半导体器件物理与工艺
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半导体器件原理与工艺1. 引言半导体器件是当代电子工业中应用最广泛的关键元件之一。
它们以其小巧、高效、可靠等特点,被广泛应用于通信、计算、能源等领域。
本文将介绍半导体器件的基本原理和制造工艺。
2. 半导体器件的基本原理2.1 半导体材料半导体器件通常使用硅(Si)或镓砷化镓(GaAs)等半导体材料作为基底。
半导体材料具有介于导体和绝缘体之间的电导性能。
2.2 禁带宽度和掺杂半导体材料有一个禁带宽度,即能量区间中不能存在电子或空穴。
通过掺杂过程,向半导体中引入少量杂质,可以改变其电导性能。
2.3 P型和N型半导体根据掺杂的杂质类型,半导体可以分为P型和N型。
P型半导体中,杂质原子会提供空穴,使半导体带正电荷;N型半导体中,杂质原子会提供额外的电子,使半导体带负电荷。
2.4 PN结PN结是半导体中最基本的器件之一。
它是由P型和N型半导体材料的结合而成,形成一个具有电势差的结。
PN结具有正向电流和反向电流的特性,广泛应用于二极管、三极管等器件中。
3. 半导体器件的制造工艺3.1 晶体生长半导体器件的制造从晶体生长开始。
晶体生长是指将半导体材料从气态或溶液态转化为晶体态的过程。
通过控制生长条件和杂质掺杂,可以得到具有所需电学性能的晶体。
3.2 制造流程半导体器件的制造流程包括多个步骤,如晶圆制备、光刻、蒸发、扩散、化学气相沉积等。
这些步骤通过精密的工艺控制,将半导体材料转化为具有特定功能的器件。
3.3 掩膜技术在制造过程中,掩膜技术被广泛应用。
掩膜技术包括光刻、硅酸膜和金属膜等。
通过在半导体表面形成不同的掩膜层,可以限制不同的区域进行不同的工艺步骤,实现复杂的器件结构。
3.4 清洗和测试制造完成后,半导体器件需要进行清洗和测试。
清洗过程可以去除表面的污染物,保证器件的性能和可靠性。
测试过程可以验证器件的电学性能是否符合要求。
4. 结论半导体器件原理和工艺是现代电子工业的核心内容之一。
通过了解半导体材料的特性、PN结的作用以及制造过程中的各个步骤,我们可以更好地理解和应用半导体器件。
半导体器件物理施敏答案【篇一:施敏院士北京交通大学讲学】t>——《半导体器件物理》施敏 s.m.sze,男,美国籍,1936年出生。
台湾交通大学电子工程学系毫微米元件实验室教授,美国工程院院士,台湾中研院院士,中国工程院外籍院士,三次获诺贝尔奖提名。
学历:美国史坦福大学电机系博士(1963),美国华盛顿大学电机系硕士(1960),台湾大学电机系学士(1957)。
经历:美国贝尔实验室研究(1963-1989),交通大学电子工程系教授(1990-),交通大学电子与资讯研究中心主任(1990-1996),国科会国家毫微米元件实验室主任(1998-),中山学术奖(1969),ieee j.j.ebers奖(1993),美国国家工程院院士(1995), 中国工程院外籍院士 (1998)。
现崩溃电压与能隙的关系,建立了微电子元件最高电场的指标等。
施敏院士在微电子科学技术方面的著作举世闻名,对半导体元件的发展和人才培养方面作出了重要贡献。
他的三本专著已在我国翻译出版,其中《physics of semiconductor devices》已翻译成六国文字,发行量逾百万册;他的著作广泛用作教科书与参考书。
由于他在微电子器件及在人才培养方面的杰出成就,1991年他得到了ieee 电子器件的最高荣誉奖(ebers奖),称他在电子元件领域做出了基础性及前瞻性贡献。
施敏院士多次来国内讲学,参加我国微电子器件研讨会;他对台湾微电子产业的发展,曾提出过有份量的建议。
主要论著:1. physics of semiconductor devices, 812 pages, wiley interscience, new york, 1969.2. physics of semiconductor devices, 2nd ed., 868 pages, wiley interscience, new york,1981.3. semiconductor devices: physics and technology, 523 pages, wiley, new york, 1985.4. semiconductor devices: physics and technology, 2nd ed., 564 pages, wiley, new york,2002.5. fundamentals of semiconductor fabrication, with g. may,305 pages, wiley, new york,20036. semiconductor devices: pioneering papers, 1003 pages, world scientific, singapore,1991.7. semiconductor sensors, 550 pages, wiley interscience, new york, 1994.8. ulsi technology, with c.y. chang,726 pages, mcgraw hill, new york, 1996.9. modern semiconductor device physics, 555 pages, wiley interscience, new york, 1998. 10. ulsi devices, with c.y. chang, 729 pages, wiley interscience, new york, 2000.课程内容及参考书:施敏教授此次来北京交通大学讲学的主要内容为《physics ofsemiconductor device》中的一、四、六章内容,具体内容如下:chapter 1: physics and properties of semiconductors1.1 introduction 1.2 crystal structure1.3 energy bands and energy gap1.4 carrier concentration at thermal equilibrium 1.5 carrier-transport phenomena1.6 phonon, optical, and thermal properties 1.7 heterojunctions and nanostructures 1.8 basic equations and exampleschapter 4: metal-insulator-semiconductor capacitors4.1 introduction4.2 ideal mis capacitor 4.3 silicon mos capacitorchapter 6: mosfets6.1 introduction6.2 basic device characteristics6.3 nonuniform doping and buried-channel device 6.4 device scaling and short-channel effects 6.5 mosfet structures 6.6 circuit applications6.7 nonvolatile memory devices 6.8 single-electron transistor iedm,iscc, symp. vlsi tech.等学术会议和期刊上的关于器件方面的最新文章教材:? s.m.sze, kwok k.ng《physics of semiconductordevice》,third edition参考书:? 半导体器件物理(第3版)(国外名校最新教材精选)(physics of semiconductordevices) 作者:(美国)(s.m.sze)施敏 (美国)(kwok k.ng)伍国珏译者:耿莉张瑞智施敏老师半导体器件物理课程时间安排半导体器件物理课程为期三周,每周六学时,上课时间和安排见课程表:北京交通大学联系人:李修函手机:138******** 邮件:lixiuhan@案2013~2014学年第一学期院系名称:电子信息工程学院课程名称:微电子器件基础教学时数: 48授课班级: 111092a,111092b主讲教师:徐荣辉三江学院教案编写规范教案是教师在钻研教材、了解学生、设计教学法等前期工作的基础上,经过周密策划而编制的关于课程教学活动的具体实施方案。
2011年第5期 江苏经贸职业技术学院学报 总第97期 基于课程改革研发职业教育教材 ——评《半导体器件物理与工艺(基础版)》
苏 秦 (苏州大学学报编辑部,江苏苏州215006)
摘要:针对职业院校开设的微电子专业一直缺乏合适的教材,苏州大学出版社出版了《半导体器件物理与工艺(基础 版)》一书。该书是基于课程改革研发的高职高专教材,将权威性、针对性和实用性融于一体,避开艰深的理论,注重实际应用 方面的介绍,教学实用性强,对职业院校微电子相关专业人才培养大有裨益。 关键词:课程改革;职业教育;教材;半导体 中图分类号:G714 文献标志码:A 文章编号:1672—2604(2011)05—0091—02
《半导体器件物理与工艺(第二版)》的英文版, 即“Semiconductor Devices Physics and Technology (2nd Edition)”由美国John Wiley&Sons出版社出 版,在微电子界影响很大,已累计发行达百万册。其 简体中文版由苏州大学出版社于2002年12月出 版,出版后就得到了广大微电子专业技术人员和研 究人员的肯定,也成为许多高等院校微电子相关专 业大学本科、研究生首选的教科书。这本书得到了 使用院校极高的评价,深受读者喜爱,常销不断,到 目前为止已重印四次,成为该领域内的权威与经典 之作。 进入21世纪,信息时代的来临使得作为电子工 业支柱的微电子高科技产业得到了高速发展,培养 大批各个层次的微电子专业人才已是当务之急。为 了满足这种需要,许多职业院校开设了半导体、微电 子技术、集成电路等专业,然而却一直缺乏合适的教 材。使用自编讲义缺乏严密性;使用本科教材缺乏 实用性;使用引进版教材缺乏针对性。也有出版社 出版过几种供这些专业使用的相关教材,但大多仅 仅是打着“高职高专”的旗号,实质为本科专业教材 的浓缩版,不符合高职高专的教学实际。苏州大学 出版社出版的《半导体器件物理与工艺(基础版)》 是针对职业教育的培养目标和职业院校学生的实际 知识水平及生产企业的实际需求,在引进版《半导 体器件物理与工艺(第二版)》的基础上修订改编 的。该书着眼于职业教育的课程改革,在秉承《半 导体器件物理与工艺(第二版)》权威性的同时,以 职业教育注重的针对性和教学实用性为理念,力求 将三者融于一体,在职业教育教材的开发中探索了 一种新颖有效的模式。 本书的权威性首先体现在作者的学术地位上。 该书原著作者为华裔科学家施敏教授,是中国工程 院院士、美国国家工程院院士,是国际知名的微电子 专家,曾在贝尔实验室工作了23年。他在金半接 触、微波器件及亚微米金氧半场效应晶体管技术等 方面都有开创性的贡献。他发明的非挥发性半导体 存储器(NVSM)已成为带动世界集成电路产业的主 导产品之一,是移动电话、笔记本电脑、IC卡、数码 相机等电子产品的关键部件。施敏教授既是一位科 学家又是一位教育家,受聘为全球多所大学的名誉 教授,担任台湾交通大学联华电子讲座教授,在他的 著作中处处透射出教育规律、教育原理的应用。该 书由赵鹤鸣教授和王子欧博士改编,他们都是微电 子领域的知名专家。赵鹤鸣教授为苏州大学电子学 院教授、博士生导师,长期从事微电子学的相关研 究。王子欧博士为苏州大学电子学院副教授,已在 微电子领域发表多篇有影响力的文章,一直工作在 教学科研第一线。
• 平时成绩30% + 考试成绩70%
• 名词解释(2x5=10)+ 简答与画图(8x10=80)+ 计算(1x10=10)
名词解释
p型和n型半导体
漂移和扩散
简并半导体
异质结
量子隧穿
耗尽区
阈值电压
CMOS
欧姆接触
肖特基势垒接触
简答与画图
1. 从能带的角度分析金属、半导体和绝缘体之间的区别。
2. 分析pn结电流及耗尽区宽度与偏压的关系。
3. 什么是pn结的整流(单向导电)特性?画出理想pn结电流-电压曲线示意图。
4. BJT各区的结构有何特点?为什么?
5. BJT有哪几种工作模式,各模式的偏置情况怎样?
6. 画出p-n-p BJT工作在放大模式下的空穴电流分布。
7. MOS二极管的金属偏压对半导体的影响有哪些?
8. MOSFET中的沟道是多子积累、弱反型还是强反型?强反型的判据是什么?
9. 当VG大于VT且保持不变时,画出MOSFET的I-V曲线,并画出在线性区、非线
性区和饱和区时的沟道形状。
10. MOSFET的阈值电压与哪些因素有关?
11. 半导体存储器的详细分类是怎样的?日常使用的U盘属于哪种类型的存储器,画出
其基本单元的结构示意图,并简要说明其工作原理。
12. 画出不同偏压下,金属与n型半导体接触的能带图。
13. 金属与半导体可以形成哪两种类型的接触?MESFET中的三个金属-半导体接触分
别是哪种类型?
14. 对于一耗尽型MESFET,画出VG=0, -0.5, -1V(均大于阈值电压)时的I-V曲线示
意图。
15. 画出隧道二极管的I-V曲线,并画出电流为谷值时对应的能带图。
16. 两能级间的基本跃迁过程有哪些,发光二极管及激光器的主要跃迁机制分别是哪
种?
计算
Pn结的内建电势及耗尽区宽度
T=300K
Si: ,
GaAs: ,
, ,
Si: GaAs:
,
1. 计算一砷化镓p-n结在300K时的内建电势及耗尽区宽度,其
NA=1018cm-3和ND=1016cm
-3
.
=1.29V
=0.596μm
2. 一砷化镓单边突变结,其NA=1019cm-3,ND=1015cm
-3
,计
算在反向偏压20V时的最大内建电场(T=300K).
=5.238μm
=7.64×104V/cm
3. 对一砷化镓突变结,其中NA=2×1019cm-3,ND=
8×1015cm
-3
,计算零偏压和反向偏压4V时的结电容(T=
300K).
=1.34V
=0.48μm(0V), 0.96μm(-4V)
=2.29×10-8F/cm2(0V), 1.14×10-8F/cm2(-4V)
4. 对于硅p+-n单边突变结,其ND=5×1017cm
-3
,计算其击穿
电压。设其临界电场为6.2×10
5
V/cm.
=2.53V
5. 已知在一理想晶体管中,各电流成分为:IEp=4mA、
IEn=0.02mA、ICp=3.95mA、ICn=0.002mA。求共射电流
增益β
0及ICEO
的值。
=0.983
è ICBO=0.34μA
=57.8
=20μA
6. 一p-n-p硅晶体管其射、基、集电极掺杂浓度分别为
5×1018cm-3、2×1017cm-3和1016cm
-3
。器件截面积为
0.2mm
2
,基区宽度为1.0μm,射基结正向偏压为0.5V。其
射、基、集电极中少数载流子的扩散系数分别为52cm
2
/s、
40cm2/s和115cm2/s,而寿命分别为10-8s、10-7s和10-6s。
求晶体管的共基电流增益。
=4.66×102cm-3
=7.2×10-4cm
=18.6 cm-3
=0.143×10-4A
=1.03×10-7A
=0.993
1. 试画出VG=VT时,n衬底的理想MOS二极管的能带图。
2. 一NA=5×1016cm-3的金属-SiO2-Si电容器,请计算表面耗尽
区的最大宽度。
3. 假设氧化层中的氧化层陷阱电荷呈三角形分布,
ρot(y)=q×5×1023×y(C/cm
3
),氧化层的厚度为10nm。
试计算因Q
ot
所导致的平带电压变化。
4. 一n沟道的n+多晶硅-SiO2-Si MOSFET,其NA=1017cm
-3
,
Qf/q=5×1010cm
-2
,d=10nm,试计算其阈值电压。
5. 针对上题中的器件,硼离子注入使阈值电压增加至+0.7V,假
设注入的离子在Si-SiO
2
的界面处形成一薄片负电荷,请计算
注入的剂量。
6. 将铜淀积于n型硅衬底上,形成一理想的肖特基二极管,若
øm=4.65eV,电子亲和力为4.01eV,ND=3×1016cm
-3
,而
T=300K。计算出零偏压时的势垒高度、内建电势、耗尽区宽
度以及最大电场。
7. 若一n沟道砷化镓MESFET的势垒高度øBn=0.9eV,
ND=1017cm
-3
,a=0.2um,L=1um,且Z=10um。此器件
为增强还是耗尽模式器件?
8. 一n沟道砷化镓MESFET的沟道掺杂浓度ND=2×1015cm
-3
,
又ø
Bn=0.8eV,a=0.5um,L=1um,μn
=4500cm2/(Vs),
且Z=50um。求出当V
G
=0时夹断电压、阈值电压以及饱和
电流。