流量计自动标定系统

计；
度 还 不高 ， 别是 大 口径 、 特 大流 量 的气 体计 量 还存 在
很 多 问题 。所 以 ， 展 气 体 流量 仪 表 已成 为 我 国流 发
ห้องสมุดไป่ตู้
（） ３ 精度 高 ， 嘴精 度 ０ ２ 喷 ．５级 ， 个 标 准装 置 精 整 度优 于 ０ ５级 ； ．
量 计量 仪 表发 展 的重 点 ， 建 立 高 准 确 度 的流 量 标 而
ｎ ｔｆ ｒｕｓ ｔ ａ ｏ ｉ ｏ ｅ ｗｉｈ ｇ ｓ ｆ ｗｍｅｅ ｓ ａ ｄ ａ ａｙ ｅ ｈ ａ ｔｒ ｈ ｔｗｏ ｌ ｆｅ ｔｔ ｅ ｓ ｓｅ ａ ｃ ｒｃ ｌ ｔｒ， ｎ ｌ ｓ ｓ ｔｅ ｆｃｏ ｓ ｔａ ｕｄ ａ ｃ ｈ ｙ ｔｍ ｃ ｕ ａ ｙ． ｎ Ｋｅ ｙ ｗｏｒ ｓ： ｄ ＶＢ６． Ｃｒｔ ａ ｅ ｔｉｎ ｚｌ ｏ ０： ｉｉｌ ｖ ｎ ｒ ｏ ｚｅ ｆ ｗｍｅｅ ； ｔｍａ ｉ ａｉ ａｉｎ ｃ ｌ ｔｒ Ａｕ ｏ ｔｃ ｃ ｂｒｔ ｌ ｏ
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准 装 置是 进行 流 量计 研究 和制造 的基 础 。
（） ４ 它对 于 高 压 大 流 量 气 体 流 量 的测 量 比其 它 标 准装 置优 越 ， 结构 简单 ， 如 体积 小 ， 复现 性好 ， 在一 级标 准装 置 上 标定 后 在各 种 工作 条件 下 不 降低 准确

IPL 600 软件是一种“双向的程序装载器”（应用于 Daniel FloBoss S600）。它可以上载和下载预先开发好 的组态文件及应用程序。
1.4 CONFIG 600 LITE
Config 600 Lite 软件（可选）是 Config 600 专业软 件的一个子软件, 用于上载和下载预先开发好的组态文 件及应用程序。 Config 600 Lite 通过 Config 600 软件可实现如下功能：
2001 年 4 月
关于本手册
（1-4）概述
16
数字输入
12
数字输出
3
频率输入
2
双脉冲输入
4 单脉冲输入
5
可编程脉冲输出
Daniel FloBoss S600
图 1-3 智能 I/O 板
FloBoss S600 包括下列软件特性：
• 编辑批量控制功能：设定一个批量值，通过组态完成批量结束报警和批量 到达报警。
• 最多可以提供 12 个用户定义的周期报告。同时还可提供维护、批处理和瞬 时（即时）报告。气体,液体和标定等应用采用不同的报告格式。报告可以 在本地打印。
• 每个用户都可以从 10 个安全级别中得到一个密码并获得相应的操作权限。
• 在启动过程中进行限流功能，防止出现电流尖脉冲导致过载电流。
• S600 的外壳是由点焊镀锌低碳钢制造的。其电源接线端子内置于外壳的后 面。
Daniel FloBoss S600
vi
2001 年 4 月
Daniel FloBoss S600
概述（1-1）
概述
1.1 关于本手册
本手册介绍了 FloBoss S600 流量计算机（FloBoss S600 ）、IPL 600 软件（用于 向 FloBoss S600 传输应用程序）以及 Config 600 软件（用于开发 FloBoss S600 应用）。本手册介绍了如何安装程序并说明了如何操作该系统，包括输入和修 改数据。同时还提供了基本的维护和故障处理等内容。

2700/1700面板操作一.屏幕显示说明：SELECT——确认键SCROLL ------- 选择键LED ---- 状态指示灯二。

显示器密码：如果需要密码，CODE的字样就会出现在密码屏幕的顶部.输入密码时候，通过使用SCROLL来选择数字，并用SELECT移到下一个字符，一次只好输入一个字符。

如果你面对显示器密码屏幕，却不知道密码，在60秒内不按下任何显示器光敏开关。

则此密码屏幕将自动退回到初始屏幕。

调零步骤:四。

显示器回路测试:TEST <>K。

则试成功》ISe-lectI1-0-CtI ScrollTEST FAIL《测困失例、五. Set MA01Set MA024 mA12 mA20 mASe eelScroll3e eel正码？二＞SelectScrollOFF-LINE SIMSelectScrollScroll1 KMzIDKHzSclent读取接受设餐的输出HPYesSst D01Set D02SelectScrollOHOFP阱I M]读取接克设备的箍出致T回路测试成功女%，人出?狂.停止历具ScrollExh检登回率接线排除输出故慎显示器查看报警：LED指示灯状态及报警查看状态指示灯的状态报警优先级魄色无报警-正常运行模式鼻电闪姆”已改正但尚未信认的状态黄色已偏认的低强度报警黄色闪探⑴未稳认的做强度报警虹笆己碉认的高强度指警红色闪峭'未询认的高强虚报警11）如果报警菜单被禁止，则无沫箱认报警,在这种情况下.状态指示LEim不再闪保工报警按照报警队列中的优先级排列，要查看队列中某指定报警：L同时按下配Ml和Select按钮，当屏幕上出现"EE ALARM'」札松开按钮“ 参阅图7-1.2 .按Select按钮,3 .如果屏幕上交替出现“AGK ALL”时，则按配FQ11按钮，4 .如果屏幕上出现"0 ALARN” ,则到第6步，5,按配ell按钮查看队列中的每个技警.要了解显示帚显示的报警代码的含义请参阅翦1QJ1幸节,6,按Scroll按钮直到解幕上出现“EXIT” ”7.按Select按祗六.管理累积量和库存量:（完整word 版）罗斯蒙特质量流量计操作说明宫动/停止所有累租值和质存量⑵进行酬重副可定翻值出现空位七：测量单位设置：SELECT+SCROLL 按 4 秒 ----- ► SEE ALARM ---- ► [SCROLL] ---- ►OFFLINE MAINTAIN -------- ► [SELECT]- ..... > [SCROLL] ----- ►CONFIG ----- ► [SELECT] ---- ► MASS ------- [SELECT] ------- ►SELECTI 如果有需求.输入密码SELECTSELECT如果有需求，输入密码SELECTSELECT复位！特定累积值⑴深部翻屏直到特定累积值可以按SCROLL选择你要的单位> 选定后按SELECT按SCROLL 直到出现EXIT ----- ► [SELECT]体积单位和密度单位设置和上述步骤相同八量程设置（LRV URV）[SELECT+SCROLL] 按 4 矛秒/ SEE ALARM ------- ► [SCROLL] --- ►OFFLINE MAINTAIN --------- ► [SELECT^ ------ ►继续按SCROLL 直到出现MAO1[SELECT] ----------------------------- k SRC MAO1 ------ k [SELECT]MFLOW ---- ► [SELECT]----- SRC MAO1 ——[SCROLL]4 MAO1 ----- ►输入最小量程------ ►[SCROL L+SELEC T] 4 MAO1 ------- ► [SCROLL] ------ ►——20HMAO1 ----------- ►[SELECT] 输入最大量程------ ►[SELECT+SCROLL]--------------- > 20 MAO1>[SCROLL]EXIT ---- ^ 按SELECT 退出.其他量程设置和上述步骤相同。

质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。

S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。

S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。

其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。

S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。

质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。

执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。

2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。