防静电定期检测规范

______________________________________________________________________________________________________________ -可编辑修改- 防静电定期检测规范 ______________________________________________________________________________________________________________

-可编辑修改- 5、作业程序 5.1测试方法：

5.1.1测试环境： 环境温度23±5℃，相对湿度40%～70%。 5.1.2测试仪器使用方法 5.1.2.1静电场测试仪（TREK520） 静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键：“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER” 键开机/关机。该仪器有两个量程：0~2KV、0~20KV,可通过按“RANGE/ZERO”键进行切换。当显示3位小数时，量程范围为0~2KV；当显示2位小数时，量程范围为0～20KV。 每次测试时都应进行读数清零工作，方法为：将sensor对准一个已知的电压为0V的导体上，按“RANGE/ZERO”键至少3秒钟。 为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。测试前，先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板），手持干燥并干净的棉布以每分钟120次的速度，施加适当的压力（2～4千克力），单向摩擦待测物表面20次，然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面的距离为2.54CM及两个红灯重合在一起），将显示的读数乘以1000即得实际的电压值，例如读数为“.018”，则实际电压为18V。 5.1.2.2 表面电阻测试仪（ACL-385） ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不变，测试时将被测物放于绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加适当压力（2～4KG）于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即______________________________________________________________________________________________________________ -可编辑修改- 为读数。如果被测材料为软性材料，可施加4～6kg的压力进行测试。

5.1.2.3 接地电阻测试仪（EMI-20780）

EMI-20780 可以测试点对点电阻(RTT), 接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面电阻率, 配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为: 1x 103Ω - 1012Ω；测试电压为: 10V或100V+/-5%；测试精度为: +/-10%;测试时间为 15秒；测试时：把2条连接线分别插入测试表上端的“A”插口, 注意白色连接线和黑色连接线的插头不同, 不要插错. 然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极；按下“D”测试按键15秒, 这时LCD屏幕按顺序显示如下:  华氏温度  摄氏温度  相对湿度  电阻值  所采用的测试电压 电阻测试结果由“B”显示屏和“C”冥数LED 指示灯共同显示, 例如电阻值为175，000，000Ω, 显示如下: ______________________________________________________________________________________________________________ -可编辑修改- 1.75显示在“B”显示屏上, 同时“C” LED指示灯的8会亮,表示测试结果为: 1.75 x 108

Ω。如果LCD显示屏显示“1____”, 说明超过该仪器测试范围。 测试电压为10V或100V, 按下“F”键, 采用10V电压测试, 如果不按下“F”键, 仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压. 阻值在105Ω以下时采用10V测试电压, 阻值在106Ω以上时采用100V测试电压

5.1.2.4人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试） 测试步骤： 1. 员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，穿戴正确。左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。 2. 扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的LCD面板提示“请您按下测试键”。手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完全接触）开始测试，3 秒后仪器将测试完毕。 3. 如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的LCD面板显示“通过”，如果测试不合格，仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声，同时仪器的LCD 面板显示“不通过”。不通过时可连续测试4次，若还是不合格，员工立即到IPQA处更换。 4. IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。______________________________________________________________________________________________________________

-可编辑修改- 5.1.2.5接地桩电阻测试仪（ZC29B型号） 1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米，且电位探棒P’系在E’和C’之间。 2.E端钮接5m导线，P端钮接20m导线，C端钮接40m导线。 3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。 4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指针指“0”。 5.当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150转。再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。 6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确读数。 7.当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导线联接到被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。 8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度______________________________________________________________________________________________________________ -可编辑修改- 过低时，可沿探棒注水使其湿润。

5.1.2.6 离子风机测试仪（3M-718 /3M-718A） 1、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应大于“+1000V”。 2、 在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。 3、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。 4、 离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。 5、 在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。 注意：要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V

5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪（SAML1800）： 测试时，开关旋转至“1801 FALL”档， SALM1801S-I的LED变成红色，蜂鸣器发出报警声响；旋转开关至“1801 PASS”档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格。 ______________________________________________________________________________________________________________ -可编辑修改- 5.2 测试项目 5.2.1静电接地极电阻测试 每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.2设备、仪器接地电阻测试 每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后要立即测试）测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。 1. 设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每月。 2. 电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每天。

5.2.3 静电接地线接地电阻： 每半年ESD专员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端插在电源地线孔里。要求电阻值小于10Ω。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.4防静电工服 ______________________________________________________________________________________________________________ -可编辑修改- PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻1×105Ω≤RS< 1×109

Ω （上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对

裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。

5.2.5防静电工作台 ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。

5.2.6地板 由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在1*105~1*109

Ω之间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区

域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距离为0.6米～1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。 同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*105-1*109