掺硼多晶金刚石膜电极的电化学研究

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提 高 金 刚 石 膜 的 导 电 性 能 , 形 核 和 生 长 过 程 中 在 均 通 入 一 定 流 量 的 硼 烷 ( 烷 浓 度 : 氢 气 稀 释 为 硼 被
的导 电性 , 电阻率 可达 1 Q ・ m, O c 完全 可 以用 作 电极材料 , 刚石具 有 低 的 背景 电流 , 的信 号 背 金 高
景 比和信 号 噪音 比 ; 腐 蚀性 强 , 乎 能耐 所 有 的 抗 几
强 酸强碱 的腐 蚀 ; 面不 易产 生吸 附 , 表 是一 种 清 洁
的 电 极 材 料 ] 基 于 这 些 特 性 , 电 解 处 理 有 机 . 在
1 1o o , 长 条 件 如 表 1 实 验 过 程 中 掺 硼金 刚 / o ) 生 . 石膜 的平 均沉 积速 率达 O 6/ h左 右. .  ̄ m/
关 键 词 : 学 气 相 沉 积 ; 硼 金 刚 石 膜 ;电 化 学 ; 环 伏 安 法 化 掺 循
中 图分 类号 : 7 06 6 O4 2; 4 文献标识码 : A d i1 . 9 9 jis . 6 4 2 6 . 0 0 1 . 1 o : 0 3 6 /.s n 1 7 — 8 9 2 1 . 2 O 7
1 2 金 刚 石 膜 电极 的 电 化 学 性 质 测 定 . 实 验 采 用 三 电 极 电 化 学 测 量 体 系 , D 电 极 B D
污 水处理 领域
, 刚石完 全可 以成为 新 一代 高 金
效 节能环 保 的 电极 材 料 . 是 也存 在 较 多 的 影 响 但 因素 : 同 制备 方 法 对 掺 硼 金 刚 石膜 质 量 和 性 能 不
摘 要 : 过 MP V 法 在 高 掺 杂 硅衬 底 上 生 长 掺 硼 金 刚 石膜 ( D , 用 四探 针 , 描 电 镜 , 光 拉 曼 , 化 通 C D B D)并 扫 激 电
学 工作 站 对 其进 行 了 检测 , 现 所 制 备 的掺 硼 金 刚 石 膜 电导 率 达 1 Q ・c 同 时 发 现 金 刚 石 膜 质 量 因 硼 原 发 O m, 子 的 掺 人 而有 所 下 降 , 用 循 环 伏 安 法 研 究 其 电 化 学 性 质 , 果 表 明 , P 采 结 与 t电极 相 比 ( . V 和 一 i 0 ~ 18 ×i
掺 硼 多 晶金 刚 石膜 电极 的 电化 学 研 究
陈 满 h , 继磊 , 金凤 , 维 , 建华 朋 , 卫东 吕 朱 董 汪
( . 汉 工 程 大 学 湖 北 省 等 离子 体 化 学 与 新 材 料 重 点 实验 室 , 北 武 汉 4 0 7 ; 1武 湖 3 0 4 2 武 汉 工 程 大 学 绿 色化 工 过 程 省 部 共 建 教 育 部 重 点 实验 室 , . 湖 北 省 新 型 反 应 器 与 绿 色化 学 工 艺 重 点 实验 室 , 北 武 汉 4 0 7 ) 湖 3 0 4
的影响 ; 同 的 生长 及 掺 杂 工 艺对 掺 硼 金 刚 石 膜 不
的 电 化 学 的 影 响 ; 同 导 电 性 的 基 底 材 料 对 金 刚 不
为工 作 电极 , 电极 为辅 助 电极 , 和 甘汞 电极 为 铂 饱
参 比 电极 , 电 化 学 测 试 系 统 上 进 行 循 环 伏 安 测 在 试 研 究 , 验 中 所 配 制 的 溶 液 全 部 使 用 去 离 子 水 实 配 制 . 1mo/ 的 H。 O 溶 液 为 介 质 , 描 电压 以 lL S 扫
实验 中采 用大 功率 ( w ) 波等 离子体 化 学 5k 微
气相 沉 积 系统‘] MP VD) 硅 片 上 生长 掺 硼 金 一 ( C “ 在 刚石来 制备金 刚石 膜 电极 . 选择 高 掺 杂硅 基 片 , 硼 烷 为硼 掺杂 源. 金 刚 石研 磨 膏 对 硅 基 片进 行 划 用 痕处 理 , 并用丙 酮 清洗 后 放 入真 空 反应 室 中. 了 为
3 O A) B D具 有 很 宽 的 电化 学 窗 口 ( 3 2V) 较 低 的 背 景 电流 ( × 1 ~ 2 O A) 在 铁 氰 化 钾 ×1 ,D ~ . , 一3 O ×1 ,
电 解液 中 , 面 所 进 行 的 电化 学 反 应 具 有 较 好 的 准 可 逆 性 , 对 有 机 物 苯 酚 的催 化 氧 化 检 测 中 发 现 : P 电 表 在 与 t 极 相 比 ,D 电极 氧 化 能 力 强 , 氧 化 产 物 简 单 、 底 , BD 且 彻 因此 可 以作 为 一 种 理 想 的 电极 材 料 .
第 3 2卷 第 1 2期
21 0 0年 1 2月








VoI 3 No. 2 _2 1
De . c 2O1 O
J . W u a I s. hn nt
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文 章 编 号 : 6 4—2 6 ( 0 0 1 17 8 9 2 1 ) 2—0 6 0 9—0 4
甚 至 出 现 超 导 性 质 _ ] 重 掺 杂 金 刚 石 膜 具 有 良 好 2.
学 性 能 进 行 了 测 试 , 以 P 电 极 做 对 比测 试 了 对 并 t 苯 酚 有 机 物 在 电极 上 的 电 化 学 行 为 .
1 实 验 部 分
1 1 金 刚 石 膜 电 极 的 制 备 .
0 引 言
金 刚石具 有 许 多优 异 的 性 能 , 刚 石 一 般 情 金 况 下 是 良 好 的 绝 缘 体 ,室 温 下 电 阻 率 达 1 Q・ m, 其进 行 掺杂 可 成 为 半 导 体 材 料 , O c 对 可 用 于制作 高 温 、 频 、 功 率 等 器 件【 . 着 硼 含 高 高 1 随 ] 量 的增加 , 刚 石 膜 由绝 缘 体 变 为 半 导 体 、 体 , 金 导