镀膜仪器的基本操作。 二、预习要求 要求学生在实验之前对真空系统有一定了解,可以通过以下几本相关书籍获得相关信息。《薄膜材料制备原理、技术及应用》—— 唐伟忠著,冶金工艺出版社出版社;《薄膜物理与技术》—— 杨邦朝,王文生编著,电子科学出版社;《薄膜技术》—— 王力衡,清华大学出版社;《薄膜技术》—— 顾培夫,浙江大学出版社;《真空技术物理基础》—— 张树林,东北工学院出版社;《真空技术》—— 戴荣道,电子工业出版社。 三、实验所需仪器设备 实验过程需要的主要设备为DMDE 450型光学多层镀膜机。 真空镀膜机:本实验使用DMDE-450光学多层镀膜机,其装置结构如图3所示。它主要由真空系统、蒸发设备及膜厚监控系统组成。真空系统由各种真空器件组成,主要包括:真空室;真空泵(机械泵、和分子泵);真空导管;各种真空阀门和测量真空度的真空计等。高真空阀门为碟式,机械泵与分子泵的连通阀门为三同式,将阀门拉出时,机械泵可以直接对镀膜室抽气,推入时机械泵与分子泵连通,同时也切断了机械泵与镀膜室的连接。 蒸发系统由真空钟罩,蒸发电极(共有二对), 活动挡板,蒸发源,底盘等组成。蒸发源安装在电 图3镀膜机装置图 1电离管 2高真空碟阀 3分子泵 4机械泵 5低真空磁力阀 6储气桶 7低真空三同阀 8磁力充气阀 9热偶规 10钟罩 11针型阀

微生物实验操作步骤

微生物试验操作步骤 1.前期准备工作(红色字体需要购买) 10ml离心管(80管)、培养皿(预实验36板,正式试验648板,共计684板)、EP管(预实验36管,正式试验108管,144管)、枪头(5ml、1ml、200ul)、生理盐水现配现用(0.85)2.,灭菌处理 将离心管、枪头、生理盐水、培养基放入高压灭菌锅中灭菌处理后待用。 3.制备不同梯度的样品溶液 预实验 a.梯度稀释试验前一天晚上取置于-80℃盲肠食糜样品于4℃冰箱融化,将需要用到的离心管和EP管分别编号待用。试验期间取盲肠食糜0.5~1g于灭菌后的10ml离心管中,按1:10比例加入生理盐水,制成10-1浓度的样品溶液。然后取0.5ml10-1浓度的样品溶液于下一离心管,按1:10比例加入生理盐水,制成10-2浓度的样品溶液。然后然后取0.1ml10-2浓度的样品溶液于EP管中,按1:1010-3比例加入生理盐水,制成10-3浓度的样品溶液。然后依次如上分别配制10-4、10-5、10-6、10-7、10-8样品溶液。每一次取样前离心管和EP管都要在微型振荡器上震荡混匀。 b.接种和培养:按照平板涂布法进行。分别取各稀释管溶液100μl接种到选择性培养基,大肠杆菌选择性培养基置普通培养箱,37℃培养24h。乳酸菌选择性培养基置5%CO2培养箱,37℃培养48h。双歧杆菌选择性培养基置厌氧发酵罐内,37℃培养48h。沙门氏菌选择性培养基置普通培养箱,37℃培养24h。 c. 微生物计数与鉴定:采用常规微生物平板菌落计数法,选择长有30-300个菌落的平板较为合适,用每克肠道内容物中细菌个数的对数表示( 1gCFU /g) 正式试验 按照预实验操作步骤及适宜梯度进行试验。 4.培养基 总需氧菌营养琼脂(NA)34567 乳酸菌MRS琼脂碱性厌氧234567 双歧杆菌BL琼脂厌氧234567产气袋 大肠杆菌麦康凯需氧234567 沙门氏菌XLD 需氧2345

真空镀膜实验报告

近代物理实验报告 真空镀膜实验 学院 班级 姓名 学号 时间 2014年4月20日

真空镀膜实验实验报告 【摘要】: 真空镀膜也叫物理气相沉积(PVD:physics vaporous deposit),它是利用某种物理过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。本实验中用到的是蒸发镀膜法来进行真空镀膜,从而了解真空镀膜的原理和操作。 【关键词】:真空镀膜、蒸发镀膜法 【引言】:真空镀膜也叫物理气相沉积(PVD:physics vaporous deposit),它是利用某种物理过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。在薄膜沉积技术发展的最初阶段,由于蒸发法相对溅射法具有一些明显的优点,包括较高的沉积速度,相对较高的真空度以及由此导致的较高的薄膜质量等,因此蒸发法受到了相对较大程度的重视。但另一方面,溅射法也具有自己的一些优势,包括在沉积多元合金薄膜时化学成分容易控制,沉积层对衬底的附着力较好等。同时,现代技术对于合金薄膜材料的需求也促进了各种高速溅射方法以及高钝靶材,高钝气体制备技术的发展,这些都使得溅射法制备的薄膜质量得到了很大的改善。如今,由于气相中各组分能够充分的均匀混合,制备的材料组分均匀,易于掺杂,制备温度低,适合大尺寸薄膜的制备,并且能够在形状不规则的衬底上生长薄膜等优点,不仅上述两种物理气相沉积方法已经大量应用于各个技术领域之中,而且为了充分利用这两种方法各自的优点,还开发出了许多介于上述两种方法之间的新的薄膜沉积技术。 【正文】 一、实验原理 真空镀膜是在真空室中进行的(一般气压低于1.3×10-2Pa),当需要蒸发的材料(金属或电介质)加热到一定温度时,材料中分子或原子的热振动能量可增大到足以克服表面的束缚能,于是大量分子或原子从液态或直接从固态(如SiO2、ZnS)汽化。当蒸汽粒子遇到温度较低的工件表面时,就会在被镀工件表面沉积一层薄膜。

生物实验操作步骤

生物实验操作步骤 一、安装显微镜和对光: A 、操作步骤: 1.一手握住镜臂,一手托住镜座,把显微镜轻轻地放在实验台上,镜臂靠近身体略偏左,镜座距实验台边缘约5厘米。安装好目镜和物镜。 2.转动转换器,使低倍物镜对准通光孔。转动遮光器,使最大的光圈对准通光孔。 3、左眼注视目镜内,同时双手转动反光镜(光强用使用平面镜、光弱使用凹面镜),使光线反射到镜筒里,直到整个视野呈雪白色为止。 4.整理复位:把显微镜的外表擦拭干净。取下镜头放入镜盒内,并将镜筒缓缓下降到最低处。最后把显微镜放进镜箱里,放回原处。 B 、去年考卷: C 、评分标准: (1)安装好物镜和目镜(1分) (2)能将显微镜对好光观察(2分) 记录:雪白色或亮白色(1分) (3)整理器材(1分) 二、制作并观察洋葱鳞片叶临时玻片标本: A 、操作步骤: 1、用干净的纱布把载玻片和盖玻片擦干净。 2、用滴管在载玻片中央滴一滴清水。 3、用刀片在洋葱内表面划一个“井”字,用镊子撕下表皮,然后把它放在载玻片中央的水滴中,用解剖针轻轻地将其展平; 4、用镊子夹起盖玻片,使其一边接触载玻片上面的液滴,然后缓缓地盖在液滴上,盖片时要防止装片上出现气泡; 5、在载玻片的一侧滴一滴碘液,在另一侧用吸水纸吸引,重复几次,使染液浸润到整个标本; 6、安装显微镜和对光; 7、将制作的装片安放在显微镜的载物台上,然后将镜筒缓缓下降直到物镜接近玻片; 8、用左眼注视目镜,调节粗准焦螺旋使镜筒缓缓上升,直到在视野中看到细胞图像,然后旋转细准焦螺旋,使物像更清晰; 9、移动装片,在视野中找到一个完整的细胞进行仔细观察; 10、整理复位:取下玻片标本,平移方式(防止折断盖玻片)取下盖玻片并连同载玻片一起放回原处。取下镜头放入镜盒内,将镜筒下降到最低处,然后把显微镜放进镜箱里。把其他废弃物放入垃圾桶并把实验桌抹干净。 B 、去年考卷: C 、评分标准: (1)用纱布将载玻片、盖玻片擦拭干净(1分) (2)在载玻片中央滴一滴清水(1分) (3)用刀片切取一块洋葱鳞片叶,用镊子撕取鳞片叶的内表皮置于载玻片上清水中并用解剖针将表皮展平,盖上盖玻片(1分) (4)将一滴碘液滴在盖玻片的一侧,用吸水纸从对侧引流使碘液扩散到整个标本(1分) (5)将制作好的临时装片放在显微镜下观察(1分) 记录:气泡(1分) 细胞核(1分) 细准焦螺旋(1分) 左上方(1分) (6)整理器材(1分) 三、制作并观察口腔上皮细胞临时玻片标本: A 、操作步骤: 1、用干净的纱布把载玻片和盖玻片擦干净; 2、用滴管在载玻片中央滴一滴生理盐水; 3、用清水漱口,清除口腔中食物碎屑,用消毒牙签粗的一端在口腔侧壁上轻轻刮几下; 4、将牙签上附着的碎屑放在载玻片的生理盐水中涂抹几下; 用镊子夹起盖玻片让一侧先接触生理盐水在轻轻放平,避免出现 。 你观察到的细胞内染色最深的结构是 如果想让物像更清晰,应转动 。如果物像在视野的左上方,应将玻片标本向 移动,才能使物像移到视野中间。

实验十二真空镀膜

实验十二 真空镀膜 引言 在真空中使固体表面(基片)上沉积一层金属、半导体或介质薄膜的工艺通常称为真空镀膜。早在19世纪,英国的Grove 和德国的Pl ücker 相继在气体放电实验的辉光放电壁上观察到了溅射的金属薄膜,这就是真空镀膜的萌芽。后于1877年将金属溅射用于镜子的生产;1930年左右将它用于Edison 唱机录音蜡主盘上的导电金属。以后的30年,高真空蒸发镀膜又得到了飞速发展,这时已能在实验室中制造单层反射膜、单层减反膜和单层分光膜,并且在1939年由德国的Schott 等人镀制出金属的FabryPerot 干涉滤波片,1952年又做出了高峰值、窄宽度的全介质干涉滤波片。真空镀膜技术历经一个多世纪的发展,目前已广泛用于电子、光学、磁学、半导体、无线电及材料科学等领域,成为一种不可缺少的新技术、新手段、新方法。 实验目的 1.了解真空镀膜机的结构和使用方法。 2.掌握真空镀膜的工艺原理及在基片上蒸镀光学金属、介质薄膜的工艺过程。 3.了解金属、介质薄膜的光学特性及用光度法测量膜层折射率和膜厚的原理。 实验原理 从镀膜系统的结构和工作机理上来说,真空镀膜技术大体上可分为“真空热蒸镀”、“真空离子镀”及“真空阴极溅射”三类。 真空热蒸镀是一种发展较早、应用广泛的镀膜方法。加热方式主要有电阻加热、电子束加热、高频感应加热和激光加热等。 1.真空热蒸镀的沉积条件 (1)真空度 由气体分子运动论知,处在无规则热运动中的气体分子要相互发生碰撞,任意两次连续碰撞间一个分子自由运动的平均路程称为平均自由程,用λ表示,它的大小反映了分子间碰撞的频繁程度。 P d kT 22πλ= (8.2-1) 式中:d为分子直径,T为环境温度(单位为K),P为气体压强。 在常温下,平均自由程可近似表示为: ) (1055m P -?≈λ (8.2-2) 式中:P 为气体平均压强(单位为Torr)。 表8.2-1列出了各种真空度(气体平均压强)下的平均自由程λ及其它几个典型参量。 真空镀膜的基本要求是,从蒸发源出来的蒸汽分子或原子到达被镀基片的距离要小于镀膜室内残余气体分子的平均自由程,这样才能保证:

PVD镀膜工艺

PVD镀膜工艺 PVD镀膜工艺 1.装饰件材料(底材) (1)金属。不锈钢、钢基合金、锌基合金等。 (2)玻璃、陶瓷。 (3)塑料。abs、pvc、pc、sheet、尼龙、水晶等。 (4)柔性材料。涤纶膜、pc、纸张、布、泡沫塑料、钢带等。 2.装饰膜种类 (1)金属基材装饰膜层:tin、zrn、tic、crnx、ticn、crcn、ti02、al等。 (2)玻璃、陶瓷装饰膜层:tio2、cr2o3、mgf2、zns等。 (3)塑料基材装饰膜层:ai、cu、ni、si02、ti02、ito、mgf2。 (4)柔性材料装饰膜层:al、lto、ti02、zns等。 3.部分金属基材装饰膜颜色 金属基材装饰膜的种类和色调很多。表1为部分金属基材装饰膜的种类及颜色。 表1 部分金属基材装饰膜的种类及颜色膜层种类 色调 tinx 浅黄、金黄、棕黄、黑色 tic 浅灰色、深灰色 ticxny 赤金黄色、玫瑰金色、棕色、紫色 tin+ au 金色 zrn 金黄色 zrcxny 金色、银色 tio2 紫青蓝、绿、黄、橙红色 crnx 银白色 tixal-nx 金黄色、棕色、黑色

金黄色 3.装饰膜的镀制工艺 一.金属件装饰膜镀制工艺 比较成熟的镀膜技术有电弧离子镀、磁控溅射离子镀和复合离子镀。下面分别从各类镀膜技术中选取一种具有代表性的典型镀制工艺进行介绍。 1)用电弧离子镀的方法为黄铜电镀亮铬或镍手表壳镀制ticn膜。 采用小弧源镀膜机和脉冲偏压电源; (1)工件清洗、上架、入炉 工件在入炉之前要经过超声波清洗、酸洗和漂洗三道工序。 首先是在超声波清洗槽中放入按使用要求配制的金属清洗剂,利用超声波进行脱脂、清洗。清洗之后,进行酸洗,它可以中和超声波清洗时残余的碱液,还能起到活化处理的作用。然后进行漂洗以彻底除去酸液,漂洗时必须采用去离子纯净水或蒸馏水。经过三洗后,即时进行烘干,温度一般控制在100℃左右,时间为1h左右。也可以风吹干后马上人炉。 (2)镀膜前的准备工作 ①清洁真空镀膜室。用吸尘器将真空镀膜室清洁一遍。当经过多次镀膜时,真空镀膜室的内衬板还需作定期清洗,一般是半个月清洗一次。 ②检查电弧蒸发源。工作前,要确保电弧蒸发源发源安装正确,绝缘良好,引弧针控制灵活,程合适,恰好能触及阴极表面。 ③检查工件架的绝缘情况。工件架与地之间的绝缘必须须良好,负偏压电源与工件架的接触点点必须接触良好。 以上几项工作确保没有问题后,才可以关闭真空镀膜室的门,进行抽气和镀膜。 (3)抽真空 真空抽至6.6 x 10-3pa。开始是粗抽,从大气抽至5pa左右,用油扩散泵进行细抽。在粗抽时,可以烘烤加热至150℃。伴随镀膜室温度的升高,器壁放气会使真空度降低,然后又回升,等到温度回升到6.6 x 10-3pa时方可进行镀膜工作。 (4)轰击清洗 ①氩离子轰击清洗 真空度:通人高纯度氩气(99.999%)真空度保持在2~3pa。轰击电压:800~1000v。轰击时间:10min. 此刻在真空镀膜室内发生辉光放电,放电产生的氩离子以较高的能量撞击工件表面,将工件表面吸附的气体、杂质和工件表面层原子溅射下来,露出材料的新鲜表面。

真空镀铝机安全操作规程详细版

文件编号:GD/FS-9694 (操作规程范本系列) 真空镀铝机安全操作规程 详细版 The Daily Operation Mode, It Includes All The Implementation Items, And Acts To Regulate Individual Actions, Regulate Or Limit All Their Behaviors, And Finally Simplify Management Process. 编辑:_________________ 单位:_________________ 日期:_________________

真空镀铝机安全操作规程详细版 提示语:本操作规程文件适合使用于日常的规则或运作模式中,包含所有的执行事项,并作用于规范个体行动,规范或限制其所有行为,最终实现简化管理过程,提高管理效率。,文档所展示内容即为所得,可在下载完成后直接进行编辑。 1 目的:为了减少直至消除违章操作造成的工伤安全事故,为了减少直至消除违章或不规范操作对设备造成的损害,特制定本文件,为操作镀铝机提供正确指引。 2 范围:适用于本公司钟南街厂区所有镀铝机。 3 职责: 3.1 机长和辅助:执行本文件规定项目和内容。 3.2 主管:监督当班人员按本文件规定执行,负责日常巡查和纠正违章操作。 3.3 设备管理部:负责全厂区范围内巡回检查,

发现和取证各车间违章操作行为。 4 操作具体要求: 4.1工作准备 按本设备使用说明的各项要求,检查设备的供电、供水、供气、油位等各部分状态是否正常,保证三相电压>370V,保证油水分离器处的气压> 0.55Mpa、冷却水进水压力>0.2Mpa(LDL5的水压≥0.15 Mpa),<0.3 Mpa,确保其通畅、可靠和安全。[备注:交接班时,关闭V2、V6 V1、V5后开启滑阀泵、打开气镇阀进行气镇半小时再关闭气镇阀(也可以在关闭V1、V5而且真空度≤90Pa(9×103)的情况下进行),并经常排放滑阀泵内的冷凝水,1-7月排放1次/3小时间;7-12月排放1次/5小时。 4.2 镀膜准备工作

真空镀膜机操作指导

真空镀膜实验指导 真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。本实验通过介绍蒸发镀膜原理,掌握蒸发镀膜的操作方法。真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。 1真空镀膜原理: 1.1蒸发镀膜机理 蒸发镀膜是真空镀膜的一种,它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态,沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面,形成一层或多层膜的方法。凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。 蒸发原子的成膜过程比较复杂,这里只能粗略描述如下:溅落原子首先被固体表面吸附,当表面温度低于某一临界温度时,原子开始“核化”——部分原子凝聚成团,出现若干“岛”,然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大,众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。蒸发镀膜的条件主要有两个,分别介绍如下: 1.2高真空 我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面,这样,蒸发镀膜的速度高,成膜质量也好。相反,如果真空度低,有大量的空气分子存在,一方面,蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞,阻碍了膜材分子的扩散,降低了蒸镀的速度,影响了膜的均匀性,另一方面,空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高,必然要加大加热功率;更有甚者,空气的存在可能使膜材的某些成分氧化,引起成分变性;在连接着抽气机的情况下,若不能很快完成镀膜,膜料将被抽走。因此,蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。当然,真空度也不需要绝对地高。事实上,只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。如果膜材到基底的距离为10 --20cm,根据自由程公式 (d是分子的直径,n是分子数密度) 不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。 1.3材料洁净 材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。这一要求似乎是不言而喻的。如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质,将直接影响膜的均匀性和牢固度;如果混有可融的化学成分,将影响膜的物理性质,如亮度、表面张力、电导率等等。所以,膜材和基底的清洗工作必须认真对待。 2真空技术

真空电镀及工艺流程(Vacuumplatingandprocess)

真空电镀及工艺流程(Vacuum plating and process)真空电镀及工艺流程(Vacuum plating and process) Vacuum plating and process Source: the full update training date: 2011 09 month 22 hits: 216 Vacuum evaporation is heated in a high vacuum condition of the metal, melting, evaporation, cooling after forming a metal film on plastic surface. The commonly used metal is aluminum and other low melting point metal. A method for heating metal: the heat generated by the resistance, but also the use of electron beam. In the implementation of evaporation of plastic products, in order to ensure that the metal cooling heat emitted by the resin to deformation, must adjust the evaporation time. In addition, the metal or alloy melting point, boiling point is too high is not suitable for evaporation. The plating metal and plated plastic products in the vacuum chamber, using certain methods of heating the plating material, the metal evaporation or sublimation, metal vapor encountered plastic surface cold condensed into a metal film. Under vacuum conditions can reduce the evaporation of materials in atomic and molecular collision to plastic products and other molecules, reduce the chemical reactivity of the molecules in a gas and steam source between materials (such as oxidation), thus providing the film

真空镀膜操作规程

真空镀膜操作规程 准备: 1、开启设备总电源,稳压器,确认三相供电电压正常:370— 440V; 2、开启电容补偿器; 3、确认水池冷却水水量充足(见浮标尺)打开循环水泵; 4、根据工艺要求,确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机;启动 前应确认冷水机入口水压-3kg ,内部增压泵旋转正常,可采用自动或手动方式启动; 5、确认各部分冷却水循环系统完好,确认扩散泵循环水工作正 常,紧急冷却系统准备就绪; 6、确认工艺气体气压不低于20 个大气压 7、装基膜: A 、领膜:镀膜工按生产任务单要求,从净化室中领到基膜时,应立即检 查该膜是否合格,有无花纹、斑点、划伤、污迹,收卷是否整齐等直接观测到的问题,如有应立即向生产主管报告,以决定是否采用; B、装轴:操作时必须带手套,将合格的基膜放在专用膜托架上,取一对尺 寸相同的轴安装好,安装时请注意膜的正反面,确认一切准备就绪了,即可吊装。吊装时必须轻拿轻放,严禁碰撞,必须保持基膜水平,以 免膜打滑引起螺纹状; C、装膜:确认冷辊无冷凝水后,即可装膜,装膜时不要对着膜讲话,

以保持膜面干净。注意不要碰透过率分析仪的探头,装膜时应保证 膜在冷辊的中心; D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力; E、试卷:引膜完成后,手动预卷几圈,打开张力控制器,启动冷辊、 收卷、卷膜(其中ITO膜卷1 —2m,前档膜和建筑膜卷20m )。仔细观察膜是否走正,启动是否容易,冷辊是否与膜同步,走速是否 平稳,膜是否变形、起皱、划伤等等,并及时处置,最后用记号笔 在放料端画起始标志线; 8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配置正确, 靶材量充足,确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上,关闭真空室; 抽真空 1、扩散泵预加热(约需40 分钟):启动维持泵,确认运转正常后,打开维持阀(灯亮),逐一打开扩散泵; 2、低抽:确认真空室门已关闭启动计算机,进入镀膜系统监控程序,充气阀关闭,启动机械泵( 1 、2),确认机械泵正常运行后,开预抽阀,五分钟后打开复合真空计,打开罗茨泵开关, (当真空达到1500Pa 时,罗茨泵允许信号灯(红灯)亮,再延 迟25 秒后,罗茨泵自动启动);

真空蒸发镀膜原理

A、真空电镀原理: 一般而言,镀膜在真空镀膜机内以真空度1~5 x 10 —4Torr程度进行(1Torr=1公厘水银柱高得压力,大气压为760Torr)。其镀膜膜厚约为0.1 ~0、2微米、颜如果镀膜在特定厚度以下时(即太薄),面油对底油将会产生侵蚀、引起化学变化(如表面雾化等)。如镀膜过厚时,会产生白化得状态。颜填料,助剂,树脂,乳液,分散Dr<!——[if !supportFoot<!--[en dif]——>l〈!--[if !supportFootnotes]-->[1]<!--[endif]—-〉v#W?n8D<!-—[if !supportFootnotes]——〉[1]