In_Ga_As量子点红外探测器

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2009年10月 微纳电子技术第46卷第10期In(Ga)As量子点红外探测器唐光华,徐 波,王占国(中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京 100083)

摘要:讨论了量子点红外探测器的工作原理、性能参数、暗电流形成机理及其优势,介绍了In(Ga)As量子点红外探测器的主要结构、性能和取得的最新结果,最后探讨了如何进一步提高量子点红外探测器的性能。指出要实现量子点红外探测器的优势,必须优化量子点生长条件,让量子点更小、更均匀和密度更大;必须提高量子点的掺杂控制和掺杂水平,实现每个量子点中有1~2个电子;必须降低量子点生长中引入的应力,增加量子点有源区的层数;此外,还必须寻求新的量子点红外探测器结构。关键词:量子点;量子点红外探测器;暗电流;掺杂控制;性能参数中图分类号:O47111;TN215 文献标识码:A 文章编号:1671-4776(2009)10-0577-10

In(Ga)AsQuantum2DotInfraredPhotodetectorsTangGuanghua,XuBo,WangZhanguo(KeyLaboratoryofSemiconductorMaterialsSciences,InstituteofSemiconductors,ChineseAcademyofSciences,Beijing100083,China)

Abstract:Theoperationprinciple,characteristicparameters,darkcurrentmechanismandpotentialadvantagesofquantumdotinfraredphotodetectors(QDIPs)arediscussed.Thenthemainstructures,performancesandlatestresultsofIn(Ga)AsQDIPsfromliteraturesareintroduced.Finally,howtoimprovetheperformancesofQDIPsareproposed.ToachievetheanticipatedadvantagesofQDIPs,itisnecessarytooptimizequantum2dots(QDs)growthcondi2tionstomakethedotssmaller,moreuniformanddenser,andimproveQDsdopingcontrolsanddopinglevelstoget1-2electronsinoneQD.ItisalsoneededtoreducetheinducedstressintheQDsgrowth,increasethelayernumberoftheQDsactiveregion,andseeknewQDIPsstruc2tures.Keywords:quantumdot;quantum2dotinfraredphotodetectors;darkcurrents;dopingcon2trols;characteristicparametersDOI:10.3969/j.issn.1671-4776.2009.10.001 EEACC:2560X;7230C

0 引 言红外探测器主要工作在中红外(3~5Lm)和远红外(8~12Lm)波段[1-2],在夜视、热成像、

导弹制导、环境监测、森林防火等军事和民用方面都有着非常广泛的应用。在各种类型的探测器中,热释电探测器成本低廉,工作时不需要冷却,但探测率低、响应慢。光探测器则因具有分辨率高、响

收稿日期:2009-03-13基金项目:973计划项目(2006CB604904);国家自然科学基金项目(60676029,60776037)通信作者:王占国,E2mail:zgwang@red.semi.ac.cn

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专家论坛ExpertForum MicronanoelectronicTechnologyVol.46No.10 October2009应快、能同时实现双色或多色探测的优点而得到广泛研究。目前,主要的光探测器有HgCdTe红外探测器、量子阱红外探测器(QWIP)和量子点红外探测器(QDIP)等。HgCdTe是目前红外应用中广泛使用的材料[3],通过改变材料中Hg和Cd的成分比例,可实现对1~25Lm波长的探测。本征HgCdTe探测器光吸收效率高,其探测率达1011cm#Hz1/2/W(约80K),光响应率达A/W量级[4]。HgCdTe材料也有它自身的缺点:高质量单晶薄膜外延生长和器件制作工艺困难导致成品率低而成本高;非均匀掺杂会导致器件性能的波动,影响大面积焦平面阵列(FPA)单个像素的可控性;HgCdTe探测器工作温度低于或接近80K,需要冷却装置。随着超薄层微结构Ó2Õ族化合物半导体材料生长技术,如分子束外延(MBE)和金属有机化学气相沉积(MOCVD)的发展和成熟,人们开始研究QWIP,其工作原理是基于量子阱内子带或次带到连续态的电子跃迁[5]。QWIP目前在低温下的探测率可与HgCdTe探测器相媲美,同时由于QWIP均匀性非常好,增加了大面积焦平面阵列中单个像素的可控性。但是,QWIP也有很严重的缺点,如它对垂直入射光不响应,需要外加光栅或磨制入射斜面,增加了工艺复杂性和成本。另外,其电子热激发率较高,导致了大的暗电流,器件需在50K以下的低温工作。所以,近年来人们把目光又投向了QDIP。与传统的HgCdTe红外探测器和量子阱红外探测器相比,QDIP在理论上具有很多优势,如对垂直入射光敏感[6]、暗电流小、有效载流子寿命长[7]、工作温度高和探测波长可调等,但在实际中还远未达到其理论预期结果。主要原因是由于S2K模式生长的自组装量子点尺寸均匀性较差及材料生长过程中存在应力的积累,使得生长层数受限,导致QDIP的光吸收效率偏低;另外,非均匀掺杂对器件性能也有影响。为了克服这些缺点,国内外的一些研究小组做了许多工作并已取得了一些成果。本文将首先讨论量子点红外探测器的器件工作原理、性能参数、暗电流形成机理及其潜在优势,进而介绍In(Ga)As量子点红外探测器的主要结构、性能和取得的最新结果,最后探讨如何进一步提高量子点红外探测器的性能。1 量子点红外探测器工作原理和优势111 QDIP的工作原理所谓量子点是指材料在空间三个维度上的特征尺寸都与电子的德布罗意波长相比拟或更小,载流子在三个维度上都受到势垒约束而不能自由运动[8]。根据量子力学分析,量子点中载流子在三个维度方向上的能量是量子化的,其态密度分布为分立的D函数。图1所示为量子点的态密度、能带结构和载流子分布[9]。

图1 量子点的态密度、能带结构和载流子分布Fig.1 Densityofstates,bandstructureandcarrierdistributionforquantumdots

量子点红外探测器的工作原理正是利用了量子点的三维量子限制效应。当量子点束缚态内的电子受到光照时,如果光子的能量比电子激发所需要的能量大,电子从束缚态跃迁到激发态或连续态,在外加电场的作用下,电子被收集形成光电流。图2为QDIP的工作原理示意图。

图2 量子点红外探测器的工作原理示意图Fig.2 OperatingprincipleofQDIP

112 表征QDIP性能的参数表征红外探测器性能的参数主要有:光电流和暗电流、光谱响应及响应率、探测率、光导增益和量子效率。

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唐光华等:In(Ga)As量子点红外探测器 2009年10月 微纳电子技术第46卷第10期

11211 光电流和暗电流光电流指的是单位时间内通过器件的光激发电荷载流子的数目。对于QDIP,必须把被势垒限制在量子点束缚态上的电子激发出来,理想情况下,束缚态之间的跃迁,终态应该与势垒顶端能量一致。但实际情况是终态往往低于势垒顶端,电子需要通过隧穿或是热激发才能越出势垒形成光电流。因此,QDIP的光电流对量子点的子带能级结构和电子的跃迁机制很敏感。暗电流指的是没有红外辐射照射到探测器上面时通过探测器的电流。QDIP的暗电流主要来源于热激发载流子,量子点中直接隧穿载流子和电场辅助隧穿载流子。其中,热激发载流子对暗电流影响最大,为了减少热激发载流子,探测器往往需要工作在很低的温度下。后面将对QDIP的暗电流形成机理做一定的分析。11212 光谱响应及响应率量子点子带内的能级是分裂的,当入射光子的能量大于子带间能级差时,电子可以从束缚态跃迁到激发态。因此,量子点子带内的能级结构决定了探测器对入射光波长的光谱响应。光谱响应率R(K)定义为输出信号强度与照射到探测器上的总的光功率的比值,单位为A/W或V/W。图3给出一个中红外波长响应的InAs/GaAsQDIP在78K时,Vbias=011V的垂直入射响应率曲线[1],量子点的尺寸分布不均导致了谱线有一定的展宽。图3 中红外InAs/GaAsQDIP垂直入射响应率Fig.3 Mid2infraredInAs/GaAsQDIPnormalizedresponsivity11213 探测率探测率为探测器信噪比的一个量度,当测得噪声电流in,则峰值探测率D*(单位为cm#Hz1/2/W)可表示为D*=RPA$f/in(1)式中:Rp为峰值响应率;A为探测器面积(cm2);$f为噪声等效带宽(Hz);in的单位为A。光电探测器的噪声电流主要源于背景中辐射光子的随机波动、载流子随温度变化的波动以及探测器内带电粒子产生和复合几率的波动。11214 光导增益和量子效率光导增益定义为载流子寿命与载流子渡越时间的比值,或是收集到的载流子总数与激发载流子总数的比值(无论载流子是热激发产生的还是光激发产生的)。量子点红外探测器的光导增益可以写为g=1NFp(1+p)(2)式中:N为量子点的层数;F为单外延层中量子点的覆盖率(小于1);p为量子点对电子的俘获几率,在高电场下,QWIP中量子阱对电子俘获几率为0101~011[10]。因为QDIP中电子的有效寿命更长,所以量子点对电子的俘获几率更小。将各数值代入式(2)可得QDIP的光导增益大于1,预测值为1~5[11]。量子效率(G)定义为收集到的光生载流子与入射光子的比值,可通过峰值响应率Rp和QDIP光谱响应计算出来,即

G=hcRpgqKp(3)式中:Kp为光谱响应峰对应的波长;h为普朗克常量;c为光速;g为光导增益。目前QDIP的量子效率还比较低(2%左右),这主要是由于量子点中载流子束缚比较强,且量子点的尺寸非均匀性和量子点层数少导致QDIP的吸收系数比较小。113 QDIP中暗电流形成机理红外探测器暗电流来源有很多,A1D1Stiff2Roberts等人[12]认为在高温段(大于125K),暗电流