激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用
潘开林;陈子辰;傅建中
【摘要】文章综述了当前MEMS各类微制造技术,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等,以及它们在MEMS微制造中的应用.
【期刊名称】《制造技术与机床》
【年(卷),期】2002(000)003
【总页数】3页(P5-7)
【关键词】激光微细加工微机电系统激光LIGA 微细立体光刻微制造
【作者】潘开林;陈子辰;傅建中
【作者单位】浙江大学生产工程研究所桂林电子工业学院,310027;桂林电子工业学院;浙江大学生产工程研究所
【正文语种】中文
【中图分类】工业技术
S p e d a I R ep o r ts 综述激光微细加工技术及其在 M E M S 微制造中的应用L a s e r M ic ro m a c hining a n d I ts A p pl ic at io n in th e M ic r ofa br ic atio n of M E M S潘开林①② 陈子辰② 傅建中①（①浙江大学生产工程研究所②桂林电子工业学院）摘要：文章综述了当前 M E M S 各类微制造技术，阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点，主要包括准分子激光微细加工技术、激光 L I G A 技术、激光微细立体光刻技术