常见问题排查手法学习一
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常见问题排查手法 一
1. Sensor Mismatch
首先需要分清发生这个报警的所在单元和发生报警的传感器。一般来说，只有液位传感器经常发生此种报警。
一种是化学品药箱（tank）内部的液位传感器（左下图）与外部连通器的光电传感器（右下图）所显示信号不匹配。
出现此种情况时，需要现场人员检查以上两处传感器是否出现：1.机械连接异常；2.表面脏污。可通过重新插拔连接传感器接头来检查。如果确定连接和外观均无异常，则可能是其中某一个传感器出现故障，这时需要根据化学品箱中的实际液位进行判断。可以通过观察连通器中的液面高度，并结合机台中实际传感器的DI/O信号来判断是哪一个传感器出现故障。
对于左图中的传感器，可将其从tank中取出，擦拭干净其表面的化学品，不断变换用于检测液位的浮漂的位置，并结合机台中传感器的DI/O信号来检查其是否良好。
对于右图中的传感器，可将其旋下用不透光的物体接近其检测面，观察其黄色指示灯是否亮起。如果不亮，可尝试使用微型“一”字改锥调节其侧面的零点旋钮，直到黄色指示灯亮起（顺时针旋转为感测精度提高，逆时针为降低）。如果始终不亮，则可能为传感器内部故障，需要与正常的传感器交换安装才能确定。
另一种是化学品槽（bath）内部浮漂式的液位过高传感器与槽背后的连通器光电传感器不匹配。（见下页）
左图的传感器检查比较简单，只需上下拨动浮漂并检查I/O信号即可。
右图则除了检查传感器本身以外，还需要检查连通管是否清洁，如果有沉积物，则需要先清除掉沉积物之后再去确认传感器。
2. Flow below min limit
首先需要确认发生报警的单元，可以尝试手动进行初始化（Manual状态下，点击ini按钮），如果手动初始化能够成功，则说明整个循环系统（泵，流量计，喷淋管）没有出现阻塞，可以重新开机转为自动。
如果手动初始化仍发生以上报警，则首先需要检查流量设定是否正常，最大和最小报警限是否设定的过于严格。
如果设定无异常，则需要检查在初始化时循环泵的负荷和工作电流是否过大，可以通过和正常工作的同型设备的同一单元的循环泵进行比较（注意，制绒和刻蚀有所区别，且同型设备的工艺槽和酸槽的泵的最大功率也不同，所以必须比较同型同位置的循环泵）。如果循环泵的工作负荷比较大，电流比较高，则有必要确认循环泵旁边的滤芯是否干净，如果有必要，则应打开并更换之。
在确认循环泵工作正常之后，则需要检查循环系统的末端—喷淋管，需要检查喷淋管喷出的液柱是否粗细均匀，朝向是否相同，尤其要对比近泵端和远泵端的液柱是否相同。如果出现液柱不均匀的情况，则需要停机取下喷淋管，对每个喷淋口和喷淋管内部进行清洁，以去除脏污。
另外，还有一种可能是流量传感器出现工作异常，GF的Flow transmitter如果出现工作异常，一般都是没有示数。
检查GF的流量计，需要用新的或者是完好的流量计进行交换以确认其是否正常。接线方式如下：
3. Warning on Sinamics CU
出现此种报警，需要进行SINAMICS的复位动作。首先将设备切换至Manual模式，然后在电柜中取下SINAMICS第一个单元的浅绿色方盖，用一字改锥点击reset按钮，然后在REVIS系统下消除报警即可。
4. Thermocryostat not ready
出现此种报警，需要重启冷却机。重启时不要急开急关，断电后等待1-3分钟后再行开启冷却机。
5. Dry protection pump occurred
发生此种报警，可以肯定的是发生报警瞬间tank内的液位不足，循环泵启动了内部的干泵保护功能。Tank内的液位不足原因有以下几种：
首先可能是液量不足，现场人员可以在平时就标记好tank内正常液量的水准，一旦补液或者换液后低于这个标准液位，则可能就是补液或者换液液量不足。关于补液不足，有可能是Dosage valve没有能够正常完成补液动作。下图中DIW和HF右边的valve就是Dosage valve。
确认Dosage valve是否正常可以通过向Tank内手动补充制定体积药液，并观察Dosage tank中液位是否有相应下降来实现。RENA在装机过程中在Dosage tank侧面都有标记Dosage
Volume数值，这一数值为Sensor2和3之间的体积差。如果出现Dosage valve补液量不正常，则需要对其进行该更换并重新校准该处阀门。
其次，有可能为溢流阀处有药液损失。当Bath到tank的管路出现气泡时，就有可能随着气泡的破裂导致药液被溢出到溢流阀管路导致液量损失。
针对这一问题，现在比较有效的措施之一是先行使用垫块将溢流管路垫高。
然后将溢流管路靠近tank并焊死，以保证溢流管路高于气泡破裂时的液面高度。
第三，也有可能为管路某处出现泄漏。比如溢流阀或者排液阀门出现泄漏。此种情况则需要现场人员佩戴好防护用具进行仔细确认，并查找泄漏位置。
关于干泵保护，除了tank内液位不足以外，还有可能是bath至tank的回水管被异物阻塞所致。不过此种情况一般还会伴随着bath内液位过高的报警出现。所以在观察报警的同时也要注意其伴生的其他报警。综合几种情况再行判断采取何种措施。
6.风刀处发生较多碎片
风刀处发生较多碎片时，应当检查风刀处上下风刀距离硅片传送平面的距离是否是“里外一致”，同时检查传送滚轮平面是否和RINSE3搭配适当。如果以上两处没有问题，则可适当抬高上风刀距离滚轮表面的距离，4-5mm的距离属于比较合适的范围。调整后应检查传送效果，以保证硅片不至于因离下风刀过近而被吹起。
