碱性氯化铜蚀刻液 1.特性 1)适用于图形电镀金属抗蚀层，如镀覆金、镍、锡铅合金，锡镍合金及锡的印制板的蚀刻。 2)蚀刻速率快，侧蚀小，溶铜能力高，蚀刻速率容易控制。 3)蚀刻液可以连续再生循环使用，成本低。 2.蚀刻过程中的主要化学反应 在氯化铜溶液中加入氨水，发生络合反应： CuCl 2＋4NH 3 →Cu(NH 3 ) 4 Cl 2 在蚀刻过程中，板面上的铜被[Cu(NH 3) 4 ]2+络离子氧化，其蚀刻反应如下： Cu(NH 3) 4 Cl 2 ＋Cu →2Cu(NH 3 ) 2 Cl 所生成的[Cu(NH 3) 2 ]1+为Cu1+的络离子，不具有蚀刻能力。在有过量NH 3 和Cl-的情 况下，能很快地被空气中的O 2所氧化，生成具有蚀刻能力的[Cu(NH 3 ) 4 ]2+络离子， 其再生反应如下： 2Cu(NH 3) 2 Cl＋2NH 4 Cl＋2NH 3 ＋1/2 O 2 →2Cu(NH 3 ) 4 Cl 2 ＋H 2 O 从上述反应可看出，每蚀刻1克分子铜需要消耗2克分子氨和2克分子氯化铵。因此，在蚀刻过程中，随着铜的溶解，应不断补加氨水和氯化铵。 应用碱性蚀刻液进行蚀刻的典型工艺流程如下： 镀覆金属抗蚀层的印制板(金、镍、锡铅、锡、锡镍等镀层) →去膜→水洗→吹干→检查修板→碱性蚀刻→用不含Cu2+的补加液二次蚀刻→水洗→检查→浸亮(可选择) →水洗→吹干 3. 蚀刻液配方 蚀刻液配方有多种，1979年版的印制电路手册(Printed Circuits Handbook)中介绍的配方见表10－4。 表10－4 国外介绍的碱性蚀刻液配方
国内目前大多采用下列配方： CuCl 2·2H 2 O 100～150g/l 、NH 4 Cl 100g/l 、NH 3 ·H 2 O 670～700ml/1 2 配制后溶液PH值在9.6左右。溶液中各组份的作用如下： NH 3·H 2 O的作用是作为络合剂，使铜保持在溶液里。 NH 4 Cl的作用是能提高蚀刻速率、溶铜能力和溶液的稳定性。 (NH4) 3PO 4 的作用是能保持抗蚀镀层及孔内清洁。 4.影响蚀刻速率的因素 蚀刻液中的Cu2+的浓度、PH值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温度对蚀刻速率均有影响。掌握这些因素的影响才能控制溶液，使之始终保持恒定的最佳蚀刻状态，从而得到好的蚀刻质量。 Cu2+浓度的影响 因为Cu2+是氧化剂，所以Cu2+的浓度是影响蚀刻速率的主要因素。研究铜浓度与蚀刻速率的关系表明：在0－11盎司/加仑时，蚀刻时间长；在11－16盎司/加仑时，蚀刻速率较低，且溶液控制困难；在18－22盎司/加仑时，蚀刻速率高且溶液稳定；在22－30盎司/加仑时，溶液不稳定，趋向于产生沉淀。 注：1加仑（美制）=3.785升 1盎司= 28.35克1盎司/加仑=28.35/3.785=7.5G/1
目前我们了解的天线制作技术主要有三种：绕线式天线、印刷天线和蚀刻天线。此外还有真空镀膜法生产RFID天线的，上述几种生产方法的特点比较如下： 2.1 绕线式天线 绕线和印刷技术在中国大陆得到了较为广泛的应用，大部分的 RFID标签制造商也是采用此技术。 利用线圈绕制法制作RFID标签时，要在一个绕制工具上绕制标签线圈并进行固定，此时要求天线线圈的匝数较多。这种方法用于频率围在125-134KHz的RFID标签，其缺点是成本高、生产速度慢、生产效率较低。 2.2 印刷天线 印刷天线是直接用导电油墨（碳浆、铜浆、银浆等）在绝缘基板（或薄膜）上印刷导电线路，形成天线的电路。主要的印刷方法已从只用丝网印刷扩展到胶印、柔性版印刷、凹印等制作方法，较为成熟的制作工艺为网印与凹印技术。其特点是生产速度快，但由于导电油墨形成的电路的电阻较大，它的应用围受到一定的局限。 2.3 蚀刻天线 印制电路的蚀刻技术主要应用于欧洲地区，而在，目前仅少数软性电路板厂有能力运用此技术制造RFID标签天线。 蚀刻技术生产的天线可以运用于大量制造13.56M、UHF频宽的电子标签中，它具有线路精细、电阻率低、耐候性好、信号稳定等优点。 3、蚀刻天线制作方法简介 蚀刻天线常用铜天线和铝天线,其生产工艺与挠性印制电路板的蚀刻工艺接近。 3.1 蚀刻天线的制作流程 挠性聚酯覆铜(铝)板基材――贴感光干膜／印感光油墨――连续自动曝光――显像――蚀刻――退膜--水洗--干燥—质检—包装 3.2 制作流程说明 挠性聚酯覆铜(铝)板基材：采用软板专用的合成树脂胶（环氧胶、丙烯酸胶）将铜箔(铝箔)与聚酯膜压合在一起，经高温后固化后而成，其电性能、耐高温性、耐腐蚀性较强。材料的组成截面图如下：
生活中的电学应用 Document serial number【LGGKGB-LGG98YT-LGGT8CB-LGUT-
电磁炉工作原理及使用 一、什么是电磁炉 电磁炉（又名电磁灶）--是现代厨房 革命的产物，是无需明火或传导式加热的 无火煮食厨具，完全区别于传统所有的有 火或无火传导加热厨具（炉具）。 二、电磁炉工作原理 电磁炉作为厨具市场的一种新型灶具。它打破了传统的明火烹调方式采用磁场感应电流（又称为涡流）的加热原理，电磁炉是通过电子线路板组成部分产生交变磁场、当用含铁质锅具底部放置炉面时，锅具即切割交变磁力线而在锅具底部金属部分产生交变的电流（即涡流），涡流使锅具铁分子高速无规则运动，分子互相碰撞、摩擦而产生热能（故：电磁炉煮食的热源来自于锅具底部而不是电磁炉本身发热传导给锅具，所以热效率要比所有炊具的效率均高出近1倍）使器具本身自行高速发热，用来加热和烹饪食物，从而达到煮食的目的。具有升温快、热效率高、无明火、无烟尘、无有害气体、对周围环境不产生热辐射、体积小巧、安全性好和外观美观等优点，能完成家庭的绝大多数烹饪任务。因此，在电磁炉较普及的一些国家里，人们誉之为"烹饪之神"和"绿色炉具"。 电磁炉不适用的锅？
铜、铝、陶、玻璃材料的锅和容器，因为它们的分子都不是磁性分子，不能在磁场的作用下产生碰撞。磁性分子包括铁、钴、镍及其所属氧化物。 饮水机的工作原理 温热型使用时，按下加热开关，电源为“保温”指示灯提供电源，作通电指示。同时，电源分成两路：一路构成加热回路，使通电加热升温；另一路为“加热”指示灯提供电压作加热指示。当热罐内的水被加热到设定的温度时，触点断开，切断加热及加热指示回路电源，“加热”指示灯熄灭，停止加热。 当水温下降到设定温度时，触点接通电源回路，重新发热，如此周而复始地使水温保持在85-95℃之间。 温热电路中为双重保护元件，当超温或发生短路故障时，超温保险器自动熔或手动复位自动断开加热回路电源，起到保护作用。超温保险器是一次性热保护元件，不可复位，等排除故障后按原型号规格更换新的超温保险器，再用手按手动复位温控器的复位按钮，触点闭合便可重新工作。 是一个光热转换器，区别于传统的自然利用，如晾晒、采光。 是的核心，他的结构如同一个拉长的暖瓶胆，内外层之间为真空。在内玻璃管的表面上利用特种工艺涂有选择性吸收，用来最大限度的吸收能。经，撞击，太阳能转化成热能，水从外吸热，水温升高，密度减小，热水向上运动，而比重大的冷水下降。热水始终位于上部，即水箱中。中热水的升温情况与外界温度关系不大，主要取决于光照。当打开厨房或洗浴间的任何一个水龙头时，热水器内的热水便依靠自然落差流出，落差越大，越高。 照相机
36 Screen Printing Industry 网印工业 专栏／知识园地 １．蚀刻的定义 蚀刻就是用化学方法按一定的深度除去不需要的金属。蚀刻技术被广泛用在装饰、电路板、精密加工和电子零件加工等领域，近几年我国用蚀刻方法加工的金属画、工艺品和缕空艺术品赚取了大量的外汇，形成了一个新型产业。 ２．蚀刻技术的一般过程（１）蚀刻技术的分类Ａ．化学蚀刻Ｂ．电解蚀刻 （２）化学蚀刻的一般工艺流程预蚀刻→蚀刻→水洗→浸酸→水洗→去抗蚀膜→水洗→干燥 （３）电解蚀刻的一般工艺流程入橹→开启电源→蚀刻→水洗→浸酸→水洗→去抗蚀膜→水洗→干燥 ３．化学蚀刻的几种形式对比及应用（１）静蚀刻 即将被蚀刻的板或零件浸入蚀刻液，待蚀刻一定深度后取出，水洗，然后进入下道工序。该方法只适用于少量的试验品或试验室使用。 （２）动蚀刻 Ａ．鼓泡式（也称吹气式），即把容器内的蚀刻液用空气搅拌鼓泡（吹气）的方法进行蚀刻。 Ｂ．泼溅式，在一个容器内用泼溅的方法把蚀刻液泼在被蚀刻物体表面进行蚀刻的方法。 Ｃ．喷淋式，用一定压力将蚀刻液喷淋在被蚀刻物体的表面进行 文／李春甫 蚀 刻 和 侧 蚀 图１ 蚀刻示意图 图２ 侧腐蚀开始 图３ 侧腐蚀过程 图４ 蚀刻最后结果
37 Screen Printing Industry 网印工业 知识园地／专栏 蚀刻的一种方法。该方法较为普遍，且蚀刻速度和质量较为理想。 ４．侧蚀及侧蚀系数（１）侧蚀的形成过程 蚀刻开始时，金属板表面被图形所保护，其余金属面均和蚀刻液接触，此时蚀刻垂直向深度进行，如图１。当金属表面被蚀刻到一定深度后，裸露的两侧出现新的金属面，这时蚀刻液除向垂直方向还向两侧进行蚀刻，如图２。随着蚀刻深度的增加，两侧金属面的蚀刻的面积也在加大。开始的部分被蚀刻的时间长，向两侧蚀刻的深度也大，形成严重侧蚀，底部蚀刻时间较短，侧蚀相对轻微，如图３。图４是最后的蚀刻结果。 （２）侧蚀对产品质量的影响 侧蚀能使凸面的图形（泛指阳图）线条或网点变细变小，反之使凹图的线条或网点变粗变大，使图形变形或尺寸超差，严重时使产品报废，是蚀刻中的大敌。近几年，随着科技的发展，科技工作者进行了大量的实验，找出了一些解决方法。 （３）减小侧蚀的方法 蚀刻过程中产生侧蚀是不可避免的，所以如何将侧蚀降至最小值成为各生产厂家的首要目标，其方法主要有以下几种： Ａ．选择高效率的蚀刻液，最好能使蚀刻液连续使用、再生，永远处于最佳的活跃状态。 Ｂ．制定或控制好适于自身产品的蚀刻液的温度。 Ｃ．选择理想的蚀刻方法，如喷淋式较好，其它方式较差，静止 蚀刻侧蚀最大。使用喷淋蚀刻时，上喷和下喷差别较大，应选择下喷，如图５所示。这是因为，如果选择上喷，即喷头向下，蚀刻应喷至板面，蚀刻液停留时间较长，在垂直蚀刻的同时向两侧蚀刻。而下喷当蚀刻液喷向板面时即刻落下，溶液交换的速度快，永远有新溶液喷向板面，减少了侧蚀的机会，侧蚀较小。 Ｄ．严格控制蚀刻时间。方法是先做首件，选择出最佳的蚀刻时间，一旦达到理想深度即刻取出用水冲洗（若有局部蚀刻不掉，取出清洗后做局部处理）。以后的产品按此蚀刻时间。 Ｅ．适量加入高分子成膜物质作保护剂，这种物质要能溶解于 水，与金属要有特定的亲和力，蚀刻时可以粘附于金属的侧壁上。 ５．图形补偿的方法 （１）先计算出有关金属的蚀刻系数（按规定的工艺条件），见图６侧蚀示意图。式中： Ａ．原掩膜宽度Ｂ．蚀刻后的宽度Ｉ．蚀刻后造成的缺口宽度ｄ．为蚀刻深度（２）计算公式：蚀刻系数＝ｄ／Ｉ 其中蚀刻系数越大侧蚀越小。以静蚀刻为例，其蚀刻系数为２～４，也就是说我们平时的蚀刻系数要远远超过它才行。 （３）补偿方法。在设计光绘底片前，根据新测得的蚀刻系数将蚀刻深度的数值代入式中，计算出侧蚀刻量从而对照底的数值加以修正，以补偿因侧蚀引起的线条及网 点失真。
蚀刻液分类 目前已经使用的蚀刻液类型有六种类型： 酸性氯化铜 碱性氯化铜 氯化铁 过硫酸铵 硫酸/铬酸 硫酸/双氧水蚀刻液。 各种蚀刻液特点 酸性氯化铜蚀刻液 1) 蚀刻机理：Cu+CuCl2→Cu2Cl2 Cu2Cl2+4Cl-→2(CuCl3)2- 2) 影响蚀刻速率的因素：影响蚀刻速率的主要因素是溶液中Cl-、Cu+、Cu2+的含量及蚀刻液的温度等。 a、Cl-含量的影响：溶液中氯离子浓度与蚀刻速率有着密切的关系，当盐酸浓度升高时，蚀刻时间减少。在含有6N的HCl溶液中蚀刻时间至少是在水溶液里的1/3，并且能够提高溶铜量。但是，盐酸浓度不可超过6N，高于6N盐酸的挥发量大且对设备腐蚀，并且随着酸浓度的增加，氯化铜的溶解度迅速降低。 添加Cl-可以提高蚀刻速率的原因是：在氯化铜溶液中发生铜的蚀刻反应时，生成的Cu2Cl2不易溶于水，则在铜的表面形成一层氯化亚铜膜，这种膜能够阻止反应的进一步进行。过量的Cl-能与Cu2Cl2络合形成可溶性的络离子(CuCl3)2-，从铜表面上溶解下来，从而提高了蚀刻速率。 b、Cu+含量的影响：根据蚀刻反应机理，随着铜的蚀刻就会形成一价铜离子。较微量的Cu+就会显著的降低蚀刻速率。所以在蚀刻操作中要保持Cu+的含量在一个低的范围内。 c、Cu2+含量的影响：溶液中的Cu2+含量对蚀刻速率有一定的影响。一般情况下，溶液中Cu2+浓度低于2mol/L时，蚀刻速率较低；在2mol/L时速率较高。随着蚀刻反应的不断进行，蚀刻液中铜的含量会逐渐增加。当铜含量增加到一定浓度时，蚀刻速率就会下降。为了保持蚀刻液具有恒定的蚀刻速率，必须把溶液中的含铜量控制在一定的范围内。 d、温度对蚀刻速率的影响：随着温度的升高，蚀刻速率加快，但是温度也不宜过高，一般控制在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地挥发，造成溶液组分比例失调。另外，如果蚀刻液温度过高，某些抗蚀层会被损坏。 碱性氯化铜蚀刻液
电化学在生活中的应用 电化学是研究电和化学相互关系的科学。它主要通过原电池和电解池来时现，原电池为化学能转化为电能的反应，电解池为电能转化为化学能转化为电能的反应。 电化学与我们的生活息息相关，小的方面看，我们的日常生命活动离不开电化学，航空航天各个领域都离不开电化学。下面将详细进行介绍： 原电池是由电极和电解质溶液构成的一个整体，它主要包含以下两种类型。 （类型一） （类型二） 它们两个在构成上的主要差别为是否有盐桥，在反应速度上类型一更加快速，在相同的时间内能够提供更多的电能。构成原电池需要以下条件：1.存在电子的转移2.构成闭合回路3.存在合适的电解质溶液。在原电池中存在电子的定向移动而形成的电流，点在在外电路中是由负极流向正极的，因此电流是从正极流向负极的，而在内电路中恰恰相反是由正极流向负极的。当我们在外电路上接入用电器时它就能对外供电了，但是每种原电池的电动势都是由其自身所决定的，其电动势为E=EΘ- RTlnJa/ZF。一般情况下原电池的电动势都比较小（例如，普通电池的电动势为1.5V）
不能直接用于生活生产，只有某些小型的耗电设备能利用，并且需要串联使用，因此开发较大电动势的原电池是我们需要努力的方向。 原电池的组成用图示表达，过于麻烦。为书写简便，原电池的装置常用方便而科学的符号来表示。其写法习惯上遵循如下几点规定： 1. 一般把负极写在电池符号表示式的左边，正极写在电池符号表示式的右边。 2. 以化学式表示电池中各物质的组成，溶液要标上活度或浓度（mol/L），若为气体物质应注明其分压(Pa)，还应标明当时的温度。如不写出，则温度为298.15K，气体分压为101.325kPa，溶液浓度为1mol/L。 3. 以符号“∣”表示不同物相之间的接界，用“‖”表示盐桥。同一相中的不同物质之间用“，”隔开。 4. 非金属或气体不导电，因此非金属元素在不同氧化值时构成的氧化还原电对作半电池时，需外加惰性导体（如原电池铂或石墨等）做电极导体。其中，惰性导体不参与电极反应，只起导电（输送或接送电子）的作用，故称为“惰性”电极。 按上述规定，Cu－Zn原电池可用如下电池符号表示： （-）Zn(s)∣Zn2+ (C)‖Cu2+ (C)∣ Cu(s) （+）① 从反应的机理来看构成原电池需要有电子的转移，由此来看需要为氧化还原反应，但是实际上并不是所有的原电池都是由氧化还原反应构成的，还存在一种浓差电池。 浓差电池是由于电池中存在浓度差而产生的，并且浓差电池也可分为两种:1.电解质浓度不同而形成的浓差电池2.电极不同而形成的浓差电池。标准的浓差电池的电动势为E=0. 另外浓差电池也可分为单液浓差电池和双液浓差电池两大类，其区别方法为：组成电池的两个电极液种类或活度相同，而两个电极的活度或逸度不同（如汞齐电极、气体电极）而组成的电池，称为单液浓差电池；电极相同，电极反应相同，只是电极液的浓度（或活度）不同，称为双液浓差电池。 另外腐蚀可分为两种：析氢腐蚀和吸氧腐蚀。其中析氢腐蚀时会释放出氢气，而吸氧腐蚀会吸收如部分氧气。从危害来讲析氢腐蚀的危害更加严重，它是原电池的一种反应，反应速度较快，对设备的危害最大，尤其是在酸雨频发的地区，另外对于炼油厂以及化工厂的危害也尤其巨大。 根据原电池的原理人们设计了很多很实用的设备，例如手机电池在放电时就是一个原电池，并且它可以进行充电，只不过在其充电时是一个电解池。另外原电池的
碱性蚀刻液回用铜回收设备 操 作 规 范 (试用版) 2012 年 11月
目录 1.清洗 (3) 2.测试搅拌、泵、过滤器的运行情况 (3) 3.调配电解槽电解液的酸度 (3) 4.调配水洗液的酸度 (4) 5.调节好萃取缸1、2、3、4的液位 (4) 6.设备的启动、操作及注意事项 (5) 7.停机 (7) 8.参数检测方法 (8) 9.蚀刻液循环系统保养细则 (9) 10.了解氨气及其防范措 (10) 11.附表 (11)
1.清洗 1.1先用毛巾清理安装时缸里的灰尘和胶丝； 1.2再用自来水清洗2~3次，直至把各个缸清洗干净为止； 1.3清洗干净后，试水，往各个缸注自来水（至每个缸容积的3/4），检查各 个缸的性能，是否有漏夜； 2.测试搅拌、泵、过滤器的运行情况 2.1到电控箱的【泵浦界面】把搅拌、泵逐个逐个打开，逐个检查各搅拌、 泵是否反转异常等； 2.2如果发现异常，立刻停止启动，及时处理异常后才能试运； 2.3检查各个过滤器的运行情况，查看其是否压力过大等问题，及时做好处 理措施，防止压力过大损坏泵； 2.4检查各管道是否通畅，是否接好，是否漏液； 2.5检查完各个设备正常工作后，准备下阶段的工作。 3.调配电解槽电解液的酸度 3.1把电解槽里的自来水调至约8m3，把试水时多余的自来水排掉（如有杂物用 水瓢捞出来，以防堵泵和管道）； 3.2把AC缸的循环泵P7开启、打开冷凝水阀门（把阀门开到最大）； 3.3穿戴好防化服、水鞋、手套等劳保，加入纯度较高的硫酸（约2.8吨、浓 度98%），加硫酸时，不能单独进行，旁边一定要有人监视（由于加的量比较多，可多人轮换添加）
电学知识在实际生活中的应用 这学期电学知识有两个重要特点：第一个是与生活实际联系相当的紧密，第二个是公式、习题多，难度大。这样一来，学生学习这一部分知识的最大感觉就是“难”，尤其是脱离现实生活的习题使学生失去学习物理的兴趣，电灯是学习这一部分东西的好帮手，它应用了不少的物理知识，，也是“从生活走向物理”的好教材，能够一定程度上帮助学生提升学习物理兴趣的同时，也使他们掌握住了很多知识。 1.电灯是如何工作的 电灯是根据电流的热效应的原理工作的。当电流通过灯丝时，灯丝热到白炽状态就发出明亮的光，将电能转化为光能和热能为我们服务。 2.电灯的灯丝是用什么材料做的 电灯的灯丝是用熔点高的钨丝做的，这是因为灯泡发光时灯丝的温度在2000摄氏度以上，用钨丝比较耐用。 3.电灯的灯丝为什么要做成螺旋状 因为灯泡发光时灯丝的温度在2000摄氏度以上，灯丝做成螺旋状是为了减少散热，提高灯丝的温度，以便更好的发光。 4.为什么有的灯泡要抽成真空，有的灯泡要冲入惰性气体 为了防止钨丝在高温下氧化，小功率的灯泡都抽成真空，而60瓦以上的灯泡要冲入惰性气体，这些气体可以阻碍灯丝在高温下的升华。
5.如何根据灯丝的粗细比较额定电压相同而额定功率不同的电灯 灯丝较粗的灯泡额定功率较大，灯丝较细的灯泡额定功率较小。因为灯泡中灯丝的材料、长度相同，根据电阻的性质，导体横截面积大，则电阻较小；又额定电压相同，根据P=U2/R可知，灯丝较粗的灯泡额定功率较大。 6.如何比较灯泡的亮度 电灯的亮度由电灯消耗的实际功率决定，实际功率大的灯泡比较亮。例如“220V，25W”和“220V，100W”的两个灯泡，由R=U2/P可知，25W的灯泡电阻较大，100W的灯泡电阻较小。如果将两灯串联，通过他们的电流相等，由P=I2R可知，25W的灯泡较亮。如果亮灯并联，它们两端的电压相等，由P=U2/R可知，此时25W的灯泡较暗。 7.灯泡用久了，灯泡壁为什么会变黑 灯泡使用时，钨丝在高温下升华为钨蒸气。关灯后，温度降低，钨蒸气凝华附着在灯泡壁上。时间长了，灯泡壁就会变黑。 8.灯泡的灯丝断了后，如果搭接上为什么显得更亮一些，一般“搭上”的灯使用寿命都不长，这是什么原因 灯泡的灯丝断了以后，如果搭接上再用，会更亮一些。因为灯丝断了后，长度变短，灯丝的电阻变小，根据P=U2/R，则R变小，P变大，所以显得更亮一些，但由于消耗的电功率变大了，容易使温度升高而再次烧断灯丝。 9.同一个灯泡，为什么使用时，深夜比傍晚亮
PCB蚀刻过程中应注意的问题 1. 减少侧蚀和突沿，提高蚀刻系数 侧蚀产生突沿。通常印制板在蚀刻液中的时间越长，侧蚀越严重。侧蚀严重影响印制导线的精度，严重侧蚀将使制作精细导线成为不可能。当侧蚀和突沿降低时，蚀刻系数就升高，高的蚀刻系数表示有保持细导线的能力，使蚀刻后的导线接近原图尺寸。电镀蚀刻抗蚀剂无论是锡－铅合金，锡，锡－镍合金或镍，突沿过度都会造成导线短路。因为突沿容易断裂下来，在导线的两点之间形成电的桥接。 影响侧蚀的因素很多，下面概述几点： 1)蚀刻方式：浸泡和鼓泡式蚀刻会造成较大的侧蚀，泼溅和喷淋式蚀刻侧蚀较小，尤以喷淋蚀刻效果最好。 2)蚀刻液的种类：不同的蚀刻液化学组分不同，其蚀刻速率就不同，蚀刻系数也不同。例如：酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3，碱性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数可达到4。近来的研究表明，以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀，达到蚀刻的线条侧壁接近垂直。这种蚀刻系统正有待于开发。 3)蚀刻速率：蚀刻速率慢会造成严重侧蚀。蚀刻质量的提高与蚀刻速率的加快有很大关系。蚀刻速度越快，板子在蚀刻液中停留的时间越短，侧蚀量越小，蚀刻出的图形清晰整齐。 4)蚀刻液的PH值：碱性蚀刻液的PH值较高时，侧蚀增大。峁见图10-3为了减少侧蚀，一般PH值应控制在8.5以下。 5)蚀刻液的密度：碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀，见图10-4，选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀是有利的. 6)铜箔厚度：要达到最小侧蚀的细导线的蚀刻，最好采用(超)薄铜箔。而且线宽越细， 铜箔厚度应越薄。因为，铜箔越薄在蚀刻液中的时间越短，侧蚀量就越小。 2. 提高板子与板子之间蚀刻速率的一致性
蚀刻补偿原理及应用 1、蝕刻補償原理 什麼是“間隔噴淋蝕刻”的意思？為什麼“間隔噴淋蝕刻”能給我們一個更加均勻的蝕刻效果呢？當蝕刻噴淋到上板面的時候，板邊緣的藥水流動要更快於板中間，這樣導致了在上板面形成一種“魂凝”狀態，從而阻礙了噴淋和降低了蝕刻反映速度，導致在上板面形成一個“銅山”（如圖一所示），為了得到更好的蝕刻品質，這些“銅山”應該要除去，下面圖表會解釋這個過程。所謂的“銅山”已經使用3D圖表顯示，同時使用等高線分開。 為了補償上板面“混凝”的影響，設計了一個特殊的噴淋系統，這個系統在工作方向垂直方向上安裝了一些噴管，每一根噴管可以各自的控制其開關，而且每一根噴管安裝了不同數量的噴嘴，噴嘴的形狀安排成一個三角形。正常情況下按照以下排列：第一根噴管安裝了9個噴嘴，第二根噴嘴安裝了8個噴嘴，第三根噴管安裝了7個噴嘴，如此類推，直到最後一根噴管安裝3到4個噴嘴為止，如 圖2所示。由於可以選擇每一個噴管的開、關，在板面上的“銅山”可以被一層一層的除掉。
下面給了我們關於“間隔噴淋”程式更詳細的解釋： 以上圖解顯示了有6根噴管的“間隔噴淋”系統，在板面上的橢圓形表示了板面上殘銅（銅山）的不同的厚度。 當板走進時，有8個噴嘴的第一根噴管被開動，目的是蝕刻掉1.5um 的銅厚，意味著原來1.5um 的區域被蝕刻為0um ，3un 的區域蝕刻為1.5um ，如此類推。在第一個噴管到達板後端以前，第二根噴管已經被開動，實際上是在1.5um 銅厚的區域剛好到達第二根噴管時開動的。第三根噴管是在下一層銅層到達時開動，如此類推，一直到裝有3個噴嘴的最後一根噴管噴完為止，這意味著這個系統可以根據實際蝕刻掉板面上最後一層銅層，而噴灌管的開、關選擇可以在PLC 控制的PC 上設定。
电磁感应现象及电磁在生活中的应用 摘要：电磁感应，也称为磁电感应现象是指放在变化磁通量中的导体，会产生电动势。此电动势称为感应电动势或感生电动势，若将此导体闭合成一回路，则该电动势会驱使电子流动，形成感应电流。 电磁反应是一个复杂的过程，其运用到现实生活中的技术（例如：电磁炉、微波炉、蓝牙技术、磁悬浮列车等等）。是经过很多人的探索和努力一步一步走到现在的。 正文： 电磁感应的定义：闭合电路的一部分导体在磁场中做切割磁感线的运动时，导体中就会产生电流，这种现象叫电磁感应现象。本质是闭合电路中磁通量的变化。由电磁感应现象产生的电流叫做感应电流。 电磁感应的发现：1831年8月，法拉第把两个线圈绕在一个铁环上，线圈A 接直流电源，线圈B接电流表，他发现，当线圈A的电路接通或断开的瞬间，线圈B中产生瞬时电流。法拉第发现，铁环并不是必须的。拿走铁环，再做这个实验，上述现象仍然发生。只是线圈B中的电流弱些。为了透彻研究电磁感应现象，法拉第做了许多实验。1831年11月24日，法拉第向皇家学会提交的一个报告中，把这种现象定名为“电磁感应现象”，并概括了可以产生感应电流的五种类型：变化的电流、变化的磁场、运动的恒定电流、运动的磁铁、在磁场中运动的导体。法拉第之所以能够取得这一卓越成就，是同他关于各种自然力的统一和转化的思想密切相关的。正是这种对于自然界各种现象普遍联系的坚强信念，支持着法拉第始终不渝地为从实验上证实磁向电的转化而探索不已。这一发现进一步揭示了电与磁的内在联系，为建立完整的电磁理论奠定了坚实的基础。 电磁感应是指因磁通量变化产生感应电动势的现象。电磁感应现象的发现，乃是电磁学中伟大的成就之一。它不仅让我们知道电与磁之间的联系，而且为电与磁之间的转化奠定了基础，为人类获取巨大而廉价的电能开辟了道路，在实用上有重大意义。电磁感应现象的发现，标志着一场重大的工业和技术革命的到来。事实证明，电磁感应在电工、电子技术、电气化、自动化方面的广泛应用对推动社会生产力和科学技术的发展发挥了重要的作用。 若闭合电路为一个n匝的线圈，则又可表示为：式中n为线圈匝数，ΔΦ为磁通量变化量，单位Wb ，Δt为发生变化所用时间，单位为s.ε为产生的感应电动势，单位为V。 磁通量：设在匀强磁场中有一个与磁场方向垂直的平面，磁场的磁感应强度为B，平面的面积为S。(1)定义：在匀强磁场中，磁感应强B与垂直磁场方向的面积S的乘积，叫做穿过这个面的磁通量。 (2)公式：Φ＝BS 当平面与磁场方向不垂直时： Φ＝BS⊥＝BScosθ（θ为两个平面的二面角） (3)物理意义
电磁学在生活中的应用 材料与化学工程学院 高分子材料与工程 541004010122 李祥祥
电磁学在生活中的应用电磁学从原来互相独立的两门科学(电学、磁学)发展成为物理学中一个完整的分支学科，主要是基于两个重要的实验发现，即电流的磁效应和变化的磁场的电效应。这两个实验现象，加上麦克斯韦关于变化电场产生磁场的假设，奠定了电磁学的整个理论体系，发展了对现代文明起重大影响的电工和电子技术。 电磁学在生活中应用也比较广泛，下面举例说明电磁学在生活中应用。 指南针 指南针是用以判别方位的一种简单仪器。指南针的前身是中国古代四大发明之一的司南。主要组成部分是一根装在轴上可以自由转动的磁针。磁针在地磁场作用下能保持在磁子午线的切线方向上。磁针的北极指向地理的北极，利用这一性能可以辨别方向。常用于航海、大地测量、旅行及军事等方面。地球是个大磁体，其地磁南极在地理北极附近，地磁北极在地理南极附近。指南针在地球的磁场中受磁场力的作用，所以会一端指南一端指北。电磁炉 电磁炉作为厨具市场的一种新型灶具。它打破了传统的明火烹调方式采用磁场感应电流（又称为涡流）的加热原理，电磁炉是通过电子线路板组成部分产生交变磁场、当用含铁质锅具底部放置炉面时，锅具即切割交变磁力线而在锅具底部金属部分产生交变的电流（即涡流），涡流使锅具铁原子高速无规则运动，原
子互相碰撞、摩擦而产生热能（故：电磁炉煮食的热源来自于锅具底部而不是电磁炉本身发热传导给锅具，所以热效率要比所有炊具的效率均高出近1倍）使器具本身自行高速发热，用来加热和烹饪食物，从而达到煮食的目的。具有升温快、热效率高、无明火、无烟尘、无有害气体、对周围环境不产生热辐射、体积小巧、安全性好和外观美观等优点，能完成家庭的绝大多数烹饪任务。因此，在电磁炉较普及的一些国家里，人们誉之为“烹饪之神”和“绿色炉具”。 电磁炉工作过程中热量由锅底直接感应磁场产生涡流来产生的，因此应该选择对磁敏感的铁来作为炊具，由于铁对磁场的吸收充分、屏蔽效果也非常好，这样减少了很多的磁辐射，所以铁锅比其他任何材质的炊具也都更加安全。此外，铁是对人体健康有益的物质，也是人体长期需要摄取的必要元素。 电磁起重机 电磁起重机是利用电磁原理搬运钢铁物品的机器。电磁起重机的主要部分是磁铁。接通电流，电磁铁便把钢铁物品牢牢吸住，吊运到指定的地方。切断电流，磁性消失，钢铁物品就放下来了。电磁起重机使用十分方便，但必须有电流才可以使用，可以应用在废钢铁回收部门和炼钢车间等。 利用电磁铁来搬运钢铁材料的装置叫做电磁起重机。电磁起重机能产生强大的磁场力，几十吨重的铁片、铁丝、铁钉、废铁和其他各种铁料，不装箱不打包也不用捆扎，就能很方便地收集和搬运，不但
电学知识在实际生活中的应用-CAL-FENGHAI-(2020YEAR-YICAI)_JINGBIAN
电学知识在实际生活中的应用 这学期电学知识有两个重要特点：第一个是与生活实际联系相当的紧密，第二个是公式、习题多，难度大。这样一来，学生学习这一部分知识的最大感觉就是“难”，尤其是脱离现实生活的习题使学生失去学习物理的兴趣，电灯是学习这一部分东西的好帮手，它应用了不少的物理知识，，也是“从生活走向物理”的好教材，能够一定程度上帮助学生提升学习物理兴趣的同时，也使他们掌握住了很多知识。 1.电灯是如何工作的 电灯是根据电流的热效应的原理工作的。当电流通过灯丝时，灯丝热到白炽状态就发出明亮的光，将电能转化为光能和热能为我们服务。 2.电灯的灯丝是用什么材料做的 电灯的灯丝是用熔点高的钨丝做的，这是因为灯泡发光时灯丝的温度在2000摄氏度以上，用钨丝比较耐用。 3.电灯的灯丝为什么要做成螺旋状 因为灯泡发光时灯丝的温度在2000摄氏度以上，灯丝做成螺旋状是为了减少散热，提高灯丝的温度，以便更好的发光。 4.为什么有的灯泡要抽成真空，有的灯泡要冲入惰性气体
为了防止钨丝在高温下氧化，小功率的灯泡都抽成真空，而60瓦以上的灯泡要冲入惰性气体，这些气体可以阻碍灯丝在高温下的升华。 5.如何根据灯丝的粗细比较额定电压相同而额定功率不同的电灯灯丝较粗的灯泡额定功率较大，灯丝较细的灯泡额定功率较小。因为灯泡中灯丝的材料、长度相同，根据电阻的性质，导体横截面积大，则电阻较小；又额定电压相同，根据P=U2/R可知，灯丝较粗的灯泡额定功率较大。 6.如何比较灯泡的亮度 电灯的亮度由电灯消耗的实际功率决定，实际功率大的灯泡比较亮。例如“220V，25W”和“220V，100W”的两个灯泡，由R=U2/P可知，25W的灯泡电阻较大，100W的灯泡电阻较小。如果将两灯串联，通过他们的电流相等，由P=I2R可知，25W的灯泡较亮。如果亮灯并联，它们两端的电压相等，由P=U2/R可知，此时25W的灯泡较暗。 7.灯泡用久了，灯泡壁为什么会变黑 灯泡使用时，钨丝在高温下升华为钨蒸气。关灯后，温度降低，钨蒸气凝华附着在灯泡壁上。时间长了，灯泡壁就会变黑。 8.灯泡的灯丝断了后，如果搭接上为什么显得更亮一些，一般“搭上”的灯使用寿命都不长，这是什么原因
电磁炉工作原理及使用 一、什么是电磁炉 电磁炉（又名电磁灶）--是现代厨房革 命的产物，是无需明火或传导式加热的无火 煮食厨具，完全区别于传统所有的有火或无 火传导加热厨具（炉具）。 二、电磁炉工作原理 电磁炉作为厨具市场的一种新型灶具。它打破了传统的明火烹调方式采用磁场感应电流（又称为涡流）的加热原理，电磁炉是通过电子线路板组成部分产生交变磁场、当用含铁质锅具底部放置炉面时，锅具即切割交变磁力线而在锅具底部金属部分产生交变的电流（即涡流），涡流使锅具铁分子高速无规则运动，分子互相碰撞、摩擦而产生热能（故：电磁炉煮食的热源来自于锅具底部而不是电磁炉本身发热传导给锅具，所以热效率要比所有炊具的效率均高出近1倍）使器具本身自行高速发热，用来加热和烹饪食物，从而达到煮食的目的。具有升温快、热效率高、无明火、无烟尘、无有害气体、对周围环境不产生热辐射、体积小巧、安全性好和外观美观等优点，能完成家庭的绝大多数烹饪任务。因此，在电磁炉较普及的一些国家里，人们誉之为"烹饪之神"和"绿色炉具"。 电磁炉不适用的锅?
铜、铝、陶、玻璃材料的锅和容器，因为它们的分子都不是磁性分子，不能在磁场的作用下产生碰撞。磁性分子包括铁、钴、镍及其所属氧化物。 饮水机的工作原理 温热型使用时，按下加热开关，电源为“保温”指示灯提供电源，作通电指示。同时，电源分成两路：一路构成加热回路，使通电加热升温；另一路为“加热”指示灯提供电压作加热指示。当热罐内的水被加热到设定的温度时，触点断开，切断加热及加热指示回路电源，“加热”指示灯熄灭，停止加热。 当水温下降到设定温度时，触点接通电源回路，重新发热，如此周而复始地使水温保持在85-95℃之间。 温热电路中为双重保护元件，当超温或发生短路故障时，超温保险器自动熔或手动复位自动断开加热回路电源，起到保护作用。超温保险器是一次性热保护元件，不可复位，等排除故障后按原型号规格更换新的超温保险器，再用手按手动复位温控器的复位按钮，触点闭合便可重新工作。 是一个光热转换器，区别于传统的自然利用，如晾晒、采光。 是的核心，他的结构如同一个拉长的暖瓶胆，内外层之间为真空。在内玻璃管的表面上利用特种工艺涂有选择性吸收，用来最大限度的吸收能。经，撞击，太阳能转化成热能，水从外吸热，水温升高，密度减小，热水向上运动，而比重大的冷水下降。热水始终位于上部，即水箱中。中热水的升温情况与外界温度关系不大，主要取决于光照。当打开厨房或洗浴间的任何一个水龙头时，热水器内的热水便依靠自然落差流出，落差越大，越高。 照相机 成像过程
1. 减少侧蚀和突沿，提高蚀刻系数 侧蚀产生突沿。通常印制板在蚀刻液中的时间越长，侧蚀越严重。侧蚀严重影响印制导线的精度，严重侧蚀将使制作精细导线成为不可能。当侧蚀和突沿降低时，蚀刻系数就升高，高的蚀刻系数表示有保持细导线的能力，使蚀刻后的导线接近原图尺寸。电镀蚀刻抗蚀剂无论是锡－铅合金，锡，锡－镍合金或镍，突沿过度都会造成导线短路。因为突沿容易断裂下来，在导线的两点之间形成电的桥接。 影响侧蚀的因素很多，下面概述几点： 1)蚀刻方式：浸泡和鼓泡式蚀刻会造成较大的侧蚀，泼溅和喷淋式蚀刻侧蚀较小，尤以喷淋蚀刻效果最好。 2)蚀刻液的种类：不同的蚀刻液化学组分不同，其蚀刻速率就不同，蚀刻系数也不同。例如：酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3，碱性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数可达到4。近来的研究表明，以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀，达到蚀刻的线条侧壁接近垂直。这种蚀刻系统正有待于开发。 3)蚀刻速率：蚀刻速率慢会造成严重侧蚀。蚀刻质量的提高与蚀刻速率的加快有很大关系。蚀刻速度越快，板子在蚀刻液中停留的时间越短，侧蚀量越小，蚀刻出的图形清晰整齐。 4)蚀刻液的PH值：碱性蚀刻液的PH值较高时，侧蚀增大。峁见图10-3为了减少侧蚀，一般PH 值应控制在8.5以下。 5)蚀刻液的密度：碱性蚀刻液的密度太低会加重侧蚀，见图10-4，选用高铜浓度的蚀刻液对减少侧蚀是有利的. 6)铜箔厚度：要达到最小侧蚀的细导线的蚀刻，最好采用(超)薄铜箔。而且线宽越细， 铜箔厚度应越薄。因为，铜箔越薄在蚀刻液中的时间越短，侧蚀量就越小。 2. 提高板子与板子之间蚀刻速率的一致性 在连续的板子蚀刻中，蚀刻速率越一致，越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求，必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在最佳的蚀刻状态。这就要求选择容易再生和补偿，蚀刻速率容易控制的蚀刻液。选用能提供恒定的操作条件和对各种溶液参数能自动控制的工艺和设备。通过控制溶铜量，PH值，溶液的浓度，温度，溶液流量的均匀性(喷淋系统或喷嘴以及喷嘴的摆动)等来实现。 3. 高整个板子表面蚀刻速率的均匀性 板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。蚀刻过程中，上下板面的蚀刻速率往往不一致。一般来说，下板面的蚀刻速率高于上板面。因为上板面有溶液的堆积，减弱了蚀刻反应的进行。可以通过调整上下喷嘴的喷啉压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。蚀刻印制板的一个普遍问题是在相同时间里使全部板面都蚀刻干净是很难做到的，板子边缘比板子中心部位蚀刻的快。采用喷淋系统并使喷嘴摆动是一个有效的措施。更进一步的改善可以通过使板中心和板边缘处的喷淋压力不同，板前沿和板后端间歇蚀刻的办法，达到整个板面的蚀刻均匀性。 4. 提高安全处理和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力 在蚀刻多层板内层这样的薄层压板时，板子容易卷绕在滚轮和传送轮上而造成废品。所以，蚀刻内层板的设备必须保证能平稳的，可靠地处理薄的层压板。许多设备制造商在蚀刻机上附加齿轮或滚轮来防止这类现象的发生。更好的方法是采用附加的左右摇摆的聚四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送的支撑物。对于薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻，必须保证不被擦伤或划伤。薄铜箔经不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械上的弊端，有时较剧烈的振颤都有可能划伤铜箔。 5. 减少污染的问题 铜对水的污染是印制电路生产中普遍存在的问题，氨碱蚀刻液的使用更加重了这个问题。因为铜与氨络合，不容易用离子交换法或碱沉淀法除去。所以，采用第二次喷淋操作的方法，用无铜的添加液来漂洗板子，大大地减少铜的排出量。然后，再用空气刀在水漂洗之前将板面上多余的溶液除去，从而减轻了水对铜和蚀刻的盐类的漂洗负担。
电学知识在日常生活中的“简单应用” 南雅中学禹玲玲我们都知道，物理与生活有密切的联系。一方面生活中的许多现象就是物理研究的对象（内容），另一方面，生活中有许多方面在应用物理知识或规律。于是，有些人就认为，生活就是物理，物理即生活。通过我们对物理的进一步学习就知道，生活并不是物理的全部，物理也不是生活的全部。在日常学习、工作和生活中，许多人都将这二者“混”在了一起，出现了错误的认识或错误的做法，有的还会给人误导，甚至已经出现严重的安全问题或潜在的安全隐患。下面主要说说“电学知识的应用”。 一、生活之理并非物理之理 随着我国城市化建设的进一步推进，到处都出现了高楼建筑，人们在享受物质生活便利的同时，也给进城的人们带来许多不便：在居民楼里的人们要想晾晒自己家的衣服、床被等，也就没有在农村时地广人稀那么方便，往往在自家阳台上或楼顶上晾晒。为了方便，人们常常使用不易生锈的铁丝等金属物代替普通绳索来悬挂衣物等。这看起来好像没什么不妥当的地方──只要我们不在电线上晾晒衣物，如果我们在雷雨天收取衣物，无论是在楼顶还是在露天两树之间架设的金属丝或金属杆就有带电的可能，有时还是致命的：因为金属和活的树木都是导体，高处的这些物体更可能引来雷电或成为漏电通路。当然，我们是不可能在要求大家都使用普通绳子或干竹杆之类物品的来晾晒衣物，如果我们使用有塑料外壳的复合管或绳，就既安全又耐用了。 二、物理之理并非生活之理 根据我们所学的物理知识知道：家庭电路正确的连接方法是：进户线→电能表→总开关→保险丝→用电器（不同的用电器需要另外安装分开关）。但很多家庭中没有总开关或者保险丝，这样，就给维修和改装电路带来了很大的不便，往往要带电（无总开关时）操作；当我们使用电笔或电表来检修电路时，又需要有电（带电）才方便进行操作，找出故障点。或者有的人将保险丝换成了远超过电能表允许通过的最大电流的保险丝或铁丝、铜丝，当发生短路或者用电器总功率过大时，保险丝起不到保护电路的作用，有可能损坏电能表，甚至烧坏线路，引起火灾。 像我们这些大量使用电炉的地方──电能是最基本、最主要的生活用能源，人们偏偏是这样──有意将保险丝换用大型号或用铁丝、铜丝等代替。由于电炉丝是裸露的，难免不出现“碰线”（短路）的情况，如果保险丝一下断开了，而家中又没有备用的或离商店较远者，或者家中没有人能够换保险丝的话，那就别想生活了。也许有人说，安装空气开关就方便了。理论上的确如此，但像我们这山高人烟少的地方。室外的输电线不“允许”安装空气开关──大风造成输电线“碰线”时有发生，空气开关会自动断开，确实起到了保护作用，可给使用者带来很大不便，因此，他们就会违背安全之理而选择生活之理。 三、行业规范与生活安全 随着我们国家城镇建设和电网改造的不断深入，各种避雷等安全设施也在逐步使用并被人们所熟知，安全似乎已经不是什么大问题。那真实的情况是这样吗？避雷设施等一般都是需要直接与大地良好相连，且要求与地之间的电阻要足够小；许多人安装时为了一时方便，就直接用接地导线与自来水管或煤气管相连代替接地装置，并不能让保护装置与地良好接触，更可能埋下更大的安全隐患。 在家庭电路中，输电线（护套）无论粗细一般都标有“300/500”等字样，且护套内的两根线有不同的颜色；开关、灯座等一般标有“10A250V～”、“2A250V”等字样。普通家庭入户电话线有“250V”等字样，是不是说就能够用电话线来做家庭输电线呢？通过学习物理知识知道：家庭输电线要求与所能承受的电流、电压及自身电阻都有关。就目前来看，
显影蚀刻工艺调试 目录 一. 名词解释 (2) 1. CD (2) 2. DOF (2) 3. DOSE (2) 4. ISOFOCAL DOSE (2) 5. CD Uniformity (2) 6. CD Range： (2) 7. ADI： (2) 8. AEI： (2) 9. ASI： (2) 二. 工艺调试内容 (3) 1. Etch to clear 测试 (3) 1.1. 测试目的 (3) 1.2. 测试条件 (3) 1.3. 测试步骤， (3) 1.4. 数据处理 (3) 2. ISOFOCAL DOSE测试 (3) 2.1. 测试目的 (3) 2.2. 测试步骤 (3) 2.3. 数据处理 (3) 2.4. 其它 (5) 3. CD uniformity 测试 (5) 3.1. 测试目的 (5) 3.2. 测试条件 (5) 3.3. 测试步骤 (6) 3.4. 数据处理 (6)
一.名词解释 1. CD Critical Dimension，关键尺寸，也称线宽。衡量芯片制造工艺的指标。线宽越小，芯片的集成度越高，其性能越好。 2. DOF Depth of Focus，焦深，指光学镜头的可聚焦范围。在该范围内图像能够清晰成像。为能够保证光胶完全曝光，焦深必须能够覆盖光刻胶层的上下表面。 3. DOSE 曝光剂量。DOSE＝曝光强度×曝光时间，单位：mJ/ cm2。 4. ISOFOCAL DOSE 最佳感光剂量。用此剂量曝光，聚焦误差对CD影响最小。曝光机在生成图形时，由于存在机械运动，会造成FOCUS偏移。采用ISOFOCAL DOSE曝光，可获得CD Uniformity最优的图形。 5. CD Uniformity CD均匀性。是对所有CD测量值统计的标准偏差 6. CD Range： CD误差。是所有CD测量值最大值和最小值的差值。 7. ADI： After Develop Inspection。显影后CD测量。ADI一般用于检测曝光机和显影机的性能指标。由于不能通过透射光测量，所以ADI一般通过电子束或扫描电镜等手段测量。 8. AEI： After Etch Inspection。蚀刻后CD测量。AEI一般用于检测蚀刻机台的性能指标。在生产上，也有两步蚀刻工艺用到AEI。即显影后先做初步蚀刻，然后根据AEI 结果确定最终蚀刻工艺时间。这种工艺在蚀刻性能受环境影响比较大的设备上能够获得比较好的工艺结果。 9. ASI： After Strip Inspection。去胶后CD测量，也是成品的CD测量。一般用于成品出厂检验。