– SRAM = Static Random Access Memory ? 靜態隨機存取記憶體,用作遊戲機等記憶體,電源切斷後,記憶 內容不會消失.
– MPU = Micro Processor Unit ? 微處理器,電腦等的心臟部位.
– ASIC = Application Specific Integrated Circuit ? 特定用途的 IC 產品,隨客戶指定的用途而製作.
SiO2,BPSG,Si3N4,… .
SiO2,BPSG,Si3N4,… .
?高密度電漿 CVD (High Density Plasma CVD)
?簡稱 HDPCVD
薄膜film 的形成, 主要的功用是用作:
?緩衝層(Buffer Layer) ?隔離層(Isolation Layer) ?罩幕層(Masking Layer) ?介電材料(Dielectric)( 半導體的功用 ) ?絕緣層(Insulator Layer) ?阻障層(Barrier Layer) ?保護層(Passivation Layer) ?黏合層(Glue Layer) ?金屬層(Metal Layer)( 導電用)
?簡稱 APCVD (~760 torrs)
?低壓CVD (Low Pressure CVD)
?簡稱 LPCVD (~1 torr)
?次大氣壓CVD (Sub-Atmospheric CVD)
?簡稱 SACVD
?電漿CVD (Plasma Enhanced CVD)
?簡稱 PECVD (~1 torr)
半導體廠的製程
? Process:
晶圓製造 清洗
薄膜形成
光罩製作
光阻塗佈
微影
蝕刻
離子植入 (摻雜)