VOYAGER
普通用户操作说明和高级用户维护细则（20171212 整理）
一、普通用户进入：
Raith service administer 和Voyager 的工作界面是常开的。用户不再细分，统一用管理员指定电压/光阑组合进行操作。
50KeV 对于A2 950K/200K的PMMA Area Dose 最佳值342.5μC/cm2, 500也可以。
1.找样品和设置基本条件
(a)检查样品室内有无样品，若有则unload sample（耗时8分钟，界面不
能有其它操作）。
进样：更换新乳胶手套，使用塑料镊子和标配样品盒，将样品夹到1-6号夹子下方，然后连带holder放入导轨，放下样品盖。然后点击load（通过机柜或voyager工作界面均可），直至自检结束。
(b)在XYZ坐标系，Z栏输入18, 单位mm，absolute状态，然后点击go.
(c)File/open sample holder map/150 mm USH holder.
(d)加高压：在Column control状态栏中选择EHT/Mode（LC，MC，HMC，HC）
/Apr搭配组合，点击状态栏上方激活按钮。
(e)开CCV：在Column control状态栏下方右键CCV，选择open.
2.检查样品上方各区的聚焦/像散情况
(a)Height control/sample/USH
(b)Stage Control/position/Align Foc/stigmator/go
(c)打开Voyager的工作界面上方扫描按钮，调节joystick的Z轴（调样品台
高度）初步聚焦。
(d)打开voyager的工作界面上方齿轮1，Beam/focus进行单区自动聚焦。
(e)打开齿轮2，输入3，点击go，将会自动调3*3共9个图，执行完毕，在
Column control界面点击保存按钮。
说明：如果此步执行完毕，9个图都比较清晰，可以直接进入第3步，无需再做下边的像散及全场校准步骤。
补充：像散和全场校准：
(a)打开齿轮1，Beam/stigmatior，开始自动调节像散，此过程可以同步手动辅
以亮暗/对比度调节。
(b)齿轮1，点击Field /focus，自动结束后，再点击Field /stigmator，最后Field
/focus，结束后在Column control界面点击保存按钮。
3.测束流
(a)Voyager右侧状态栏进入Beam current 界面，选择Faraday cup on holder 点
击measure
(b)Parameter一栏输入相应的step size 和dose等参量。
4.矫写场（型变形校准）
(a)Stage control/ position/chessy/go （注意此时sample也是USH状态）
(b)Write alignment 界面点击Reset键，目的清除上一次校准结果。
(c)齿轮1，点击position fine，此布如果效果不好，可以补充一步positon corse
自动结束后，点击position final，结束后，在该界面图片上方检查status/FOM 值，小于14，即可用，最佳值曾小于4。越小越好。
(d)Column control界面点击保存按钮。
5.Level 用户sample
(a)Height control界面sample 选择用户对应夹子。
(b)在基片三个比较远的位置上插旗：点击level界面蓝色旗，然后鼠标移动到
基片相应位置，再点击左键，点击read，即完成插旗。
(c)点击center
(d)点击level，系统自动移动到第一个旗子位置，手动调节focus（在focus任
务条上边左键按住左右拖动直到图像清晰，然后accept，系统自动到第二点，第三点，操作雷同。
补充说明：
如果系统提示错误，说明样品太小，在Height control界面选sample/USH，即回到系统默认水平状态。
如果每个旗子部位没有mark，衬底也不容易看清楚，可以打开Voyager左下方隐藏的CCD control界面，此时每到一个旗子部位，调节focus直到CCD 信号高于基准线。然后accept。
(e)Level执行完毕后，需要在focus任务条上方按E，然后输入20（对于50KeV
工作距离需要一直保持20mm，对于30KeV需要一直保持20.17mm，对于20KeV需要一直保持24mm），然后点击enter键。
6. A. 对于非套刻情况曝光，执行打点并自动写场校准
(a)打点：在用户基片要曝光的位置附近，点击Voyager上方状态栏的打点按
钮，两三次，辅以方法二，打开状态栏上方的Beam Blank持续扫描半分钟，也可以ctrl+B，此时Blank会频繁开关，该方法可以加快打点速度。(b)Joystick+Z 聚焦，再打点，直到打点直径小于40nm（tool中的），越小越
好。也可以辅以齿轮1中的自动focus。
(c)Write alignment
在打点（两三个点，有大小，但不能对称）位置，Voyager/XY-UV图标scan manager中选择Writefield Alignment Procedure/WF-Auto ALWF 1μm Marks 右键Execute。
备注：在Voyager下边状态栏的翻页图标进入Raith Protocol Tool可以检查写场校准结果，要求只有末位变化，最佳接近1的浮动，Delta rot末位小于3.
(d)在Voyager右侧电子枪状态界面下writefield Manager中点击save键保存校
准结果。
(e)到Voyager右侧电子枪column control中点击保存
B．对于套刻情况曝光
(a) Voyager 右侧XY-UV图标下进入stage control界面, 定原点。在angle
correction界面，read左下角，手动移到右下角，点击read，最后点adjust。
(b) 三点矫正：找到片子上第一个mark，将global坐标切换成local坐标，在
三点坐标中输入GDSII图形坐标UV值，点击read，adjust。依次输入第二个和第三个mark的UV值，点击read，adjust。分别Drive到三点，单扫模式，ctrl+右键，将样品移到中心位置，分别二次read并adjust。
7. 曝光：
(a) 打开Voyager/File/new positionlist从Voyager右侧状态栏GDSII图标界面打开
预先拷贝到桌面shortcut GDSII文件夹中的GDSII图形。
(b) 依次拖入曝光图形到positionlist中，选择working area，点击position
对于套刻的情况，拖入曝光层之前，前边加1条63层manual mark, working
