■ 真空-热压烧结炉的介绍：
包括烧结炉和抽真空部分，烧结炉包括炉体和装设在炉体内的加热室，烧结炉上安装有六个引电电极，其特征是在炉体的上、下方分别设置有油压机上梁和油压机下梁，油压机上梁和油压机下梁由四个支柱连接成一整体；上压头由上水冷压头和上石墨压头连接构成，下压头由下水冷压头和下石墨压头连接构成，上压头和下压头分别从炉体和加热室的上、下端面上的压头通孔、插入炉体内，其上石墨压头和下石墨压头分别插入加热室内，上压头和下压头可上、下移动。
■ 烧结的介绍：
1、烧结
粉末或压坯在低于主要组分熔点的温度下的热处理，目的在于通过颗粒间的冶金结合以提高其强度。
2、填料
在预烧或烧结过程中为了起分隔和保护作用而将压坯埋入其中的一种材料。
3、预烧
在低于最终烧结温度的温度下对压坯的加热处理。
4、加压烧结
在烧结同时施加单轴向压力的烧结工艺。
5、松装烧结
粉末未经压制直接进行的烧结。
6、液相烧结
至少具有两种组分的粉末或压坯在形成一种液相的状态下烧结。
7、过烧
烧结温度过高和（或）烧结时间过长致使产品最终性能恶化的烧结。
8、欠烧
烧结温度过低和（或）烧结时间过短致使产品未达到所需性能的烧结。
■ 卧式真空烧结炉
卧式真空烧结炉
1、工作温度400°C－1200°C
2、恒温区400mm/±1°C
3、单点精度≤±1°C/24H
4、冷态真空度6.7×10-5Pa
■ 隧道式网带烧结炉
用途：厚膜电路、厚膜电阻等厚膜产品烧结；电子元件端头烧银，气氛保护下的烧结、钎焊等，也可用于电子陶瓷产品的预烧、低温烧结或热处理、排胶、退火特点：独特炉腔设计、均匀；远红外加热、高效；超轻质保温、节能；包括快烧炉和马弗式炉，系列齐全，选件丰富典型产品：（1）厚膜烧结炉系列：用于厚膜产品烧结，额定温度1050℃（2）保护气氛烧结炉：应用于氮气、氢气、氨分解气氛等保护气氛条件。
■ 金刚石锯片烧结炉
用途：金刚石锯片烧结用
温度：950℃
特点：电炉加热温度采用上、中、下三区各自独立控制，控温方式采用可控硅PIC自整定方式，仪表为双显智能表，使各区设定温度均匀性能得到绝对保证，温差在±1℃之内；每台电炉配套供应两套炉胆总成，可两套炉胆总成轮换加热工作，适应大批量工作要求；炉胆总成采用1Cr18Ni9Ti合金钢制作，使用寿命长；加热元件采用Cr20Ni80合金丝制作，使用寿
命长；电炉采用氢气保护，使产品均能保持色泽光亮，表面无氧化。
■ ZKL型(1300℃)1600℃真空氮气烧结炉(钢包炉)
真空氮气炉又称钢包炉，它模拟氮气推板窑烧成原理而特殊制造，相对氮窑它具有成本低、烧结灵活等特点，并可采用一拖二结构形式，是目前磁性材料、纳米材料、特种金属件、锂
电池材料等新材料的主要烧结设备。适用范围：高导磁芯、粉末冶金制品、结构陶瓷、纳米
粉体材料等。产品介绍：ZKL系列真空炉，广泛应用于烧结高导铁氧体材料，烧结过程模
拟氮气推板窑炉原理，产品性能好，10K料粉烧结成产品μ值可达12K—15K。该设备主要
由炉体、真空压力包、真空泵、小车等部分组成，炉体以硅棒或硅钼棒作为加热元件，其工
作过程为：升温→抽真空→冲氮气→保温→冷却→出产品。
技术参数：
类别型号15kg 30kg 50kg 75kg 100kg
最高烧结温度1360℃1360℃1360℃1360℃1360℃
加热元件ф12×650等直径碳棒等直径碳棒等直径碳棒等直径碳棒
碳棒规格ф12×650ф20×750ф20×750ф20×750ф20×750
额定功率12kw 30kw 60kw 80kw 100kw
真空度66.6Pa 66.6Pa 66.6Pa 66.6Pa 66.6Pa
N2纯度% 99.999 99.999 99.999 99.999 99.999
充N2压力<0.05MPa <0.05MPa <0.05MPa <0.05MPa <0.05MPa
炉堂规格200×200×500 300×300×630 300×300×1260 300×300×1470 300×300×1680 控温组数1组2组3组3组3组
炉膛截面温差±10℃±10℃±10℃±10℃±10℃
温控方式可控硅模块自控可控硅模块自控可控硅模块自控可控硅模块自控可控硅模块自控产量>15kg/次>30kg/次>50kg/次>75kg/次>100kg/次■ 中频感应烧结炉
应用于硬质合金材料、铜钨合金、钨、钼等真空/气氛烧结。钽铌氢化，炭炭复合材料的、
炭材料的石墨化。
特点：1200-2800℃（根据材料工艺而定）以内超高温炉体，可完全满足各种材料的烧结。
采用数显化智能控温系统，全自动高精度完成测温控温过程，系统可按给定升温曲线升温，并可贮存二十条共400段不同的工艺加热曲线。
采用内循环纯水冷却系统，数字式流量监控系统；
采用高性能中频接触器对炉体进行自动转换；
全面的PLC水、电、气自动控制和保护系统。
主要技术参数：
最高使用温度：1200-2800℃
高温区容积：0.04-1m3、
炉内工作气氛：真空、氢气、氮气、惰性气体等
温度均匀度：≤±10℃
温度测量：远红外线光学测温
温度控制：程序控制和手动控制；控温精度：±1℃
极限升温速度：200℃/分钟（空炉，视高温区容积和炉膛结构而定）
■ 热风循环网带烧结炉
型号JM-I、功率21K（W）
概述：该设备从接料、进料、出料、速度及温度全部由PLC可编程全自动控制，广泛用于
常规真空烧结炉： 真空烧结炉是在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空感应炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。 真空感应烧结炉 真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。 VSWF真空感应钨烧结氢气炉 一、主要原理及用途 真空感应钨烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。 二、主要结构及组成 结构形式多为立式、下出料方式。其主要组成为：电炉本体、真空系统、水冷系统、气动系统、液压系统、进出料机构、底座、工作台、感应加热装置(钨加热体及高级保温材料)、进电装置、中频电源及电气控制系统等。 三、主要功能 在抽真空后充入氢气保护气体，控制炉内压力和气氛的烧结状态。可用光导纤维红外辐射温度计和铠装热电偶连续测温(0～2500℃)，并通过智能控温仪与设定程序相比较后，选择执行状态反馈给中频电源，自动控制温度的高低及保温程序。 真空烧结炉安全操作规程 1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。 2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。 3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。 4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。 5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。 6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。 7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。 8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。 9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。
■ 真空-热压烧结炉的介绍： 包括烧结炉和抽真空部分，烧结炉包括炉体和装设在炉体内的加热室，烧结炉上安装有六个引电电极，其特征是在炉体的上、下方分别设置有油压机上梁和油压机下梁，油压机上梁和油压机下梁由四个支柱连接成一整体；上压头由上水冷压头和上石墨压头连接构成，下压头由下水冷压头和下石墨压头连接构成，上压头和下压头分别从炉体和加热室的上、下端面上的压头通孔、插入炉体内，其上石墨压头和下石墨压头分别插入加热室内，上压头和下压头可上、下移动。 ■ 烧结的介绍： 1、烧结 粉末或压坯在低于主要组分熔点的温度下的热处理，目的在于通过颗粒间的冶金结合以提高其强度。 2、填料 在预烧或烧结过程中为了起分隔和保护作用而将压坯埋入其中的一种材料。 3、预烧 在低于最终烧结温度的温度下对压坯的加热处理。 4、加压烧结 在烧结同时施加单轴向压力的烧结工艺。 5、松装烧结 粉末未经压制直接进行的烧结。 6、液相烧结 至少具有两种组分的粉末或压坯在形成一种液相的状态下烧结。 7、过烧 烧结温度过高和（或）烧结时间过长致使产品最终性能恶化的烧结。 8、欠烧 烧结温度过低和（或）烧结时间过短致使产品未达到所需性能的烧结。 ■ 卧式真空烧结炉 卧式真空烧结炉 1、工作温度400°C－1200°C 2、恒温区400mm/±1°C 3、单点精度≤±1°C/24H 4、冷态真空度6.7×10-5Pa ■ 隧道式网带烧结炉 用途：厚膜电路、厚膜电阻等厚膜产品烧结；电子元件端头烧银，气氛保护下的烧结、钎焊等，也可用于电子陶瓷产品的预烧、低温烧结或热处理、排胶、退火特点：独特炉腔设计、均匀；远红外加热、高效；超轻质保温、节能；包括快烧炉和马弗式炉，系列齐全，选件丰
红外烧结炉操作手册
目录表1 关于这个手册 1.1 手册的构成 1.2 协议 2 系统概况 2.1 介绍 2.2 系统容量 2.3 系统组件 2.3.1 硬件 2.3.2 软件 3软件描述 3.1 进入 3.2 主屏控制和说明 3.2.1 炉状态 3.2.2 程序控制 3.2.3 数据标记 3.2.4 温度压力监控 3.2.5 菜单按钮 3.2.6 灯功率 3.3定义和修改程序 3.3.1 创建 3.3.2 修改 3.4导入程序 4附加功能 4.1 I/O接口 4.1.1 数据库控制 4.1.2 网络 4.1.3 超声清洗 4.1.4 进入线程
4.2 远程进入 4.2.1 控制和指令描述 4.2.2 远程操作 4.3 系统参数 4.4 烘箱 4.5 警报处理 4.5.1 警报历史 4.5.2 历史记录 4.6 PID 控制 4.7 校准 4.8 数据显示 5 附加功能 5.1 监控失败 5.2 UPS 操作 5.2.1 UPS备份功率信号响应5.2.2 UPS电池低信号响应5.3 超声清洗 5.3.1 组件 5.3.2 UCS 操作 5.4 红外灯电压控制 5.5 选择灯开关 5.6 VOC 冷凝器 5.6.1 一般操作 5.6.2 带移动和清洗
1 关于手册 1.1 手册结构 手册的目的是提供操作说明，理论和红外炉的运用软件的结构。手册分成3部分。第2部分提供软件的概述。第3部分提供软件的描述和不同的用户界面。第4部分描述一些选择功能，但不是支持全部模式。 1.2 规定 这个标记表示有重要信息。 标记让你通过多层菜单和对话框实现功能。 粗体的对话框提示选择软件，比如菜单和对话框。同时提示参数名字，控制界面和菜单名字和调色板名字 斜体表示变量，参考或者关键概念的说明。这种字体有说明这是个占位符，你必须提供。 1monospace 字体这种字体说明你必须从键盘输入。同样可用来表示正确的磁盘名字、路径、程序、子程序、设备名字、函数、变量、文件名等。 2monospace bold 字体粗体这种字体说明信息计算机自动响应 monospace 文中这个字体表示你必须从键盘进入的文本或者特征，这个字体也常用在磁盘驱动器的命名、路径、目录、程序、子程序、设备驱动程序命名、函数、操作、变量、文件名以及扩展名
一烧结基本原理集团标准化办公室：[VV986T-J682P28-JP266L8-68PNN]
一、烧结 （1）、烧结基本原理 烧结是粉末冶金生产过程中最基本的工序之一。烧结对最终产品的性能起着决定性作用，因为由烧结造成的废品是无法通过以后的工序挽救的；相反，烧结前的工序中的某些缺陷，在一定的范围内可以通过烧结工艺的调整， 例如适当改变温度，调节升降温时间与速度等而加以纠正。 烧结是粉末或粉末压坯，加热到低于其中基本成分的熔点温度，然后以一定的方法和速度冷却到室温的过程。烧结的结果是粉末颗粒之间发生粘结，烧结体的强度增加。在烧结过程中发生一系列物理和化学的变化，把粉末颗粒的聚集体变成为晶粒的聚结体，从而获得具有所需物理，机械性能的制品或材料。烧结时，除了粉末颗粒联结外，还可能发生致密化，合金化，热处理，联接等作用。人们一般还把金属粉末烧结过程分类为：1、单相粉末（纯金属、古熔体或金属化合物）烧结；2、多相粉末（金属—金属或金属—非金属）固相烧结；3、多相粉末液相烧结；4、熔浸。 通常在目前PORITE微小轴承所接触的和需要了解的为前三类烧结。通常在烧结过程中粉末颗粒常发生有以下几个阶段的变化：1、颗粒间开始联结；2、颗粒间粘结颈长大；3、孔隙通道的封闭；4、孔隙球化；5、孔隙收缩；6、孔隙粗化。 上述烧结过程中的种种变化都与物质的运动和迁移密切相关。理论上机理为：1、蒸发凝聚；2、体积扩散；3、表面扩散；4、晶间扩散；5、粘性流动；6、塑性流动。
（2）、烧结工艺 2-1、烧结的过程 粉末冶金的烧结过程大致可以分成四个温度阶段： 1、低温预烧阶段，在此阶段主要发生金属的回复及吸附气体和水分的挥发，压坯内成形剂的分解和排除等。在PORITE微小铜、铁系轴承中，用R、B、O（Rapid Burning Off）来代替低温预烧阶段，且铜、铁系产品经过R、B、O后会氧化，但在本体中可以被还原，同时还可以促进烧结。 2、中温升温烧结阶段，在此阶段开始出现再结晶，首先在颗粒内，变形的晶粒得以恢复，改组为新晶粒，同时颗粒表面氧化物被完全还原，颗粒界面形成烧结颈。 3、高温保温完成烧结阶段，此阶段是烧结得主要过程，如扩散和流动充分地进行和接近完成，形成大量闭孔，并继续缩小，使得孔隙尺寸和孔隙总数均有减少，烧结体密度明显增加
高温真空烧结炉使用注意 【盛阳工业炉高温真空烧结炉】高温真空烧结炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。 #详情咨询#【盛阳工业炉：高温真空烧结炉】 【高温真空烧结炉使用注意】 1、由于模具一般由用户自备，模具材料基本上选用高纯石墨，其耐压极限为40MPa，建议用户使
用在30MPa以下比较安全，加压前应计算模具上、下冲头的面积，再换算成压力，具体公式如下：系统允许加压（吨）=上或下冲头面积×30MPa 2、热电偶为钨铼型，使用过会发脆，不能接触。如损坏应及时更换。其型号是W2型。 3、冬天应注意循环水的保暖问题， 否则易发生水管爆裂。 4、使用后炉体应保持真空，因炉内 保温层易受潮，保真空这样下次抽真 空会快些。 5、因设备较复杂，建议专人使用， 专人负责，对新手严格实行用前培训， 用后检查，操作使用要有记录等设备 使用规定。 6、本热压炉也可当作真空烧结炉使 用，用于真空烧结炉时注意，在炉内放置坩埚后，在盖上保温屏盖后不要忘记再盖其中间的小盖。否则易烧损电炉。 7、操作前应做到清洁观察窗玻璃，清洁炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨是否有损坏，上电后观察仪表显示是否正常，测试液压系统能否正常工作。 8、电炉使用一年后应将仪表后送计量部门进行校对。 【高温真空烧结炉安全操作规程】 1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水充满，水中不得有杂质。真空炉2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转
一、烧结 （1）、烧结基本原理 烧结是粉末冶金生产过程中最基本的工序之一。烧结对最终产品的性能起着决定性作用，因为由烧结造成的废品是无法通过以后的工序挽救的；相反，烧结前的工序中的某些缺陷，在一定的范围内可以通过烧结工艺的调整，例如适当改变温度，调节升降温时间与速度等而加以纠正。 烧结是粉末或粉末压坯，加热到低于其中基本成分的熔点温度，然后以一定的方法和速度冷却到室温的过程。烧结的结果是粉末颗粒之间发生粘结，烧结体的强度增加。在烧结过程中发生一系列物理和化学的变化，把粉末颗粒的聚集体变成为晶粒的聚结体，从而获得具有所需物理，机械性能的制品或材料。烧结时，除了粉末颗粒联结外，还可能发生致密化，合金化，热处理，联接等作用。人们一般还把金属粉末烧结过程分类为：1、单相粉末（纯金属、古熔体或金属化合物）烧结；2、多相粉末（金属—金属或金属—非金属）固相烧结；3、多相粉末液相烧结；4、熔浸。 通常在目前PORITE微小轴承所接触的和需要了解的为前三类烧结。通常在烧结过程中粉末颗粒常发生有以下几个阶段的变化：1、颗粒间开始联结； 2、颗粒间粘结颈长大； 3、孔隙通道的封闭； 4、孔隙球化； 5、孔隙收缩； 6、孔隙粗化。 上述烧结过程中的种种变化都与物质的运动和迁移密切相关。理论上机理为：1、蒸发凝聚；2、体积扩散；3、表面扩散；4、晶间扩散；5、粘性流动；6、塑性流动。
（2）、烧结工艺 2-1、烧结的过程 粉末冶金的烧结过程大致可以分成四个温度阶段： 1、低温预烧阶段，在此阶段主要发生金属的回复及吸附气体和水分的挥发，压坯内成形剂的分解和排除等。在PORITE微小铜、铁系轴承中，用R、B、O（Rapid Burning Off）来代替低温预烧阶段，且铜、铁系产品经过R、B、O 后会氧化，但在本体中可以被还原，同时还可以促进烧结。 2、中温升温烧结阶段，在此阶段开始出现再结晶，首先在颗粒内，变形的晶粒得以恢复，改组为新晶粒，同时颗粒表面氧化物被完全还原，颗粒界面形成烧结颈。 3、高温保温完成烧结阶段，此阶段是烧结得主要过程，如扩散和流动充分地进行和接近完成，形成大量闭孔，并继续缩小，使得孔隙尺寸和孔隙总数均有减少，烧结体密度明显增加 4、冷却阶段：实际的烧结过程，都是连续烧结，所以从烧结温度缓慢冷却一段时间然后快冷，到出炉量达到室温的过程，也是奥氏体分解和最终组
1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。 2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。 3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。 4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。 5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。 6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。 7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。 8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。
9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。 10．装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。 11．为了保持恒温，防止热幅射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。 12．垫好真空密封胶带。 13．操作杠杆手把，转动真空炉顶盖与炉体密切重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。 14．徐徐打开蝶阀，抽炉体空气，至真空度达到规定值。 15．在真空度达到规定要求后，开始启动变频，调整中频功率，按有关材质的烧结规定操作；升温、保温冷却。 16．烧结完毕后，停止变频，按停止变频开关，逆变停止工作，断开中频电源分闸与断开电源总闸。
17．从炉体观察孔观察炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，最后停水泵。 18．中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中，要注意操作安全，不要用手接触中频电柜。 19．在烧结过程中，随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象，如发现异常现象，应立即报告有关人员处理。 20．启动真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。 21．正确使用转动式麦氏真空计，否则会造成真空读数误差或因操作过急而使水银溢出造成公害。 22．注意真空泵皮带盘安全运行。 23．在垫真空密封胶带，盖炉体顶盖时，注意防止压手。 24．凡在真空条件下，容易挥发影响真空卫生，造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。
热压烧结炉使用
一、快速操作指南 （一）开机操作 1：检查电路和水路是否正常，如正常通电，通水。 2：打开机械泵，过30秒后缓慢打开预抽阀，1分钟后打开前级阀。 3：在真空度达到10Pa以下时打开扩散泵，给扩散泵加热 4：扩散泵加热到60分钟后，关闭预抽阀，打开高真空阀，真空度会逐渐达到高真空。 5：加热启动，在200度以下请你选用手动加热，在控制面板手动操作菜单中，注意第一次使用时，把拨钮上下波动一次，然后拨到手动位置，启动加热，输入50左右，确定。电流一般控制在300A以下， 自动加热：在温度控制界面设定温控表自动开始加热或开启手动位用手动开始加热。
以上设置说明：从200度用时120分钟到6 00度，600度时保温30分钟，从600度用时130分钟到1000度，在1000度时保温5个小时，从1000度降到600度用时60分钟，60分钟后程序自动停止（注：在时间上设定-1 21程序在此会自动停止）。 设定好加热工艺后，首先停止手动加热，然后把拨钮拨到自动位置，启动自动加热程序，如果需要记录数据请在数据保存见面打“√”。 6：在保温状态下，一定要保持循环水的正常循环。 7：保温时间到后，关闭加热开关，如果不需要高真空可以关闭扩散泵，打开预抽阀，关闭高真空阀，开始降温。注意：机械泵不要关闭 8：在温度降到200度时关掉机械泵（扩散泵达到常温），关闭所有阀门。 9：在常温下释放压力，冲入空气，将原料取出。
10：如不继续工作，应打开机械泵和预抽阀再抽5分钟真空，关闭机械泵和预抽阀。保持工作室里有真空度，防止水汽侵入。 11、压力操作：首先在手动操作界面，报压力模式拨到自动位置，可以直接用仪表操作，设定好程序后按run键3秒启动，按stop键3秒停止。 压力触摸屏控制如下说明： 从0到2MPa用时2分钟，在2MPa上保压2分钟，从2MPa到6.15MPa用时5分钟，保压60分钟后程序自动停止。（在时间上设定-121程序会自动停止）。设定完后一定要按“确定”键。 程序设定好以后，可以到手动控制界面中，启动自动压力开即可。 二、安装使用及维护 （一）、安装：安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。
FAX MESSAGE GmbH 您好!首先感谢贵公司对克莱默公司MIM连续烧结炉的垂注!克莱默公司是世界上先进的粉末冶金烧结专用热处理设备的制造商，我公司产品不仅限于常规烧结，而且在粉末冶金的各个新兴技术的设备设备领域都处于领先地位，如：粉末锻造、粉末注射成形、连续蒸汽处理、粉末还原等等。公司总经理克莱默先生也是现任欧洲粉末冶金协会(EPMA)理事长。 自注射成形技术一出现，克莱默公司就对其进关注，并与BASF公司合作进行脱粘专用设备的开发与应用，并率先推出了连续MIM生产线，极大提升了MIM生产工艺的产业化水平。 目前，克莱默公司所提供的MIM连续烧结炉按每小时出的料舟数分为WBSM－4、6、8、10多个型号，其中每一型号又有使用加宽料舟的XL与XXL 超宽型号。附件有相关的技术规格书，供贵方根据生产能力参考选择使用。 以上烧结炉可配合我公司连续脱粘炉CCD系列或间歇式脱粘炉TFE系列使用，组成连续脱粘－烧结生产线或间歇部粘－连续烧结生产线。 MIM连续烧结炉是用户实现规模化MIM生产的有效装备，相比间歇式烧结炉具有生产效率高、生产成本低、工人操作简单、烧结质量稳定可靠的优势。 生产效率对比：
与一台炉膛400*400*1,200mm的240L间歇炉对比，一台连续炉的生产效率相当于间歇的数量。 相当240L间歇 由上表可见，一台最小的连续炉理论上都至少相当于3台间歇炉的生产能力。如果再考虑到真空炉实际摆盘效率较小，在实际生产中的产能差距会更大。 生产成本对比： 以上为欧洲的典型能源价格，€代表的是欧元。以下各型炉子小时运行成本是根据欧洲价格来计算的，如果以中国的能源实际价格计算运行成本还会更低。
一、快速操作指南 （一）开机操作 1：检查电路和水路是否正常，如正常通电，通水。 2：打开机械泵，过30秒后缓慢打开预抽阀，1分钟后打开前级阀。 3：在真空度达到10Pa以下时打开扩散泵，给扩散泵加热 4：扩散泵加热到60分钟后，关闭预抽阀，打开高真空阀，真空度会逐渐达到高真空。 5：加热启动，在200度以下请你选用手动加热，在控制面板手动操作菜单中，注意第一次使用时，把拨钮上下波动一次，然后拨到手动位置，启动加热，输入50左右，确定。电流一般控制在300A以下， 自动加热：在温度控制界面设定温控表自动开始加热或开启手动位用手动开始加热。 以上设置说明：从200度用时120分钟到600度，600度时保温30分钟，从600度用时130分钟到1000度，在1000度时保温5个小时，从1000度降到600度用时60分钟，6 0分钟后程序自动停止（注：在时间上设定-121程序在此会自动停止）。 设定好加热工艺后，首先停止手动加热，然后把拨钮拨到自动位置，启动自动加热程序，如果需要记录数据请在数据保存见面打“√”。 6：在保温状态下，一定要保持循环水的正常循环。 7：保温时间到后，关闭加热开关，如果不需要高真空可以关闭扩散泵，打开预抽阀，关闭高真空阀，开始降温。注意：机械泵不要关闭 8：在温度降到200度时关掉机械泵（扩散泵达到常温），关闭所有阀门。 9：在常温下释放压力，冲入空气，将原料取出。 10：如不继续工作，应打开机械泵和预抽阀再抽5分钟真空，关闭机械泵和预抽阀。保持工作室里有真空度，防止水汽侵入。 11、压力操作：首先在手动操作界面，报压力模式拨到自动位置，可以直接用仪表操作，设定好程序后按run键3秒启动，按stop键3秒停止。 压力触摸屏控制如下说明：
一、功能及用途 此烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧结。硅片在炉中，上、下两面能同时烧结，烧结过程如下： ●对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干； ●去除浆料中的有质粘结剂； ●铝背场及珊线烧结 二、烧结炉结构 炉体分为三个部分： ●烘干区 烘干区包括四个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE 4，其中ZONE 4 为对流加热区，位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，加热温度可设置到500摄氏度，但过程温度不应超过300摄氏度。 ●烧结区 烧结区包括六个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE 4、ZONE 5、ZONE 6，ZONE 1~4 为预烧结区，ZONE 5 和ZONE 6 为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其中1~4区加热管功率为1600W，5、6区加热管功率为2700W，每个温区温度单独可调，1~4温区温度可设置到700摄氏度，5、6温区可设置到摄氏1050度。
冷却区 冷却区采用水冷，给水温度大约在20~25摄氏度范围内。 烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。
除了上述三个主要部分外，在炉体头部有上料区，在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器，冷凝媒介为冷却水。 三、CAN控制系统构成 传动电机调速系统 传动电机采用三相异步电机，速度调节是采用闭环变频调速，控制框图如下：
温度控系统 温度控制采用PID控制，系统构成控制框图如下：
●冷却系统 ●排风系统 冷却系统和排风系统很简单，都采用开环系统。 四、操作 ●开机步骤 i.慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节。 ii.慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同时给各气缸提供压缩空。 通常各管道流量已设定好，勿需调节。 iii.将主电源开关拨到“1”，开启主电源。 iv.启动PC，等待机器完成自检和监控程序装入。 v.将“Drive On”拨到“1”，“Drive PC/Manual”拨到“0”，将“Heating FF”拨到“ON”，将“HEATING HTO”拨到“ON”。
真空烧结炉使用技巧 【盛阳工业炉真空烧结炉】真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。真空烧结炉使用有哪些注意事项？日常使用中有哪些应急计划？跟小编一起来看看吧！ #详情咨询#【盛阳工业炉：真空烧结炉】 【真空烧结炉安装注意】 真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生
高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。安装真空烧结炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。在使用时，以下问题我们要知道。 #详情咨询#【盛阳工业炉：真空烧结炉】 1、检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。 2、控制柜安装在相应的地基上，并固定。 3、安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。 4、检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。 5、绝缘电阻应不低于2兆欧姆。真空炉
7、控制电源开关放在关位。 8、手动调压旋钮逆时针旋动头。 9、报警钮放在开位。 10、按平面图完成设备的循环冷却水联接，建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水(可用自来水)，防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。 #详情咨询#【盛阳工业炉：真空烧结炉】 【真空烧结炉安使用技巧】 真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下，利用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚产生高温，通过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起灰尘等。 真空烧结炉的日常使用技巧： 1、检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。 2、控制柜安装在相应的地基上，并固定。 3、安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。 4、检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。 5、绝缘电阻应不低于2兆欧姆。
陶瓷烧结炉工艺原理及烧结方式 陶瓷烧结是指坯体在高温下致密化过程和现象的总称。随着温度升高，陶瓷坯体中具有比表面大，表面能较高的粉粒，力图向降低表面能的方向变化，不断进行物质迁移，晶界随之移动，气孔逐步排除，产生收缩，使坯体成为具有一定强度的致密的瓷体。烧结的推动力为表面能。烧结可分为有液相参加的烧结和纯固相烧结两类。烧结过程对陶瓷生产具有很重要的意义。为降低烧结温度，扩大烧成范围，通常加入一些添加物作助熔剂，形成少量液相，促进烧结。 一般粗线条结炉的燃烧方法主要有以下几种： 热压烧结、热等静压、放电等离子烧结、微波烧结、反应烧结、爆炸烧结。固相烧结一般可表现为三个阶段，初始阶段，主要表现为颗粒形状改变；中间阶段，主要表现为气孔形状改变；最终阶段，主要表现为气孔尺寸减小。 烧结是在热工设备中进行的，这里热工设备指的是先进陶瓷生产窑炉及附属设备。烧结陶瓷的窑炉类型很多，同一制品可以在不同类型的窑内烧成，同一种窑也可以烧结不同的制品。主要常用的有间歇式窑炉，连续式窑炉和辅助设备。间歇式窑炉按其功能可分为电炉，高温倒焰窑，梭式窑和钟罩窑。连续式窑炉的分类方法有很多种，按制品的输送方式可分为隧道窑，高温推板窑和辊道窑。与传统间歇式窑炉相比较，连续式窑具有连续操作性，易实现机械化，大大改善了劳动条件和减轻了
劳动强度，降低了能耗等优点。 温度制度的确定，包括升温速度，烧成温度，保温时间和冷却速度等参数。通过飞行坯料在烧成过程中性状变化，初步得出坯体在各温度或时间阶段可以允许的升、降温速度（相图，差热-失重、热膨胀、高温相分析、已有烧结曲线等）。升温速度：低温阶段，氧化分解阶段，高温阶段。烧成温度与保温时间：相互制约，可在一定程度上相互补偿，以一次晶粒发展成熟，晶界明显、没有显著的二次晶粒长大，收缩均匀，致密而又耗能少为目的。冷却速度，随炉冷却，快速冷却。 压力制度的确定，压力制度起着保证温度和气氛制度的作用。全窑的压力分布根据窑内结构，燃烧种类，制品特性，烧成气氛和装窑密度等因素来确定。倒焰窑中，最重要的是在烟道内形成微负压，窑底处于零压。隧道窑的预热带和烧成带都为负压，冷却带一般在正压下操作。
真空高温烧结炉 说明书
目录 1 前言 (3) 2 设备的工作原理 (3) 3 技术指标 (3) 4 设备构成 (4) 4.1炉体总成 (4) 4.2保温套 (4) 4.3感应圈总成 (5) 4.4集电装置 (5) 4.5真空系统 (5) 4.6水冷系统 (5) 4.7电控系统 (5) 4.8辅助系统...................................................................................................... 错误！未定义书签。 5 安装调试 (6) 6 使用操作 (6) 6.1真空操作 (6) 6.2加热升温操作 (6) 6.3水路系统操作 (7) 6.4充气系统操作 (7) 6.5破真空操作 (7) 6.6炉盖升降操作 (7) 7注意事项 (7) 8设备的保养 (8)
1 前言 在使用本设备前，要充分阅读本说明书的各项要求及注意事项，熟悉设备的性能、功能及使用要求 高温烧结炉是在真空或特定气氛条件下进行高温烧结的设备，能够满足特定的工艺需求，适用科研单位或生产单位使用。 设备具有结构紧凑、操作简单、易于维护等特点。 2 设备的工作原理 本高温烧结炉的加热方式采用石墨电阻加热，在真空或特定气氛条件下利用石墨电阻发热，对物料进行加热来达到工艺要求。 3 技术指标 极限真空度：6.6×10-4 Pa； 系统漏率：停泵关机后残余气体压力≤0.66Pa/h； 工作区尺寸：立式加热区?280×450mm（H） 均温区尺寸：? 180×220mm（H） 工作区温度：最高加热温度2200℃；
设备验收报告
设备验收报告附文 一、验收依据 1、年月日，甲、乙双方签订的SJ-1400型烘干烧结一体炉设备购销合 同。 2、年月日，甲、乙双方签订的SJ-1400型烘干烧结一体炉设备验收细 则。 二、验收项目 1、干燥区温控 2、烧结区温控 3、温度控制精度 4、升温速率 5、冷却速率 6、网带稳定性 7、烧结炉出口温度 8、气流稳定性 9、工艺效果验证 三、验收标准、方法 1.干燥区温控 校验方法：将干燥区的3个温区温度进行设定，设定范围控制在100~400℃之间，待温度稳 定（需30min）后，保温持续4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指 标。 验收标准：3个温区温度波动控制在±2℃以内 2.烧结区温控 校验方法：将烧结区的6个温区温度进行设定，设定范围控制在200~1000℃之间，待温度稳 定（需30min）后，保温持续4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指 标。 验收标准：6个温区温度波动控制在±2℃以内 3.温度控制精度 校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测温仪进行温度测试，以同一硅片在炉内 的多点温度曲线为检验手段。 验收标准：温度曲线峰值温度控制在±10℃以内 4.升温速率
校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测温仪进行温度测试，记录硅片在炉内的温度曲线，以温度从500－950℃温度上升的速率大小为检验手段。 验收标准：最大正斜率为45℃/s 5.冷却速率 校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用DataPAQ测温仪进行温度测试，记录硅片在炉内的温度曲线，从930－600℃的温度下降速率大小为检验手段。 验收标准：最大负斜率为－90℃/s 6.网带稳定性 校验方法：对网带速度进行设定，设定范围50-610cm/min，待网带稳定后，根据设定值与操作界面显示值相比较得出该指标。 验收标准：≤±2%*设定值 7.烧结炉出口温度 校验方法：外围供水温度为20℃，待正常工艺运行稳定后，以操作界面显示值或用温度测试仪测试生产电池片表面温度得出该指标。 验收标准：≤60℃ 8.气流稳定性 校验方法：运行正常工艺配方后，外围供气稳定，以压力表显示为准，检测压缩空气在4个小时内的变化量得出该指标。 验收标准：变化量控制在±5%*显示值 9.工艺效果验证 校验方法：执行正确工艺配方，对单晶50方阻（多晶55方阻）电池片进行烧结测试。以烧结后电池片各电性能为该项指标（其中电池片选取必须是稳定片源）。 验收标准：测试数据无异常
■真空-热压烧结炉的介绍： 包括烧结炉和抽真空部分，烧结炉包括炉体和装设在炉体内的加热室，烧结炉上安装有六 个引电电极，其特征是在炉体的上、 下方分别设置有油压机上梁和油压机下梁， 油压机上梁 和油压机下梁由四个支柱连接成一整体； 上压头由上水冷压头和上石墨压头连接构成， 下压 头由下水冷压头和下石墨压头连接构成， 上压头和下压头分别从炉体和加热室的上、 下端面 上的压头通孔、插入炉体内，其上石墨压头和下石墨压头分别插入加热室内， 上压头和下压 头可上、下移动。 ■隧道式网带烧结炉 用途：厚膜电路、厚膜电阻等厚膜产品烧结；电子元件端头烧银，气氛保护下的烧结、钎焊 等，也可用于电子陶瓷产品的预烧、低温烧结或热处理、排胶、退火特点：独特炉腔设计、 均匀；远红外加热、高效；超轻质保温、节能；包括快烧炉和马弗式炉，系列齐全，选件丰 ■烧结的介绍： 1烧结 粉末或压坯在低于主要组分熔点的温度下的热处理， 其强度。 2、 填料 在预烧或烧结过程中为了起分隔和保护作用而将压坯埋入其中的一种 3、 预烧 在低于最终烧结温度的温度下对压坯的加热处理。 4、 加压烧结 在烧结同时施加单轴向压力的烧结工艺。 5、 松装烧结 粉末未经压制直接进行的烧结。 6、 液相烧结 至少具有两种组分的粉末或压坯在形成 7、 过烧 烧结温度过高和（或）烧结时间过长致使产品最终性能恶化的烧结。 8、 欠烧 烧结温度过低和（或）烧纟 勺状态下烧结。 ■卧式真空烧结炉 卧式 1 2、 恒j 3、 单点精度 <± 1 ° C/24H 4、 冷态真空度6.7 X0-5Pa 过短致使产品未达到所需性能的烧结。 提咼 目的在于通过颗粒间的冶金结合以 00 °C — 1200 °C 400mm/±1 °C
ＳＯＬＡＲＥＮＥＲＧＹ ＿＿＿－＝．：羔＿＿＝＿＝羔∑登＝＝＝＝＝∑∑！＿ｊ＿＿＝＿＿＿＿＿＿＿：羔二兰＝∑羔！∑＿＿＝＝＝．．！兰＿＿＿＿芝羔兰＝二：：二∑－：羔蔓＝＿＿．童＝． 太阳电池片烧结炉的设计及其关键性能探讨 中国电子科技集团公司第４３研究所恒力公司 ■李争任志平 摘要：网带式红外加热快速烧结炉是生产太阳电池片的关键设备，它的性能指标直接关系到电池片的 转换率、成品率以及生产效率的高低。本文着重对几个关键性能进行了探讨，并介绍了实现这些性能的设备结构。 关键词：太阳电池片；烧结炉；关键性能 一刖吾 进入２１世纪以来，光伏发电作为理想的可再生能源发电技术，得到了迅猛发展。在市场的拉动下，到２００６年，我国已形成１２００ＭＷ。的生产能力。在太阳电池片的整个生产工艺流程中，扩散、镀膜和烧结三道工序是最主要的，其中烧结是使晶体硅基片真正具有光电转换功能的至关重要的一步。因此，烧结设备的性能好坏直接影响着电池片的质量。 太阳电池片目前采用只需一次烧结的共烧工艺，同时形成上下电极的欧姆接触。银浆、银铝浆、铝浆印刷过的硅片，经过烘干使有机溶剂完全挥发，膜层收缩成为固状物紧密粘附在硅片上，这时可视为金属电极材料层和硅片接触在一起。当电极金属材料和半导体单晶硅加热达到共晶温度时，单晶硅原子以一定的比例溶入到熔融的合金电极材料中。单晶硅原子溶入到电极金属中的整个过程是相当快的，一般只需几秒钟时间。溶入的单晶硅原子数目取决于合金温度和电极材料的体积，烧结合金温度越高，电极金属材料体积越大，则溶入的硅原子数目也越多，这时的状态被称为晶体电极金属的合金系统。如果此时温度降低，系统开始冷却形成再结晶层，这时原先溶入到电极金属材料中的硅原子重新以固态形式结晶出来，也就是在金属和晶体接触界面上生长出一层外延层。如果外延层内含有足够量的与原先晶体材料导电类型相同的杂质成份，这就获得了用合金法工艺形成欧姆接触；如果 在结晶层内含有足够量的与原先晶体材料导电类型异型的杂质成份，这就获得了用合金法工艺形成Ｐ．Ｎ结。 典型的太阳电池片的烧结曲线如图１所示。整个时间约１２０ｓ，分为烘干、预烧、烧结和降温四个阶段。其中烧结段从５００℃迅速升温至８５０℃左右，然后急剧降温到５００℃以下，这段时间约１０ｓ，而在８５０℃仅停留２～３ｓ。这种陡升陡降的工艺曲线，要求烧结设备在加热元件、炉膛结构、气氛布置、控制原理、传动系统和冷却方式等方面必须要有专门的设计。 ８００ｒ———————————————————————————＾—————————————————————————————————————一 黧匡萎茎萋蓁蓁 ４∞Ｆ二二二二二二二二二；三三二＃！＝三二二二二二二二二二二二二二ｊ ：：：匡三至要三三三辜三奎三三三重萝Ｌ降温段 Ｌ烧结段＼一预烧段＼一烘干段 图１太阳电池片烧结工艺曲线 二加热元件的选择和固定方式 一般网带式烧结炉采用电热丝作为加热元件，主要通过热传导对工件进行加热，无法实现急速升温。只有辐射或微波能够迅速加热物体，而辐射加热具有使用经济、安全可靠、更换方便等优点。所以目前太阳电池片烧结炉基本都采用红外石英灯管作为主要加热元件。它的设计需注意以下三个问题： １红外辐射吸收光谱 一——————————————≤弘——————————————一 ＳＯＬＡＲＥＮＥＲＧＹ ８／２００７ 万方数据
在太阳能电池片的制作过程中,烧结是一道很重要的工序.其制作过程中就要用到快速烧结炉. 1、烧结作用:就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成电池片,最终使电极和硅片本身形成欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子2个关键因素参数,是电极的接触具有电阻特性,达到生产高转效率电池片的目的. 2、烧结原理:印刷了浆料的硅片经过烘干排焦过程后使浆料中的大部分有机溶剂挥发，膜层收缩为固状物紧密粘附在硅片上，这时可视为金属电极材料和硅片接触在一起。所谓的烧结过程是要使电极和硅片本身形成欧姆接触，其原理为当电极里金属材料和半导体单晶硅加热到共晶温度时,单晶硅原子以一定比例融入到熔融的合金电极材料中.单晶硅原子融入到电极金属中的整个过程是相当快的，一般只需要几秒钟的时间。融入单晶硅原子数目取决于合金温度和电极材料的体积，烧结合金温度越高，电极金属材料体积越大，则融入的硅原子数目就越多，这时的合金状态被称为晶体电极金属的合金系统.如果此时的温度降低,系统开始冷却形成再结晶层,这时原先溶入到电极金属材料中的硅原子重新以固态形式结晶出来,也就是在金属和晶体接触界面上生长出一层外延层.如果外延层内含有足够的量的与原先晶体材料导电类型相同的杂质成分，就获得了用合金法工艺形成的欧姆接触；如果在结晶层含有足够量的与原先晶体材料导电类型异型的杂质成分就获得了用合金工艺形成的P-N结。 3、烧结过程:将印刷好的上,下电极和背场的硅片经过网印刷机的传送带传到烧结炉中,经过烘干排焦、烧结和冷却过程来完成烧结工艺最终达到上下电极和电池片的欧姆接触。 ⑴烘干排焦在网带的上、下都装有加热带，由温控仪控制其温度。此温度可根据浆料厂家提供的烘干温度进行参考设置，目的是将印刷有浆料硅片烘干，并使浆料内绝大部分焦油挥发出来。如果温度设置不合理，不能使大部分焦油从浆料中挥发出来，剩下的焦油在进入下一区域时会对烧结的效果影响很严重，对转换率有高达0.2%的影响。为了保证设备安全，设备厂家在每个区域都设有2个热电偶，一个用于温度控制，一个用于过温保护。 其中为了减少腔室内热量的损失，设备厂家在设备强势内部的四周安装上隔热板，并在腔室外的两边装上了铝的隔热反射板，让整个腔室始终保持一个稳定的温度，有利于工艺的稳步进行。 对流器：为了能让从浆料中挥发的焦油全部从抽风管道中抽走厂家特别设计了一个对流加热器。从烘干区上部的对流加热器中吹出温度受控的气体，吹到腔室中，在从烘干区的两头将气体抽出，保证从硅片挥发出来的焦油被对流加热器吹出的热气带出腔室内，而不会导致硅片挥发出来的热焦油在机器出口处冷凝而回流到设备里。对流盒子内置在加热盒子里，经过过滤的大气被热空气风扇吸入到一个温度可控的加热器中，最后进入到腔室内。但为保证安全操作，如果吸入的空气总量在增加，相应离开的总量必须是合适的。 ⑵快速加热烧结根据工艺要求，需要此腔室的灯管能提供很高（高到1000℃）的温度，并且能在高温下工作。一般厂家会用石英玻璃管加热器来满足要求。此种设备用气流把快速加热箱分成4独立的加热系统，以保证每个腔室温度的独立性，可形成一个一个的温度阶梯，从而使最后一个温区的温度在很短时间达到一个很高的温度。这样设计还可以是每个隔离区域横向位置温度的不均匀性在一个很小的范围内。在此腔室内每个抽风口都特别设计了一个带加热装置的文氏阀，能保证腔室内产生的废气流很快离开腔室，避免在烧结温区废气对硅片的污染，还能让产生的废气流不要在管道口处冷凝。对于温度的测试，2个热偶被安装在加热区域。一个用于温度控制，一个用于超温报警。最后一个温区中安装了2个热偶，于皮带正上方20mm处，他们反映了电动机形成欧姆接触的共晶温度的真实值，他们的值可以在加热菜单看到，方便工艺人员直接了解内部的实际温度。为了能让温度急剧下降，在高温区出口处的侧壁、上下部分都装有水冷系统。为了保证大部分热量都辐射到腔室内，在全部的加热盒子周围都覆盖上保温层，在外层还覆盖有双层的铝反射板，有效延长了灯管的
烧结炉故障与维修保养知识 维护保养后出现的故障 ⑴清洁完干燥区和冷却区内碎片后发现设备无开启，可能原因有： a. 干燥区载片盒和冷却载片盒有没有完全闭，检查载片盒四周有无异物。 b. 干燥区载片盒和冷却载片盒的汽缸底部的磁簧开关故障，必要时可以调整汽缸的压力或者磁簧开关的位置。 c. 传送带张紧压轮有没有关闭（即压紧传带）。 ⑵清洁完传送带后设备无法开启，可能原因有： a. 烧结炉进口和出口处的紧急停止开关被按下，拔出紧急停止开关即可解除机械锁定。 b. 烧结炉下方有一移动的驱动钥匙开关被关闭，设置驱动钥匙开关到“ON”位置。 c. 传送带张紧压轮有没有关闭（即压紧传送带）。 d. 检查传送带有没有卡死。以上原因都不是的话请通知工程部该设备的相关负责人处理。 1操作说明 1.1日常维护 1.1.1日常维护 日常维护由一个简单的功能检查系列将提醒维修人员到发展问题的任何迹象。在定
期检查机器的重要性不能过分强调，不仅要防止机器损坏，而且生产时间及产品的损失。每当炉是启动了故障报警，应检查的麻烦的迹象。间歇性排气失败表示事情是错误的，报警机制，系统排风扇，排气管道，可能必须检查和必要的纠正。其他应监测报警功能，如灯故障指示灯，看看是否需要采取纠正措施。由于机器在启动时，每个开关控制和检查应当简要，以确保所有功能都正常工作。任何控件不响应按预期方式，或报警不明确，应签出并投入运行前的机器纠正。 1.1.2每月维修 每月维修，一般是指一个八小时轮班，每天工作四个星期。这种操作期间并非绝对 数字，它可能是一些任务，需要更加频繁。与机器正在执行过程中的经验和应该决定的需要。 1.1. 2.1运行温度曲线，在此过程中使用的是敏感的机器往往比不低 于每月。 在这个为各种产品使用的机器，最好是成立一个分析的时间表，使每一个过程可以定期检查。最敏感的型材应至少每月检查一 次，而较不敏感的状况可能2-6个月检查一次 1.1.3其他预定的维护 1.1.3.1见参考图 1.1.3.1预防服务界面 图1.1.3.1定期维护窗口