干式旋片真空泵的特点及应用介绍
1.特点介绍
①由于干式泵不会产生油蒸气体，因此生产车间环境及被处理的物品不受污染，是使用在净化车间等工业中最理想的真空设备。
②与水循环真空泵比较，水环泵受地理、资源的限制，且造成水资源的严重浪费。同时工作时会使生产车间湿度激增，极易造成物品受湿变质，而干式泵就不存在这些问题。
③干式泵不需加油加水，所以和一般其它真空泵相比，经常性的维护保养工作可大大减少。
④干式泵引用多叶片的高速运转，避免了一般其它真空泵吸排气的脉冲波动，输吸气非常稳定。
2.使用范围
与一般真空泵相比，干式真空泵的使用范围更加广泛。具体可应用于：
制药机械上的胶囊充填、胶囊印字、药品混合、输送、真空干燥及药品真空包装机；
自动包装线上的真空吸拉、开袋、装料；
印刷机械上低能耗真空吸送；
各种液体注入瓶内的高效率真空灌装；
各种兼制品的真空吸塑成型；物体表面在真空状态下的气密性试验；
纸箱及瓶类物品的标签真空吸送、粘贴；
玻璃等薄板零件的真空吸运；
真空吸引固定下的照相制版，真空状态下利用压力差引导气体分析；
各种机械自动线上的真空吸夹具；
各种容器在真空状态下的渗漏试验；
食品加工机械上的应用；
各种离心机械在真空状态下高速运转的平衡试验；
医院手术室的真空吸引，牛奶场的真空吸奶；
以及各种真空包装机械的配套使用等等。
干式真空泵介绍及发展现状 干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。 目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作解释返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本;其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，是泵不能正常工作。这时就要用到干式真空泵。 干式真空泵的应用主要有以下几个方面： 1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺 2.半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。 3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。 4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。 5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。 为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 水环式真空泵/液环真空泵的工作原理： 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2
2X-8A型旋片式真空泵特点及技术参数 该泵可直接从大气起动抽气，它可单独使用，也可作为增压泵、罗茨泵、气体循环冷却罗茨泵、油扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵。可供真空镀膜、真空热处理、真空冶炼、电子管、灯泡、化工、包装、吸塑成形、光伏、工矿企业的蒸馏、干燥、冷冻、过滤、理化等真空作业中。 一、2X-8A型旋片式真空泵特点 1、工作要求：进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。 2、工作要求：进口压强在小于1330Pa的条件下，允许长时期连续工作。 3、环境温度：真空泵一般在5℃-40℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。 4、气体类型：常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分。 5、设有气镇阀，可抽除少量水蒸汽，延长泵油使用时间（除2X-4A 外）； 6、霓虹灯制造专用真空泵，单晶炉、多晶炉、层压机配套等真空作业。 7、可单独作中真空泵用，也可与其它高真空泵组合作前级泵用。 8、一泵多抽头作业，提高效率，可节约能源。 二、2X-8A型旋片式真空泵技术参数 参数 2X-8A 型号 抽速L/S 8 极限压力Pa 分压力≤6×10-2 全压力≤1 转速r/min 320 工作电压V 380 电机功率Kw 1.1 进气口口径（mm）40
实物图 怎样选择水泵？ 建议从五个方面加以考虑，既液体输送量、扬程、液体性质、管路布置以及操作运转条件等。 1、流量是选泵的重要性能数据之一，它直接关系到整个装置的的生产能力和输送能力。如设计工艺能算出泵正常、最小、最大三种流量。选择泵时，以最大流量为依据，兼顾正常流量，适用电磁压差阀 DYC-Q40 用油量 L 1.5 外形尺寸mm 790×430×540 冷却水量 L/mm -- 毛重/净重Kg 158/148
罗茨真空泵故障排除及原理 一、罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P，测取罗茨泵出口（亦为前级泵入口）压力Pv，并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线，得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv，查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv，即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S，即S=S N K V/（K V+（S N/S V）-( S V/S N)3/2） 式中：S ——罗茨泵实际抽速，L/sS N——罗茨泵几何抽速，L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速，L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位，齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜；电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜；用以润滑油封的油杯处不应断油，油位不应低于1/3油杯高度，不宜加油过多，避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高，使泵体发热，而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热，避免泵体温度过高烫伤人，使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时，应先点动1、2次，使润滑油进入轴承内，然后再正式起动，否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵
停泵时，应先停罗茨泵，待电机停转后，在停前级泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大，而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁，以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。 3、换油时，罗茨泵最好先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。
DP系列干式螺杆真空泵 威海智德真空科技有限公司主要供应设备： ※ DP系列干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、水环真空泵、大型复杂真空机组。公司网址：VV VV VV 。drypumps。net 电①③五六③①贰壹⑧⑨③丛经理欢迎咨询选购。 DP系列干式螺杆真空泵 性能特点： 1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。 2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况。 3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体。 4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。 5、水温对真空影响小，节水达90％以上,甚至可以不耗水。 6、不耗油,无滴漏。 7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小。 8、结构简单，维护方便。 9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。 10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。
抽速曲线： 工作原理： 干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
JZJD系列干式真空机组 结构及特点： JZJD系列干式真空机组是由常规罗茨真空、干式螺杆真空泵以及阀门、机架、电器控制箱组成的，其中干式螺杆真空泵作为前级真空泵，在达到罗茨真空泵启动压力时，由真空规头及压力变送器控制罗茨真空泵的启停。由于罗茨真空泵及干式螺杆真空泵运转部件均不接触，因此整机具备运转平稳，噪音低，结构紧凑占地面积小等优点。 性能特点： 1：JZJD系列干式真空机组抽气范围广（280-4320m3/h），真空度高（极限压力可达0.01Pa）2：即使在高真空下依然能保持较大的抽速，满足客户对高真空、大抽速的要求。 3：罗茨真空泵与干式螺杆真空泵可根据抽速比，搭配各种组合方案，有效降低能源消耗，达到最佳性价比。
最全真空泵使用与维修方法 真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。接下来小编为你介绍最全真空泵使用与维修方法! 一、真空泵使用 1、过70度。至干抽速的测定.由干比较复杂，一般不作检查。 2、需要通冷却水的机械真空泵.在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。 3、连续真空泵与被抽系统的管道应尽可能短而粗，管道内径一般应不小干真空泵进气口直径，以避免由干管道阻力而影响抽气速率。 4、为保持工作室内清洁卫生，有利干工作人员的身体健康，应用皮管将排出的气体直接引到室外。 5、真空泵长期未工作或环境温度较低时，可能引起起动困难，这时应使真空泵的抽气口通大气，用丰转动皮带轮(不贾接电源入使真空泵旋转数周后再起动。若是直接联真空泵，可继续动电动机数次，将真空泵腔内的存油排入油箱，即可起动。若然不行，可用辐射加热或红外灯对真空泵直接加温，直到能动为止。 6、使用前，检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时，必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮，皮带轮应按顺时针方向旋转，若反方向旋转时，可把相电源中任意二相接头对换一下即可。否则，旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统，造成严重污染。 7、工作结束后.应先关高真空阀，后关低真空阀.再停旋片真空泵，然后对其放气(如使用电磁真空带放气阀，可以自动放气)以防止油返回到真空系统，最后切断总电源.停水。 8、要注意防止坚硬物质(金属屑、玻璃碎片等)落入真空泵内，划伤真空泵的运动部件。真空泵长期停止使用时，应存放在干燥、请洁的环境中，并将抽气口和排气口堵死，防止污物落入。 9、拆洗和装配机械真空泵时必须注意不要碰伤密封面，不要损失螺钉，清洗干挣的部件要吹干或供干(温度不宜过高、时间不宜过长。装配时真空泵壁抹上少量油脂，尽可能捎除死空间，油量以油线为淮，过量会喷油。 二、真空泵的维修
单级旋片泵结构与工作原理 时间:2008-09-07 来源:真空技术网整理编辑:真空技术网 单级旋片泵只有一个工作室。泵主要由定子、旋片、转子组成。在泵腔内偏心地装有转子，转子槽中装有两块旋片，由于弹簧弹力作用而紧贴于缸壁(转动后还有旋片离心力)。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。 图5：单级旋片式真空泵工作原理图 当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气阀排出。 排气阀浸在油里以防止大气流入泵中。泵油通过油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有的运动表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔之间的密封。 双级旋片泵的结构与工作原理 时间:2008-09-07 来源:真空技术网整理编辑:真空技术网 单级旋片泵一般极限压力只能达到1.3Pa(个别可达0.1Pa)，为什么极限压力不能再低呢？主要由于： (1)泵的结构上存在有害空间(见图6)，该空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后，这一部分气体又被压缩，经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间，所以每次总有些气体排不尽。
图六：泵结构的有害空间图 (2)由于在泵工作时，泵腔的吸气空间与排气空间存在着一定的压力差。当排气空间的气体被压缩得很小时，它的压力很高，会通过各种可能的途径突破到吸气空间去，使泵真空度下降。 (3)泵油在泵体内循环流动过程中会溶解进大量气体和蒸气。在吸气侧，因为压力较低，溶解的气体又会跑出来，使泵的真空度不易提高。 为了提高泵的极限真空度，除了提高泵体、转子、旋片的加工精度，尽量减少装配间隙和有害空间以外，最有效的办法是将两只单级泵串接起来，组成双级泵。 图7为双级泵的工作原理图。泵由两个工作室组成。两室前后串联，同向等速旋转，A室是B室的前级，A是低真空级，B是高真空级。被抽气体经高真空级(B室) 进入前级，由排气阀排出泵外。前级(A)和单级泵一样，随时有油进入泵腔，而高真空级(B)仅在开始工作时存有少量的油，工作一段时间后，便没有油进入泵腔了。当泵开始工作，且吸入气体的压力较高时(例如从大气压力开始抽气)，气体经B室压缩，压力急增，则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀(1)排出，另一部分则经由前级排出。
罗茨真空泵产品结构原理及安装 一、ZJY型罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P，测取罗茨泵出口（亦为前级泵入口）压力Pv，并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线，得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv，查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv，即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S，即S=S N K V/（K V+（S N/S V）-( S V/S N)3/2） 式中：S ——罗茨泵实际抽速，L/sS N——罗茨泵几何抽速，L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速，L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、ZJY型罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位，齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜；电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜；用以润滑油封的油杯处不应断油，油位不应低于1/3油杯高度，不宜加油过多，避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高，使泵体发热，而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热，避免泵体温度过高烫伤人，使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时，应先点动1、2次，使润滑油进入轴承内，然后再正式起动，否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵
停泵时，应先停罗茨泵，待电机停转后，在停前级泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大，而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、ZJY型罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁，以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。 3、换油时，罗茨泵最好先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。
旋片真空泵故障及解决方法大全 1、泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。 A、泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障;皮带打滑;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。 B、不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高;设计制造原因的停泵返油太多。 油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中);有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑);旋片变形卡住;发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。 2、泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使用权泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降;使橡胶件容易老化;热膨胀使运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入中压力太高;水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳;温控水量调节阀失效等。 3、漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。 自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
4、漏水。可以发生在水管头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。 5、最大功率超标。可由长期连续工作入口压力太高、排气压力太高、杂物进入发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。 6、极限压力不过标。可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等到可凝性物质、仪器仪表失真、泵运转不正常等引起。 外漏较多时、排气口可看白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排气口上感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀等平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。 如果泵油清洁，长期存放未用，可开气镇阀净化泵内水汽。若无效，要检查仪表。若泵油发黄发白已乳化，可全开气镇，调大气镇量净化运转，必要时可在泵口放入适量气体运转，可加快净化过程。若抽入其他挥发性气体或液体，要及时换油，必要时请洗油箱。有些泵，在级间气道里会沉积泵液，为取得好的换油效果，要设法把沉积泵液排出。
旋片式真空泵结构原理与工作原理 旋片式真空泵是机械容积泵，是利用转子旋转，叶片在转子槽中随离心力和定子内表面形状出进产生容积变化，使油液获得压力能的一种液泵。该泵不仅容易获得2.5～7.0 MPa的压力，而且各密封容腔在旋转的每一瞬间所排出的油液是基本相同的，所以供油脉冲较小，排量和压力较均匀。旋片式真空泵的结构有许多种，最常的是中低压定量单级双作用泵，旋片式真空泵型即属此种。和单作旋片式真空泵相比，双作泵的转子，工作时能使所受的液体径向压力得到平衡。不仅轴承的载荷减到最小，延长了使寿命;而且工作较稳定。叶片是靠旋转离心力甩出的，因此，为使叶片(b)定子很好的接触，一般要求最低转速不得低于600 r/min,否则，便会内漏多、效率低;由此也产生一个启动扭矩低的优点。旋片式真空泵结构比齿轮泵稍复杂，成本稍高，价位比柱塞泵便宜。 因此，目前在中低压供油系统和液压系统中，旋片式真空泵得到了十分广泛的应用。除广泛应用于喷油泵试验台燃油供给系统外;还广泛应用于组合机床、液压磨床、液压车床、液压刨床和注塑机等液压系统。 1、主要技术参数与性能指标(见表1) 2、结构特点与工作原理 2.1结构特点(如图1) 该泵由法兰、泵轴5,泵体1.配油盘6、转子4、叶片3、定子2、压力侧板、泵盖以及滚动轴承、骨架油封、O形橡胶密封圈(以下简称O形圈)、螺栓(共3种9个全是圆柱头内六角螺栓，均简称螺栓)和
挡圈等组成。 泵轴由装在泵体和泵盖座孔中的轴承支承，转子(b)轴用花键联接，转子上开有倾角为10°～14°(有的无倾角)的径向均布狭槽，槽内装有可沿槽径向滑动的叶片，叶片外套装着转子同心的定子(也称腰形套或内凸轮)，转子前有配油盘，后有压力侧板，最后由泵盖封闭。 配油盘上对称的开有:2个进油口相通的吸油窗和2个出油口相通的压油窗;压力侧板(兼配油盘)上只对称的开有2个配油盘吸油窗相对、也进油口相通的吸油窗。 通过键动力源联接的泵轴带着转子旋转时，叶片受到离心力的作用，其端部便顶在定子即内凸轮表面上(油压建立后，叶片底部还受到油液压力的作用，这样会使其端部X加紧贴内凸轮表面)，叶片在离心力和内凸轮推力的共同作用下，便在槽中刹复运动。 其他零件无有运动。配油盘(b)泵体装成一体，前边有法兰封闭;定子和压力侧板用两只螺栓固定在配油盘上;侧板上固定螺栓圆柱头(兼定位销)(b)泵盖上定位孔对正并进入定位孔后，用 4只螺栓7固定在泵体上。 2.2 工作原理(如图2) (1)吸油压油。定子内表面、转子外表面和两侧配油盘压力侧板端面之间形成一个密封容积。在图2A中，叶片1,4,4,7，和7,10,10,1等把这个容积分为abcd,cdef和efgh,ghab 4部分。当转子按图示箭头方向旋转时，叶片1,4和7,10各组成一个吸油腔;4,7和10,1各组成一个压油腔(在1～4和4～7间的叶片2,3和5,6都不能互成独立的工作腔)。从图2B中。可以看出，转子旋转某一角度后，cdd o c o(ghh o g o)大于abb o a o(eff o e o)，表明叶片从小半径圆弧面过渡到大半径圆弧面，叶片从槽内甩出，吸油腔容积不断增大，形成局部真空，油箱内的油液在大气压力作用下，经泵盖进油口(大)、配油盘和压力侧板吸油窗，吸入吸油腔;这便是泵的进油过程。eff o e o(abb o a o)小于cdd o c o(ghh o g o)，表明叶片从大半径圆弧面过渡到小半径圆弧面，叶片被内凸轮推进槽内，压油腔容积不断减小，压迫油液，使其获得压力能，经配油盘压油窗，泵体出油口(小)，将压油腔的油液排出;这便是泵的排油过程。 (2)双作用力平衡。因为泵轴每旋转一转，叶片在转子槽中刹返运动2次，每个由叶片构成的容积完成2次吸油和排油过程。所以，这种泵称双作用泵。又因为这种泵的吸油(低压)和压油(高压)区是分别对称分布的;所以这种泵转子受到的液体径向压力是平衡的。因此，双作用泵输出压力比单作用泵要高。目前一般可达到7.0～10.5 MPa。 (3)内漏困油(如图3)
旋片式真空泵（2XZ-2）操作规范 范仁祥，李煜 一．工作原理 旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。 两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的 月牙形空间分隔成A、B、C三部分，如图所示。 当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间 A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与 排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处 于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小 的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。 二．操作须知 1.真空泵的开启 （1）查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。若油不足，从加油孔加入清洁真空泵油。加油毕后，应旋上螺塞。 （2）确定待抽容器、干燥塔（无水氯化钙）、显色塔（变色硅胶）、压力显示瓶和安全瓶是否准确连接，且密封好。若一切正常，关闭安全瓶上联通大气的旋塞，
打开真空泵。 2.真空泵的关闭 关闭真空泵时，先打开安全瓶上联通大气的旋塞，再关闭真空泵电源。三．异常情况的解决办法及注意事项 1.异常情况的解决办法 运转中的真空泵，如果操作不当，往往会出现故障，比如真空度下降，冒烟、喷油和噪音等情况。万一出现这种情况，首先不用恐慌，等停机以后根据故障一一排除。 （1）排气口冒烟 真空泵刚开始运转有冒烟的现象，属于正常情况。如果长时间在冒烟，说明泵进气口外的系统密封性有问题，需停机检漏。 （2）排气口喷油 封住泵的进气口使泵运转。如果不喷油，说明进气口外的系统密封性有问题，停机检漏；如果仍喷油，停机查看油位，实际油位若超过标准油位很多，放出一部分真空油，若油位正常，可能排气阀片损坏，找专人维修。 （3）噪音 ①敲缸。泵运转时发出不规律的响声，似金属敲打金属的声音。这是旋片在击打泵体发出的声音，原因是配对旋片间的弹簧断或者是收缩或弹出失效造成的。解决办法：打开泵检查旋片弹簧是否损坏，更换好的弹簧。 ②排气阀片噪音，由泵的排气阀片破损产生的噪音。解决办法：更换好的排气阀片。 （4）真空度下降 真空度下降，是指当下测得的旋片式真空泵真空度比出厂指标或者以前使用时的真空度低。引起真空度低的原因有很多，这里主要介绍可能性较大的几种。 ①系统密封性较差，检查体系密封是否完好。 ②更换的旋片式真空泵油牌号和原先不同。不同牌号的真空泵油，其饱和蒸汽压不同，所以可能造成真空度下降。解决办法：根据真空泵的型号规格更换正
多级真空泵厂家产品原理及特点 上海阳光泵业作为国内一家著名的集研制、开发、生产、销售、服务于一体的大型多元化企业，上海阳光泵业制造有限公司一直坚持“以质量求生存、以品质求发展”的宗旨为广大客户提供优质服务!同时，上海阳光泵业一直专注于自身实力的提升以及对产品质量的严格把关，为此，目前不但拥有国内最高水准的水泵性能测试中心、完善的一体化服务体系、经验丰富的水泵专家，同时经过多年的发展，产品以优越的性能、精良的品质、良好的服务口碑获得各项专业认证证书和客户认可。经过团队的不懈努力，上海阳光泵业在国内水泵行业已经取得了很大成就。这样一家诚信为本、责任重于天的水泵行业佼佼者，对于水泵的维修、保养等各大方面都有自己独特的方法，下面就一起来看看吧! 一、BZJ系列多级罗茨真空泵概述： BZJ系列双段罗茨真空泵（罗茨泵），是我公司在2ZJ系列单级罗茨泵的基础上，经过精心研究研发成功的新一代更新换代产品，各项指标均达到国外同类产品水平。 目前在国内，罗茨真空机组获得高真空的主要方式是多台罗茨泵串联再加前级泵，多台罗茨泵串联虽然比较灵活，但是管路连接复杂，设备组成复杂，增加了泄漏点和维修成本，随着罗茨真空泵的广泛应用和相关产业技术要求的提高，人们越来越需要一种使用及维护简便、运行可靠的新式罗茨真空泵提高自己的生产效率，降低生产成本。 双段式罗茨真空泵将两台串联的单级罗茨真空泵集成为一体，将设备的使用，双段式罗茨真空泵的研制成功，优化了机组的结构组成，降低了使用成本。 二、BZJ系列多级罗茨真空泵主要结构及原理： 1、转子:转子为罗茨真空泵的核心部件，设计加工要求高，经精密数控机床加工而成，每台共四个，装在一对平行的轴上，每根轴上装配尺寸不同，两个转子； 2、壳体：根据一定的抽速比例，壳体由中大小不一的两个腔，也即高低真空腔；
干式真空泵维护流程 好凯德干式真空泵维护保养知识 1、首先要了解真空泵的类型、特点、现在状况。了解使用要求，确定修理目标。在进行维修之前，准备好检测手段。 2、判断真空泵故障，确诊故障。判断准，可省事。确诊要验证。 3、排除油泵故障，先简后繁，先易后难。无须拆卸的不拆。以减少由于缺少专用工具和操作不当引起新的损伤，减少位置变化和跑合运转时间。一般的说，拼接式转子是不可拆卸的，否则形位公差就不保，转子就报废了。 4、有毒有害、有腐蚀性的真空泵，应请用户先行清洗，并告知必要的防护措施，以保障维修人员的健康。 5、干式真空泵故障分类 yazreid建议把故障分为运转故障和性能故障。 运转故障可包括泵不转，泵温太高，漏油，漏水，最大功率超标等。 性能故障可包括极限压力、极限全压力、抽气效率、噪声、喷油、气镇性能等不达标或不能满足要求。 6、故障判断与诊断例举 （1）真空泵不转。情况不明不能先开泵，以免加重故障。用手能盘动和不能盘动。 ①真空泵泵能盘动而不转。原因可以是联轴器故障；皮带打滑；电机接线有误；电机损坏；电源没电等。 ②不能盘动或盘起来很重的，原因可以是因为起动泵温太低，泵油粘度太高；设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中)；有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物；旋片弹簧等泵零件的碎屑；旋片变形卡住；发生了咬合(铜套、转子、中壁、泵盖、定子、轴承)。 （2）真空泵温太高。指低级排气阀附近测得的最高油温超过使用说明书规
定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的极限压力升高和抽气效率下降；使橡胶件容易老化；热膨胀使运转间隙缩小，特别是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的可靠性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。 （3）真空泵漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。 自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。 （4）真空泵漏水可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。 （5）大功率超标。可由长期连续作入口压力太高、排气压力太高、杂物进人发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在最大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。 （6）干泵极限压力不达标。 可由外漏、内漏、油孔堵塞、泵油质量不良或污染变质、有水汽等可凝性物质、仪器仪表失真、好凯德真空泵运转不正常等引起。 外漏较多时，排气口可看到白色蒸汽。油标处有较多气泡，手在排气口上可感到排气压力。低级排气阀处油面有较多气泡。功率会有所增加。这时，首先应检查气镇阀是否已关好。由于新泵出厂每台都在泵口测极限压力，所以如有外漏现象，应对泵口及管道、阀门、容器逐一检查。外轴封失效、油杯无油、油孔闷头漏气也可造成外漏。内漏可由泵内的运动间隙、排气阀座平面、排气阀的密封面、内轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀密封件等引起。磨损、腐蚀、咬合会使运转间隙加大。油孔阻塞时，打开加油孔听，泵的噪声会较轻，在油箱密封良好的情况下，如果手在排气口上有被吸的感觉，排气阀可能失效。
真空泵的选择 一、选用真空泵时，需要注意下列事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。 二、水环式真空泵的选择 （一）、泵类型的确定 泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，需要注意以下两个方面： 1.尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。 2.应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。
目录 一、概述 (5) 二、结构原理 (6) 三、性能参数 (12) 四、安装尺寸表 (15) 五、拆箱安装 (16) 六、使用说明 (18) 七、维护保养 (19) 八、故障排除 (20) 九、维修 (22)
一、2X型旋片式真空泵的产品用途及使用范围： １、2X型旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体，使该容器获得一定真空的基本设备，由于现代科学技术的高度发展，真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。 ２、由于旋片式真空泵是用黑色金属制造，而且比较精密，整个泵的工作都是联系在一起的，所以旋片式真空泵不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体，也不可做为压缩机和输送泵使用。如有气镇装置的泵，可抽除一定地的可凝汽体。， 3、旋片式真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业，以及配合其它真空作业之用。 4、旋片式真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。二、2X型旋片式真空泵的结构及原理： 5、图1是旋片式真空泵泵原理图，转子3及7与高真空室外1及低真空室6相切，转子3及7沿箭头方向旋转，带动转子槽内滑动的转片旋转,由于弹簧9及离心力的作用, 转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的月洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性的大小变化,当在图示旋片式真空泵位置继续旋转时A及C容积逐渐增大,被抽容积气体没进气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减少,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹 住排气门的,故能防止气体返回真空室。当抽气压强较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵,当真空度较高时,全部气体进入真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。 如被抽除的气体中含有较高的蒸汽气体时，在气体受到压缩而其蒸汽的分压强超过此蒸汽在泵内温度
一、XD型旋片式真空泵的产品介绍： １、XD型旋片式真空泵均为单级油封式旋片真空泵，是获得真空的基本设备，工作原理如图1所示。 ２、XD型旋片式真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有高效油气分离效果的排气过渡器。停泵时，内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统。泵由空气冷却。所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。 二、XD旋片式真空泵适用范围： １、XD型旋片式真空泵适用于密闭系统的抽真空使用。如真空包装、真空成形、真空吸引。２、入口压力范围：100Pa~100000 Pa，超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。XD型旋片式真空泵工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间。 ３、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液体。不能抽除易爆、易燃、含氧量过高的、腐蚀性的气体。 ４、一般供应的电动机不防爆，如要求防爆或其它特殊要求时电动机必须符合相关的标准。 三、XD型旋片式真空泵的技术参数： 型号及 XD-010 XD-016 XD-020 XD-025 XD-040 XD-063 XD-100 XD-160 XD-250 参数 抽气速 10 16 20 25 40 63 100 160 250 率 (m3/h) 权限压 2ⅹ10-2 力(Pa) 时机功 0.37 0.37 0.75 0.75 1.1 1.5 3 4 7.5 率(kw) 泵转速 1440 1440 2800 2800 1440 1440 1440 1440 1440 (转/分) 装油量 0.5 0.5 0.5 1 1.5 2 4 9 9 (L) 吸气口 G? G? G? G1? G1? G1? G1? G2 G2? 尺寸 泵重量 16 18 19 19 60 22 115 145 200 (kg) 电压(V) 380/220 380/220 380/220 380/220 380/220 380 380 380 380 四、XD型旋片式真空泵的结构说明：
罗茨真空泵原理及故障处理 一、罗茨真空泵实际抽速计算 对应罗茨泵的入口压力P，测取罗茨泵出口（亦为前级泵入口）压力Pv，并根据前级泵入口压力Pv查前级泵抽速特性曲线，得出前级泵在Pv入口压力下的抽速Sv，查出罗茨泵在出口压力Pv时的零流量压缩比Kv，即可通过以下公式算出罗茨泵在入口压力为P时的实际抽速S，即S=S N K V/（K V+（S N/S V）-( S V/S N)3/2） 式中：S ——罗茨泵实际抽速，L/sS N——罗茨泵几何抽速，L/sS V——前级泵在入口压力下的抽速，L/sK V——罗茨泵在Pv出口压力的零流量压缩比 二、罗茨真空泵使用说明 1、润滑 1.1润滑系统用油应采用1号真空泵油 1.2查看油位，齿轮箱测油位应以浸没4~5个全齿高度为宜；电机测油位应以浸没2/3油窗高度为宜；用以润滑油封的油杯处不应断油，油位不应低于1/3油杯高度，不宜加油过多，避免泵运转时溢出油杯外。风冷泵油位要高于水冷泵的油位。 2、冷却 冷却水进口温度≤25℃。避免因冷却水温度高，使泵体发热，而引发异响、轴承损坏。风冷泵要通风散热，避免泵体温度过高烫伤人，使用温度≤80℃. 3、启动 当泵较长时间停用后再次使用时，应先点动1、2次，使润滑油进入轴承内，然后再正式起动，否则将缩短轴承及泵的使用寿命。 4、停泵
停泵时，应先停罗茨泵，待电机停转后，在停前级泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高、负荷增大，而引起返油、污染真空管路和泵腔、甚至烧坏罗茨泵电机。 三、罗茨真空泵维护和保养 1、保持泵的清洁，以利于通风散热。 2、每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。 3、换油时，罗茨泵最好先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。 4、拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。 5、当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。
中石化上海高桥分公司SIHIdry螺杆干式真空泵 说明手册 SIHIdry螺杆干式真空泵
第一部分安全说明 安全说明部分描述了SIHIdry干式真空泵的操作和维护过程中需要了解和遵守的指示和警告。泵的操作和维护人员务必掌握有关安全知识，提高自身防护以及设备防护能力。 1.1前言 1、在阅读说明手册之前请不要操作设备； 2、务必掌握足够的安全防护警告和使用必要的安全设备，以避免在设备安装和操作过程中的危险。 警告小心禁止 威胁生命的伤害警告小心触电风险小心有毒有害介质 1.2注意 以上安全说明标签贴在你所购买的设备上，请勿移除、覆盖或弄脏； 如果不正确遵守以上警告，有可能会导致操作人员的人身伤害。 1.3安全 1.个人培训及上岗认证 必须明确操作此设备人员的职责。如果不具备必须的专业知识，必须经过卖方的培训以保证机器的安全操作。 2.不遵守安全指令的风险 不遵守安全指令会对个人、环境、系统都面临一定的风险，更会导致损失。举例来说，可能会面临如下风险： 导致系统产生重大故障 一些特定的维护和修复程序产生损坏 让操作人员面临电气、机械以及化学危害的风险 向环境释放危险物质的风险 3.操作运行安全指南 当吸入自燃气体时，尤其含有氧气时，需引入惰性气体。 当进料介质为化学性质不稳定的气体或蒸汽时，这些被认为是可能的危险源，额外的安全措施是需要的，以阻止聚合或过氧化氢物的形成。 当易燃、易爆、有毒和高温的气体或水蒸气作为进料介质时，要确保对环境和人没有危害。 真空系统中流量、温度、压力的参数的设置是为了安全操作，改变时需要咨询真空泵厂家 系统在运行时，避免拆除部件，比如说拆除冷却液输送泵的联轴器。 泄漏的危险介质必须立即处理以避免对人员、环境造成伤害。相应的法律法规必须遵守。 由于电气造成的风险已经排除.(详情如下：通过地方企业认证、VDE认证). 4.维护、检查和安装时安全指南 在开关泵时，严格安装操作守则中的条目进行。
真空泵选型方法] 选用真空泵时，需要注意下列事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。 水环式真空泵的选择 一、泵类型的确定 泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。 泵工作时，需要注意以下两个方面： 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。 根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级