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PECVD 在多晶硅上沉积氮化硅膜的研究2011-05-24 16:34:49 来源：光伏太阳能网氮化硅薄膜作为一种新型的太阳电池减反射膜已被工业界认识和应用。
应用PECVD(等离子体增强化学气相沉积) 系统, 以硅烷、氨气和氮气为气源在多晶硅片上制备了具有减反射作用的氮化硅薄膜。
并研究了在沉积过程中, 衬底温度、硅烷与氨气的流比以及射频功率对薄膜质量的影响。
由于氮化硅膜具有良好的绝缘性、致密性、稳定性和对杂质离子的掩蔽能力, 氮化硅薄膜作为多晶硅太阳电池的减反射膜, 可显著地提高电池的转换效率, 还可使生产成本降低。
PECVD 法沉积氮化硅薄膜, 沉积温度低、沉积速度快、薄膜质量好、工艺简单、易于工人掌握操作技术。
由化学法和PECVD 法制成的氮化硅薄膜的折射率一般可达2.0 左右, 接近太阳电池所要求的最佳折射率(2.35) , 最为符合太阳电池反射层的要求。
一、实验PECVD 氮化硅使用SY2型射频电源等离子台来制备。
高频信号发生的频率是13. 56 MHz 。
所用气体为高纯氨(99. 999 %) 和高纯氮气、高纯硅烷,实验时气体直接通入炉内, 主要反应气体是高纯氨和高纯硅烷, 氮气主要用来调节系统的真空度和稀释尾气中的硅烷。
本实验所用沉积炉为不锈钢体结构, 其炉膛有效容积为0115m3 , 氮化硅薄膜的折射率是用TP-77 型椭偏仪测量。
太阳电池的减反射膜,其折射率和厚度要满足ndn =λ/4 关系式, 即折射率为2. 35 附近为好。
因此从生产的角度有必要对膜的特性与工艺参数之间的关系进行研究。
二、结果与讨论1、流比的影响从氮化硅(Si3N4) 分子式可知, SiH4/NH3= (3×32)/(4 ×17) = 1.4 为理想的质量比, 理想的流比为(1. 4 ×01599) / 0. 719 = 1. 16。
而在实际当中,硅烷的价格是较昂贵的, 因此在生产过程中, 廉价的氨气适当过量以达到硅烷的较大利用率, 而以总体的成本最低, 经济效益最高为目的。
2009年3月第34卷第3期润滑与密封L UBR I CAT I ON ENG I NEER I NGM ar 2009V ol 34N o 3*基金项目:国家自然科学基金项目(50405042,50875252);973国家重点基础研究发展计划项目(2007CB 607604);教育部新世纪优秀人才支持计划(NC ET-06-0479).收稿日期:2008-12-01作者简介:张德坤(1971 ),男,博士,教授,博士生导师,目前主要从事微动损伤及疲劳、微机电系统摩擦学和生物摩擦学方面的研究通讯作者:王大刚(1984 ),男,硕士研究生,从事硅表面改性技术方面的研究 E -ma i :l yjs wdg @163 co mPECVD 法硅基氮化硅薄膜的制备及其耐磨性研究*王大刚1,3 张德坤2,3(1 中国矿业大学机电工程学院 江苏徐州221116;2.中国矿业大学材料科学与工程学院 江苏徐州221116;3.摩擦学国家重点实验室生物摩擦学中心 北京100086)摘要:以N (111)型的单晶硅片为基体,运用PEC VD-2D 等离子体化学气相淀积台在单晶硅片表面沉积氮化硅薄膜,通过薄膜颜色与厚度间的关系探讨了制备工艺参数对薄膜厚度的影响,用原位纳米力学测试系统对氮化硅薄膜的纳米硬度进行测定,在UM T-2型摩擦试验机上对不同制备工艺的硅基氮化硅薄膜进行耐磨寿命试验。
结果表明:随着沉积温度的升高,薄膜厚度逐渐递减,SH i 4和N 2流量比越大,薄膜厚度越大;温度越高,薄膜硬度越大,耐磨寿命越长;随着SH i 4和N 2流量比的增加,薄膜硬度和耐磨寿命均先增加后减小。
关键词:单晶硅;氮化硅;薄膜厚度;纳米硬度;耐磨寿命中图分类号:TH 117 1 文献标识码:A 文章编号:0254-0150(2009)3-012-4Preparati on of S ilicon -based S ilicon N itri de F il m s byPECVD and Research on theW eari ng PropertiesW ang D agang 1,3 Zhang D ekun 2,3(1 College ofM echan ical and E l ectrical Engi neeri ng ,Chi naUn i vers i ty ofM i ning and Technol ogy ,Xuzhou Jiangsu 221116,Ch i na ;2 C oll ege ofM aterial s Sci ence and Engi neeri ng ,Chi naUn i vers i ty ofM i ning and Technol ogy ,Xuzhou Jiangsu 221116,Ch i na ;3.B iotri bology Center of NationalKey Laboratory of Tri bology ,Beijing 100086,Ch i na)Abstract :Si ng le cr ystal silicon wafers w ith crysta l d irecti on of (111)w ere chosen as the substrates .Sili con nitri de fil m s were deposited on si ngle crystal silic on surfaces using the PECVD-2D plas m a c he m ical vapor depositi on syste m.The i nfl uence of preparation techno l ogy para m eters on fil m th i cknesses was discussed fro m the relat i onshi p bet w een fil m colors and fil m t h i cknesses .N a no -hardness of silicon nitri de fil m s w ere measured w ith t he T ri boI ndenter i n the nano -scale m e -chanical pr operty test syste m.W ear life tests of silicon -base d silic on n itride fil ms of different preparati on techno l ogy para m-eters were carri ed out w it h the UMT-2type friction tester .T he results sho w that the fil m t h ic kness decreases w ith the in -crease o f the deposition te m perature .T he lar ger the SH i 4andN 2fl o w rate rat i o ,the thicker the fil m .The higher the te mper -ature ,the l arger the na no -hardness of the silicon nitri de fil m,and the longer t he wear life of the f il m .The nano -hardness and wear life i ncrease f irstl y and the n decreasesw ith the i ncrease of the SH i 4and N 2fl o w rate rat i o .K eywords :sing le crystal sili con ;silicon n itride ;fil m thickness ;nano -hardness ;w ear life氮化硅薄膜是一种精细陶瓷薄膜,由于它具有致密结构,高强度,良好的耐磨、耐高温性能,优良的绝缘性以及光电性能等优点,被广泛应用于微电子领域、微机械制造、太阳能电池、材料表面改性及航天航空等领域。
氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究的开题报告标题：氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究一、研究背景随着电子技术的发展，以及光电器件在各个领域中的广泛应用，对于光学材料的研究已经越来越受到学术界的关注。
其中，氮化硅薄膜因其独特的物理和化学性质，已成为十分重要的光学材料。
氮化硅薄膜具有优良的光学性能，其光学常数（折射率和消光系数）可变化范围很大，表现出优异的光学特性，因此被广泛应用于光电器件中，如太阳电池、LED、激光器等。
此外，氮化硅薄膜还具有可控的光致发光性质，这为其在生物医学、信息存储以及传感等领域应用提供了广阔的前景。
二、研究内容本文以分子束外延技术（MBE）制备的氮化硅薄膜为对象，研究其光吸收及光致发光性质。
主要包括以下内容：1. 利用紫外-可见-近红外分光光度计，测量氮化硅薄膜的透射光谱和反射光谱，分析其光学常数的变化规律。
2. 利用荧光光谱仪对氮化硅薄膜的光致发光性质进行研究，探究其发光机制和光致发光特性。
3. 联合上述两方面研究结果，探究氮化硅薄膜的光学性能与光致发光性质之间的关系，为其在光电器件中的应用提供理论基础。
三、研究意义研究氮化硅薄膜的光学性能和光致发光性质，不仅具有学术意义，还有重要的工程应用价值。
本研究可以为氮化硅薄膜在光电器件中的应用提供理论支持，为其设计和制备提供依据。
此外，氮化硅薄膜的光学性能和光致发光性质还可以为其他光学材料的研究提供参考。
四、研究方法1. 利用分子束外延技术（MBE）制备氮化硅薄膜。
2. 利用紫外-可见-近红外分光光度计测量氮化硅薄膜的透射光谱和反射光谱。
3. 利用荧光光谱仪测量氮化硅薄膜的光致发光光谱。
4. 分析测量结果，探究氮化硅薄膜的光学和光致发光特性。
五、预期成果1. 研究氮化硅薄膜在不同波长下的光学常数变化规律。
2. 探究氮化硅薄膜的发光机理和光致发光特性。
3. 研究氮化硅薄膜的光学性能与光致发光性质之间的关系。
4. 为氮化硅薄膜在光电器件中的应用提供理论依据。
第２５卷第３期２００４年６月太阳能学报Ａ（汀ＡＥＮＥＲＧＩＡＥＳ（）ＩＡＲＩＳＳＩＮＩＣＡＶｄ．２５．Ｎｏ．３Ｊｕｌｙ，２００４文章编号：０２５４．Ｏ眇６ｆ２００４）０３一０３４１．鹏ＰＥＣＶＤ淀积氮化硅薄膜性质研究王晓泉，汪雷，席珍强，徐进，崔（浙江大学硅材料国家重点实验室，杭州３１００２７）灿，杨德仁摘要：使用等离子体增强化学气相沉积（ＰｌａｓｒＩｌａＥｎｈａｎｃｅｄＣｈ鲫ｉｃａｌｖａｐｏｒ决ｐ商ｔｉｏｎ，Ｐ壬ｘ：ｖＤ）在Ｐ型硅片上沉积了氮化硅（ｓｉＮｘ）薄膜，使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱，利用扫描电子显微镜（ｓＥＭ），原子力显微镜（越、Ｍ）观察了截面和表面形貌，使用傅立叶变换红外光谱仪（ＦＴＩＲ）和能谱仪（ＥＩ）ｘ）分析了薄膜的化学结构和成分。
最后，考察了薄膜在经过快速热处理过程后的热稳定性，并利用霍尔参数测试仪（｝ｈ１１）比较了薄膜沉积前后载流子迁移率的变化。
关键词：太阳电池；Ｈｍ；氮化硅中图分类号：ｎ（５１１＋．４文献标识码：Ａ０引言由于有着良好的绝缘性，致密性，稳定性和对杂质离子的掩蔽能力，氮化硅薄膜作为一种高效器件表面的钝化层已被广泛应用在半导体工艺中。
人们同时发现，在多晶硅太阳电池表面生长高质量氮化硅薄膜不仅可以十分显著地提高多晶硅太阳电池的转换效率，而且还可以降低生产成本。
这是因为作为一种减反射膜，氮化硅不仅有着极好的光学性能（Ａ＝６３２．８ｍ时折射率在１．８～２．５之间，而最理想的封装太阳电池减反射膜折射率在２．１～２．２５之间）和化学性能，还能对质量较差的硅片起到表面和体内钝化作用，提高电池的短路电流。
因此，采用氮化硅薄膜作为晶体硅太阳电池的减反射膜已经成为光伏界的研究热点【卜３ｌ。
１９９６年，Ｋｙｏｃｅｒａ公司通过生长氮化硅薄膜作为太阳电池的减反射膜和钝化膜在１５ｃｍ×１５ｃｍ的多晶硅太阳电池上达到了１７．１％的转换效率Ｌ４１；Ａ．ＨｕＫｂｎｅｒ等人利用氮化硅钝化双面太阳电池的背表面使电池效率超过了２０％【５Ｊ。
文章编号：1005-5630(2019)03-0081-06DOI : 10.3969/j.issn.1005-5630.2019.03.013PECVD 氮化硅薄膜性质及工艺研究李 攀1，张 倩2，夏金松1，卢 宏1（1．华中科技大学 武汉光电国家研究中心，湖北 武汉 430074；2．武汉晴川学院，湖北 武汉 430204）摘要：为了制备高质量氮化硅薄膜，采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)进行氮化硅的气相沉积，讨论了工艺参数对薄膜性能的影响，验证设备工艺均匀性和批次间一致性。
通过高低频交替生长低应力氮化硅薄膜，并检测薄膜应力，对工艺进行了优化，探索最佳的高低频切换时间。
研究了PECVD 氮化硅薄膜折射率、致密性、表面形貌等性质，制备出了致密的氮化硅薄膜。
研究结果表明，PECVD 氮化硅具有厚度偏差小、折射率稳定等特点，为其在光学等领域的应用打下了基础。
关键词：半导体材料；氮化硅薄膜；等离子增强化学气相沉积(PECVD)中图分类号：TN304.6 文献标志码：AProperties and preparation of low stress SiN x film by PECVDLI Pan 1，ZHANG Qian 2，XIA Jinsong 1，LU Hong1（1. Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China;2. Wuhan Qingchuan University, Wuhan 430204, China ）Abstract: In this paper, silicon nitride deposition process was carried out by using plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). The influence of processing parameters on PECVD film properties were discussed. In conclusion, it was convenient to obtain low stress SiN x film by controlling the switching time of high and low frequencies respectively; dense high quality SiN x films with low tensile stress can be grown. The results showed that PECVD silicon nitride had the characteristics of small thickness deviation and stable refractive index, which establishes a foundation for its application in optics.Keywords: semiconductor material ；silicon nitride film ；plasma enhanced chemical vapor deposition收稿日期 ：2018-07-16基金项目 ：国家自然科学基金(61335002)作者简介 ：李 攀(1986—)，男，工程师，研究方向为成膜与刻蚀。
硅薄膜的制备及光学性能研究摘要：本文采用磁控溅射技术，通过改变溅射功率制备了系列非晶硅薄膜，并研究了薄膜的光学性能。
结果发现，随着溅射功率的提高，硅薄膜生长速率线性增加。
红外光谱测试表明，硅薄膜中含有少量H，并以SiH2 的形式存在，随着溅射功率的提高，薄膜中的H 含量逐渐增加，而其光学能隙逐渐从1.58eV 增加到1.74eV。
光致发光实验显示，硅薄膜在380nm 和730nm 处出现了两处发光峰，其峰位几乎没有变化，而其发光强度和硅薄膜中氧化硅的含量有关。
关键词：磁控溅射；硅薄膜；光学能隙；光致发光0 引言作为太阳能电池材料，硅薄膜具有用料少、成本低、可在玻璃，塑料等廉价衬底上大面积生产等优点，正逐渐受到科研工作者的重视。
按照结构的不同，硅薄膜通常被分为多晶硅、非晶硅、微晶硅以及纳米晶硅薄膜。
目前，制备硅薄膜最普遍的方法是等离子增强化学气相沉积（PECVD）法，而磁控溅射技术也逐渐受到重视，已有研究者利用脉冲磁控溅射的方法在较高温度条件下制得了光电性能优异的晶态硅薄膜[1]。
利用磁控溅射技术制备硅薄膜，主要通过改变负偏压、沉积温度、反应气压、通入氢气流量比、溅射功率等工艺参数来达到对薄膜微结构和光电性能的调控。
日本的J.Kondo[2] 等人研究了沉积温度对硅薄膜微观结构的影响；K.Fukaya[3]等人研究了腔体气压与硅薄膜生长速度之间的关系；H .Makihara [4]等人研究了氢气流量比对硅薄膜结晶程度的影响；A Tabata[5]等人则研究了负偏压对硅薄膜性能的影响。
进一步探索制备工艺与硅薄膜微观结构以及光电性能之间的关系可为提高太阳能电池的光电转化效率提供重要依据，具有重要的现实意义。
本文通过磁控溅射的方法制备了系列硅薄膜。
研究溅射功率与薄膜生长速率之间的关系；探讨制备工艺对薄膜微观结构的影响，分析薄膜光学能隙、光致发光同薄膜结构之间的关系。
1 实验方法硅薄膜采用北京实力源公司生产的SP-0811A型磁控溅射镀膜机制备，设备配有30kW 的单极脉冲偏压电源；2 副Φ80 硅靶；反应室尺寸为Φ600mm×300mm，极限真空可达1×10-4Pa。
CVD法氮化硅薄膜制备及性能发表时间：2019-07-18T09:35:03.353Z 来源：《科技尚品》2019年第2期作者：王莉[导读] 氮化硅被作为一种高效的器件表面钝化层广泛应用于半导体器件工艺中。
本文论述了CVD法氮化硅薄膜制备及其性能。
中芯国际集成电路制造（天津）有限公司氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料，它既是优良的高温结构材料，具有良好的抗冲击、抗氧化和高强度等特点；同时具有很多优良的性能，如硬度高、抗腐蚀、耐高温、化学惰性与绝缘性好、光电性能优良等，所以被广泛应用于微电子领域、光电子工业、材料表面改性等领域。
一、CVD法分类CVD法制备Si3N4薄膜是把含有薄膜元素的气体供到沉积炉中基质的表面，利用加热、等离子体、紫外光乃至激光等能源，使其相互反应沉积薄膜。
它具有薄膜形成方向性小，微观均匀性好，具有台阶覆盖性能，更适于复杂形状的基质；薄膜纯度高，残余应力小，延展性强；薄膜受到的辐射损伤较低等优点。
所以，CVD法成为人们最常用的制备氮化硅薄膜的方法。
常用的CVD法有以下几种:1、常压化学气相沉积法(APVCD)。
该法是在常压环境下，反应气体受热后被N2或Ar等惰性气体输运到加热的高温基片上，经化合反应或热分解生成固态薄膜。
由于这种沉积在常压下进行，且仅依靠热量来激活反应气体实现薄膜的沉积，所以与其它CVD相比，其设备简单，操作方便，是早期制备氮化硅薄膜的主要方法。
但由于反应在常压下进行，在生成薄膜材料的同时各种副产物也将同时生产；常压下分子的扩散速率小，不能及时排出副产物，这限制了沉积速率，还加大了膜层污染的可能性，从而导致薄膜的质量下降。
2、低压化学气相沉积(LPCVD)。
人们在APCVD的基础上研制出了LPCVD。
LPCVD克服了APCVD沉积速率孝膜层污染严重等缺点，因而所制备氮化硅薄膜的均匀性好，缺陷少，质量高；并可同时在大批量的基板上沉积薄膜，易于实现自动化，效率高，现已成为半导体工业中制备氮化硅薄膜的主要方法。
氮化硅材料的制备与特性分析氮化硅材料是一种非常重要的化合物材料，因其在电子、机械、化学等领域都有着广泛的应用，而备受瞩目。
本文旨在探讨氮化硅材料的制备方法和其特性分析，以期更好地了解和应用这种高性能材料。
一、氮化硅材料的制备方法1.化学气相沉积法（CVD法）CVD法是一种常见的氮化硅材料制备方法，其步骤为：首先将高纯氨气和硅源气体（SiH4或SiCl4）同时进入反应炉内，随后将反应室加温至1000~1300°C，热分解产生氮化硅材料。
根据实际需要，可以采用不同的反应气氛和反应条件，以调控氮化硅材料的性能和微观形貌。
2.物理气相沉积法（PVD法）PVD法则是使用离子束辅助或簇束辅助蒸发技术进行氮化硅材料的制备。
首先，在真空环境下将高纯气体（如N2或NH3）和硅材料加热蒸发，蒸发物质经过固态物理作用，沉积于基底上形成氮化硅材料。
这种制备方法所制备的氮化硅材料相对更加均匀和纯净，适合于高质量材料的制备。
3.固相反应法（SR法）SR法是一种简易的氮化硅材料制备方法，该方法的步骤为：将高纯硅粉末和氨气将混合物直接放入炉中，在高温环境下，发生固相反应形成氮化硅材料。
不过因为不能控制反应条件，所以造成氮化硅材料质量和性能比较难以控制和调节，适用性相对较低。
二、氮化硅材料的特性分析1.化学稳定性氮化硅材料是一种化学惰性材料，在大多数常见的化学介质下都表现出优良的耐腐蚀性。
不受酸碱、水蒸汽、有机溶剂和氧化气体的攻击，也不发生安定的化学反应。
这使得氮化硅材料广泛应用于各类化学反应器和腐蚀性介质中。
2.抗磨损性氮化硅材料是一种具备良好抗磨损性的材料，其在磨损环氧化铝、石英和SUS304钢等高强度材料的表面均生成极薄的硬质氮化膜，因此可以在高速运动和高温下长久工作。
这使得氮化硅材料成为领域内磨损极严重的材料首选。
3.耐高温性氮化硅材料的熔点高达2700°C，因此可在高温环境下正常工作，具有良好的耐热性。
P ECVD法生长氮化硅工艺的研究3吴清鑫1,陈光红1,于 映2,罗仲梓3(1.苏州市职业大学电子信息工程系,江苏苏州215104;2.福州大学物理与电信工程学院,福建福州350002;3.厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门361005)摘 要: 采用了等离子体增强化学气相沉积法(plas2 ma2enhanced chemical vapor depo sition,PECVD)在聚酰亚胺(polyimide,PI)牺牲层上生长氮化硅薄膜,讨论沉积温度、射频功率、反应气体流量比等工艺参数对氮化硅薄膜的生长速率、氮硅比、残余应力等性能的影响,得到适合制作接触式射频M EMS开关中悬梁的氮化硅薄膜的最佳工艺条件。
关键词: PECVD;氮化硅;聚酰亚胺;残余应力;射频M EMS开关中图分类号: TN304文献标识码:A 文章编号:100129731(2007)05207032031 引 言氮化硅薄膜具有高介电常数,高绝缘强度,漏电低,对Na和水汽具有好的阻挡能力等优良的物理性能。
作为钝化、隔离、电容介质等,广泛应用于微电子工艺中。
另外氮化硅薄膜还具有优良的机械性能和良好的稳定性,所以在新兴的微机械加工工艺中的应用也越来越广泛[1]。
聚酰亚胺是一种高分子材料,不但具有耐腐蚀、耐高温、抗有机溶剂的侵蚀性能,而且具有良好的平坦化性能和粘附性能,可在氧气环境下用等离子去胶机去除,是作为牺牲层的理想材料[2,3]。
PECVD法能在低温下生长出致密的,具有良好化学稳定性和优良的机械性能的氮化硅薄膜,所以用PECVD法生长的氮化硅薄膜广泛地应用在M EMS领域。
接触式射频M EMS开关中是在牺牲层聚酰亚胺上生长氮化硅薄膜,氮化硅作结构层,作为悬梁的可动部分,是射频开关的重要部件。
所以有必要对PECVD生长氮化硅薄膜工艺进行研究。
本文研究了PECVD法生长工艺参数对氮化硅薄膜的应力、氮硅比、生长速率等的影响,调整工艺参数,使得氮化硅薄膜从厚300nm就产生裂纹到厚1μm完好,成功地使用在射频M EMS开关中作为悬梁的可动部件。
太阳能电池PECVD工艺参数对生长氮化硅薄膜影响的研究摘要：氮化硅膜是对提高太阳能电池光电转换效率有重要作用的减反射膜。
文章介绍了氮化硅膜的钝化作用和减反射作用，陈述了pecvd生长的氮化硅薄膜的基本性质，以156mm×156mm型号的多晶硅太阳电池片为例，结合实际测量数据，分析了在淀积过程中温度、硅烷氨气流量比和射频功率等工艺参数对氮化硅薄膜的生长及其性质的影响。
关键词：pecvd；工艺参数；氮化硅膜；太阳能电池中图分类号：tn304 文献标识码：a 文章编号：1009-2374（2013）02-0014-02太阳能是一种绿色环保的新能源，制备氮化硅（si3n4）减反射膜是制造高效率太阳能电池的重要环节。
氮化硅膜通常采用pecvd 技术生成。
pecvd又称等离子体增强化学气相淀积，淀积过程中，硅烷氨气流量比、射频功率、温度、淀积时间等工艺参数的变化对氮化硅薄膜的生长均有影响。
1 氮化硅膜在太阳能电池中的作用通常sinx中的si/n值为0.75，即si3n4，而实际pecvd淀积氮化硅的化学计量比会随工艺的不同而变化，si/n变化的范围在0.75～2之间。
pecvd的氮化硅薄膜中，除了含有si和n元素，一般还包含一定比例的氢，即sixnyhz或sinx︰h。
利用pecvd技术在硅片表面淀积的氮化硅薄膜，可以使薄膜前后两个表面产生的反射光相互干扰，从而抵消反射光，达到减反射的效果，增加对太阳光的吸收，提高光生电流密度，从而提高电池的转换效率。
同时，氮化硅膜中的h降低了表面复合速率，带来更小的暗电流和更高的开路电压，提高了光电转换效率。
另外高温瞬时退火会断裂一些si-h、n-h键，游离出来的h与缺陷及晶界处的悬挂键结合，减少了界面态密度和复合中心，达到对电池的钝化效果。
2 氮化硅膜的pecvd法制备cvd（全称为chemical vapor deposition）即化学气相沉积。
cvd技术主要有以下几种：apcvd（常压，700℃～1000℃）、lpcvd （低压，750℃）、pecvd（等离子体增强型，300℃～450℃）。
氮化硅薄膜光学性质的研究摘要：氮化硅薄膜具有优良的光学性能，常用作太阳能电池表面的减反射材料。
采用传统的退火炉和快速热退火炉进行了不同时间和温度下的退火比较，并研究了退火对薄膜光学性能的影响。
研究发现：氮化硅薄膜经热处理后厚度降低，折射率先升高后降低。
关键词：太阳能电池；氮化硅薄膜；热处理引言由于有着良好的绝缘性，致密性，稳定性和对杂质离子的掩蔽能力，氮化硅薄膜作为一种高效器件表面的钝化层已被广泛应用在半导体工艺中。
人们同时发现，在多晶硅太阳电池表面生长高质量氮化硅薄膜不仅可以十分显著地提高多晶硅太阳电池的转换效率，而且还可以降低生产成本。
作为一种减反射膜，氮化硅不仅有着极好的光学性能(λ =6 3 2 ． 8 n m时折射率在 1 . 8 ～2． 5之间，而最理想的封装太阳电池减反射膜折射率在 2 ． 1 ～2． 2 5 之间) 和化学性能，还能对质量较差的硅片起到表面和体内钝化作用，提高电池的短路电流。
因此，采用氮化硅薄膜作为晶体硅太阳电池的减反射膜已经成为光伏界的研究热点。
1 . 氮化硅薄膜的光学性质1 .1实验本实验采用2cm×2cm×400um的单面抛光的P型<100>Cz硅片，在沈阳科仪中心PECVD400型真空薄膜生长系统中生长氮化硅薄膜。
氮化硅薄膜制备过程如下：实验前使用乙醇和丙酮超声清洗样品15min以去除油污，然后用1号液(H20：H202：NH3·H20=5：1：1)和2号液(H20：H2O2：HCl=5：1：1)清洗，最后再使用5％稀氢氟酸(HF)漂洗5min以去除氧化层，去离子水洗净烘干后放人反应室。
采用硅烷(10％氮气稀释)和高纯氨气作为反应气体沉积氮化硅薄膜，其中沉积薄膜的生长参数如下：气体流量为硅烷30sccm、氨气60sccm、工作气压30Pa、射频频率 13．5MHz、沉积时间10min。
沉积薄膜后，采用传统的退火炉和新兴的快速热退火炉进行了氩气保护下不同时间和温度下的退火比较，并测试了薄膜退火前后的厚度、折射率。
第38卷，增刊 红外与激光工程 2009年11月 V ol.38 Supplement Infrared and Laser Engineering Nov. 2009收稿日期：2009-09-00基金项目：国家“863”计划项目：用于可重构分插复用具有波长处理机制的平面光集成解复用接收器件的研究(2007AA03Z418); 教育部“长江学者和创新团队发展计划”资助（IRT0609）; “高等学校学科创新引智计划”（简称“111计划”）第二批建设项目作者简介：张檀威（1985-），男，四川南充人，硕士，主要从事光通信器件方面的研究。
Email: ztw1985@导师简介：黄辉（1974-），男，教授，博士生导师，主要从事光通信器件及半导体材料方面的研究。
Email: huihuang@PECVD 法沉积氮化硅薄膜性质工艺实验研究张檀威，黄 辉，蔡世伟，黄永清，任晓敏（北京邮电大学 信息光子学与光通信教育部重点实验室，北京 100876）摘要：使用新型HQ-3型等离子体增强化学气相沉积（PECVD ）设备在硅片（100）上沉积了氮化硅（SiNx ）薄膜。
在实验过程中系统地改变沉积的工艺参数（例如生长温度，射频功率，沉积时间以及反应气体流量比）。
对实验所得氮化硅薄膜样品进行厚度和折射率的测试，根据测试结果讨论了上述工艺参数对氮化硅薄膜的性能影响（如生长速率以及折射率），最终通过对工艺参数进行优化获得了性能良好的氮化硅薄膜。
关键词：PECVD ；氮化硅；薄膜；工艺参数中图分类号：TN305.8 文献标识码：A 文章编号：1007-2276(2009)增B-0150-04Technology for silicon nitride thin film grown by PECVDZHANG Tan-wei, HUANG Hui, CAI Shi-wei, HUANG Yong-qing, REN Xiao-min(Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications Ministry of Education,Beijing University of Posts andTelecommunications, Beijing 100876, China)Abstract: Silicon nitride thin films were experimentally grown on silicon (100) by using PECVD. Growth parameters were changed in a series of experiments (for instance, growth temperature, RF power, growth time and gas flow rate). The silicon nitride thin film samples were tested to obtain the thickness and refractive index. The effect of above parameters on the quality of the silicon nitride thin film (for instance, growth velocity and refractive index) is discussed. Silicon nitride thin film with high quality is grown by optimizing the growth parameters.Key words: PECVD; Silicon nitride; Thin film; Growth parameters0 引 言氮化硅是物理、化学性能十分优良的功能材料，它具有良好的介电特性(介电常数低、损耗低)以及高绝缘性。
目 录 1 引言-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------错
误！未定义书签。 1.1氮化硅的特性-----------------------------------------------------------1 1.2氮化硅的制备方法----------------------------------------------------------------------------------------2
1.2.1常压化学气相沉积(APCVD)--------------------------------------------------------------------2
1.2.2低压化学气相沉积(LPCVD)--------------------------------------------------------------------2
1.2.3等离子体增强化学气相沉积(PECVD)------------------------------------------------------3
1.3氮化硅薄膜PECVD制备的特点-----------------------------------------------------------------------4
2 实验-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------4
2.1实验仪器的介绍-------------------------------------------------------------------------------------------4
2.2 PECVD法制备氮化硅薄膜的原理----------------------------------------5
2.3实验方法------------------------------------------------------------5
3 实验结果与讨论-------------------------------------------------------------------------------------------------5 参考文献--------------------------------------------------------------------------------------------------------------10 物理与电子信息学院毕业论文
1 氮化硅薄膜材料的PECVD制备及其光学性质研究
摘要：等离子增强型化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition , PECVD)是目前较为理想和重要的氮化硅薄膜制备方法，本文详细探讨了对氮化硅薄膜PECVD制备的方法、原理以及制备过程,成功生长了质量较好的氮化硅薄膜,并用紫外-可见光光谱仪研究了沉积薄膜的表面形貌及其光学带隙,得出氮化硅薄膜相关的光学特性,结果表明,氮气流量对薄膜的光学带隙影响较大,制备的薄膜主要为富硅氮化硅薄膜。 关键词：PECVD；氮化硅薄膜；光学性质
1引言 1.1氮化硅的特性 氮化硅是一种性能优良的功能性材料，它具有非常良好的介特性(介电常数低、损耗低)、高绝缘性、漏电低、抗氧化等优良的物理性能。高致密性的氮化硅，对杂质离子有很好的阻挡能力，因此，氮化硅被作为一种高效的器件表面钝化层，而被广泛地应用于半导体器件工艺中， 如MOSFET、HBT、HEMT。在集成电路中，氮化硅还被应用于层间绝缘、介质电容以及耐磨抗蚀涂层等。同时氮化硅薄膜的优良的机械性能和良好的稳定性，在新兴的微机械加工工艺中也被越来越广泛的应用。 氮化硅在太阳能光伏领域也是一种重要的材料。人们发现 , 在太阳能电池表面生长高质量氮化硅薄膜不仅可以十分显著地提高太阳能电池的转换效率 , 而且还可以降低生产成本。这是因为作为一种减反射膜 , 氮化硅不仅有着极好的光学性能(λ= 632.8nm 时折射率在1.8～2.5 之间 , 而最理想的封装太阳能电池减反射膜折射率在 2.1～2.25之间)和化学性能 , 还能对质量较差的硅片起到表面和体内钝化作用 , 提高电池的短路电流。因此 ,采用氮化硅薄膜作为太阳能电池的减反射膜已经成为光伏界的研究热点[1～3]。 近年来随着第三代薄膜太阳能电池的发展，澳大利亚西南威尔士大学的Marting 物理与电子信息学院毕业论文 2 Green教授于2001年提出了新一代电池具有全新的概念，采用清洁绿色环保的制造技术，达到电池的高效率与新技术、新概念、新材料并举。一种理论转换效率达60%以上的量子点型太阳能电池备受人们瞩目。硅量子点太阳能电池主要通过基体材料中析出纳米晶粒尺寸的硅量子点，当晶粒尺度与激子波尔半径相近时，系统形成一系列的离散量子能级，电子在其中的运动就会受到限制，从而表现出了量子尺寸效应。其中相关的尺寸效应与限制效应给电池带来了极大的优势，比如说带隙随着粒子的尺寸可调，截面大，吸收系数大，以及较长的激子寿命等。硅量子点太阳能电池的材料，主要有氧化硅、碳化硅、以及氮化硅。然而实验表明：氮化硅的带隙最适合作为基体材料。富硅氮化硅的研究也越来越引起人们瞩目。因而氮化硅的研究在光伏领域具有重要的意义。 1.2 氮化硅的制备方法 目前，用来制备氮化硅薄膜的方法主要有：常压化学气相沉积(APCVD)、低压化学气相沉积法(LPCVD)、等离子增强型化学气相沉积法(PECVD)、射频等离子增强型化学气相沉积法(RF-PECVD)、光化学气相淀积(光 CVD)、 射频(RF)磁控反应溅射法等。前三种，人们应用的最多，因而也是研究氮化硅的主流方法。 1.2.1 常压化学气相沉积(APCVD) 常压化学气相沉积就是在常压的环境下,反应气体受热后被N2或Ar等气体输运到加热的高温基片上,然后经过化合反应或热分解，生成固态薄膜的沉积方法。由于这种沉积是在常压下进行的,仅仅依靠热量来激活反应的气体从而实现薄膜的沉积,所以与其它化学气相沉积方法相比,设备非常简单,操作方便,是早期制备氮化硅薄膜的主要方法。但是,由于反应是在常压条件下进行的,所以在生成薄膜材料的同时也产生了各种的副产物，而且常压下分子的扩散速率小,不能及时的排出副产物,即限制了沉积的速率,同时又增加了膜层的污染可能性,导致薄膜质量下降。由于该方法沉积温度较高(一般大于l000K),逐渐被后来的低压化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积所取代。 1.2.2 低压化学气相沉积(LPCVD) 由于常压化学气相沉积制备的氮化硅薄膜不能满足器件性能日益提高的要求,所以必须寻找新的沉积方法，常压化学气相沉积制备的氮化硅薄膜的不足之处在于沉积的速率低,薄膜污染严重,其原因是反应室中的高压强降低了分子的扩散速率和排出污染物的能力，由热力学知识可知，低压下,气体分子的平均自由程增大,分子的扩散速率增大,从而可以提高薄膜在基片表面的沉积速率;同时,低压下，气体分子在输运过程中的碰撞物理与电子信息学院毕业论文 3 几率小,也就是说在空间生成污染物的可能性小,这就从污染源上减小了薄膜受污染的可能性，正是利用了这一原理,人们在APCVD方法的基础上研制出了LPCVD的方法，LPCVD方法克服了APCVD方法沉积速率小、膜层污染严重等缺点,因而所制备氮化硅薄膜的均匀性良好、质量高。并且LPCVD方法还能够处理数目较多的薄膜基片、成本低、沉积的氮化硅薄膜强度高、抗化学腐蚀能力强、现已成为制备氮化硅薄膜的主要方法之一。 然而,LPCVD方法也有不足的地方,其中最主要的一点，就是它的沉积温度一般要高于1000K,仍然属于高温的沉积工艺。高温沉积会带来以下的主要问题:（1）容易引起基板结构上变形和组织上变化,从而会降低基板材料的机械性能（2）基底材料与膜层材料之间在高温下也会相互的扩散,在界面上形成某些脆相性,从而会削弱两者之间的结合力（3）高温下,基板中的缺陷会继续的生长和漫延,杂质也会发生再分布,在不同的程度上影响了薄膜的界面特性。这些决定了LPCVD方法不能用于非耐热性基片上的薄膜沉积,如Ⅲ-Ⅴ族元素材料、有机材料以及塑料、普通玻璃等 1.2.3 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 等离子体增强化学气相沉积是利用辉光放电的物理作用[7]来激活粒子的一种化学气相沉积反应,是集等离子体辉光放电和化学气相沉积于一体的薄膜沉积技术，在辉光放电所形成的等离子体场中,由于电子和离子的质量相差悬殊,二者通过碰撞交换能量的过程相对比较缓慢,所以在等离子体的内部没有统一的温度，只有电子气温度和离子温度，此时,电子气的温度约比普通气体分子的平均温度高出10～100倍,电子的能量为1～10ev,相当于温度10～10OK,而气体的温度都在10K以下,一般情况下原子、分子、离子等粒子温度只有300～600K左右，所以，从宏观上看,这种等离子体的温度不高,但在其内部却处于受激发的状态,其电子的能量足以使分子键断裂,并导致具有化学活性的物质(活化分子、原子、离子、原子团等)产生,使本来需要在高温下才能进行的化学反应,当处于等离子体场中时,在较低的温度下甚至在常温下，就能在基片上形成固态的薄膜,因此应用PECVD方法沉积氮化硅，就不会出现因温度过高而引起的器件失效问题,另外，PECVD反应沉积的氮化硅，内含的氢对于器件表面钝化是LPCVD沉积的氮化硅薄膜所不具备的,PECVD借助等离子体的电激活作用实现了低温(450～600K)下，沉积优质的薄膜,其操作方法灵活,工艺重复性好,尤其是可以在不同复杂形状的基板上，沉积各种薄膜。此外,PECVD同溅射法一样,可以通过改变沉积参数的方法，制备不同应力状态下的薄膜以满足不同的需要。这种方法适应了当前大规模集成电路生产，由高温工艺向低
