成都超迈机械有限公司—专业真空设备技术解决方案供应商
一、国外干式真空泵发展状况
目前国外干式真空泵市场不断增长，主要用于半导体行业、化工、制药和薄膜产业。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替油封式机械泵，目前干式真空泵的主要型式有爪型、罗茨型、涡旋型、螺杆型和往复活塞式、隔膜式等几种。
英国爱德华公司年产爪型和罗茨型干泵8000套，年销售额达1.5亿美元，主要用于半导体、制药和化工等行业；日本的安耐特 Anlet公司年产三叶型罗茨干泵8000套，主要用于化工、塑料、农药等行业，干式真空泵发展空间十分广阔。
德国普旭、莱宝，美国凯尼、日本Ebara荏原、Kashiama (日)、Alcatel (法)等国际真空行业巨头均花去大量资源研发制造干式真空泵。
人们预言：21世纪与高真空相联系的大多数真空泵将是干式真空泵。
二、国内干式真空泵发展状况
据预测，到2010年我国将成为世界第二大半导体集成电路市场，总需求量约1000 亿块，达到1000亿美元以上的市场规模，需建30多条大生产线才能满足需求。所需干式真空泵约15000台，随清洁真空的逐步普及，食品、化工、制药和薄膜行业也急需大量具有优良性价比的干式真空泵，而国内只有少数几家企业从事干式真空泵的研发和制造，如：朗禾-爪型干式真空泵、沈科仪-
涡旋泵、淄博-螺杆干式真空泵等。
三、干式真空泵主要应用领域
1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺，半导体刻蚀工艺。
2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
3、化工、医药、食品中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止有机溶剂污染；
4、用作一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵介绍及发展现状 干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。 目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作解释返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本;其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，是泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。 干式真空泵的应用主要有以下几个方面： 1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺 2.半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。 3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。 4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。 5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。 为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 水环式真空泵/液环真空泵的工作原理： 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2
罗茨真空泵故障排除及原理 一、罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P，测取罗茨泵出口（亦为前级泵入口）压力Pv，并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线，得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv，查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv，即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S，即S=S N K V/（K V+（S N/S V）-( S V/S N)3/2） 式中：S ——罗茨泵实际抽速，L/sS N——罗茨泵几何抽速，L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速，L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位，齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜；电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜；用以润滑油封的油杯处不应断油，油位不应低于1/3油杯高度，不宜加油过多，避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高，使泵体发热，而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热，避免泵体温度过高烫伤人，使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时，应先点动1、2次，使润滑油进入轴承内，然后再正式起动，否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵
停泵时，应先停罗茨泵，待电机停转后，在停前级泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大，而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁，以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。 3、换油时，罗茨泵最好先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。
常用真空泵的工作原理图(1) 真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合。 代表的真空泵 1：旋转式机械泵 2：分子泵（TMP） 3：离子泵 4：Ti升华泵 5：低温泵 曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。 旋转式机械泵 以油封式真空泵为例加以介绍。 构造：偏心轴转子,固定翼,油。旋转动力是电机。 原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,转子到达油面后,空气被压缩,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。 特征： 排气能力由压缩比决定,可达0.1Pa程度。操作简单。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。 为了避免油或其它液体进入真空腔内,不用油或其它液体的干式真
空泵正在成为主要的旋转式机械泵。 分子泵（TMP） 构造：电机驱动的高速旋转叶片,泵壁上固定的固定叶片。 原理：每分钟旋转数万次的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。 特征： 不用油,工作环境清洁,可到达10-10Pa的真空度。排气速度不受气体种类影响。构造复杂,价格昂贵,高速旋转,要注意安装要求。有振动。需要和其它初段排气泵组合。 离子泵
构造：强磁铁,蜂窝状阳极,钛(Ti)阴极。 原理：通过溅射现象,使Ti离子化,Ti离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。 一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,使阴极的Ti被溅射后,一部分离子进入阴极内部。 特征： 能达到超高真空(10-10Pa) 需要和其它初段排气泵组合。 有一定寿命。 Ti升华泵 构造：加热电阻丝、Ti材料(线或球)。 原理：通过加热电阻丝,使Ti升华。因为Ti化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、从而达到降低气压的效果。如果升华后的Ti吸附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。比如1平方米的面积上吸附Ti原子的话、对氮气而言、可达到24000升/s的排气速度。在压力较高时(>10-3Pa)、排气速度大大降低。因此需要和其他排气泵组合使用。 特征： 排气速度大。 没有运动部分,没有振动。 需要和其它初段排气泵组合。
DP系列干式螺杆真空泵 威海智德真空科技有限公司主要供应设备： ※ DP系列干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环真空泵、大型复杂真空机组。公司网址：VV VV VV 。drypumps。net 电①③五六③①贰壹⑧⑨③丛经理欢迎咨询选购。 DP系列干式螺杆真空泵 性能特点： 1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90％以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏。 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。 8、结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。 10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。
抽速曲线： 工作原理： 干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
JZJD系列干式真空机组 结构及特点： JZJD系列干式真空机组是由常规罗茨真空、干式螺杆真空泵以及阀门、机架、电器控制箱组成的，其中干式螺杆真空泵作为前级真空泵，在达到罗茨真空泵启动压力时，由真空规头及压力变送器控制罗茨真空泵的启停。由于罗茨真空泵及干式螺杆真空泵运转部件均不接触，因此整机具备运转平稳，噪音低，结构紧凑占地面积小等优点。 性能特点： 1：JZJD系列干式真空机组抽气范围广（280-4320m3/h），真空度高（极限压力可达0.01Pa）2：即使在高真空下依然能保持较大的抽速，满足客户对高真空、大抽速的要求。 3：罗茨真空泵与干式螺杆真空泵可根据抽速比，搭配各种组合方案，有效降低能源消耗，达到最佳性价比。
真空泵的操作使用方法 资料：https://www.doczj.com/doc/4f12370316.html, 真空泵的原理及使用 1、真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是PA，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。 2、真空泵的抽气速率 泵的抽气速率单位是M3/S或L/S，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 3、真空泵的抽气量 真空泵的抽气量单位是PAM3/S或PA L/S。是指泵入口的气体流量。 4、真空泵的起动压强 真空泵的起动压强单位为PA，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。 5、泵的前级压强 真空泵的前级压强单位是PA，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。 6、真空泵的最大前级压强 真空泵口最大前级压强单位是PA，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。 7、真空泵的最大工作压强 真空泵的最大工作压强单位是PA，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8、压缩比 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 9、何氏系数 泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。10、抽速系数 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 11、返流率 泵的返流率单位是G/CM2.S。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 12、水蒸气允许量 水蒸气的允许量单位是KG/H，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 13、最大允许水蒸气入口压强 最大允许水蒸气入口压强单位是PA。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
罗茨真空泵产品结构原理及安装 一、ZJY型罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P，测取罗茨泵出口（亦为前级泵入口）压力Pv，并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线，得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv，查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv，即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S，即S=S N K V/（K V+（S N/S V）-( S V/S N)3/2） 式中：S ——罗茨泵实际抽速，L/sS N——罗茨泵几何抽速，L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速，L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、ZJY型罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位，齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜；电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜；用以润滑油封的油杯处不应断油，油位不应低于1/3油杯高度，不宜加油过多，避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高，使泵体发热，而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热，避免泵体温度过高烫伤人，使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时，应先点动1、2次，使润滑油进入轴承内，然后再正式起动，否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵
停泵时，应先停罗茨泵，待电机停转后，在停前级泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大，而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、ZJY型罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁，以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。 3、换油时，罗茨泵最好先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。
SIHIdry – Dry running vacuum pumps for general industries SIHIdry – 用于通用行业的干式真空泵
STERLING FLUID SYSTEMS GROUP
斯特林流体系统集团
https://www.doczj.com/doc/4f12370316.html,
SIHIdry – Your Application SIHIdry – 您的应用
Dry running vacuum pumps for general industrial Applications
干式真空泵在通用行业中的应用
Dry running vacuum pumps are used increasingly for a range of applications within the general industries sector. These vacuum pumps are an integral part of the process and must satisfy a range of demanding requirements. These include: 干式真空泵在通用行业领域的应用范围越来越广。这些真空泵可作为工艺流程的 一个整体单元，同时必须满足一系列极其严格的要求；它们的特点包括： minimising the disposal costs of any service liquid 最小的工作液处理成本 providing uncontaminated vacuum, that is free from lubricant and service liquid 因为不使用润滑油和工作液，所以可提供完全洁净的真空 offering the flexibility required for batch process operations 适用于有批次操作的机动性要求 low life-cycle costs. 极低的寿命周期成本 SIHIdry meets the need for a simple, robust and reliable vacuum pump that can handle liquid and solid carry-over as well as rapidly changing operating conditions. SIHIdry是一种结构简单、高效、安全可靠和耐用的适合各种需求的真空设备，可
处理各种夹带液体和固体颗粒介质以及不断变化的操作条件.
Applications 应用
sterilization 灭菌 freeze-drying 冷冻干燥 gas removal 除气 vacuum coating 真空镀膜 crystal pulling 真空烧结 metallurgy furnaces 真空冶炼 product transfer 产品输送 central vacuum 中央真空系统 and many more 等等...
Capabilities 能力
liquid carry-over 可夹带液体 particle carry-over 可夹带固体颗粒 corrosive gases 腐蚀性气体 toxic and odorous gases 有毒和刺激性气体 and many more 等等 ...
多级真空泵厂家产品原理及特点 上海阳光泵业作为国内一家著名的集研制、开发、生产、销售、服务于一体的大型多元化企业，上海阳光泵业制造有限公司一直坚持“以质量求生存、以品质求发展”的宗旨为广大客户提供优质服务!同时，上海阳光泵业一直专注于自身实力的提升以及对产品质量的严格把关，为此，目前不但拥有国内最高水准的水泵性能测试中心、完善的一体化服务体系、经验丰富的水泵专家，同时经过多年的发展，产品以优越的性能、精良的品质、良好的服务口碑获得各项专业认证证书和客户认可。经过团队的不懈努力，上海阳光泵业在国内水泵行业已经取得了很大成就。这样一家诚信为本、责任重于天的水泵行业佼佼者，对于水泵的维修、保养等各大方面都有自己独特的方法，下面就一起来看看吧! 一、BZJ系列多级罗茨真空泵概述： BZJ系列双段罗茨真空泵（罗茨泵），是我公司在2ZJ系列单级罗茨泵的基础上，经过精心研究研发成功的新一代更新换代产品，各项指标均达到国外同类产品水平。 目前在国内，罗茨真空机组获得高真空的主要方式是多台罗茨泵串联再加前级泵，多台罗茨泵串联虽然比较灵活，但是管路连接复杂，设备组成复杂，增加了泄漏点和维修成本，随着罗茨真空泵的广泛应用和相关产业技术要求的提高，人们越来越需要一种使用及维护简便、运行可靠的新式罗茨真空泵提高自己的生产效率，降低生产成本。 双段式罗茨真空泵将两台串联的单级罗茨真空泵集成为一体，将设备的使用，双段式罗茨真空泵的研制成功，优化了机组的结构组成，降低了使用成本。 二、BZJ系列多级罗茨真空泵主要结构及原理： 1、转子:转子为罗茨真空泵的核心部件，设计加工要求高，经精密数控机床加工而成，每台共四个，装在一对平行的轴上，每根轴上装配尺寸不同，两个转子； 2、壳体：根据一定的抽速比例，壳体由中大小不一的两个腔，也即高低真空腔；
真空泵介绍 真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中营造、产生和维持真空的装置。 按真空泵的工作原理，真空泵通常上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。 真空泵可以定义为：操纵机器、物理、化学或物理化学的方式对被抽容器进行抽气而得到真空的装置。随着真空应用的扩展，真空泵的种类已生长了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到1Pa以上的超高真空范围。由于真空应用部分所涉及压力的范围很宽，因此任何一种范围的真空泵都很难完全实用于全部的压力范围，只可以根据不同的压力范围和不同的要求，利用不同范围的真空泵。为了利用方便和各种真空工艺进程的必要，偶尔将各种真空泵按其性可以要求组合起来，以机组型式应用即：真空机组。 常用的真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、罗茨泵和将多种真空泵组合起来以机组型式应用的真空机组等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 1) 液环式真空泵：将带有多叶片的转子偏爱装在泵壳内。当它旋转时，把事变液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋变化容吸排气腔。事变液体通常为水或油，以是亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。 2) 干式真空泵：它是一种泵内不消油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不必要液体，因此，实用于半导体行业、化学产业、制药产业及食品行业等必要无油干净真空情况的工艺场合。 3) 罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。 真空泵的工作原理 在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，最终通过油封将吸入的气体排出泵外。
干式真空泵维护流程 好凯德干式真空泵维护保养知识 1、首先要了解真空泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。 2、判断真空泵故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。 3、排除油泵故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。 4、有毒有害、有腐蚀性的真空泵，应请用户先行清洗，并告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。 5、干式真空泵故障分类 yazreid建议把故障分为运转故障和性能故障。 运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。 性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油、气镇性能等不达标或不能满足要求。 6、故障判断与诊断例举 （1）真空泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。 ①真空泵泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。 ②不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)；有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。 （2）真空泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规
定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。 （3）真空泵漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。 自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。 （4）真空泵漏水可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。 （5）大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力太高、杂物进人发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。 （6）干泵极限压力不达标。 可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、好凯德真空泵运转不正常等引起。 外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。
正确使用循环水真空泵的方法 1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。 2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。 3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。 4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。 5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。 6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。 7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。 8、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。 9、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水(或引浆)。 10、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。 11、点动电机，试看电机转向是否正确。 12、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。 13、尽量控制循环水真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在最高效率点运转，才能获得最大的节能效果。 14、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，最高温度不得超过80C 。 15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。 16、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。 17、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。 18、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。19、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。 20、真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。 21、真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
罗茨真空泵原理及故障处理 一、罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P，测取罗茨泵出口（亦为前级泵入口）压力Pv，并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线，得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv，查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv，即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S，即S=S N K V/（K V+（S N/S V）-( S V/S N)3/2） 式中：S ——罗茨泵实际抽速，L/sS N——罗茨泵几何抽速，L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速，L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位，齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜；电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜；用以润滑油封的油杯处不应断油，油位不应低于1/3油杯高度，不宜加油过多，避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高，使泵体发热，而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热，避免泵体温度过高烫伤人，使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时，应先点动1、2次，使润滑油进入轴承内，然后再正式起动，否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵
停泵时，应先停罗茨泵，待电机停转后，在停前级泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大，而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁，以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。 3、换油时，罗茨泵最好先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。
干式螺杆真空泵质量及工作原理 干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。 如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断： 1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa 左右。 2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。 3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。 4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。 基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。 总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。 干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。
1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小 8、结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。
中石化上海高桥分公司SIHIdry螺杆干式真空泵 说明手册 SIHIdry螺杆干式真空泵
第一部分安全说明 安全说明部分描述了SIHIdry干式真空泵的操作和维护过程中需要了解和遵守的指示和警告。泵的操作和维护人员务必掌握有关安全知识，提高自身防护以及设备防护能力。 1.1前言 1、在阅读说明手册之前请不要操作设备； 2、务必掌握足够的安全防护警告和使用必要的安全设备，以避免在设备安装和操作过程中的危险。 警告小心禁止 威胁生命的伤害警告小心触电风险小心有毒有害介质 1.2注意 以上安全说明标签贴在你所购买的设备上，请勿移除、覆盖或弄脏； 如果不正确遵守以上警告，有可能会导致操作人员的人身伤害。 1.3安全 1.个人培训及上岗认证 必须明确操作此设备人员的职责。如果不具备必须的专业知识，必须经过卖方的培训以保证机器的安全操作。 2.不遵守安全指令的风险 不遵守安全指令会对个人、环境、系统都面临一定的风险，更会导致损失。举例来说，可能会面临如下风险： 导致系统产生重大故障 一些特定的维护和修复程序产生损坏 让操作人员面临电气、机械以及化学危害的风险 向环境释放危险物质的风险 3.操作运行安全指南 当吸入自燃气体时，尤其含有氧气时，需引入惰性气体。 当进料介质为化学性质不稳定的气体或蒸汽时，这些被认为是可能的危险源，额外的安全措施是需要的，以阻止聚合或过氧化氢物的形成。 当易燃、易爆、有毒和高温的气体或水蒸气作为进料介质时，要确保对环境和人没有危害。 真空系统中流量、温度、压力的参数的设置是为了安全操作，改变时需要咨询真空泵厂家 系统在运行时，避免拆除部件，比如说拆除冷却液输送泵的联轴器。 泄漏的危险介质必须立即处理以避免对人员、环境造成伤害。相应的法律法规必须遵守。 由于电气造成的风险已经排除.(详情如下：通过地方企业认证、VDE认证). 4.维护、检查和安装时安全指南 在开关泵时，严格安装操作守则中的条目进行。
真空泵正确使用及保养方法 1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。 2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。 3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换真空泵油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。 4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。 5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。 6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。 7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。 8、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。 9、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。 10、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。 11、点动电机，试看电机转向是否正确。 12、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。 13、尽量控制循环水真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在最高效率点运转，才能获得最大的节能效果。 14、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35℃，最高温度不得超过80℃。 15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。 16、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。 17、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。 18、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。 19、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
罗茨真空泵工作原理 罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空 泵。它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工 作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真 空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一 般来说，罗茨泵具有以下特点： ?在较宽的压强范围内有较大的抽速； ?起动快，能立即工作； ?对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； ?转子不必润滑，泵腔内无油； ?振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀； ?驱动功率小，机械摩擦损失小； ?结构紧凑，占地面积小； ?运转维护费用低。 因此，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电 子工业部门得到广泛的应用。 罗茨泵的工作原理： 罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内，有二个“8”字形 的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1 的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之 间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实 现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵， 通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵 的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将 罗茨泵串联使用。 罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排<本网页由山东伯仲真空设备有限公司陈宗武制作，版权所有，翻录必究!>
真空泵及其工作原理介绍 真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 1、真空泵的种类 随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。 常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的
主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 2、真空泵的总体结构式与传动方式 真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构：1)、立式结构：进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵；2)、卧式结构：泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。 真空泵的传动方式：真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。 所具有的特点：1)、在较宽的压力范围内有较大的抽速；2)、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；3)、泵腔内无需
（自主）研究开发项目计划书 项目名称 VD炉上的干式真空泵组装置 企业名称无锡东雄重型电炉有限公司 企业法人（签名） 项目负责人高建华电话 05 项目联系人谢立民电话 05 项目起止时间 2014 年3月至 2014 年8 月填报日期 2014年 10月20日
一、立项依据 1.国内外现状、水平和发展趋势： 真空脱气处理工艺，作为炉外精炼的一种，在冶金工业得到广泛使用。其原理利用对真空室进行抽真空，在真空状态下 对钢水进行脱气，降低钢水中的[H]、[N]，同时利用钢渣界面 反应进行脱硫处理。在大型现代化冶金生产中，VD钢包真空 精炼已成为现代二次冶金的基本手段。在世界钢铁冶炼技术 中，VD钢包真空精炼炉作为钢铁企业生产高洁净度钢水的必 备精炼装置，其应用可直接影响产品结构和钢材品质的优化提 升；而在全球VD精炼工艺100多年的发展应用中，尤其是国 内的近二十年，全部采用的是成熟的湿法（以蒸汽为动力的蒸 汽喷射泵）抽真空技术。 钢水真空脱气（VD）及真空氧脱碳（VOD）是两个主要二次炼钢法。处理时钢水中会逸出大量溶解杂质气体并产生金属细粉及氧化物粉尘，因而需采用坚固、抽力极大的真空抽吸设备。目前面世的最新干式机械真空抽吸设备之所以比先前所用同类用途设备优越，就在于新设备能更有效地排除粉尘、提高抽吸速度、降低生产成本及维护费用。干式（机械）真空泵与蒸汽喷射泵的最大区别在于驱动能源，前者采用电能，而后者则采用蒸汽。然而，炼钢生产本身就是钢铁流程中最为复杂的工序之一，其中精炼又是炼钢工序中技术最密集的环节，从工艺到技术结构上都有巨大的挑战。 2.项目开发的目的、意义 目前，无论是新建设备，还是已有设备的升级，对真空脱气处理的项目投资都在继续增加，其原因是厂家们看准了这种投资带来的机遇：提高产品质量，推出独具特色的钢就能使钢升值。 传统技术-蒸汽喷射泵有功率大且耐用和气体流量大的优点，但是，缺点也很多：维护繁冗、耗能高、破坏环境并产生排放大量CO2；占地面积大；运行参数会随着时间推移下降； 高度依赖于所用蒸汽的质量。本项目研发的干式机械泵组具备如下优点： 能源消耗为蒸汽泵的10%以下；
2XZ型旋片式真空泵 使用说明书 安全警告： ●该设备应用于含有大电流设备的工业系统中，取决于工作条件，特别是在应用有害介质时，不当的操作将会导致严重的人身伤害或财产损失。 ●只允许资格人员操作该设备！ ●操作人员在操作该设备时，必须能够随时得到随机提供的使用说明书 和其它相关产品资料，而且必须遵守这些规定。 ●非资格人员禁止操作或接近该设备！ ●若在煤矿使用，须配用相应等级的防爆电动机，防爆电动机应有有效 的安全标志证书；若使用三角带传动，应使用防静电和阻燃的三角带。 ●若在煤矿使用，须严格按照煤矿安全规程的要求安装监控、安全设备。
旋片式真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备。它可单独使用，也可用为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵用。可用于电真空容器制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备维修及仪器仪表设备配套和实验室等。广泛适用于食品、科研、医疗、电子、化工、医药、大专院校等部门。 一、操作须知 1、查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起封油作用，影响真空度。过高，啃了个会引起通大气启动时喷油。运转时，油位有所升高，属于正常现象。油采用规定牌号的清洁真空泵油，从注油孔加入。加油完毕后，应旋上螺塞。油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。 2、泵可在通大气或任何真空度下一次起动，泵口如装接电磁阀，应与泵同时动作。 3、环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。 4、检查泵的极限真空以压缩式水银真空计为准，如计经充分预抽效验，泵温达到稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真空计、规管误差有关，有时误差甚至可能很大，只能作参考。 5、如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运动20~40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。 二、结构说明 2xz型旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片真空泵(以下简称泵)。它有偏心地装在泵身腔内的转子，及转子槽内的两旋片。转子带动旋片旋转时，旋片借离心力和旋片弹簧的弹力紧贴腔容积周期性地扩大而吸气，排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体，借压缩气体压力和油推开排气阀排气，从而获得真空。 2xz型泵装有气镇阀。其作用是向排气腔充入一定量空气，以降低排气压力中的蒸汽分压强，当其低于泵温下的饱和蒸汽压时，即可随充入空气排出泵外，而避免凝结在泵油中。具有延长泵油使用时间和防止泵油混水时间。但气镇阀打开时，极限真空将有所下降，温升也有所提高。 2xz型泵具有体积小，重量轻，噪音低，起动方便等优点。此外，还有防止返油的措施和防止油封漏油污染场地的措施。 三、用途和使用范围 1.泵是用来对密封容器抽除气体而获得真空的基本设备。它可单独使用，亦可作为各类真空系统的前级泵和预抽泵。广泛应用于医疗、科研、化工、实验室、塑料、电子等行业，以及电真空器件制造、灯泡、保温瓶制造、真空焊接、仪器仪表及制冷设备、印刷包装机械配套等。 2.泵的工作环境：温度5℃90%时，应开气镇阀。90%，进气口压强小于10托的条件下允许长期连续运转，当被抽气体相对湿度大于90%时，应开气镇阀。 3.泵进气口连续敞通大气运转，不得超过三分钟。