真空镀膜操作规程精选
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TTMS system office room 【TTMS16H-TTMS2A-TTMS8Q8-
真空镀膜操作规程
一、准备：
1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正
常：370—440V；
2、开启电容补偿器；
3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水
泵；
4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动
几台冷水机；启动前应确认冷水机入口水压-3kg，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动；
5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环
水工作正常，紧急冷却系统准备就绪；
6、确认工艺气体气压不低于20个大气压
7、装基膜：
A、领膜：镀膜工按生产任务单要求，从净化室中领到
基膜时，应立即检查该膜是否合格，有无花纹、斑
点、划伤、污迹，收卷是否整齐等直接观测到的问
题，如有应立即向生产主管报告，以决定是否采用；
B、装轴：操作时必须带手套，将合格的基膜放在专用
膜托架上，取一对尺寸相同的轴安装好，安装时请注
意膜的正反面，确认一切准备就绪了，即可吊装。吊
装时必须轻拿轻放，严禁碰撞，必须保持基膜水平，
以免膜打滑引起螺纹状；
C、装膜：确认冷辊无冷凝水后，即可装膜，装膜时不
要对着膜讲话，以保持膜面干净。注意不要碰透过率
分析仪的探头，装膜时应保证膜在冷辊的中心；
D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力；
E、试卷：引膜完成后，手动预卷几圈，打开张力控制
器，启动冷辊、收卷、卷膜（其中ITO膜卷1—2m，
前档膜和建筑膜卷20m）。仔细观察膜是否走正，启
动是否容易，冷辊是否与膜同步，走速是否平稳，膜
是否变形、起皱、划伤等等，并及时处置，最后用记
号笔在放料端画起始标志线；
8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配
置正确，靶材量充足，确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上，关闭真空室；
二、抽真空
1、扩散泵预加热（约需40分钟）：启动维持泵，确认运转
正
常后，打开维持阀（灯亮），逐一打开扩散泵；
2、低抽：确认真空室门已关闭启动计算机，进入镀膜系统监
控程序，充气阀关闭，启动机械泵（1、2），确认机械泵正常运行后，开预抽阀，五分钟后打开复合真空计，打开罗茨泵开关，。（当真空达到1500Pa时，罗茨泵允许信
号灯（红灯）亮，再延迟25秒后，罗茨泵自动启动）；
3、高抽：当罗茨泵启动五分钟后，打开热偶真空计，当真空
度达到5Pa时，开高阀允许信号灯（红灯）亮，此时确认扩散泵预热已完成（加热40分钟或油窗油面达到规定位
置情况下），关闭预抽阀，依次打开各前级阀，关维持
阀、关维持泵。依次打开各路高阀，确认到位开关灯亮，开始高抽。真空度进入10-2Pa后，打开电离真空计测量高真空，直到工艺规定的背景真空，真空进入6×10-3Pa
后，打开靶电源总开关及透过率分析仪预热，与计算机系统完成通讯连接；
三、镀膜：
1、确认已达背景真空，关闭电离真空计，打开冷辊、
隔离槽、靶电源、冷却水，确认工作正常；
2、打开所需各路供气电磁阀，抽取残留杂质气体，确
认
到达背景真空，按工艺要求设置各路气体流量，打开
总气阀、减压阀、气体控制器开关，用中真空计观察
工艺气体总压，稳定后进行透过率分析仪初始化整定
（此时需关闭真空室照明灯）；
3、镀膜：
启动传动系统，确认收放卷工作正常，按靶1—靶5依次
设置各靶镀膜功率，关照明灯，观察记录透过率变化情
况，开照明灯，观察镀膜后剩余反射光、外观、颜色、质量是否符合工艺要求，在稳定工作的情况下，做好工艺记录，不断巡查设备运转状况，合理处置各种随机问题，镀膜结束时，依次关闭传动、靶电源，工艺气体、冷却水、（扩散泵水除外），依次关闭各路高阀，启动维持泵，开维持阀，依次关各路前级阀、罗茨泵、机械泵、各真空测量仪，对冷辊升温，如不继续镀膜，关闭扩散泵，保持冷却水，降温3小时后，关维持阀和维持泵；
四、恢复大气压力：
确认冷辊高于露点温度后，打开充气阀，充气完成后，打开真空室门；
五、质量检验：在收卷一侧压紧辊处用记号笔标记镀膜终止位
置横线，对镀膜质量进行必要的观测检验记录；
六、卸膜：
将镀膜剩余引膜收卷完毕，用吊车小心将成品膜吊装到专用托架上，送交净化室；
七、分卷、分切、入库保存；
八、包装、出库、运输；
九、特别提示：
当系统发生故障或供电系统问题引起突然停电时，应立即启动扩散泵紧急冷却系统，方法是：关闭扩散泵主循环阀，打开自来水总开关，对炉盘强制冷却，冷却后应在下一次使用前用气管将急冷水吹干。