特气应急方案
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天威新能源控股有限公司 标准编号 TN.L DL.36-2009
版 次 A
特气应急方案 实施日期 2009年06月10日
1 范围
本文件规定了特气应急方案。
本文件适用于特殊气体房区域，由经过应急反应培训的人员在事故范围蔓延扩大之前和外部协作单位进场前的第一时间的救援和控制。
2 概述
2.1 特气系统应急事件和应急反应计划的定义
2.1.1 特气系统应急事件是指可能威胁到人员安全、区域安全和需要外部协助控制的任何特气引发的火 灾、大量气体泄漏事件（气体泄漏量达到二级报警）。
2.1.2 应急反应计划是指针对应急事件在其发生之前制定的一系列行动计划和行动方案。
2.2 建立应急反应计划的目的针对天威现场特气系统可能造成的人身伤害、财产损失、生产中断等事件，采取切实有效的应急行动措施进行积极有效的救援和控制，以最大限度地避免或减少人员伤亡、财产损失和降低环境污染。
3 管理内容与方法
3.1 特气系统设备及特气源容量介绍
3.1.1 特气：100%硅烷（SiH4）和 100%氨气（NH3）两种。其包装容器的容积均为 440L 的 Y-钢瓶。其中 SiH4 的满瓶压力为 1000Psig 左右，NH3 满瓶充装量约 227Kg。 特气系统是用于将氨气和硅烷气体从 Y-钢瓶输送到机台使用点的设备和管道。特气系统涉及的设备 主要有：Y-钢瓶、大宗特气供应设备（BSGS）、分支阀箱（VMB）、PECVD 机台、尾气处理器、设备抽风系统以及气体泄漏检测监控系统（GDS）。
3.1.2 特气的性质及其危害性概述
3.1.2.1 硅烷（SiH4） 硅烷是一种比重比空气重的自燃性、毒性压缩气体。自燃性是硅烷的最大危害，其燃烧范围为：1.4%-96%（体积比），而且硅烷的自燃性质还具有不确定性的特点，即硅烷一旦泄漏到空气中有可 能发生立即燃烧、可能不燃烧，还可能延迟燃烧。延迟燃烧将可能导致大量的硅烷聚集形成爆炸性
气团而发生爆燃甚至爆炸。
3.1.2.2 氨气（NH3） 氨气是一种比空气轻的无色、有刺激性气味的压缩液化性气体，具有毒性、腐编制： 校对： 审核： 批准：
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份 数 蚀性和可燃性等危险 特点，极易溶于水，同时也容易挥发。燃烧范围 15%-28%（体积比）。
3.2 紧急事件联系人信息
3.2.1 紧急联系人及联系电话
联系人顺序 人员姓名 职位 电话 手机
第一联系人 吕芳栋
第二联系人 张红文
3.2.2 应急反应成员联系电话
3.3 应急反应组织
3.3.1 应急反应小组结构
3.3.2 应急反应小组主要人员工作职责 应急协调员：是应急反应的现场指挥，他是唯一的行动指令下达者。并且协调员可以根据事故大小和可控制程度决定是否需要外部支援。
3.3.2.1 安全员：协调员的有力助手，为协调员提供产品安全、应急反应措施、现场安全、防护手段等的安全 信息。
3.3.2.2 书记员：记录应急反应过程中的所有事件，包括协调员下达的每一个指令、各个工作组反馈给应急协调员的信息及时间，。通常的事件记录方式是按照时间顺序流水记录的。
3.3.2.3 抢救组：为进入现场的第一梯队，负责现场的搜救和现场处置工作。
3.3.2.4 后备组：为进入现场的第二梯队，为抢救组的后备，其安全防护装备与抢救组完全相同，既可完成抢救任务。
3.3.2.5 疏散组：负责引导事故现场的所有人员按照指定的紧急逃生路线从现场撤离到指定的紧急集人员姓名 职位 电话 手机
应急协调员
安全专员 记录员
抢救组 支援组 疏散组 安保组医疗组 合地点， 以及之后的人员清点。
3.3.2.6 医疗组：负责为受伤人员提供现场紧急医疗救治服务，与外部医疗单位联系并取得更多的医疗支持。
3.3.2.7 安保组：负责事故现场的一切安全保卫工作，避免现场遭到破坏，避免不必要的人员进入。当然，依据不同的紧急事件和事件的大小及严重程度、影响面，不一定每次的应急反应都需要组建所 有的工作组，而且不同的工作组也可以互相兼任。
3.4 应急反应实施计划
3.4.1 行动计划
3.4.1.1 紧急情况的报告：
现场与特气有关的设备、周围环境均配备了 24 小时不间断的气体侦测监控系统，一旦气体发生泄漏 并且泄漏量达到一定浓度时，特气监控室和现场均会发出声光报警信号，此时发现人应尽快通知
3.4.1所列的紧急联系人。若第一联系人无法通知到，则按顺序通知其他联系人。 除了气体侦测监控系统的报警外，若有人在现场发现其它的气体泄漏或着火等紧急情况，也应按照类似的方法通知应急反应联系人。 报告内容至少应包括具体地点、事故描述及涉及范围、报告人名字和联系方式。 应急反应联系人收到来自现场的紧急事件报告后，应立即根据所报告的现场情况组织必要的应急队伍 和制定应急反应措施。
3.4.1.2 紧急撤离 当侦测器达到二级报警时，应将特气及其周边区域的所有人员离出来。紧急撤离时应听从撤离协调员的统一指挥，从最近的逃生线路撤出事故现场。撤离人员应尽快到达 指定的紧急集合地点。
3.4.1.3 紧急撤离前应做的工作 紧急撤离前，应按照紧急停机操作规程关闭区域内所有设备。 撤离协调员在撤离前应携带以下的物品： 员工出勤花名册、来访人员登记名单、移动电话、最新应急反应计划。
3.4.1.4 撤离后的工作 紧急撤离后，所有人员应尽快达到指定的紧急集合地点，紧急撤离协调人将按照员工出勤花名册和 来访人员登记名单进行逐个清点。以确认是否所有人员均已撤出事故现场。 承包商也应清点人数并向撤离协调员报告清点结果。 撤离协调员汇总清点结果后应尽快将所有清点结果向应急反应指挥官报告。
3.4.1.5 现场救援 当撤离清点人数后若发现还有未清点到的人员时，应采取各种联系方式与未清点到的人员联系，若始 终无法联系到，则应尽快进行现场搜救直到找到所有的人员。
3.5 特气泄漏应急处理措施
3.5.1 一般原则 如果发生特气泄漏，应尽快联系紧急情况协调员，并估计泄漏的情况，紧急情况协调员应立即联系应急 急反应小组尽快处理泄漏事故。 如果泄漏会对事故现场以外的地方有影响，紧急情况协调员应及时联系安技部，并确定是否将此区域外 的其它区域的人员疏散。甚至需要和当地应急服务机构一起考虑通知周围的居民和公司。 所有参与现场搜救和处理现场的应急反应人员应经过充分的培训和演练，并穿戴充分的防护装备。 特气泄漏应遵循以下几点：
1、评估危险性 检查工作区域，确定泄漏的大致位置。 一旦确定了泄漏处，立刻离开。
2、控制局面 通知应急协调员。协调员将与受影响区域的人员联系。
所有人员都立即离开，到远离现场的指定集合地，该集合地应在泄漏处的上风口。观察现场的风向标，注意风的方向。该集合地应不影响交通。
减轻现场险情 熄灭所有火源。如果可能并有必要，可设置火灾监控器，建一个喷水装置以疏散气体并给非电气装置，如风力控制系 统和仪表气源管路降温。 阻止气体泄漏最好的方法就是切断气源，只要有可能，应尽快关闭钢瓶阀。如果不能阻止气体泄漏， 应立即停止操作并启动撤离报警系统，然后撤离。 如果发生的紧急情况已蔓延扩大，或火灾升级，应急反应小组已无能为力时，应借助外界机构（如消 防、警察或紧急救护中心等）的帮助来控制局面。在外部机构到达现场之后，应急协调员应与外部机 构充分沟通当前现场情况，若有需要的话，可重新制定临场应急行动计划。
3.5.2 气瓶泄漏 若气体泄漏发生在气瓶，除了遵循上述一般原则外，还应遵循以下几点：
3.5.2.1 评估危险性 确定漏气位置。没有指导，不要去处理漏气的气瓶。 大多数漏气发生在气瓶的阀门周围和阀门本身。有可能漏气的地方包括阀门的螺纹、阀杆和密封圈、 阀门出口、减压装置以及阀门与钢瓶的连接处。
决不要试图去修理阀门螺纹或减压装置的漏气部分。
3.5.2.2 控制局面 如果泄漏发生在特气气瓶，则要确保充分通风以防止泄漏出来的气体发生聚集。 把气瓶搬到能隔离的地方并远离火源，通风良好的场所。（如果是SIH4钢瓶泄露，则最远距离对钢瓶进行降温处理），具体处理办法参照气体的MSDS进行处理。
