罗茨真空泵技术规范书-标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII
皖能合肥发电有限公司 #5机组凝汽真空系统高效节能改造 技术规范书 编写 审核 批准 皖能合肥发电有限公司 2015年9月
目录 一、总则 (3) 二、改造范围及供货周期 (4) 三、技术要求与性能保证 (5) 四、供货界限及接口规则 (13) 五、供货清单及设备规范 (14) 六、清洁，油漆，包装，装卸，运输与储存 (15) 七、性能验收试验 (15) 八、技术服务 (16) 九、质量保证 (17) 十、设备交货进度 (18) 十一、施工组织管理 (18) 技术规范书 一、总则 1、本规范书适用于皖能合肥发电有限公司#5机组真空系统优化工程。它提出了提出了对采购罗茨真空泵及配套设备的功能设计、结构、性能、安装和试验等方面的技术要求。
2、本规范书提出的是最低限度的技术要求，并未对一切技术要求作出详细规定，也未充分引述有关标准及规范的条文。投标方应保证提供符合本规范书和相关的国际、国内工业标准的优质产品。 3、如投标方没有对本规范书提出书面异议，招标方则可认为投标方提供的产品完全满足本规范书的要求。 4、如招标方有除本规范书以外的其他要求，应以书面形式提出，经招、投标双方讨论、确认后，载于本规范书。 5、本规范书所引用的标准若与投标方所执行的标准发生矛盾时，按较严格的标准执行。 6、本规范书经招、投标双方共同确认和签字后作为订货合同的技术附件，与订货合同正文具有同等效力。 7、在合同签定后，招标方有权因规范、标准、规程发生变化而提出一些补充要求。 二、改造范围及供货周期 1 、皖能合肥发电有限公司#5机组为东方汽轮机有限公司制造的超临界、一次中间再热、单轴、三缸四排汽、双背压、凝汽式汽轮机，额定功率为1× 630MW，#5机配置三台真空泵，型号：2BW4 353-OEK4，生产厂家为广东佛山水泵厂，正常运行电流198A ，为保证机组抽真空系统设备的安全、可靠、节能运行，通过调研拟在#5机组增加二套维持真空泵。 2 、本次真空系统优化拟增加真空泵不改变原抽真空系统的设备及功能，在抽真空母管上并接一套高效真空泵组，蒸汽和不凝结气体进入罗茨泵，加压后经冷却器冷凝进入下级水环泵，由于提高了水环泵的入口压力，可保证水环泵高效稳 定运行。系统采用DCS控制，可实现远程和就地操作。在机组启动建立真空期间，使用原抽真空设备快速启动真空，在正常运行期间，使用罗茨-水环高效真空机组维持真空。 1）水环泵工作水来自除盐水，经自动补水阀进入分离罐，分离罐起汽水分离的作用；
2X-8A型旋片式真空泵特点及技术参数 该泵可直接从大气起动抽气，它可单独使用，也可作为增压泵、罗茨泵、气体循环冷却罗茨泵、油扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵。可供真空镀膜、真空热处理、真空冶炼、电子管、灯泡、化工、包装、吸塑成形、光伏、工矿企业的蒸馏、干燥、冷冻、过滤、理化等真空作业中。 一、2X-8A型旋片式真空泵特点 1、工作要求：进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。 2、工作要求：进口压强在小于1330Pa的条件下，允许长时期连续工作。 3、环境温度：真空泵一般在5℃-40℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。 4、气体类型：常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分。 5、设有气镇阀，可抽除少量水蒸汽，延长泵油使用时间（除2X-4A 外）； 6、霓虹灯制造专用真空泵，单晶炉、多晶炉、层压机配套等真空作业。 7、可单独作中真空泵用，也可与其它高真空泵组合作前级泵用。 8、一泵多抽头作业，提高效率，可节约能源。 二、2X-8A型旋片式真空泵技术参数 参数 2X-8A 型号 抽速L/S 8 极限压力Pa 分压力≤6×10-2 全压力≤1 转速r/min 320 工作电压V 380 电机功率Kw 1.1 进气口口径（mm）40
实物图 怎样选择水泵？ 建议从五个方面加以考虑，既液体输送量、扬程、液体性质、管路布置以及操作运转条件等。 1、流量是选泵的重要性能数据之一，它直接关系到整个装置的的生产能力和输送能力。如设计工艺能算出泵正常、最小、最大三种流量。选择泵时，以最大流量为依据，兼顾正常流量，适用电磁压差阀 DYC-Q40 用油量 L 1.5 外形尺寸mm 790×430×540 冷却水量 L/mm -- 毛重/净重Kg 158/148
目录 一、概述 (5) 二、结构原理 (6) 三、性能参数 (12) 四、安装尺寸表 (15) 五、拆箱安装 (16) 六、使用说明 (18) 七、维护保养 (19) 八、故障排除 (20) 九、维修 (22)
一、2X型旋片式真空泵的产品用途及使用范围： １、2X型旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体，使该容器获得一定真空的基本设备，由于现代科学技术的高度发展，真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。 ２、由于旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是联系在一起的，所以旋片式真空泵不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定地的可凝汽体。， 3、旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业，以及配合其它真空作业之用。 4、旋片式真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。二、2X型旋片式真空泵的结构及原理： 5、图1是旋片式真空泵泵原理图，转子3及7与高真空室外1及低真空室6相切，转子3及7沿箭头方向旋转，带动转子槽内滑动的转片旋转,由于弹簧9及离心力的作用, 转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的月洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性的大小变化,当在图示旋片式真空泵位置继续旋转时A及C容积逐渐增大,被抽容积气体没进气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减少,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹 住排气门的,故能防止气体返回真空室。当抽气压强较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵,当真空度较高时,全部气体进入真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。 如被抽除的气体中含有较高的蒸汽气体时，在气体受到压缩而其蒸汽的分压强超过此蒸汽在泵内温度
德国普旭RA0302D真空泵维修保养流程讲解 (2) 第一章普旭真真空泵概述 (2) 一、普旭真空泵简介 (3) 二、真空泵构造 (3) 第二章德国普旭R5/RA真空泵系统简介 (4) 一、德国普旭R5/RA真空泵系统流程 (4) 二．德国普旭R5/RA真空泵润滑油流程 (6) 第三章普旭真空泵的安装 (7) 一、德国普旭R5/RA真空泵安装 (7) 二、配管、基础 (9) 三、电器一般安全规范 (10) 第四章德国普旭R5/RA真空泵操作 (11) 一、开机前的检查 (11) 二、试机、开机与停机 (11) 三、运转中注意事项 (12)
四、长期停机的处理方法 (13) 第五章德国普旭R5/RA真空泵维护与保养 (14) 一、润滑油的规范及使用 (14) 二、排气过滤器的更换步骤 (17) 三、油过滤器的更换步骤 (17) 四、进气过滤器的更换步骤 (18) 五、日常保养 (18) 六、一般故障排除表 (21) 德国普旭RA0302D真空泵维修保养流程讲解 第一章普旭真真空泵概述 由东莞比其尔真空机电设备有限公司提供普旭真空泵RA0302D维修普旭RA0160D真空泵维修普旭RA0250D真空泵维修等进口品普旭真空泵配件及耗材，普旭真空泵油VM100 普旭真空泵滤芯，普旭真空泵油雾过滤器,普旭真空泵空气总成,普旭真空泵排气阀,普旭真空泵逆止阀等配件!
一、普旭真空泵简介 德国普旭R5/RA型系列真空泵是单级旋片油封式真空泵，适用于低、中真空领域，主要用于抽除空气和其它干燥气体。它是低、中真空的主要设备之一，它可单独使用，也可成为其它真空泵的前级泵。真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。 德国普旭R5/RA型系列真空泵是引进国外先进技术，易损件选用进口元件或进口材料。 真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。 二、真空泵构造 普旭RA系列真空泵按照旋片式原理运行。泵体中安装一个偏心转子。利用离心力推动叶片在转子的槽中向泵腔内壁滑动。叶片将转子和泵腔内壁之间分隔成几个小腔体。当腔体跟进气口通道相连时，气体被吸入，在下一次转动中被压缩并且推入油分离器。压差使油不断的被压进压缩腔体。油和介质再被释放进入油分离器，在那里由于重力作用经除雾器和排气过滤器，与排出的气体分离。分离出的油在油分离器底部再次被推入压力腔体（油循环）。无油气体经过排气盖板被释放到大气中。
JIANG YIN TIANTIAN V ACUUM EQUIPMENT.CO.,LTD. ZJ型 ZJP 型罗茨真空泵 安装 使用 维护 手册 中华人民共和国 江阴天田真空设备制造有限公司 地址：中国江阴云亭工业区B区松文头路19号邮编：214422 电话: 86-0510-******* 销售直线：86-0510-******* 传真: 86-0510-*******
目录 A.安全警告-------------------------------------------------------------------------3 B.概述----------------------------------------------------------------------------4 C.主要技术参数------------------------------------------------------------------ 6 D.安装说明-------------------------------------------------------------------------7 E.使用说明-------------------------------------------------------------------------8 F.维护检查及产品维修--------------------------------------------------------- 9 G.故障原因与消除方法----------------------------------------------------------17 H.易损件表-------------------------------------------------------------------------15 -------------------------------------------------------- 16
旋片式真空泵结构原理与工作原理 旋片式真空泵是机械容积泵，是利用转子旋转，叶片在转子槽中随离心力和定子内表面形状出进产生容积变化，使油液获得压力能的一种液泵。该泵不仅容易获得2.5～7.0 MPa的压力，而且各密封容腔在旋转的每一瞬间所排出的油液是基本相同的，所以供油脉冲较小，排量和压力较均匀。旋片式真空泵的结构有许多种，最常的是中低压定量单级双作用泵，旋片式真空泵型即属此种。和单作旋片式真空泵相比，双作泵的转子，工作时能使所受的液体径向压力得到平衡。不仅轴承的载荷减到最小，延长了使寿命;而且工作较稳定。叶片是靠旋转离心力甩出的，因此，为使叶片(b)定子很好的接触，一般要求最低转速不得低于600 r/min,否则，便会内漏多、效率低;由此也产生一个启动扭矩低的优点。旋片式真空泵结构比齿轮泵稍复杂，成本稍高，价位比柱塞泵便宜。 因此，目前在中低压供油系统和液压系统中，旋片式真空泵得到了十分广泛的应用。除广泛应用于喷油泵试验台燃油供给系统外;还广泛应用于组合机床、液压磨床、液压车床、液压刨床和注塑机等液压系统。 1、主要技术参数与性能指标(见表1) 2、结构特点与工作原理 2.1结构特点(如图1) 该泵由法兰、泵轴5,泵体1.配油盘6、转子4、叶片3、定子2、压力侧板、泵盖以及滚动轴承、骨架油封、O形橡胶密封圈(以下简称O形圈)、螺栓(共3种9个全是圆柱头内六角螺栓，均简称螺栓)和
挡圈等组成。 泵轴由装在泵体和泵盖座孔中的轴承支承，转子(b)轴用花键联接，转子上开有倾角为10°～14°(有的无倾角)的径向均布狭槽，槽内装有可沿槽径向滑动的叶片，叶片外套装着转子同心的定子(也称腰形套或内凸轮)，转子前有配油盘，后有压力侧板，最后由泵盖封闭。 配油盘上对称的开有:2个进油口相通的吸油窗和2个出油口相通的压油窗;压力侧板(兼配油盘)上只对称的开有2个配油盘吸油窗相对、也进油口相通的吸油窗。 通过键动力源联接的泵轴带着转子旋转时，叶片受到离心力的作用，其端部便顶在定子即内凸轮表面上(油压建立后，叶片底部还受到油液压力的作用，这样会使其端部X加紧贴内凸轮表面)，叶片在离心力和内凸轮推力的共同作用下，便在槽中刹复运动。 其他零件无有运动。配油盘(b)泵体装成一体，前边有法兰封闭;定子和压力侧板用两只螺栓固定在配油盘上;侧板上固定螺栓圆柱头(兼定位销)(b)泵盖上定位孔对正并进入定位孔后，用 4只螺栓7固定在泵体上。 2.2 工作原理(如图2) (1)吸油压油。定子内表面、转子外表面和两侧配油盘压力侧板端面之间形成一个密封容积。在图2A中，叶片1,4,4,7，和7,10,10,1等把这个容积分为abcd,cdef和efgh,ghab 4部分。当转子按图示箭头方向旋转时，叶片1,4和7,10各组成一个吸油腔;4,7和10,1各组成一个压油腔(在1～4和4～7间的叶片2,3和5,6都不能互成独立的工作腔)。从图2B中。可以看出，转子旋转某一角度后，cdd o c o(ghh o g o)大于abb o a o(eff o e o)，表明叶片从小半径圆弧面过渡到大半径圆弧面，叶片从槽内甩出，吸油腔容积不断增大，形成局部真空，油箱内的油液在大气压力作用下，经泵盖进油口(大)、配油盘和压力侧板吸油窗，吸入吸油腔;这便是泵的进油过程。eff o e o(abb o a o)小于cdd o c o(ghh o g o)，表明叶片从大半径圆弧面过渡到小半径圆弧面，叶片被内凸轮推进槽内，压油腔容积不断减小，压迫油液，使其获得压力能，经配油盘压油窗，泵体出油口(小)，将压油腔的油液排出;这便是泵的排油过程。 (2)双作用力平衡。因为泵轴每旋转一转，叶片在转子槽中刹返运动2次，每个由叶片构成的容积完成2次吸油和排油过程。所以，这种泵称双作用泵。又因为这种泵的吸油(低压)和压油(高压)区是分别对称分布的;所以这种泵转子受到的液体径向压力是平衡的。因此，双作用泵输出压力比单作用泵要高。目前一般可达到7.0～10.5 MPa。 (3)内漏困油(如图3)
1.上海阳光泵业制造有限公司 上海阳光泵业是集设计/生产/销售泵、给水设备及泵用控制设备于一体的大型综合性泵业集团，是中国泵行业的龙头企业。总资产达38亿元，在上海、浙江、河北、辽宁、安徽等省 市拥有7家企业，5个工业园区，占地面积67万平方米，建筑面积35万平方米。上海阳光获 得了“上海市质量金奖”、“上海市科技百强企业”、“上海市名牌产品”、“中国质量信用AAA级”、“全国合同信用等级AAA级”、“质量、信誉、服务三优企业”、“中国最具竞争 力的商品商标”、“五星级服务认证”等荣誉，连续多年入选全国机械500强。高端人才和 高素质的员工队伍是阳光发展的动力。集团现有员工4500余人，其中工程技术人员500多名，主要由国内知名水泵专家教授、博士硕士、中高级工程师、高级工艺师组成，形成了具有创新思维的梯队型人才结构。科技创新，是阳光基业长青的生命之源。集团是上海市高新技术企业、上海市知识产权示范企业和上海市专利示范企业。上海市级的“企业技术中心”，每年以销售总额的5%，用于技术创新和新产品研发。 2.天津双河泵业有限公司 天津双河泵业是一家集研发、设计、制造、销售、服务于一体的现代化泵业公司。位于天津市津南区，交通便利，人才聚集。企业以开放创新的发展理念，引进国内外的研发设计系统，生产装备，管理理念。产品广泛用于工矿企业、城镇供水、海水提升、污水处理、地热供暖、水利建设、农田灌溉等诸多领域。 主导产品有：潜水泵系列;QJ深井泵;QJR温泉泵;QJH耐腐蚀潜水泵;QJW卧式潜水等系列 产品。 3.上海康大泵业制造有限公司 上海康大泵业制造有限公司创建于七十年代末期，是国内著名的专业化研发、生产各种水泵、给排水成套设备的企业。公司集设计、生产、销售、服务于一体，多年来，上海康大本着“用户满意是工作的最高标准”的经营理念，以执着的专业精神致力于电力、冶金、石化、市政、环保、建筑等行业的专业泵类的供水设备的设计与研发。 位于上海青浦工业园区的康大第一、第二生产基地，占地面积50000㎡，年生产能力达9 万台(套)，总资产累计2亿元。上海康大拥有一支高素质的科研、管理和生产队伍，现在有员工800余人。
干式真空 --个人整理、总结
目录 干式真空泵及现状 1.往复式干泵 (3) 2.爪式干泵 (4) 3.多级罗茨泵 (5) 4.干式螺杆真空泵 (5) 5.涡旋干泵 (7) 6.涡轮式干泵 (8) 7.分子泵 (9)
干式真空泵是清洁真空获得设备的代表，在各类真空泵的市场份额中占23%，年增长率超过15%。干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。 1.往复式干泵 往复式干泵是往复式真空泵（又称活塞式真空 泵）的一种，依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸 入和排出气体。 往复式干泵的主要特点是①结构简单，易于操 作，价格便宜；②工作过程中不产生粉尘；③耐粉 尘，排水蒸气压力强；④流量跨度较大。但这种泵 又具有往复式真空泵易损件多，寿命短，可靠性 差，效率低等特点。往复式干泵最常见的就是活塞 干泵（Dry Piston Vacuum Pump）和无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）可抽除He，H2，Ar和N2等气体，可作为涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵使用。 活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）的典型代表为莱宝（EcoDry系列）和普发（Pfeiffer XtraDry系列）。EcoDry系列泵，流量在11m3/hr至48m3/hr之间，极限真空度为5.5Pa。XtraDry系列泵，两级活塞泵流量为13m3/hr，极限真空度为103Pa(10mbar)，四级活塞泵流量为7.5m3/hr,极限真空度为10Pa。主要作为气体分析泵及高真空泵的前级泵使用。 无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）主要有普发(Pfeiffer)的MVP系列，凯孚(KNF)的Laboport系列以及莱宝(Leybold)的DiVac系列。此类泵主要应用在实验室及作为分子泵的前级泵使用。实验室应用主要有旋转蒸发器(rotary evaporators)、真空干燥箱(drying chambers)、真空过滤设备(filtration units)、真空蒸馏设备(vacuum distillation configurations)、凝胶干燥(gel drying)、真空升华(sublimation)、疏散真空干燥(evacuating desiccators)、分析仪器(analysis preparation)、流体灭菌(stream sterilization)、小样本真空冷冻干燥(small sample freeze drying)及其他医疗应用。作前级泵主要有质谱分析仪(Mass Spectrum Analysis)、ICP_MS测试仪、清罐仪及电子加速器等。
2XZ型旋片式真空泵 使用说明书 安全警告： ●该设备应用于含有大电流设备的工业系统中，取决于工作条件，特别是在应用有害介质时，不当的操作将会导致严重的人身伤害或财产损失。 ●只允许资格人员操作该设备！ ●操作人员在操作该设备时，必须能够随时得到随机提供的使用说明书 和其它相关产品资料，而且必须遵守这些规定。 ●非资格人员禁止操作或接近该设备！ ●若在煤矿使用，须配用相应等级的防爆电动机，防爆电动机应有有效 的安全标志证书；若使用三角带传动，应使用防静电和阻燃的三角带。 ●若在煤矿使用，须严格按照煤矿安全规程的要求安装监控、安全设备。
旋片式真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备。它可单独使用，也可用为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵用。可用于电真空容器制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备维修及仪器仪表设备配套和实验室等。广泛适用于食品、科研、医疗、电子、化工、医药、大专院校等部门。 一、操作须知 1、查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起封油作用，影响真空度。过高，啃了个会引起通大气启动时喷油。运转时，油位有所升高，属于正常现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油，从注油孔加入。加油完毕后，应旋上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。 2、泵可在通大气或任何真空度下一次起动，泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。 3、环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。 4、检查泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽效验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可能很大，只能作参考。 5、如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运动20~40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。 二、结构说明 2xz型旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片真空泵(以下简称泵)。它有偏心地装在泵身腔内的转子，及转子槽内的两旋片。转子带动旋片旋转时，旋片借离心力和旋片弹簧的弹力紧贴腔容积周期性地扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体，借压缩气体压力和油推开排气阀排气，从而获得真空。 2xz型泵装有气镇阀。其作用是向排气腔充入一定量空气，以降低排气压力中的蒸汽分压强，当其低于泵温下的饱和蒸汽压时，即可随充入空气排出泵外，而避免凝结在泵油中。具有延长泵油使用时间和防止泵油混水时间。但气镇阀打开时，极限真空将有所下降，温升也有所提高。 2xz型泵具有体积小，重量轻，噪音低，起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施和防止油封漏油污染场地的措施。 三、用途和使用范围 1.泵是用来对密封容器抽除气体而获得真空的基本设备。它可单独使用，亦可作为各类真空系统的前级泵和预抽泵。广泛应用于医疗、科研、化工、实验室、塑料、电子等行业，以及电真空器件制造、灯泡、保温瓶制造、真空焊接、仪器仪表及制冷设备、印刷包装机械配套等。 2.泵的工作环境：温度5℃90%时，应开气镇阀。90%，进气口压强小于10托的条件下允许长期连续运转，当被抽气体相对湿度大于90%时，应开气镇阀。 3.泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。
成都超迈机械有限公司—专业真空设备技术解决方案供应商 一、国外干式真空泵发展状况 目前国外干式真空泵市场不断增长，主要用于半导体行业、化工、制药和薄膜产业。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替油封式机械泵，目前干式真空泵的主要型式有爪型、罗茨型、涡旋型、螺杆型和往复活塞式、隔膜式等几种。 英国爱德华公司年产爪型和罗茨型干泵8000套，年销售额达1.5亿美元，主要用于半导体、制药和化工等行业；日本的安耐特 Anlet公司年产三叶型罗茨干泵8000套，主要用于化工、塑料、农药等行业，干式真空泵发展空间十分广阔。 德国普旭、莱宝，美国凯尼、日本Ebara荏原、Kashiama (日)、Alcatel (法)等国际真空行业巨头均花去大量资源研发制造干式真空泵。 人们预言：21世纪与高真空相联系的大多数真空泵将是干式真空泵。 二、国内干式真空泵发展状况 据预测，到2010年我国将成为世界第二大半导体集成电路市场，总需求量约1000 亿块，达到1000亿美元以上的市场规模，需建30多条大生产线才能满足需求。所需干式真空泵约15000台，随清洁真空的逐步普及，食品、化工、制药和薄膜行业也急需大量具有优良性价比的干式真空泵，而国内只有少数几家企业从事干式真空泵的研发和制造，如：朗禾-爪型干式真空泵、沈科仪- 涡旋泵、淄博-螺杆干式真空泵等。 三、干式真空泵主要应用领域 1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺，半导体刻蚀工艺。 2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 3、化工、医药、食品中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止有机溶剂污染； 4、用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
罗茨真空泵操作规程 涟水永安化工有限公司生技部 罗茨真空泵操作规程 一开机前检查 1 检查固定螺栓是否有松动，用手转动连轴器数转，应无卡住现象，否则要检查原因。 2 检查油位是否达到要求刻度线，不要过量也不要不足，如不足，要即时添加。 3 检查冷却水管、水环泵进水管是否有水，且是否通畅。 二启动 1 关闭进气阀、水环泵进口的掺气嘴、大气喷射泵掺气嘴。 2 打开冷却水和水环泵进水阀门，在阀门开启前后，断水报警器是否起作用，否则检修。 3首次启动要点动水环泵电机，查看转向是否与标示的方向一致，如果方向相反要从新进行接线。等调试正确后才可以合上电源开关，启动电机。再 打开水环泵工作进水水阀(35升/分)，调节至适当水量。 4 打开蝶阀及真空机组的进气阀，对整个系统工作，等系统真空大于等于 -0.094MPa时，再点动罗茨泵电机，查看转向是否与标示的方向一致及运 转有无卡住现象，如果方向相反要从新进行接线。等调试正确后才可以合 上电源开关，启动罗茨泵。 5 机组运行一段时间后，打开大气喷射泵的掺气嘴阀门，让大气喷射泵工作。 三停机 1 关罗茨泵电源;
2 关闭蝶阀; 3 关闭水环泵进水阀门(包括冷却水和工作水进水管阀门)，打开泵进口法兰出的掺气阀; 4 关水环泵电源。 5如果停泵时间较长或在温度较低的冬天，必须把冷却水和工作用水排尽。涟水永安化工有限公司生技部 注意: 1 启动罗茨泵前，水环泵应运转正常，延时一段时间再开电源; 2 本机组不允许在缺水的状态下运转，水环泵工作水量要适当控制，水 量过少，将使水环泵真空度下降，水量过多，则使抽速下降，功率增 加。 3 密切注意各泵的油量及油质，在油质恶化时及时更换油并做好记录， 油量不足时及时添加，新泵启用初期，运行250小时换油一次，以后 根据使用情况，确定根换周期。 4 应经常清洁大气喷射泵口掺气嘴阀门处的进气口防尘罩滤网，确保通畅; 5在温度较低的冬天，必须将残留在水套中的冷水排尽; 6 应保持泵房清洁卫生。
旋片式真空泵（2XZ-2）操作规范 范仁祥，李煜 一．工作原理 旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。 两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的 月牙形空间分隔成A、B、C三部分，如图所示。 当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间 A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与 排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处 于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小 的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。 二．操作须知 1.真空泵的开启 （1）查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。若油不足，从加油孔加入清洁真空泵油。加油毕后，应旋上螺塞。 （2）确定待抽容器、干燥塔（无水氯化钙）、显色塔（变色硅胶）、压力显示瓶和安全瓶是否准确连接，且密封好。若一切正常，关闭安全瓶上联通大气的旋塞，
打开真空泵。 2.真空泵的关闭 关闭真空泵时，先打开安全瓶上联通大气的旋塞，再关闭真空泵电源。三．异常情况的解决办法及注意事项 1.异常情况的解决办法 运转中的真空泵，如果操作不当，往往会出现故障，比如真空度下降，冒烟、喷油和噪音等情况。万一出现这种情况，首先不用恐慌，等停机以后根据故障一一排除。 （1）排气口冒烟 真空泵刚开始运转有冒烟的现象，属于正常情况。如果长时间在冒烟，说明泵进气口外的系统密封性有问题，需停机检漏。 （2）排气口喷油 封住泵的进气口使泵运转。如果不喷油，说明进气口外的系统密封性有问题，停机检漏；如果仍喷油，停机查看油位，实际油位若超过标准油位很多，放出一部分真空油，若油位正常，可能排气阀片损坏，找专人维修。 （3）噪音 ①敲缸。泵运转时发出不规律的响声，似金属敲打金属的声音。这是旋片在击打泵体发出的声音，原因是配对旋片间的弹簧断或者是收缩或弹出失效造成的。解决办法：打开泵检查旋片弹簧是否损坏，更换好的弹簧。 ②排气阀片噪音，由泵的排气阀片破损产生的噪音。解决办法：更换好的排气阀片。 （4）真空度下降 真空度下降，是指当下测得的旋片式真空泵真空度比出厂指标或者以前使用时的真空度低。引起真空度低的原因有很多，这里主要介绍可能性较大的几种。 ①系统密封性较差，检查体系密封是否完好。 ②更换的旋片式真空泵油牌号和原先不同。不同牌号的真空泵油，其饱和蒸汽压不同，所以可能造成真空度下降。解决办法：根据真空泵的型号规格更换正
一、XD型旋片式真空泵的产品介绍： １、XD型旋片式真空泵均为单级油封式旋片真空泵，是获得真空的基本设备，工作原理如图1所示。 ２、XD型旋片式真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有高效油气分离效果的排气过渡器。停泵时，内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统。泵由空气冷却。所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。 二、XD旋片式真空泵适用范围： １、XD型旋片式真空泵适用于密闭系统的抽真空使用。如真空包装、真空成形、真空吸引。２、入口压力范围：100Pa~100000 Pa，超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。XD型旋片式真空泵工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间。 ３、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液体。不能抽除易爆、易燃、含氧量过高的、腐蚀性的气体。 ４、一般供应的电动机不防爆，如要求防爆或其它特殊要求时电动机必须符合相关的标准。 三、XD型旋片式真空泵的技术参数： 型号及 XD-010 XD-016 XD-020 XD-025 XD-040 XD-063 XD-100 XD-160 XD-250 参数 抽气速 10 16 20 25 40 63 100 160 250 率 (m3/h) 权限压 2ⅹ10-2 力(Pa) 时机功 0.37 0.37 0.75 0.75 1.1 1.5 3 4 7.5 率(kw) 泵转速 1440 1440 2800 2800 1440 1440 1440 1440 1440 (转/分) 装油量 0.5 0.5 0.5 1 1.5 2 4 9 9 (L) 吸气口 G? G? G? G1? G1? G1? G1? G2 G2? 尺寸 泵重量 16 18 19 19 60 22 115 145 200 (kg) 电压(V) 380/220 380/220 380/220 380/220 380/220 380 380 380 380 四、XD型旋片式真空泵的结构说明：
SK水环真空泵说明书 一、用途及使用范围 SK系列水环工真空泵及压缩机是用来抽吸或压送气体和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空或压力，从而满足具体工艺流程要求的设备。吸入或压送的气体中允许含有少量液体。 SK系列水环式真空泵及压缩机广泛应用于机械、石油、化工、制药、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、环保及电子等行业。 由于在工作过程中，该类泵对气体的压缩是在等温状态下进行的，因此在压送或抽吸易燃、易爆的气体时，不易发生危险，所以其应用更加广泛。 泵型号说明。例如：SK-12 SK表示为水环真空泵；12表示该泵的最大抽气量为12m3/min（立方米/分钟） 二、工作原理 如图（1）所示，叶轮3偏心地安装在泵体2内，起动时向泵内注入一定高度的水作为工作液，当叶轮3按图示方向旋转时，水受离心力的作用在泵体内壁形成一旋转的封闭水环5，水环上部内表面与轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端盖上的吸气口相通，其空间内的气体压力降低，此时气体被吸入，当吸气终也时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮在180°到360°的旋转过程中，水环内表面渐渐与轮毂靠近，小腔由大变小，其空间内气体压力升高，高于排气口压力时，当小腔与排气口相通时，气体被排出。 叶轮每旋转一周，叶片间空间（小腔）吸、排气一次，若干小腔不停地工作，如此往复，泵就连续不断地抽吸或压送气体。 由于在工作过程中，做功产生热量，会使工作水环发热，同时一部分水和气体一起被排走，因此，在工作过程中，必须不断地给泵供水，以冷却和补充泵内消耗的水，满足泵的工作要求。当泵排出的气体不再利用时，在泵排气口一端接有汽水分离器（可自己制作一水箱代替），废气和所带的部分水排入汽水分离器后，气体由排气管排出，水由于重力作用留在分离器内并经
罗茨式真空机组的工作原理说明 JZJS罗茨水环真空机组是以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。当配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下，还可抽除易燃易爆的气体。因此罗茨泵-水环泵机组广泛地用于化工行业中的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶；食品行业中的冷冻干燥；医药工业的真空干燥；轻纺工业的涤纶切片；高空模拟试验等的抽真空系统中。 罗茨水环真空机组，大致有如下几种类型： （1）罗茨泵-水环泵：机组中水环泵的作用是造成罗茨泵所需的预备真空，一般情况，单级水环泵极限真空度不高，而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又较高，故实际上一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而用极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用，还可以降低机组的极限压力。 （2）一台罗茨泵与一台水环泵的极限压力是400P a，可满足一般的真空需求，但使用范围受到一定限制，若用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就能大大提高机组的极限压力（可达25P a）。故在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵（图1）组成机组。如果需要更高的极限压力，可用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可达1Pa。 （3）如果三级罗茨水环机组还不能满足极限压力时，可采用罗茨泵-水环泵并联机械真空泵；此机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，例如在真空干燥方面。
目录 一、概述 (1) 二、用途 (1) 三、附属设备 (1) 四、型号、规格、参数 (2) 五、结构与工作原理 (2) 六、外形与地基尺寸 (4) 七、安装 (15) 八、操作 (15) 九、维护和保养 (16) 十、常用配件拆卸与装配 (18) 十一、故障排除 (19) 十二、易损件 (20)
一、概述 WLW系列为无油（耐腐）立式往复真空泵，是我厂与科研单位联合开发并经十余年不断改进的成熟产品，其主要优点是（与W型卧式往复泵比较）： 1、极限真空度高（4.5-15mmHg） 2、无油润滑，可获得洁净真空，并利于尾气的洁净回收。 3、节能（33%），节水（50%），节省占地面积（66%）。 4、气阀轴向布置，使用寿命长（4-10倍）。 5、振动小，噪音低。 6、外形简洁美观，操作、维修方便。 7、WLW-B系列采用全无油结构及四氟类密封材料、能耐各类有机溶剂。 8、WLW-F、T系列采用不锈钢、钛材料、能耐各类、酸、碱、有机溶剂腐蚀。 二、用途 本厂生产的WLW系列立式往复真空泵广泛应用于制药、化工、食品等行业的真空输送提料、提炼、蒸馏、浓缩、真空包装、干燥、气体解析、尾气回收等场合，是取代W型卧式往复泵、水环式真空泵的理想产品。 三、附属设备 1、过滤器： （1）当被抽气体含粉尘或固体物料时。 （2）新安装管道系统（法兰式过滤器，用户根据现场情况向我厂订购） 2、冷凝器： （1）当被抽气体含大量可凝性气体时； （2）当被抽气体温度超过65℃时。 3、阻液器：当被抽气体中有大量液体时。 4、中和罐：当被抽气体具有腐蚀性时（WLW-F/T除外）。 5、膨胀节：为避免振动、温差引起管道法兰泄漏，避免管道安装应 力。WLW300及以上型号必须安装。 6、缓冲罐：为避免泵的启动冲击。
产品名称：2XZ型旋片式真空泵 一、2XZ型旋片式真空泵概述： 2XZ型旋片式真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部份组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时将容器内的气体大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级入口的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出真空设备可获得了一定的真空，2XZ型旋片式真空泵的技术参数为6×10-2Pa，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。 二、2XZ型旋片式真空泵的型号意义：
三、2XZ型旋片式真空泵的性能参数表： 四、2XZ型旋片式真空泵的工作原理及结构图： 2XZ旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片式真空泵。它有偏心地装在泵腔内的转子，及转子槽内的旋片。转子带动旋片转时，旋片紧贴
腔壁，把进、排气口分隔开来，并使进气积腔容积周期性地扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体，推开排气阀排气，从而获得真空。图一为2XZ型旋片式真空泵工作原理示意图。双级是两个单级串联而成。 五、2XZ型旋片式真空泵的安装尺寸表：
2XZ型旋片式真空泵具有体积小，重量轻、噪声低、起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施（2XZ-8）和无防止油封漏油污染场地的措施。 1、2XZ型旋片式真空泵是获得真空的基本设备，它可单独作用，亦 2、2XZ型旋片式真空泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。 3、泵不适用于抽除对金属有腐蚀性的，对泵油起化学反应的、含有颗粒尘埃的气体，以体含氧过高的，有爆炸性的气体。 4、泵有得作压缩泵或输送泵用。 5、2XZ型旋片式真空泵的工作环境：温度5℃-40℃范围内，相对温度不大于90%，进气口压强小于1333Pa的条件下允许长期连续运转。 6、装接电源时，按电机标牌的规定接线，应注意电机旋转方向与支座上的箭头方向一致。 7、连续被抽容器的管道，其直径应不小于泵的进气口直径，且管道应短和弯头少，同时注意管道的泄漏。 8、每次起动前着重查看油位，以停泵时注油至油标玻璃直径的4/5 高度为宜。 10、2XZ型旋片式真空泵可在通大气或任何真空度下一次起动。XZ-1 单级型泵如果起动困难，可拨掉进气管塞帽起动，随后投入运转。
无油隔膜真空泵使用说明书 目录 一、概述 二、工作原理 三、产品特点 四、规格指标 五、使用步骤 六、注意事项 七、故障分析与排除 八、皮膜的保养与更换 九、保险管的更换 十、客户回执 一、概述 我公司生产的无油真空泵系列包括：AP-01P 、AP-01D 、AP-02B 、AP- 9901S 、AP-9925、AP-9950。无油真空泵与我公司生产的FB 过滤瓶套件联合使用可用于液相色谱分析中的流动相过滤及除气。真空泵能够提高过滤效率、加强脱气效果。我公司生产的无油真空泵利用隔膜运动、挤压排除空气、能够保障过滤介质不受污染。 二、工作原理
电机带动隔膜一前一后往复运动。通过隔膜的运动，造成工作腔内的容积的改变，挤压排出空气, 产生真空. AP-02B 型可调无油真空压力泵是本公司的新产品。它的调压原理不同于以往的“泄压阀原理”，而是利用压力传感器感知系统的压力，再反馈给控制泵，通过泵的工作周期来调节、恒定压力。当流量发生变化时，压力不受影响。（当流量发生变化时，利用“泄压阀原理”设计的泵需通过手动调节方式保持压力恒定。）由于大多情况下，泵的工作状态处于“断续”状态，故泵的效率高、发热量少。适用于压力可调、稳定且需长时间工作的场合。同时可为生化实验的样品提取、纯化操作提供稳定的负压。 三、无油真空泵产品特点： ● 隔膜型真空泵无需泵油； ● 工作效率高、噪音低； ● 有固定压力和可调压力两种类型； ● 体积小、便于移动； ● 输送流体广泛； 无油真空泵广泛运用于制药、化学、化工、电子等行业。
五、使用步骤 5.1固定压力无油隔膜真空泵（AP-01P 、AP-9901S ）的使用步骤： 1. 将真空泵平稳的放在操作台上。 2. 将过滤装置或所需抽真空的装置与真空泵紧密连接，保证系统具有良好的气密性。可在真空泵的进气口和过滤器的出气口表面涂上酒精等
德国普旭RA0302D真空泵维修保养流程讲解 (1) 第一章普旭真真空泵概述 (1) 一、普旭真空泵简介 (2) 二、真空泵构造 (2) 第二章德国普旭R5/RA真空泵系统简介 (2) 一、德国普旭R5/RA真空泵系统流程 (2) 二．德国普旭R5/RA真空泵润滑油流程 (3) 第三章普旭真空泵的安装 (4) 一、德国普旭R5/RA真空泵安装 (4) 二、配管、基础 (4) 三、电器一般安全规范 (5) 第四章德国普旭R5/RA真空泵操作 (6) 一、开机前的检查 (6) 二、试机、开机与停机 (6) 三、运转中注意事项 (6) 四、长期停机的处理方法 (7) 第五章德国普旭R5/RA真空泵维护与保养 (7) 一、润滑油的规范及使用 (7) 二、排气过滤器的更换步骤 (9) 三、油过滤器的更换步骤 (9) 四、进气过滤器的更换步骤 (9) 五、日常保养 (9) 六、一般故障排除表 (10) 德国普旭RA0302D真空泵维修保养流程讲解 第一章普旭真真空泵概述 由东莞比其尔真空机电设备有限公司提供普旭真空泵RA0302D维修普旭RA0160D真空泵维修普旭RA0250D真空泵维修等进口品普旭真空泵配件及耗材，普旭真空泵油VM100 普旭真空泵滤芯，普旭真空泵油雾过滤器,普旭真空泵空气总成,普旭真空泵排气阀,普旭真空泵逆止阀等配件!
一、普旭真空泵简介 德国普旭R5/RA型系列真空泵是单级旋片油封式真空泵，适用于低、中真空领域，主要用于抽除空气和其它干燥气体。它是低、中真空的主要设备之一，它可单独使用，也可成为其它真空泵的前级泵。真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。 德国普旭R5/RA型系列真空泵是引进国外先进技术，易损件选用进口元件或进口材料。 真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。 二、真空泵构造 普旭RA系列真空泵按照旋片式原理运行。泵体中安装一个偏心转子。利用离心力推动叶片在转子的槽中向泵腔内壁滑动。叶片将转子和泵腔内壁之间分隔成几个小腔体。当腔体跟进气口通道相连时，气体被吸入，在下一次转动中被压缩并且推入油分离器。压差使油不断的被压进压缩腔体。油和介质再被释放进入油分离器，在那里由于重力作用经除雾器和排气过滤器，与排出的气体分离。分离出的油在油分离器底部再次被推入压力腔体（油循环）。无油气体经过排气盖板被释放到大气中。 第二章德国普旭R5/RA真空泵系统简介 一、德国普旭R5/RA真空泵系统流程 1．空气流程 1）空气由进气滤清器滤去尘埃之后，经由吸气阀进入真空泵泵体；与润滑油混合，与油混合的空气经过压缩后通过排气阀进入油分离器进行粗分离，再经排气过滤器的精分离，不含油的空气通过排气嘴排入大气。如空气中含有可凝气体，则打开气镇阀。 2）空气流程中各组件功能说明： A、进气滤清器