• 1501 •DOI: 10.19289/j.1004-227x.2021.19.008
化学浴沉积硫化铅薄膜及其晶体结构
胡巧玲1，孙喜桂1, *，吴晨希1，田珍珍1，魏俞龙1，孙成行2，韩佳宏2，于可心1
（1.山东建筑大学，山东 济南 250101；
2.朝阳师范高等专科学校生化工程系，辽宁 朝阳 122000）
摘要：采用化学浴沉积法(CBD)在玻璃衬底上制备了PbS薄膜，探究了沉积时间(20 ~ 100 min)对其厚度、微观形貌、晶体结构
和禁带宽度的影响。结果表明，化学浴沉积所得的PbS薄膜均匀、致密，呈镜面光亮的黑色。随着沉积时间的延长，PbS薄膜
厚度先快速后缓慢增大，微观形貌逐渐由片状结构转变为立方体结构，择优生长取向从(200)转变为(220)，禁带宽度先减小后
增大。沉积60 min所得PbS薄膜的厚度约为853 nm，以(220)晶面为生长取向，禁带宽度为0.205 eV，光学性能最佳。
关键词：硫化铅；化学浴沉积；晶体结构；形貌；禁带宽度
中图分类号：TQ153.2 文献标志码：A 文章编号：1004 – 227X (2021) 19 – 1501 – 06
Chemical bath deposition of lead sulfide film and its crystal structure
HU Qiaoling 1, SUN Xigui 1, *, WU Chenxi 1, TIAN Zhenzhen 1, WEI Yulong 1,
SUN Chengxing 2, HAN Jiahong 2, YU Kexin 1
(1. School of Materials Science and Engineering, Shandong Jianzhu University, Ji’nan 250101, China;
2. Department of Biochemical Engineering, Chaoyang Normal College, Chaoyang 122000, China)
第49卷第6期
2021年6月 硅 酸 盐 学 报 Vol. 49，No. 6
June，2021 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.20200617
Sb2Te3基热电薄膜的研究进展
易 文1,2，赵永杰1，王伯宇1，周志方2，李亮亮2，李静波1
(1. 北京理工大学材料学院, 北京 100081；2. 清华大学材料学院，北京 100084)
摘 要：基于热电薄膜的微型热电器件在微区制冷、温差发电等领域具有广阔应用前景。具有高功率因子、ZT值的热电薄
膜对微型热电器件的性能至关重要。Sb2Te3基材料是室温下性能优异的p型热电材料。然而，目前Sb2Te3基薄膜的热电性能
仍然不能满足实际应用的需求。简述了热电材料研究的相关背景，介绍了Sb2Te3的晶体结构，概述了Sb2Te3基薄膜的常用制
备技术，从提高功率因子和降低热导率2方面综述了提高Sb2Te3基薄膜热电性能的方法。重点介绍了材料组织、微观结构与
热电性能的关系，即缺陷、择优取向、纳米颗粒、超晶格、有机无机杂化等对Sb2Te3基薄膜热电性能的影响。此外，对Sb2Te3基热电薄膜的发展方向予以展望。
关键词：热电薄膜；碲化锑；热电性能；功率因子；热导率
中图分类号：TB34 文献标志码：A 文章编号：
0454–5648(2021)06–1111–14
网络出版时间：20210406
Research Progress on Antimony Telluride Based Thermoelectric Thin Films
YI Wen1,2, ZHAO Yongjie1, WANG Boyu1, ZHOU Zhifang2, Li Liangliang2, Li Jingbo1
第49卷第8期
2017年8月无机盐工业
INORGANIC
CHEMICALS
INDUSTRYVol
.49 N
〇.8
Aug
.,2017
综述与专论
大面积
FTO透明导电薄膜制备技术研究进展
李建生\刘炳光\王少杰\卢俊锋2袁田茂2
渊
1.天津职业大学生物与环境工程学院
，天津
300410曰
2.天津中科化工有限公司
冤
摘要
:掺氟氧化锡透明导电
(FTO)薄膜由于性价比优势
，已成为薄膜太阳电池的重要原材料
，但其导电性能不
佳导致商用大面积薄膜太阳电池光电转换效率只有实验室小面积薄膜太阳电池效率的
40%~60%，提高大面积
FTO
薄膜的导电性能和降低生产成本成为其广泛应用的关键
。介绍了化学气相沉积法
、喷雾热分解法
、磁控溅射法和溶
胶
-凝胶法制备
FTO薄膜的工艺和技术进展
。对改进大面积
FTO薄膜导电性能的新途径和国内外研究进展做了综
述
。建议重点研究锑磷掺杂
FTO薄膜制备技术和重点研究纳米银复合
FTO薄膜制备技术
，以克服
FTO薄膜电阻较
大的缺陷
，同时保持导电薄膜良好透光性能
。
关键词院掺氟氧化锡
;透明导电薄膜
;太阳能电池
中图分类号
:TQ134.32 文献标识码
:A 文章编号
:1006-4990(2017)08-0001-04
Research progress on preparation technique of large area FTO transparent conductive films
Li Jiansheng1,Liu Bingguang1,Wang Shaojie1,Lu Junfeng2,Tian Mao2
(1.College ofBiological and Environmental Engineering，TianjinVbcational Institute，
Tianjin 300410，
China；
2.Tianjin Zhongke Chemical Industry Co.，
Ltd.)
Abstract：
第１２卷第９期 ２ ０ １ ３年９月 南阳师范学院学报 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎａｎｙａｎｇ Ｎｏｒｍａｌ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｖ０１．１２ ＮＯ．９ Ｓｅｐ．２０１ ３ ＺｎＯ薄膜的电化学沉积及其性能研究 周俊娇，董晓哲，邱向楠，刘 东，白银强，包晓玉 （南阳师范学院化学与制药工程学院，河南南阳４７３０６１） 摘要：以透明导电玻璃（ＴＣＯ）为衬底，用硝酸锌水溶液作为电解液，采用阴极电沉积法合成了ＺｎＯ薄膜．通过改变电 解液浓度、温度和沉积电压等实验条件，系统研究了锌氧化物薄膜材料的电化学沉积过程．用扫描电镜、ｘ射线衍射、紫 外一可见光谱法等技术对沉积物酌形貌、结构及光学性质进行了表征．结果表明，通过控制电解液的浓度和温度及沉积电 压等反应条件可以制备出不同形貌的ＺｎＯ薄膜．ＸＲＤ结果表明，所得的ＺｎＯ纯度高且呈六方纤锌矿结构：光谱法研究表 明，该薄膜在３４４ ｎｍ和５５２ ｎｍ处有两个吸收峰，禁带宽度为３．２５ ｅＶ． 关键词：氧化锌薄膜；电化学沉积；性能 中图分类号：０ ６１４．２４ 文献标志码：Ａ 文章编号：１６７１—６１３２（２０ｌ３）０９—００２０—０４ Ｏ 引言 结构，并对其性质进行了研究 近年，半导体纳米材料因其许多独特的性能， 例如量子尺寸效应、宏观量子隧道效应和表面效应 等，而越来越受到人们的关注．随着人们对半导体 纳米材料认识的提高，对半导体纳米材料方面的研 究也日益深入．作为一种信息时代的新材料，半导 体纳米材料已经被广泛应用于催化、医学、光学及 功能材料等领域．而在半导体纳米材料中，材料的 性质与其形貌和结构关系非常紧密，制备方法与工 艺对纳米材料的结构和性能有很大的影响 ．目 前，纳米材料制备科学与技术的发展趋势是加强控 制过程的研究，例如对材料形貌、尺寸、表面和微结 构的研究，从而达到对其性能进行研究和利用的 目的． 氧化锌（ＺｎＯ）薄膜具有良好的光电、压电和气 敏性质，具有电化学稳定性高、能阻截紫外光等优 点，它们在电子材料和传感器、催化剂等方面已经 得到广泛的应用 ．氧化锌（ＺｎＯ）薄膜能用许多 方法制备，如喷雾热解法、脉冲激光沉积法、金属有 机化学气相沉积法、电沉积法等 ，其中电沉积 法最为方便且备受关注．本文以硝酸锌作电解液， 以导电玻璃作为衬底，以铂丝电极作对电极，以饱 和甘汞电极作一 作电极，研究了阴极还原沉积ＺｎＯ 薄膜的反应机理和电化学行为，并通过控制条件制 备出高质量的ＺｎＯ薄膜，表征了该薄膜的形貌和 １ 实验部分 １．１仪器与试剂 ＣＨＩ ６６０Ａ型电化学工作站（美围ｃｌ｛Ｉ公刮）； 三电极体系：工作电极为导电玻璃（ＩＴＯ）电极，参 比电极为饱和甘汞电极，对电极为铂丝电极；Ｂｒｕｋ— ｅｒＡｐｅｘ ｌＩ型ｘ射线粉末衍射仪（德国布鲁克公司 生产）；ＦＥＩ—Ｑｕａｎｔａ一２００环境扫描电子显微镜（荷兰 ＦＥＩ公司生产）；Ｌａｍｂｄａ６５０ｓ型紫外可见分光光谱 仪（美国）；超声波清洗器（昆山市超声仪器有限公 司）；ＴＫＡ．ＧｅｎＰＵＲＵＶ ＴＯＣ／ＵＦ型超纯水制造仪； 恒温水浴槽． ｚｎ（ＮＯ ）：、（ＣＨ：） Ｎ 试剂均为分析纯，实验 用水为超纯水． １．２实验方法 １．２．１基片清洗 将基片（ＩＴＯ）切成１．０ ｃｎｌ×４．０ ＣＨＩ大小，放 人氨水：双氧水：超纯水为１：１：５的混合溶液中，用 超声波清洗器清洗１５ ｍｉｎ，依次采用蒸馏水、无水 乙醇、丙酮清洗，再用蒸馏水清洗，Ｎ，吹ｆ备用． １．２．２纳米ＺｎＯ薄膜的制备 将处理好的ＩＴＯ作工作电极，铂丝作对电檄， 饱和甘汞电极作参比电极，以５０ ｒｅｔｏｏｌ／１ ｚｎ（ＮＯ ） 和５０ ｍｍｏｌ／Ｌ（ＣＨ ） Ｎ 为电解液，温 度７０℃、沉积时间３０ ｒａｉｎ，利用ＣＨＩ６６０Ａ型电化 收稿日期：２０１３—０４—２０ 基金项目：南阳师范学院２０１２年大学生实践教学活动创新项目（ＮＯ．ＺＢ一２０１２—８３）
