监测方法及精度要求
一、一般规定
监测方法的选择应根据基坑等级、设计要求、场地条件、场地条件、当地经验和方法适用性等因素综合确定，监测方法应合理易行。
变形测量网的基准点、工作基点布设应符合下列要求:
1每个基坑工程至少应有3个稳固、可靠的点作为基准点；
2工作基点应选在先对稳定和方便使用的位置。在通视条件良好、距离较劲、观测项目较少的情况下，可直接将基准点作为工作基点。
3监测期间，应定期检查工作基点和基准点的稳定性。
6.1.3 监测仪器、设备和监测元件应符合下列规定：
1满足观测精度和量程的要求，且应具有良好的稳定性和可靠性。
2应经过校准或标定，且校核记录和标定资料齐全，并应在规定的校准有效期内使用。
3监测过程中应定期进行检测仪器、设备的维护保养、检测以及监测元件的检查。
6.1.4 对同一监测项目，监测时宜符合下列要求：
1采用相同的观测路线和观测方法；
2使用同一监测仪器和设备；
3固定观测人员；
4在基本相同的环境和条件下工作。
6.1.5 监测项目初始值应在相关施工工序之前测定，并取至少连续观测3次的稳定值的平均值。
6.1.6 地铁、隧道等其他基坑周边环境的监测方法和监测精度应符合相关标准的规定以及主管部门的要求。
6.1.7 除使用本规范规定的监测方法外，亦可采用能达到本规范规定精度要求的其他方法。
6.2 水平位移监测
6.2.1测定特定方向上的水平位移时，可采用视准线法、小角度法、投点法等；测定监测点任意方向的水平位移时，可视监测点的分布情况，采用前方交会法、
后方交会法、极坐标法等；当测点与基准点无法通视或距离较远时，可采用GPS 测量法或三角、三边、边角测量与基准线法相结合的综合测量方法。
6.2.2水平位移监测基准点的埋设应符合国家现行标准《建筑变形测量规范》JG8的有关规定，宜设置有强制对中的观测墩，并宜采用精密的光学对中装置，对中误差不宜大于0.5mm。
6.2.3基坑围护墙（边坡）顶部、基坑周边管线、临近建筑水平位移监测精度应根据其水平位移报警值按表6.2.3确定。
表6.2.3 水平位移监测精度要求(mm)
注：1监测点坐标中误差，是指监测点相对测站点（如工作基点等）的坐标中误
差，为点位中误差的2
1。
2当根据累计值和变化速率选择的精度要求不一致时，水平位移监测精度优
先按变化变化速率报警值的要求确定;
3本规范以中误差作为衡量精度标准。
6.2.4地下管线的水平位移监测精度宜不低于1.5mm。
6.2.5其他基坑周边环境（如地下设施、道路等）的水平位移监测精度应符合相关规范、规程等的规定。
6.3竖向位移监测
6.3.1竖向位移监测可采用几何水准或液体静力水准等方法。
6.3.2坑底隆起（回弹）宜通过设置回弹监测标，采用几何水准并配合传递高程的辅助设备进行监测，传递高程的金属杆或钢尺等应进行温度、尺长和拉力等项修正。
6.3.3基坑围护墙（坡）顶、墙后地表与立柱的竖向位移监测精度应根据竖向位移报警值按表6.3.3确定。
表6.3.3 竖向位移监测精度要求(mm)
注：1. 监测点测站高差中误差是指相应精度与视距的几何水准测量单程一测
站的高差中误差；
6.3.4坑底隆起（回弹）监测的精度应符合表6.3.4的要求。
表6.3.4 坑底隆起（回弹）监测的精度要求（mm）
6.3.5 各监测点与水准基准点或工作基点应组成闭合环路或符合水准路线。
6.4深层水平位移监测
6.4.1围护墙体或土体深层水平位移的监测宜采用在墙体或土体中预埋测斜管、通过测斜仪观测各深度处水平位移的方法。
6.4.2测斜仪的系统精度不宜低于0.25mm/m,分辨率不宜低于0.02mm/500mm。
6.4.3测斜管应在基坑开挖1周前埋设，埋设时应符合下列要求：
1埋设前应检查测斜管质量，测斜管连接时应保证上、下管段的导槽相互对准、顺畅，各段接头及管底应保证密封。
2 斜测管埋设时应保持竖直，防止发生上浮、断裂、扭转；测斜管一对导槽的方向应与所需要测量的位移方向保持一致。
3 当采用钻孔发埋设时，测斜管与钻孔之间的孔隙应填充密实。
6.4.4 测斜仪探头置入测斜管底后，应待探头接近管内温度时在测量，每个监测点均应进行正、反复两次量测。
6.4.5 当以上部管口作为深层水平位移的起算点时，每次监测均应测定管口坐标的变化并修正。
6.5倾斜监测
6.5.1建筑倾斜观测应根据现场观测条件和要求，选用投点法、前方交会法、激光铅直仪法、垂吊法、倾斜仪法和差异沉降法等方法。
6.5.2建筑倾斜观测精度应符合国家现行标准《工程测量规范》GB50026及《建筑变形测量规程》JGJ8的有关规定。
6.6裂缝监测
6.6.1裂缝监测应监测裂缝的位置、走向、长度、宽度，必要时尚应监测裂缝深度。
6.6.2基坑开挖前应记录监测对象已有裂缝的分布位置和数量，测定其走向、长度、宽度和深度等情况，监测标志应具有可供量测的明晰端面或中心。
6.6.3裂缝监测可采用以下方法：
1裂缝宽度监测宜在裂缝两侧贴埋标志，用千分尺或游标卡尺等直接量测，也可以用裂缝计、粘贴安装千分表量测或摄影量测等。
2裂缝长度监测宜采用直接量测法。
3裂缝深度监测宜采用超声波法、凿出法等。
6.6.4裂缝宽度量测精度不宜低于0.1mm，裂缝长度和深度量测精度不宜低于1mm。
6.7支护结构内力监测
压力机精度测量和方法 压力机的主要精度参数为：飞轮的径向跳动和端面跳动；滑块与工作台的垂直度、平行度；滑块的导轨间隙；工作台的水平度；拉伸垫垫顶冠与底座的平行度；拉伸垫垫顶冠导轨间隙；工作台内托板与工作台面的平行度；工作台内托板与工作台台板之间的安全距离；传动轴综合间隙等外形精度尺寸。 量具：深度尺0——500mm 、框式水平仪、百分表、百分表座、塞尺、百分表加长杆、宽度角尺等。 图（1） 注：L1为工作台板长边减去两边不测长度；L2为滑块长边减去两边不测长度；L3为滑块下平面长度减去两边不测长度；S为滑块行程长度；P为压力机公称力，单位为kN。 检测方法： 1、飞轮跳动检测：将百分表和表架固定牢靠，测量面要保持清洁；百分表需进表（进表的
目的是防止有负值出现）转动飞轮一周读出来的数据就是跳动量。 2、 拉伸垫检测：将拉伸垫顶起,气压应在最大拉伸垫最大工作气压。用塞尺测量间隙。（塞 尺能够进去但要有一定阻力）读出数值标准如上图（1）；拉伸垫顶冠与底座上平面的平行度测量， （如图） 用深度尺测量顶冠的六个点位的数据分别算出各点的差值。 3、滑块导轨间隙：滑块导轨测量的点位共有8个。滑块的上平面4个下平面4个，用塞尺测量间隙。（塞尺能够进去但要有一定阻力）读出数值。标准如上图（1） ；滑块下平面与 用百分表找滑块的任意一点数值 此时标杆锁死，作为基准值。分别测出其它点的数据。测量数据时一定要找滑块下端面与工作台上表面两点之间的最小距离。测量平行度时有滑块的两个角度和三个位置1、180度2、中间角度（270或90；255或55）和最大装模高度、中间装模高度、最下装模高度三个位置；滑块下平面与工作台板上平面的垂直度：将百分表固定在滑块上，宽度角尺放在滑块与工作台之间。此时滑块的位置要在下死点，百分表要在角尺的最下端调整好位置，将滑块开到上死点百分表要进表（进表的目的是防止有负值出现）将表盘调整到零位。用微调开动滑块一周读出数据，180度之前的数据是重中之重数据要求数据密度大，180度之后选270度之前的三个数据和0度数据作为检测数据。测量垂直度有左右和前后，有三个位置：最大装模高度、中间装模高度、最下装模高度。 4、滑块连接部位的总间隙：滑块位置应在下死点将平衡器的气压调到与总气源大小相等，关闭平衡器进气阀门。百分表放在滑块的下方调整百分表为零位。滑块每个角都要有百分表。进行排放平衡器气压得出各个气压点的间隙。直到最后的平衡器气压为零的最大总间隙。 工作台内托板与工作台面的平行度测量方法等 同于拉伸垫测量方法
大型数控机床验收的几个问题 对集机、电、液、气于一体的进口大型数控机床(含加工中心)的验收，无论是预验收、还是最终验收，都是十分重要的。它是对机床设计、制造、安装调试的质量，特别是对机床精度的总体检验。它直接关系到机床的功能、可靠性、加工精度和综合加工能力。 然而在实际验收中，常常会出现一些带有技术性或管理性的问题。如果不能得到及时的正确处理，将会影响到机床的验收质量。 1 定位精度的检测 检测机床的定位精度，常用标准有两种： ·德国VDI/DGQ3441标准(机床运行精度和定位精度的统计方法)。 ·美国AMT标准(美国机械制造技术协会制定)。 用两个标准，测量数据的整理均采用数理统计方法。即沿平行于坐标轴的某一测量轴线选取任意几个定位点(一般为5～15个)，然后对每个定位点重复进行多次定位(一般为5～13次)。可单向趋近定位点，也可以从两个方向分别趋近，然后对测量数据进行统计处理，求出算术平均值。进而求出平均值偏差、标准差、分散度。分散度代表重复定位精度，它和平均值偏差一起构成定位精度，两者之和是在任意两点间定位时可能达到的最大定位偏差。 由于被测坐标轴长度不尽相同，因而其定位精度的线性允差的给定方式不应是单一的，而应有所区别。国标GB10931-89数字控制机床位置精度的评定方法中规定，轴线定位精度线性允差的给定方式主要有以下几种： ·在全行程上规定允差； ·根据被测对象长度分段规定允差； ·用局部公差方式规定允差； 既规定局部公差，同时也规定全行程允差。 东方汽轮机厂从德国科堡(COBURG)公司进口工作台5m×17m的数控龙门铣床(下称龙门铣)，共有X、Y、Z、W四个坐标轴。只有Z轴长度小于2m、最长的X轴全行程为17.70m；从意大利贝拉尔蒂(BRERADI)公司进口的镗杆直径 250mm
监测方法及精度要求 一、一般规定 监测方法的选择应根据基坑等级、设计要求、场地条件、场地条件、当地经验和方法适用性等因素综合确定，监测方法应合理易行。 变形测量网的基准点、工作基点布设应符合下列要求: 1每个基坑工程至少应有3个稳固、可靠的点作为基准点； 2工作基点应选在先对稳定和方便使用的位置。在通视条件良好、距离较劲、观测项目较少的情况下，可直接将基准点作为工作基点。 3监测期间，应定期检查工作基点和基准点的稳定性。 6.1.3 监测仪器、设备和监测元件应符合下列规定： 1满足观测精度和量程的要求，且应具有良好的稳定性和可靠性。 2应经过校准或标定，且校核记录和标定资料齐全，并应在规定的校准有效期内使用。 3监测过程中应定期进行检测仪器、设备的维护保养、检测以及监测元件的检查。 6.1.4 对同一监测项目，监测时宜符合下列要求： 1采用相同的观测路线和观测方法； 2使用同一监测仪器和设备； 3固定观测人员； 4在基本相同的环境和条件下工作。 6.1.5 监测项目初始值应在相关施工工序之前测定，并取至少连续观测3次的稳定值的平均值。 6.1.6 地铁、隧道等其他基坑周边环境的监测方法和监测精度应符合相关标准的规定以及主管部门的要求。 6.1.7 除使用本规范规定的监测方法外，亦可采用能达到本规范规定精度要求的其他方法。
6.2 水平位移监测 6.2.1测定特定方向上的水平位移时，可采用视准线法、小角度法、投点法等；测定监测点任意方向的水平位移时，可视监测点的分布情况，采用前方交会法、 后方交会法、极坐标法等；当测点与基准点无法通视或距离较远时，可采用GPS 测量法或三角、三边、边角测量与基准线法相结合的综合测量方法。 6.2.2水平位移监测基准点的埋设应符合国家现行标准《建筑变形测量规范》JG8的有关规定，宜设置有强制对中的观测墩，并宜采用精密的光学对中装置，对中误差不宜大于0.5mm。 6.2.3基坑围护墙（边坡）顶部、基坑周边管线、临近建筑水平位移监测精度应根据其水平位移报警值按表6.2.3确定。 表6.2.3 水平位移监测精度要求(mm) 注：1监测点坐标中误差，是指监测点相对测站点（如工作基点等）的坐标中误 差，为点位中误差的2 1。 2当根据累计值和变化速率选择的精度要求不一致时，水平位移监测精度优 先按变化变化速率报警值的要求确定; 3本规范以中误差作为衡量精度标准。 6.2.4地下管线的水平位移监测精度宜不低于1.5mm。 6.2.5其他基坑周边环境（如地下设施、道路等）的水平位移监测精度应符合相关规范、规程等的规定。 6.3竖向位移监测 6.3.1竖向位移监测可采用几何水准或液体静力水准等方法。
DCS系统通道校验方法及精度要求 摘自：DL/T 774-2004火力发电厂热工自动化系统检修运行维护规程 4.2.1.7模件信号处理精度测试： 4.2.1.7.1模件信号处理精度测试时，应保证标准信号源（校正仪）的阻抗与模件阻抗相匹配，内外供电电源相对应。 4.2.1.7.2检查每个通道的转换系数，应符合测量系统量值转换要求。 4.2.1.7.3对于新建或大修机组，每块模块的I/O通道应逐点进行精度测试；对于中、小修和其他情况，每块模件上可随机选取1～6个通道（见表1）。 表1输入模件通道精度标准 信号类型 基本误差 回程误差 模件通道数 通道抽样点的方和根1481632 电流 mA ±0.2％±0.15％0.1％ 随 机 抽 样 通 道11234 直流电压 V 11234直流电压（0～1） V ±0.3％±0.2％0.15％11234脉冲 Hz ±0.2％±0.15％0.1％11234热电偶 mV ±0.3％±0.2％0.15％11246热电阻 ±0.3％±0.2％0.15％12346 4.2.1.7.4模拟量输入（AI）信号精度测试： a）用相应的标准信号源，在测点相应的端子上分别输入量程的0、25％、50％、75％、100％信号，在操作员站或工程师站（手操器）读取该测点的显示值，与输入的标准 值进行比较。 b）记录各测点的测试数据，计算测量误差，应满足表1的精度要求。 4.2.1.7.5脉冲量输入（PI）信号精度测试： a）用标准频率信号源，在测点相应的端子上分别输入量程的10％、25％、50％、75％、100％信号，在操作员站或工程师站（手操器）读取该测点的显示值与输入的标准值 进行比较。 b）记录各测点的测试数据，计算测量误差，检查触发电平，均应满足表1要求（或制造厂出厂精度）。 4.2.1.7.6模拟量输出（AO）信号精度测试： a）通过操作员站（或工程师站、或手操器），分别按量程的0、25％、50％、75％、100％设置各点的输出值，在对应模件的输出端子，用标准测试仪测量并读取输出信 号示值，与输出的标准计算值进行比较。 b）记录各点的测试数据，计算测量误差，应满足表2的精度要求。 表2输出模件通道精度标准 AO信号类型基本误差回程误差
怎样确定沉降观测的精度等级 2010-04-12 08:50:59| 分类: 默认分类 | 标签: |字号大中小订阅怎样确定沉降观测的精度等级 随着工业与民用建筑业的发展,各种复杂而大型的工程建筑物日益增多,工程建筑物的兴建,改变了地面原有的状态,并且对于建筑物的地基施加了一定的压力,这就必然会引起地基及周围地层的变形。为了保证建(构)筑物的正常使用寿命与建(构)筑物的安全性,并为以后的勘察设计施工提供可靠的资料及相应的沉降参数,建(构)筑物沉降观测的必要性与重要性愈加明显。现行规范也规定,高层建筑物、高耸构筑物、重要古建筑物及连续生产设施基础、动力设备基础、滑坡监测等均要进行沉降观测。特别在高层建筑物施工过程中,应用沉降观测加强过程监控,指导合理的施工工序,预防在施工过程中出现不均匀沉降,及时反馈信息,为勘察设计施工部门提供详尽的一手资料,避免因沉降原因造成建筑物主体结构的破坏或产生影响结构使用功能的裂缝,造成巨大的经济损失。本文结合建筑施工过程中沉降观测的实践,阐述了沉降观测的方法与意义。 一、沉降观测的实施 (一)工作基点与观测点标志的布设 工作基点(以下简称基点)就是沉降观测的基准点,应根据工程的沉降施测方案与布网原则的要求建立,而沉降施测方案应根据工程的布局特点、现场的环境条件制订。依据工作经验,一般高层建筑物周围要布设三个基点,且与建筑物相距50m至100m间的范围为宜。基点可利用已有的、稳定性好的埋石点与墙脚水准点,也可以在该区域内基础稳定、修建时间长的建筑物上设置墙脚水准点。若区域内不具备上述条件,则可按相应要求,选在隐蔽性好且通视良好、确保安全的地方埋设基点。所布设的基点,在未确定其稳定性前,严禁使用。因此,每次都要测定基点间的高差,以判定它们之间就是否相对稳定,并且基点要定期与远离建筑物的高等级水准点联测,以检核其本身的稳定性。 沉降观测点应依据建筑物的形状、结构、地质条件、桩形等因素综合考虑,布设在最能敏感反映建筑物沉降变化的地点。一般布设在建筑物四角、差异沉降量大的位置、地质条件有明显不同的区段以及沉降裂缝的两侧。埋设时注意观测点与建筑物的联结要牢靠,使得观测点的变化能真正反映建筑物的变化情况。并根据建筑物的平面设计图纸绘制沉降观测点布点图,以确定沉降观测点的位置。在工作点与沉降观测点之间要建立固定的观测路线,并在架设仪器站点与转点处做好标记桩,保证各次观测均沿统一路线。 (二)沉降观测的周期及施测过程 沉降观测的周期应能反映出建筑物的沉降变形规律,建(构)筑物的沉降观测对时间有严格的限制条件,特别就是首次观测必须按时进行,否则沉降观测得不到原始数据,从而使整个观测得不到完整的观测结果。其她各阶段的复测,根据工程进展情况必须定时进行,不得漏测或补测,只有这样,才能得到准确的沉降情况或规律。一般认为建筑在砂类土层上的建筑物,其沉降在施工期间已大部分完成,而建筑在粘土类土层上的建筑物,其沉降在施工期间只就是整个沉降量的一部分,因而,沉降周期就是变化的。根据工作经验,在施工阶段,观测的频率要大些,一般按3天、7天、15天确定观测周期,或按层数、荷载的增加确定观测周期,观测周期具体应视施工过程中地基与加荷而定。如暂时停工时,在停工时与重新开工时均应各观测一次,以便检验停工期间建筑物沉降变化情况,为重新开工后沉降观测的方式、次数就是否应调整作判断依据。在竣工后,观测的频率可以少些,视地基土类型与沉降速度的大小而定,一般有一个月、两个月、三个月、半年与一年等不同周期。沉降就是否进入稳定阶段,应由沉降量与时间关系曲线判定。对重点观测与科研项目工程,若最后三个周期观测中每周期的沉降量不大于2倍的测量中误差,可认为已进入稳定阶段。一般工程的沉降观测,若沉降速度小于0、01～0、04mm/d,可认为进入稳定阶段,具体取值应根据各地区地基土的压缩性确定。
数控机床精度的检测 论文关键词： 数控机床;几何精度;定位精度;切削精度;检测与注意事项。 论文摘要： 现代数控机床集合了电子计算机、伺服系统、自动控制系统、精密测量系统及新型机构等先进技术，能够加工形状复杂、精密、批量零件，并且具有加工精度高、生产效率高、适应性强等特点。随着我国制造业的快速发展，数控机床在机械制造业已得到广泛应用，且对数控机床的精度要求也越来越高。如何检测数控机床的精度，正成为各行业用户在验收与维护数控机床时非常关注的问题。机床的精度主要包括机床的几何精度、机床的定位精度和机床的切削精度。根据我在日常工作中所积累的经验，就这些精度的检测项目、检测方法及注意事项进行综合的说明： 检验目的：了解进行数控机床几何精度检测、加工精度检测常用的工具及其使用方法检验要求：了解ISO标准、GB中常见的数控机床几何精度及加工精度检测 项目标准数据，掌握数控机床几何精度、加工精度检测方法。 检验内容：机床调平、常见几何精度检测、常见加工精度检测 数控车床精度检测 １．床身导轨的直线度和平行度 检验工具：精密水平仪 检验方法：（1）水平仪沿Z 轴向放在溜板上，沿导轨全长等距离在各位置上检验，记录水平仪的读数，并计算出床身导轨在垂直平面内的直线度误差。（2）水平仪沿X 轴向放在溜板上，在导轨上移动溜板，记录水平仪读数，其读数最大值即为床身导轨的平行度误差。 ２．溜板在水平面内移动的直线度 检验工具：指示器和检验棒，百分表和平尺 检验方法：将直验棒顶在主轴和尾座顶尖上；再将百分表固定在溜板上，百分表水平触及验棒母线；全程移动溜板，调整尾座，使百分表在行程两端读数相等，检测溜板移动在水平面内的直线度误差。 ３．主轴跳动 检验工具：百分表和专用装置 检验方法：用专用装置在主轴线上加力 F （ F 的值为消除轴向间隙的最小值），把百分表安装在机床固定部件上，然后使百分表测头沿主轴轴线分别触及专用装置的钢球和
几何精度检测方法 一百分表、千分表及杠杆千分表的特点及适用范围 百分表的分度值为0.01mm，其读数清晰，表针跳动较小，常用的一般分为0～5、0～10mm两种量程，测量时测杆的压缩量一般为0.15～0.2mm（如图1），适用于较低精度要求的测量。百分表经过震动后测杆可以很容易的回到原始位置，在震动的情况下检测不易磨损，损坏率低。 千分表（指常用的指针式或压杆式千分表）的分度值为0.001mm，因其比百分表的放大比更大，分度值更小，测量的精确度更高，适用于较高精度要求的测量。千分表受到震动后测量杆不容易恢复到原始位置，可能会影响到检测数据的真实性，因此在震动较小的情况下使用较好（如图2）。 杠杆千分表体积小巧，测杆可以按需转动，并能以正反两个方向测量工件，因此常用于间隙较小的槽、孔、浮动件（如测量丝杠远端跳动）等千分表难以测量的情况，其测杆压缩量一般为0.03～0.06mm（如图3），灵敏度高。同样杠杆千分表适合在震动小的情况下使用。另外杠杆千分表不适合长期在压缩量较大的情况下工作，因为压缩量过大会造成测量数据失真，误差变大，而且会加快杠杆千分表各部件的磨损，使其老化，失去作用，因此在测量空间允许的情况下，一般优先选用千分表或百分表。 图1 百分表 图2 千分表 图3 杠杆千分表
二测量前提说明 1. 本说明所有图示均以Carver600G为例； 2. 在检测前应保证测量所用仪器可以正常使用； 3. 在检测前应保证测量所用工具以及被测部分的清洁； 4. 在测量过程中移动各轴时，进给速度不能过大，一般为1.8m/min左右； 5. 本说明所指方向（即前、后、左、右）均为人站立在机床正面，面对机床时（如图4）。 图4 三、各精度指标的检测方法 1.检测、调整床身水平度 1.1 所需工具 水平仪（刻度值为0.02mm）、活动扳手 1.2准备工作 1）检查水平仪精度是否符合标准 将水平仪水平放置，读出气泡位置，然后将水平仪原地旋转180°，比较旋转前后水平仪气泡位置。如果旋转水平仪之后，气泡的偏移方向不同，或者偏移方向相同但是气泡偏移的位置之差超过0.5格，则说明水平仪精度不符合要求（前提是检验水平仪的基准面是水平的）。 2）检查放置机床的地面是否符合要求 由于机床的四个地脚处的减震垫铁的调节范围为12mm，所以放置机床的地面高度差不能超过10mm。
基片质量要求及检测方法 1衬底标准： SEM M3-1296 SEM M3.2-91 SEM M3.4-91 SEM M3.5-92 SEM M3.6-88 GB/T13843. 2晶片的材料内在质量要求： 纯度＞99.999% 取向精度＜±0.5° 位错密度＜1×105个/㎝2 3 几何尺寸要求： 参考面(primary flat)定位误差＜±10 直径(dismeter)误差＜±0.05㎜ 厚度(thickness)误差＜±0.03㎜ 弯曲度(warp)＜20μm 平面度(flatness)＜10μm 粗糙度(roughness)R a＜0.5nm (翘曲度bow? 总厚度偏差ttv? 表面总平整度tir? 定位边长误差？) 4 晶片表面质量要求： 崩边：不允许有弦长超过1mm的崩边。 麻点：不允许存在。 桔皮：不允许存在。 应变层：不允许存在。 5 晶片洁净度要求： 金属离子＜1×109个/cm2 有机物碳含量＜5×109个/cm2 微粒（尺寸大于0.1μm）＜20个/片 6 材料内在质量检测： 1）纯度：火花源双聚焦质谱仪 2）晶片表面取向：X射线定向仪精度±15，；日本理学Smartlab0.00010 3）位错密度：先腐蚀AL2O3+2KOH-----2KALO2+H2O(300℃,10分钟)，用金相显微镜观察计算；或用KLA Tencor Candela CS20检测。 7 几何尺寸检测 1）直径和厚度用千分尺，精度0.01mm，TTV用高度千分尺。 2）参考面定位精度：X射线定向仪精度±15，；日本理学Smartlab0.00010 3）平面度和翘曲度：用激光干涉仪检测或用FRT MicorProf TTV 4）表面粗造度;用原子力显微镜AFM检测或KLA Tencor Candela CS20检测或FRT MicorProf TTV 8 晶片表面质量检测 1）崩边：用7倍放大镜观测或KLA Tencor Candela CS20检测
目录 1 工程概况 (2) 2 监测目的 (2) 3 监测项目 (2) 4 方案编制依据 (2) 监测布点 (3) 6 监测方法及观测精度 (3) 7监测频度 (4) 8监控报警 (4) 9数据记录、处理及监测成果 (4) 10附图：观测点布置图 (6)
**魏家庄万达广场住宅区 B组团基坑支护监测方案 1工程概况 拟建**魏家庄万达广场住宅区位于**市市中区经四路以北，顺河街以西，经二路以南，纬一路以东。住宅区划分为A、B、C、D、E五个组团。 B组团基坑支护采用土钉墙支护形式，坑深7.0～8.5m。 2 监测目的 1）为基坑周围环境进行及时、有效的保护提供依据。 2）验证支护结构设计，及时反馈信息，指导基坑开挖和支护结构的施工。 3）将监测结果反馈设计，为其它区的优化设计提供依据。 3 监测项目 1）坡顶水平位移和垂直位移监测； 2）保留办公室的沉降观测； 3）对地下水位进行监测； 4）坡体深层水平位移观测 5）对施工场地内边坡、道路、纬一路、经二路及路西、路北建筑物进行巡视检查。主要包括以下内容： ①边坡有无塌陷、裂缝及滑移。 ②开挖后暴露的土质情况与岩土工程勘察报告有无差异。 ③基坑开挖有无超深开挖。 ④基坑周围地面堆载是否有超载情况。 ⑤基坑周边建筑物、道路及地表有无裂缝出现。 4 方案编制依据 1）《建筑地基基础设计规范》（GB50007-2002）； 2）《建筑地基基础工程施工质量验收规范》（GB50202-2002）； 3）《建筑基坑支护技术规程》（JGJ 120-99）； 4）《建筑变形测量规范》（JGJ 8-2007）； 5）《建筑基坑工程监测技术规范》（DBJ14-024-2004）；
几何精度检测方法 几何精度检测方法 一百分表、千分表及杠杆千分表的特点及适用范围百分表的分度值为0.01mm，其读数清晰，表针跳动较小，常用的一般分为0～ 5、0～ 10mm两种量程，测量时测杆的压缩量一般为0.15 ～ 0.2mm（如图 1），适用于较低精度要求 的测量。百分表经过震动后测杆可以很容易的回到原始位置，在震 动的情况下检测不易磨损，损坏率低。 千分表（指常用的指针式或压杆式千分表）的分度值为 0.001mm，因其比百分表的放 大比更大，分度值更小，测量的精确度更高，适用于较高精度要求 的测量。千分表受到震动后测量杆不容易恢复到原始位置，可能会 影响到检测数据的真实性，因此在震动较小的情况下使用较好 （如图 2）。 杠杆千分表体积小巧，测杆可以按需转动，并能以正反两个方向测 量工件，因此常用于间隙较小的槽、孔、浮动件（如测量丝杠远端跳动）等千分表难以测量的情况，其测杆压缩量一般为 0.03 ～ 0.06mm（如图3），灵敏度高。同样杠杆千分表适合在震动小的情况 下使用。另外杠杆千分表不适合长期在压缩量较大的情况下工作， 因为压缩量过大会造成测量数据失真，误差变大，而且会加快杠杆 千分表各部件的磨损，使其老化，失去作用，因此在测量空间允许 的情况下，一般优先选用千分表或百分表。 图 1 百分表 图 2 千分表
图 3 杠杆千分表78
附件 4：几何精度检 测方法 二测量前提说明 1.本说明所有图示均以 Carver600G 为例； 2.在检测前应保证测量所用仪器可以正常使用； 3.在检测前应保证测量所用工具以及被测部分的清洁； 4. 在测量过程中移动各轴时，进给速度不能过大，一般为 1.8m/min 左右； 5.本说明所指方向（即前、后、左、右）均为人站立在机床正面，面 对机床时（如图 4）。 图4 三、各精度指标的检测方法 1.检测、调整床身水平度 1.1 所需工具 水平仪（刻度值为0.02mm）、活动扳手 1.2 准备工作 1）检查水平仪精度是否符合标准 将水平仪水平放置，读出气泡位置，然后将水平仪原地旋转 180°，比较旋转前 后水平仪气泡位置。如果旋转水平仪之后，气泡的偏移方向不同，或者偏移方向相同 但是气泡偏移的位置之差超过0.5 格，则说明水平仪精度不符合要求（前提是检验水 平仪的基准面是水平的）。 2）检查放置机床的地面是否符合要求 由于机床的四个地脚处的减震垫铁的调节范围为12mm，所以放置 机床的地面高 度差不能超过10mm。
机械加工零件精度自动检测及分析方法
摘要：在机械加工过程中，往往有很多因素影响工件的最终加工质量，为生产带来好多不必要的麻烦。其中,加工精度的高低是评定零件质量好坏的一项重要指标.所以如何使工件的加工质量达到要求，同时还能保证生产效率,是当前机械行业面临的一个重要课题. 加工精度是指零件加工后的实际几何参数(尺寸、形状和位置)与图纸规定的理想几何参数符合的程度。这种相符合的程度越高，加工精度也越高。 加工精度的测量与统计分析对于分析工艺过程的稳定性、确定机床的调整精度、确保产品的加工质量具有非常重要的作用.传统的分析方法通过人工进行,工作量大、计算繁、检测精度不高.因此,统计分析的准确性受到影响.现代科学技术的发展要求机械零件必须具有很高的精度,这就要求减少加工误差,保证工艺过程的稳定,以确保零件的加工精度,那么对加工精度统计分析的准确性与适时性要求也越来越高.传统的分析方法已不能满足现代加工工业的发展要要. 目前存在于大部分企业中的测量现状是:测量方式还是人工用游标卡尺或电子检测仪逐个对工件进行测量.前一种用游标卡尺测量时由于人工读数所带来的误差比较大、效率非常低,而且只能进行抽样检测无法实现产品质量全部合格;采用电子检测仪虽然读数精确而且方便,可以减少人为误差,但是不便于大量数据的统计处理,不能及时的误差分析.所以企业急需一种更有效新型测量方式的出现.而在机械制造业的质检部门,对一批零件的统计分析也尚处于手工或半手工阶段.即在传统的加工误差统计分析中,首先要测量整批零件的尺寸一并记录,然后用人工的方法根据尺寸分布,划分成若干个相同长度的区间,分析统计每个区间内的零件个数,再以区间是点为横坐标,以该区间内的零件数占所有零件的百分表为纵坐标,画出一系列离散的点,经过学滑可以得到尺寸的正态分布图.这种手工处理的方法繁琐、费时,人为误差大,绘制的曲线不精确,尤其不适合大批零件的检验及统计分析,所以很有必要对传统的检测统计方法进行改进. 随着计算机以及测量技术的不断发展, 检测仪器数字化是当前及未来仪器的普遍趋势.目前很多测量仪器都配串口，如RS232/485等, 通过对具有数据接口的测量仪器配置太友科技的数据分析仪，将使测量仪器的性能大大得到提高，数据采集仪的主要作用是自动从测量仪器中获取测量数据，进行记录，分析计算，形成相应的各类图形，对测量结果进行自动判断.系统能及时、准确地对工件进行检测和误差分析.大幅度缩短测量工件和统计分析的时间,使操作者能够及时了解工艺系统的工作状态、加工误差的变化趋势及加工误差的影响因素,以便及时调整工艺系统,使加工误差的在线测量、实时分析得以实现. 以下是利用数据采集器连接各种测量仪器进行测量的结构示意图:
数控机床精度要求、检测方法和验收 一、几何精度 工作台运动的真直度、各轴向间的垂直度、工作台与各运动方向的平行度、主轴锥孔面的偏摆、主轴中心与工作台面的垂直度等。机床主体的几何精度验收工作通过单项静态精度检测工作来进行，其几何精度综合反映机床各关键零、部件及其组装后的综合几何形状误差。在机床几何精度验收工作中，应注意以下几个问题。 ①检测前，应按有关标准的规定，要求机床接通电源后，在预热状态下，使机床各坐标轴往复运动几次，主轴则按中等转速运转10～15min后，再进行具体检测。 ②检测用量具、量仪的精度必须比所测机床主体的几何精度高1～2个等级，否则将影响到测量结果的可信度。 ③检测过程中，应注意检测工具和检测方法可能对测量误差造成的影响，如百分表架的刚性、测微仪的重力及测量几何误差的方向（公差带的宽度或直径）等。 ④机床几何精度中有较多项相互牵连，须在精调后一次性完成检测工作。不允许调整一项检测一项，如果出现某一单项须经重新调整才合格的情况，一般要求应重新进行其整个几何精度的验收工作。 二、位置精度 数控设备的位置精度是指机床各坐标轴在数控系统控制下运动时，各轴所能达到的位置精度（运动精度）。数控设备的位置精度主要取决于数控系统和机械传动误差的大小。数控设备各运动部件的位移是在数控系统的控制下并通过机械传动而完成的，各运动部件位移后能够达到的精度将直接反映出被加工零件所能达到的精度。所以，位置精度检测是一项很重要的验收工作。 1．数控机床的位置精度主要包括以下几项： （1）定位精度； 定位精度是指机床运行时，到达某一个位置的准确程度。该项精度应该是一个系统性的误差，可以通过各种方法进行调整。 （2）重复定位精度； 重复定位精度是指机床在运行时，反复到达某一个位置的准确程度。该项精度对于数控机床则是一项偶然性误差，不能够通过调整参数来进行调整。 （3）反向误差 反向误差是指机床在运行时，各轴在反向时产生的运行误差 （4）原点复位精度 2．检测方法 （1）定位精度的检测 对该项精度的检测一般在机床和工作台空载的条件下进行，并按有关国家（或国际）标准的规定，以激光测量为准。对于一般用户，当不具备激光检测仪的条件时，也可采用标准刻度尺，配以光学读数显微镜进行比较测量。 （2）重复定位精度的检测 该项精度是反映直线轴运动精度稳定与否的基本指标，其检测所用仪器与定位精度检测时相同，通常的检测方法是在靠近各坐标行程的两端和中点这三个位置进行测量，每个位置均用快速移动（G00）定位，在相同条件下重复七次定位，测出每个位置处每次停止时的数值，并求出三个位置中最大一个读数差值的二分之一，附上正、负符号，作为该坐标的重复定位精度。 （3）机械原点复位精度的检测
数控机床精度的检测方法及注意事项 数控机床的精度主要包括机床的几何精度、机床的定位精度和机床的切削精度。现根据在日常工作中所积累的经验，就这些精度的检测项目、检测方法及注意事项进行综合的说明。 一、数控机床几何精度 数控机床的几何精度反映机床的关键机械零部件（如床身、溜板、立柱、主轴箱等）的几何形状误差及其组装后的几何形状误差，包括工作台面的平面度、各坐标方向上移动的相互垂直度、工作台面X、Y坐标方向上移动的平行度、主轴孔的径向圆跳动、主轴轴向的窜动、主轴箱沿Z坐标轴心线方向移动时的主轴线平行度、主轴在Z轴坐标方向移动的直线度和主轴回转轴心线对工作台面的垂直度等。钛浩机械是以回转顶尖、丝杠、轴加工、数控车床加工、刀柄刀杆、夹头接杆为公司的主打产品。 常用检测工具有精密水平尺、精密方箱、千分表或测微表、直角仪、平尺、高精度主轴芯棒及千分表杆磁力座等。
1、检测方法： 数控机床的几何精度的检测方法与普通机床的类似，检测要求较普通机床的要高。 2、检测时的注意事项： （1）检测时，机床的基座应已完全固化。 （2）检测时要尽量减小检测工具与检测方法的误差。 （3）应按照相关的国家标准，先接通机床电源对机床进行预热，并让沿机床各坐标轴往复运动数次，使主轴以中速运行数分钟后再进行。 （4）数控机床几何精度一般比普通机床高。普通机床用的检具、量具，往往因自身精度低，满足不了检测要求。且所用检测工具的精度等级要比被测的几何精度高一级。 （5）几何精度必须在机床精调试后一次完成，不得调一项测一项，因为有些几何精度是相互联系与影响的。 （6）对大型数控机床还应实施负荷试验，以检验机床是否达到设计承载能力；在负荷状态下各机构是否正常工作；机床的工作平稳性、准确性、可靠性是否达标。 另外，在负荷试验前后，均应检验机床的几何精度。有关工作精度的试验应于负荷试验后完成。