半导体硅外延片产业规划纲要

半导体硅外延片产业规划纲要
——产业投资建设规划

半导体硅外延片主要由多晶硅原材料经过晶体生长、硅片成型和
外延生长等工艺制备得到。由于掺杂工艺灵活，厚度、电阻率等器件
参数便于调节，半导体硅外延片具有诸多优质特性，可以显著改善器
件反向耐用性、截止频率等性能。半导体硅外延片被大规模应用于对
稳定性、缺陷密度、高电压及电流耐受性等要求更高的高级半导体器
件中，主要包括MOSFET、晶体管等功率器件，及CIS、PMIC等模拟器
件，终端应用包括汽车、高端装备制造、能源管理、通信、消费电子
等。
深入贯彻落实科学发展观，依托资源优势，加快产业发展，促进
结构调整升级。形成新的经济增长点；加强行业指导，推进联合重组，
提高产业集中度，形成一批大企业、大集团，推动产业做大做强，促
进区域经济社会又好又快、更好更快地发展。
为加快区域产业结构调整和优化升级，依据国家和xx省产业发展
规划，结合区域产业xx年发展情况，制定该规划，请结合实际情况认
真贯彻执行。
一、指导路线
坚持以科学发展观为指导，以转变行业发展方式为主题，由资本
驱动型产业向创新驱动型产业转变；坚持以市场为导向、以结构调整
为主线的原则；大力发展产业集群，促进产业集聚化和分工专业化，
形成大中小企业优势互补，产业产品链式发展；进一步完善产业布局，
着力培育、壮大优势企业，提高生产集中度，培育品牌企业，全面提
升区域产业发展的水平、质量和效益。
二、原则
1、因地制宜，特色发展。紧密结合区域发展要素条件，充分发挥
比较优势，围绕核心产业，引进培育龙头企业，形成各具特色、差异
发展的发展新格局。
2、协同推进。以区域协同发展为契机，找准产业发展定位和发展
方向，完善产业协同创新体系，积极对接本地创新资源和优质产业，
主动延伸产业链条，构建具有国际竞争力的产业集群和产业链，促进
产业结构优化升级和协调发展，打造产业创新中心。
3、创新供给。深入实施创新驱动发展战略，把产业做大做优做强
的基点放在大力创新上。瞄准重点方向，着力提升技术、人才等创新
要素供给水平，着力提升产品、服务等附加值和国际竞争力，推动新
技术、新业态加速产业化，着力形成产业发展新动力。
三、产业背景分析
半导体硅外延片主要由多晶硅原材料经过晶体生长、硅片成型和
外延生长等工艺制备得到。由于掺杂工艺灵活，厚度、电阻率等器件
参数便于调节，半导体硅外延片具有诸多优质特性，可以显著改善器
件反向耐用性、截止频率等性能。半导体硅外延片被大规模应用于对
稳定性、缺陷密度、高电压及电流耐受性等要求更高的高级半导体器
件中，主要包括MOSFET、晶体管等功率器件，及CIS、PMIC等模拟器
件，终端应用包括汽车、高端装备制造、能源管理、通信、消费电子
等。
半导体硅外延片的生产工艺流程较长，涉及工艺众多，主要生产
环节包含了晶体成长、硅片成型、外延生长等工艺。
硅片是制造芯片的基本衬底材料，没有硅片整个半导体行业将如
无源之水，因此地位相当关键；根据CPIA数据显示，2019年全国硅片
产量约为134.6GW，较2018年的107.1GW同比增长25.7%。
随着新能源汽车、5G通信、物联网、智能手机等行业的不断发展，
中国半导体硅外延片市场规模持续增长。2019年中国半导体硅外延片
市场规模为90.95亿元，预计2020年受新冠疫情影响，中国半导体硅
外延片市场规模有所下降，但随着相关领域投资建设规模的扩大，中
国半导体硅外延片市场需求将持续增长。
半导体硅外延片行业是典型的资金密集型行业，厂商需要投入大
量资金用于厂房建设、设备购置和技术研发，资本性支出规模较大，
需要较大规模的资金支持。因此中国生产硅外延片企业较少，其中规
模较大的有立昂微、上海合晶、沪硅产业、南京国盛等企业。
2019年立昂微硅外延片营业收入为5.66亿元，平均销售价格为
262.46元/片；2020年一季度立昂微硅外延片营业收入为1.57亿元，
平均销售价格为247.26元/片。
四、目标
到xx年，区域产业发展重点行业和企业转型升级取得显著成效，
布局xx家左右产业骨干企业，重点产品服务比重稳步提升，以满产业
发展需求为特征的产业发展新体系基本成型。
五、主要任务规划
(一)完善相关标准
依据科技创新成果，协同推进高端产品标准和应用设计规范体系
建设。及时制定新产品标准和规范，积极推进新产品规范制修订。
(二)实施重点企业培育工程
加大对行业重点企业扶持力度，支持企业做大做强。引导各类资
源要素向行业龙头企业集聚，鼓励龙头企业跨地区、跨行业并购重组。
引导中小企业开展专业化配套、承担国家和省重点产业化项目、参与
制定相关标准。到xx年，重点培育xx家年销售收入超xx亿元企业，
培育xx家具有核心技术和知名品牌支撑、发展潜力大的领军型企业，
培育xx家以先进技术为支撑、具有高速成长能力和鲜明专业特色的行
业骨干企业。
(三)优化组织结构
支持优势骨干企业以技术、资本、资源、品牌等为纽带，实施跨
地区、跨所有制联合重组，提高产业集中度和要素配置效率。支持中
小加工企业发挥机制灵活、贴近市场、专精特新、吸纳就业能力强的
优势，加快自主创新，着力发展面向消费市场的产业产品服务。形成
个性化发展，大中小企业协调并进的发展格局。
(四)实施科技创新提升工程
引导行业企业提高信息化、自动化水平。重点建设各类产业公共
研发平台、重点试验室、工程中心、企业技术中心等高水平创新平台。
依托大型企业集团、科研院所、高校等单位，构建完善产学研用相结
合的产业发展创新体系。创建一批以行业为特色的技术中心、工程中
心或重点实验室，完善产业发展所需公共研发、技术转化、检验认证
等平台。提升行业产业科技创新能力。推动企业与行业科研机构合作，
加强核心技术自主创新和引进消化吸收再创新，到xx年新增创新平台
xx个。
(五)产业集中区示范创建工程
创建以产业链为纽带、资源要素集聚为特征的产业示范基地。到
xx年，在区域范围内形成xx个具有较强影响力和配套能力，能主动融
入产业发展，推动行业可持续发展的产业示范基地。加强规划协调，
选择具有资源和市场优势、产业集聚发展基础好、产业链较为完善的
地区，按照“布局合理、特色鲜明、集约高效”的原则，重点发展产
业链配套体系。
(六)推进产业融合发展
相关企业要确立主动融入产业的发展理念，以技术、资金、市场
等为纽带，加强下游应用端的合作、联合，突破产业融合发展面临体
制机制阻碍，加快向现代化产企业转型。通过产业链纵向联合、集团
化整合，完善产业链协作关系，提升全产业链资源配置和市场服务能
力。

附：保障方案