(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号
(43)申请公布日
(21)申请号 201910243035.0
(22)申请日 2019.03.28
(71)申请人 北京中材人工晶体研究院有限公司
地址 100018 北京市朝阳区东坝红松园1号
(72)发明人 周振翔 陈建荣 田庭燕 何敬晖
崔松满
(74)专利代理机构 北京志霖恒远知识产权代理
事务所(普通合伙) 11435
代理人 赵奕
(51)Int.Cl.
C01B 21/072
(2006.01)
(54)发明名称
一种高纯度氮化铝粉体及氮化铝粉体提纯
方法
(57)摘要
本发明涉及一种高纯度氮化铝粉体及氮化
铝粉体提纯方法。利用还原气体对Al粉与AlN粉
的混合粉体所在的合成腔体进行高温气洗处理，
用于去除所述合成腔体内的氧气；真空状态下，
在第一提纯温度下，去除所述混合粉体杂质中的
氢氧化物，在第二提纯温度下，去除所述混合粉
体杂质中的碳，在第三提纯温度下，利用所述Al
蒸汽去除所述混合粉体杂质中的氧化铝。提纯方
法简单，通过杂质去除顺序及相应提纯步骤的合
理设计，加之Al粉的加入，有效抑制了提纯过程
中AlN粉体的分解，减少原料的损耗，通过高频燃
烧红外吸收法和惰气脉冲红外热导法测试得本
发明所得氮化铝粉体的碳含量为42PPM，氧含量
为220PPM，纯度高。
权利要求书1页 说明书6页
CN 110015648 A
2019.07.16
C
N
1
1
0
0
1
5
6
4
8
A
1.一种氮化铝粉体提纯方法，其特征是，包括以下步骤：
利用还原气体对Al粉与AlN粉的混合粉体所在的合成腔体进行高温气洗处理，用于去
除所述合成腔体内的氧气；
真空状态下，对所述混合粉体进行氮化铝粉体提纯处理，其中，
在第一提纯温度下，去除所述混合粉体杂质中的氢氧化物，
在第二提纯温度下，去除所述混合粉体杂质中的碳，
在第三提纯温度下，充入高纯氮气，所述混合粉体中的Al粉形成Al蒸汽，利用所述Al蒸
汽去除所述混合粉体杂质中的氧化铝，然后降温，在高纯惰性气体保护下经破碎研磨处理
即得高纯度氮化铝粉体。
2.根据权利要求1所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，Al粉与AlN粉的摩尔比为
0.1-0.5:1。
3.根据权利要求1所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，所述混合粉体在高纯惰性气
体保护下进行冷压成型，然后置于合成腔体内。
4.根据权利要求1所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，所述还原气体是所述合成腔
体处于真空状态下，往所述合成腔体内填充。
5.根据权利要求1-4任一所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，真空状态的真空度＜
1×10-4Pa。
6.根据权利要求1所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，还原气体为氢气与氮气的混
合气体，其中氢气占总体积的0.5％-5％。
7.根据权利要求1所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，高温气洗处理的温度为200-
400℃。
8.根据权利要求1所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，所述第一提纯温度为800-
1000℃，第二提纯温度为1700-1800℃，第三提纯温度为1900-2200℃。
9.根据权利要求8所述的氮化铝粉体提纯方法，其特征是，在第三提纯阶段，充入高纯
氮气后，压强为80-120KPa，以低于10℃/min的降温速度降至1000℃，然后抽真空抽至1×
10-4Pa以下，直至降温至室温。
10.一种高纯度氮化铝粉体，其特征是，根据权利要求1-9任一所述的氮化铝粉体提纯
方法制得。
权 利 要 求 书
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CN 110015648 A
