静电皮表面阻抗点检表

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日期
备注姓名AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM AM PM
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测试方法：上班前将静电手环在手腕戴好，静电鞋穿好后，静电手环插到人体综合测试仪检测，用手指按压测试仪的铁盖，如测试仪发出响声3个“GOOD"灯亮为正常否则为不合格手环/鞋系统。

应更改或修复，上午为AM，下午为PM，正常记录为“√”，不合格记录为“ⅹ”
3031人体综合电组防静电点检记录表
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ESD内审检查表审核位置：ME序号审核要点审核证据参考文件符合性备注1 固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？ESD控制规范2 生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出来，且粘贴ESD标签？ESD控制规范3 是否对每个工作站接地进行检查，并记录《ESD接地及表面电阻检测记录表》？记录保存年限：3年ESD控制规范4 是否对所有的防静电桌垫每周一次进行表面电阻检测，并作检测记录，对检测不符合要求的，是否用好的桌垫进行更换？ESD控制规范5 有无定期（每6个月）用表面电阻测试仪检测所有防静电周转箱、防静电托盘、防静电料盒的表面电阻，并将测试结果记录在M4FM123《检测记录表》中？ESD控制规范6 防静电地板是否干净且无破损，是否对其表面电阻每一季度检测一次，并记录《静电地板表面电阻检测记录表》？ESD控制规范7 是否每周一次使用已校准的静电场测试仪进行静电电压检测，并记录《静电电压测量记录》？ESD控制规范8 移动存储装置（周转推车、移动存储架、移动存储桌子等非固定装置）是否每周检测一次接地点及表面电阻值，并同时记录在M4FM386《ESD接地及表面电阻检测记录表》中？ESD控制规范9 是否对工厂总接地电阻进行测量，并记录在M4FM387《总接地电阻检测记录表》中？ESD控制规范审核位置：车间线体/工作站序号审核要点审核证据参考文件符合性备注1 桌垫表面是否清洁，并且保证接到ESD地上？ ESD控制规范2 是否确保静电手环没有损坏，或没有松动的连接？ ESD控制规范3 是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静电工位远离能产生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？ESD控制规范4 有无确保正在使用的工作台或传输带没有“停止操作”的标志牌？ESD控制规范5 电烙铁使用人员每日在烙铁温度调试之前是否对电烙 ESD控制规范铁接地电阻测试一次，并记录《每周工具检测表》？审核位置：个人腕带的确认及ESD防护序号审核要点审核证据参考文件符合性备注1 腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记录在E4FM019《防静电手环测试记录表》中。

检查标准 值在106-1012
检查工具 表面阻抗测试仪
检查人员 组长
检查数量 全检/1次/周
备注
异常处理 处理方法: 作业者▶班组长▶QC▶品质主管
工序名称
表面阻抗 测试
作业项目
*********有限公司
文件编号
产品名
使用材料
表面阻抗测 试
使用工具
作业参考图示
版本
A0
页码数
1/1防静电胶皮ຫໍສະໝຸດ 防静电地板等表面阻抗测试仪
鳄鱼夹
接地端
测试值
测试按钮
编制 审核 日期
作业流程及方法
1.产线要求：所有放置有物料的桌面、工作台面及摆 放机器设备的桌面都必须有防静电胶皮； 2.测量方法:将仪器用鳄鱼夹连接地线，使用电阻表 面阻抗测试仪时,两金属极片要与被测试物接触好,再 按下红色测试按钮进入测试（图二）； 3.表面阻抗测试仪显示灯在106-1012之间符合要求， 测试值在103-105之间不符合要求； 4.将被测结果填写于《防静电胶皮点检记录表》与《 防静电地板点检记录表》中。点检频度：1次/每周。
技术要求 1.测试仪器背面两金属极片要与被测试物完全接触好 再进行测试。
注意事项 1. 在测试时不符合要求应立即停止使用,并知会相关 单位处理OK后,方可继续使用； 2.各单位要严格按照规范进行阻抗测量； 3.点检OK后要确实做好点检记录； 4.如出现故障请联系专业人员维修处理。
图一
图二
品质确认
检查项目 防静电胶皮、防静电地板

项次量测工具量测项目管控范围检测周期检测方法量测记录表单1表面阻抗测试仪表面阻抗 5.0*105＜R＜1.0*109Ω2静电场测试仪静电压<100V3万用表腕带连接电缆电阻7.5*105＜R＜1×107Ω4万用表腕带内表面对电缆扣电阻R＜1.0*105Ω5表面阻抗测试仪表面阻抗 1.0*105＜R＜1.0*109Ω6静电场测试仪静电压<100V7接地电阻测试仪主接地线对通用接地点接地电阻R﹤1Ω每季度8接地电阻测试仪通用接地点对地R﹤4Ω每半年9接地电阻测试仪设备接地线对主接地线接地电阻R﹤1Ω每季度10万用表设备泄露电压漏电压＜0.5V每季度11表面阻抗测试仪表面电阻 1.0*106Ω＜R＜1.0*109Ω12表面阻抗测试仪系统电阻7.5*105Ω＜R＜1.0*109Ω13静电场测试仪静电压<100V14表面阻抗测试仪表面电阻1.0×104Ω≦R＜1.0*1010Ω15静电场测试仪静电压<100V16表面电阻1.0×105Ω≦R＜1.0*1010Ω17系统电阻5*104Ω＜R＜1.0*109Ω表单编号：MD-013-01 版本：00ESD静电防护检测及管控标准管制项目表面阻抗测试仪每季度每月每月每半年抽检10套每条线体进行点检抽取10个进行点检各区域抽检5块，所有台垫每年确认一遍抽检20个200M^2抽检5个点静电帽、静电衣、静电手套、静电鞋及静电手环测试记录表<CA-F-MD-013-12>静电及设备接地线测试记录表<CA-F-MD-013-11>防静电台垫表面电阻及静电压测试记录表<CA-F-MD-013-08>静电袋、静电气泡袋及静电泡棉测试记录表<CA-F-MD-013-10>防静电地板测试记录表<CA-F-MD-013-06>静电鞋静电手环静电衣、裤、帽、手套静电接地设备接地防静电台垫静电袋、静电气泡袋及静电泡棉静电地板每半年200M^2抽检5个点静电地板审核：制定：。