cvd操作规程

CENTROTHERM管式PECVD操作说明书按压START真空泵启动按钮，启动真空泵。

（图
图6.1.2
打开并检查气源。

打开压缩空气阀，N2阀，NH3阀，
6kg /cm2—7kg /cm2。

其他气体4 kg /cm2—10kg /cm2范围
开启SIH4阀（图4）
图（4）阀（图6）
图（6）开总电源。

用手扳住电柜外部的红色按钮，机器上指示灯
图（8）
VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启（图8）。

启动CMI程序。

开总电源后计算机自动启动。

输入密码后自动进入Windows桌面。

用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。

进入CMI 画面，检查设备状态：
SLS=UP ，DOOR=CLOSED ，PLC=OK ，LIFT=READY ，TUBE=READY ，TGA FREE=YES
SET/ACT POSITION=0 ，PROCFLAG=OK（整体界面图9）
选择工艺程序，生产。

插片。

用小车承载石墨舟，在插片房中插满硅片。

向机器进车。

向机器推入装完片的石墨舟小车。

计算机
在“LOTS”里输入自己名字的拼音缩写，在舟号里输入舟的号码。

选择对应的工艺文件。

设备自动进行工艺生产。

(整体界面图10)
图（10）。

第1篇 一、概述 半导体设备面板操作规程是为了确保半导体设备安全、稳定、高效地运行，防止操作人员误操作，保障操作人员人身安全及设备完好而制定的操作规范。本规程适用于所有使用半导体设备的操作人员。

二、操作前的准备 1. 操作人员应经过专业培训，熟悉设备操作规程，取得相应操作资格证书。 2. 操作前，应确保设备处于正常工作状态，设备周围环境整洁，通风良好。 3. 操作人员应穿戴好个人防护用品，如防护眼镜、防尘口罩、防静电手套等。 4. 操作前，应仔细阅读设备说明书，了解设备的基本结构、性能、操作方法及注意事项。

三、设备启动 1. 打开设备电源开关，确保设备电源正常。 2. 检查设备各部分是否正常，如冷却系统、通风系统、电源线等。 3. 按照设备说明书要求，设置设备参数，如温度、压力、转速等。 4. 启动设备，观察设备运行状态，确保设备运行正常。 四、设备运行 1. 在设备运行过程中，操作人员应密切关注设备运行状态，如温度、压力、转速等。

2. 如发现设备异常，应立即采取措施，如关闭设备、检查故障原因等。 3. 定期对设备进行清洁、保养，确保设备正常运行。 4. 操作人员不得擅自调整设备参数，如需调整，应征得设备工程师同意。 五、设备停机 1. 操作人员应提前通知相关人员，做好设备停机准备。 2. 关闭设备电源，确保设备完全停止运行。 3. 检查设备各部分是否正常，如冷却系统、通风系统、电源线等。 4. 清理设备周围环境，确保设备停机后无安全隐患。 六、设备维护与保养 1. 定期对设备进行清洁、保养，如更换滤网、清洗冷却系统等。 2. 检查设备各部件是否完好，如有损坏，应及时更换。 3. 检查设备润滑系统，确保设备运行顺畅。 4. 定期对设备进行性能测试，确保设备性能稳定。 七、安全注意事项 1. 操作人员应严格遵守操作规程，不得擅自更改设备参数。 2. 操作过程中，如发现设备异常，应立即停止操作，并及时报告上级。 3. 操作人员不得在设备运行过程中离开岗位，确保设备运行安全。 4. 操作人员不得在设备周围堆放杂物，确保设备周围环境整洁。 5. 操作人员应定期参加安全培训，提高安全意识。 八、设备故障处理 1. 操作人员应熟悉设备常见故障及处理方法。 2. 如发现设备故障，应立即停止操作，并及时报告上级。 3. 按照设备故障处理流程，进行故障排查、维修。 4. 故障排除后，应进行设备性能测试，确保设备恢复正常运行。 九、附则 1. 本规程由设备管理部门负责解释。 2. 本规程自发布之日起实施。 3. 本规程如有修改，以最新版本为准。 本规程旨在规范半导体设备面板操作，确保设备安全、稳定、高效地运行。操作人员应严格遵守本规程，不断提高自身操作技能和安全意识，为我国半导体产业发展贡献力量。

第1篇一、引言半导体工艺操作规程是半导体制造过程中的重要指导文件，旨在规范操作步骤，确保产品质量，保障操作人员安全。

本规程适用于所有半导体制造过程中的操作环节，包括但不限于光刻、蚀刻、清洗、离子注入、扩散、沉积等。

二、操作前准备1. 确认设备状态：操作前，必须检查设备是否处于正常工作状态，包括电源、气体供应、真空度等。

2. 确认物料：检查所需物料是否齐全，包括光刻胶、蚀刻液、清洗液、离子注入气体等。

3. 个人防护：操作人员应穿戴防护服、防护手套、防护眼镜等个人防护用品。

4. 工作环境：确保工作环境清洁、通风，避免尘土、水分等污染。

三、光刻工艺操作规程1. 光刻胶涂覆：将光刻胶均匀涂覆在硅片表面，注意避免气泡和杂质。

2. 烘干：将涂覆光刻胶的硅片放入烘箱中，按照工艺要求进行烘干。

3. 显影：将烘干后的硅片放入显影液中，按照工艺要求进行显影。

4. 水洗：将显影后的硅片用清水冲洗干净。

5. 定影：将水洗后的硅片放入定影液中，按照工艺要求进行定影。

6. 检查：检查光刻胶图案是否符合要求。

四、蚀刻工艺操作规程1. 蚀刻液配制：按照工艺要求配制蚀刻液。

2. 硅片预处理：将硅片放入蚀刻液中，进行预处理。

3. 蚀刻：将预处理后的硅片放入蚀刻液中，按照工艺要求进行蚀刻。

4. 检查：检查蚀刻后的硅片图案是否符合要求。

五、清洗工艺操作规程1. 清洗液配制：按照工艺要求配制清洗液。

2. 硅片浸泡：将硅片放入清洗液中，进行浸泡。

3. 清洗：用清洗液冲洗硅片表面，去除杂质。

4. 检查：检查清洗后的硅片表面是否干净。

六、离子注入工艺操作规程1. 离子注入气体准备：按照工艺要求准备离子注入气体。

2. 硅片预处理：将硅片放入离子注入气体中，进行预处理。

3. 离子注入：将预处理后的硅片放入离子注入设备中，按照工艺要求进行离子注入。

4. 检查：检查离子注入后的硅片表面是否满足要求。

七、扩散工艺操作规程1. 扩散炉预热：将扩散炉预热至工艺要求温度。

CVD液环真空泵拆装操英文Disassembly of the pumpProceed as follows:LEM:1. Remove the cover 16.10.2. With extractor, as shown, withdraw the vane wheel impeller from theshaft.(B = flat-bar steel)Subsequently take the tolerance sleeve 53.10 out of the bore of the vanewheel impeller 23.50.3. Separate the guide disc 13.70 from the vacuum casing 10.10.If necessary, remove the valve plate 75.11 and the protection plate 58.01. Remove the rotating part of the mechanical seal 43.30 by rotary motionfrom the shaft end of the motor (LEM. 91-251).4. Separate the vacuum casing from the motor 80.00 (LEM. 26/51: for that purpose remove the ventilator cover of the motor and loosen the motor clamping screws). The rotating part of the mechanical seal 43.30 can bedrawn from the motor shaft end together with the casing (LEM. 26/51). Remove the stationary ring of the mechanical seal 43.30, if worn out alsothe O-ring 41.20 and the radial sealing ring 42.10 out of the casing 10.10. AssemblyPreparation for assembly1. Clean carefully all pump parts. Make sure that the sealing surfaces haveno grooves and that the guide disc is perfectly flat. If necessary, the guidedisc must be ground on a levelling plate by means of abrasive cloth.2. Coat the running surface of the guide disc as well as all threads andfittings (except the sealing fittings) with Molykote lubrication paste.3. Provide the sealing surfaces with sealing compound shortly beforejointing (last sign of the pump code …0“: liquid …4“: Teflon …7“: Teflon/ O-ring）In general the liquid sealing compound Epple 33 is used for grey cast iron parts and Silastik for stainless steel parts.4. During assembly no foreign matter and no superfluous sealing compound must enter the pump.5. Use appropriate clamps/vices for clamping the parts for assembly Assembly of the pumpProceed as follows:(Pay attention to the sectional drawings!)LEM. 26 - 251:1. Insert radial seal ring 42.10 into the vacuumcasing 10.10. Press the stationary ring of themechanical seal 43.30 into the bore of the casing.2. Fasten the casing 10.10 to the motor 80.003. Slip the rotating parts of the mechanical seal 43.30 on the motor shaft end 80.00.4. Put the O-ring 41.20 into the groove. Connect the valve plate 75.11 and the protection plate 58.01 with the guide disc 13.70 (secure the screws, e.g. with Loctite 222) or put the valve balls 75.40 into the bores of the casing 10.10.5. Coat the sealing faces of the casing 10.10 with sealing liquid compound. Fasten the guide disc 13.70 to the vacuum casing 10.10. If necessary put on the spacer 52.50 to the motor shaft end.6. For fastening of the vane wheel impeller 23.50 and adjustment of front gap firstly it is necessary to tighten the guide disc 13.70 to the casing.7. Insert the key 94.01 (only LEM.161 and LEM.251)into the groove of the motor shaft. Now slip thevane wheel impeller 23.50, with the tolerancesleeve 53.10 inserted, on the motor shaft end80.00. Press the vane wheel impeller 23.50 on theshaft end until the required distance of the gapbetween vane wheel impeller 23.50 and guide disc13.70 will be achieved (see sketch).拆装操作指导书中文泵的拆卸进行如下工作：LEM:1.拆下盖16.10。