薄膜瑕疵在线检测系统

晶圆的AOI原理与应用课题简介1. 课题背景近年来，随着半导体产业的发展，晶圆尺寸越来越大，芯片上元器件的数量也不断增加。

为了保证芯片的质量和生产效率，需要对晶圆进行自动光学检测。

AOI （Automated Optical Inspection）技术因其非接触、高效率、高精度等特点，成为晶圆检测的重要手段。

2. AOI的工作原理AOI技术通过使用光学系统和图像处理算法来检测晶圆上的缺陷、瑕疵和异常情况。

其主要步骤如下：•图像获取：AOI系统使用光源照射晶圆表面，然后使用相机或扫描仪等设备，采集晶圆表面的图像。

•图像处理：采集到的图像经过预处理，包括去噪、增强、边缘检测等。

然后，图像被分割成多个小块进行处理，以便更精细地检测缺陷。

•缺陷检测：通过比较采集到的图像和预先设置的模板或标准图像，AOI系统可以识别出晶圆上的缺陷和异常情况。

常见的检测项目包括线宽、缺陷、与设计规则的偏差等。

•结果输出：检测完成后，AOI系统会生成报告，显示晶圆上的缺陷和异常情况，以便操作员进行进一步处理。

3. AOI的应用领域AOI技术在半导体产业中有广泛的应用，主要包括以下方面：•晶圆制造：在晶圆制造的各个阶段，如光刻、薄膜沉积、化学机械抛光等，都需要对晶圆进行检测，以确保生产工艺的质量和稳定性。

•芯片封装：在芯片封装和组装过程中，AOI可以检测封装过程中的焊接、引脚连接等问题，确保封装质量。

•IC表面检测：AOI可以检测芯片表面的划伤、杂质等问题，保证芯片的质量。

•PCB制造：在PCB（Printed Circuit Board）制造过程中，AOI可以检测PCB上线路的连接问题和焊盘的质量，提高产品的可靠性。

4. AOI的优势和局限性AOI作为一种自动化光学检测技术，具有以下优势：•高效率：AOI技术可以对晶圆进行快速检测，大大提高了检测的效率。

•非接触：AOI技术不需要直接接触晶圆，避免了潜在的风险和损坏。

•高精度：AOI技术可以实现对亚微米级别的缺陷进行检测，提高了缺陷的发现率。

PC薄膜防刮伤级PC薄膜、厚度0.1MM-3.0MM片材适用于各种薄膜开关。

* 耐磨、耐用、安全片材适用于汽车仪表、仪器仪表。

* 高度透明PC薄膜、片材，可95％－100％阻挡紫外线，适用于太阳帽、太阳镜。

防刮伤级、通用级PC薄膜、片材适用于各种液晶显示屏。

* 防刮伤；高度透明，无瑕疵。

PC薄膜、片材适用于特种印刷。

* 坚固、高度透明、美观、印刷性能佳。

PC薄膜、片材适用于镀镜、包装等。

产品主要应用于：电脑键盘、主板、电源绝缘、磁盘驱动器绝缘、阻燃部件合成板、汽车工业与电子、电器工业、液晶显示屏以及工业机械零件、镀镜、各种标牌印刷、薄膜开关、铭板、IMD、防护面罩、模型外壳等。

产品完全满足欧盟所提出的RoHS关于四种重金属元素:铅(Pb)、镉(Cd)、汞(Hg)、六价铬(Cr VI), 两种化合物：聚溴联苯(PBB)、聚溴二苯醚(PBDE)不能超出标准含量的要求。

产品聚碳酸酯PC薄膜及片材已于2006年6月再次通过SGS检测，这说明这些产品符合环保要求，符合出口欧美及发达国家的使用标准。

来自屋顶的热气用阳光采集器对太阳能进行利用的又一种概念是由PC 片材组成的空截面，它经常被用于取代屋顶中常见的其它材料（图3）。

热量的分配介质是气体，采光器由玻纤增强表面组成，且被染黑作为吸收层。

该系统可以提供暖气，暖气可用于加热民用水和工业用水，同时也可以向热泵供热。

冷气则从敞开的低位屋顶边缘流出。

太阳热能系统适合于农业和工业干燥装置应用当中，如烟草、干草、谷物、水果、石膏或涂料等。

在利用共挤出的一步式生产中，可以由做了相应处理的PC 粒料经济地制造出空心截面。

与传统太阳热能采集器相比，它们的生产消耗的费用更少，甚至不用铜等昂贵的热导体就能做出。

PC 因其良好的热稳定性、断裂强度和透明度，特别适合应用于这种用途当中。

“聪明的”片材“聪明的”片材以它的功能或性能特色而被改进的，而且低价位的“硬皮”提高了片材表面的机械最大强度，集中于专用防刮涂料。

ISO2411剥离牢度测试方法拥有可靠的机械性能，是包装袋对内装物实施最好保护的基本指标，如果包装袋的机械性能不达标，在使用过程中就很容易发生破损，进而有可能发生内装物泄露的情况。

所以，软包装企业在产品出厂之前会对其各项机械性能进行严格测试，而且还会考核用于软包装生产的几乎所有材料的各项机械性能指标。

然而，许多企业在对包装袋机械性能进行检测时，在项目的选择和标准的应用方面仍存在一些疑惑。

专业软包装制造商顺兴源包装对软包装及塑料薄膜的机械性能及其参照标准进行了系统分析，希望能为你带来一些帮助。

1、剥离强度剥离强度又称为复合强度或复合牢度，主要考察复合膜层与层之间的黏合强度。

复合膜的主要生产方式是干式复合和无溶剂复合，膜间黏合质量的好坏直接影响着复合软包装的强度、阻隔性和使用寿命。

如果黏合强度过低，由其生产的软包装则极易在使用过程中出现层间分离现象，从而产生泄露等问题。

剥离强度的测试标准应参照GB/T 8808-1988《软质复合塑料材料剥离试验方法》。

剥离强度试验试样夹持示，当复合膜层间不能完整剥离或复合层发生断裂时，其剥离强度判为合格，但前提需确保复合膜的拉伸强度符合相关标准要求。

2、热封强度热封强度用于评定薄膜与薄膜或薄膜与其他基材(如铝箔等)进行热封时的质量。

软包装一般采用热压封合的方法进行封装，包装的密封性是否完好，很大程度上取决于热封质量。

在产品保存和运输过程中，若软包装的热封强度太低，可能会导致封口开裂，从而发生泄漏等问题。

热封强度检测试验标准应参照QB/T 2358-1998《塑料薄膜包装袋热合强度试验方法》，该标准适用于各种塑料薄膜包装袋热封强度的测定。

热封强度测试试样形状与尺寸。

3、直角撕裂强度直角撕裂强度一般用来考核塑料薄膜的抗撕裂能力，是指对标准试样施加拉伸负荷，使试样在直角口处撕裂，测定试样的撕裂力。

直角撕裂强度测试的依据是QB/T 1130-1991《塑料直角撕裂性能试验方法》，该标准适用于薄膜、薄片及其他类似的塑料材料。

产品外观瑕疵的判定方法一、外观瑕疵的定义及特点外观瑕疵指产品的外观材料上不影响到产品的功能及性能的缺陷，通常包括产品的伤痕、毛边、脏污、浇口、段差、色差等小缺点。

外观瑕疵的特点：1、非量化很多企业对于外观规格的要求和定义较为模糊。

比如，有的企业定义时：距离30cm以上，普通照明条件下，连续看5sec，不显眼即可……这些表述基本完全无法量化，很难让人理解，而且也无法真正执行。

事实上在这种情况之下，产品的质量行与不行，全在于人的感觉。

2、差异性对于外观的瑕疵，不同的人会因性别、性格、年龄、受教育程度、年龄差异、生活习惯、生活水平的差异而不同，因而即使面对同样的瑕疵得出的结论也不同。

一般而言，就性别来说，女性更注重细微之处；就性格来说宽容者更容易接受瑕疵，就年龄来说，小孩子几乎不问瑕疵如何；就受教育程度来看，教育程度越高，越有可能将外观的瑕疵当作问题；就生活习惯差异来看，有规律者对细微处要求较高，比较不容易接受瑕疵；就生活水平来看，人的生活水平越高，对瑕疵要求越高。

3、变化性随着时间的向后推移，事物发生了某种量变或质变。

对外观瑕疵而言，包含了两种含义。

（1）一般一样产品在供不应求时，可能人们对于外观瑕疵的存在不会太介意；但是如果供大于求时，则消费者对于外观瑕疵的要求要严格。

（2）随着产品保管环境的变化，有的产品的外观瑕疵本身的量和质都发生了变化，如生锈严重、油污扩大、颜色减淡、裂纹加深等等。

4、潜在性有时有些质量问题看上去是表面上的外观瑕疵，但是可能是由于原材料本身有问题，或是加工的过程中的一些重要问题被掩盖了。

比如整体粘度不足、印油局部脱落、局部位置配合间隙偏大等，表面上的外观瑕疵问题，实际上是质量问题。

5、价格差价位越高的产品，客户对其外观的要求也越高。

几千元的家电与几元钱一把的订书机，在外观上的要求肯定是截然不同的。

因此，外观瑕疵的判定不应该等同于性能和功能缺陷，它有其特殊的地方，我们不能够仅凭自己的意愿或产品的表角就作出简单的判定。

基于自适应BP算法的CNC自动光学检测系统的研究与应用摘要:传统的检测方式,已无法应用于现代轻、薄、短、小产品且需快速精密检测的要求,本论文利用机械结构系统、自动控制系统以及视觉检测系统组成自动光学检测设备,熟悉精密测量设备特性、制作过程,进而将设计的原理与方法结合在实务当中,在利用此设备对实际工件做检测,包含了图像处理、尺寸测量、文字辨识及薄膜厚度检测。

关键词:自适应BP算法CNC自动光学检测系统近几年来国内新兴高科技产业蓬勃发展,对于精密测量系统的需求急速扩增,其中又以自动光学检测(AOI)方式为势不可挡的技术潮流。

AOI技术领域非常广泛,我国IC产业的蓬勃发展,近几年来随着上游半导体晶元厂产能扩充,使得下游的相关产业加速成长,封装材料中的导线架(Leadframe)产业也由先前几乎仰赖进口供应的状况,至目前已有相当比例由国内厂家供应,成长幅度更是惊人。

因此,利用光学方式取得导线架成品的表面状态,以图像处理来检出异物或图案异常等瑕疵,因为是非接触式检查,所以可在中间工程检查半成品。

半导体芯片和手机的线路愈做愈小,零件也比头发细,已经不可能再用肉眼去检验产品是否合格。

因此,业界必须使用一种比一般数码相机反应更快的工业用数码相机(CCD Camera)提取到黑白影像(灰阶影像),以计算机的分析取代人脑的判断,来决定产品是否合格。

在IC 及一般电子业上急需使用AOI设备,而人为因素仍然对评估有很大影响,因此自动光学检测设备是未来的趋势,可节省成本、提升正确率等优点。

1 自适应BP算法的实现模式BP网络为监督式学习中最为典型之网络模式,在其被提出后,许多研究者根据此模式发展出相关模式,而本研究采用其相同之演算机制。

BP网络系利用最小陡降法为收敛机制调整网络神经元之链接权重及其阈值,直到网络收敛在某一程度,并以二次之能量函数(Energy function)作为收敛之程度之判定如下式所示:其中：wij为两处理单元间的链接加权值；η为学习速率(learning rate),用以决定每次修正网络链接加权值的幅度,学习速率愈大,网络加权值修正量愈大,越能快速到达能量最低点,但也有可能因修正幅度太大而跳过能量最低点,而使得网络无法收敛。

规定了饮料公司产品包装用热收缩膜的质量要求及检验方法。

2.适用范围适用于热收缩膜的进厂检验、贮存要求与质量判定。

3.职责品控部负责热收缩膜质量标准的起草、修订、对包装材料进行检验，并监督该标准的有效实施。

4.参考引用标准GB 12904 商品条码零售商品编码与条码表示GB/T 13519 包装用聚乙烯热收缩薄膜GB/T 18348 商品条码符号印刷质量的检验GB/T 22771 印刷技术印刷品与印刷油墨用滤光氙弧灯评定耐光性GB/T 23887食品包装容器及材料生产企业通用良好操作规范5.要求5.1基本要求5.1.1首次正常供货前、生产过程中更换原辅材料型号(或调整工艺)且对产品质量存在隐患的,应验证合格后,才能正常供货;5.1.2每次送货时:应提供每批产品的出厂检验报告,其内容应至少包括但不限于以下方面:外观、印刷(有印刷时)、条码质量(有印刷条码时)、尺寸、拉伸强度、断裂标称应变、直角撕裂强度、收缩率、重量或长度等项目；5.1.3供应商出货应遵循先进先出的原则;5.1.4生产批号:同一供应商、同一原材料、同一工艺、同一条生产线、同一天生产的同品种、同规格的产品为一批;5.2 质量要求5.2.1热缩膜应满足以下要求:a)标签用原材料及其包装材料等应符合国家规定的产品质量要求(含卫生等安全要求);b)聚乙烯热收缩薄膜生产加工过程的卫生要求应符合GB/T 23887规定。

5.2.2热收缩膜质量验收要求应符合表1规定。

表1 包装用热收缩膜验收标准（使用时）5.3 检验5.3.1进厂检验项目为外观、条码、卫生、重量、尺寸、工艺试验、跌落试验。

5.3.2来料检验报告书应包括外观、重量、尺寸等项目。

5.3.3由供应商每年度提供一次合格外检报告。

5.4试验方法5.4.1抽样规则:以同一生产商、同一天、同一规格到货为一批作为单位、随机分布及涉及面广为原则,抽样时,从供检的每一卷膜最外层先截去3m,然后取足够长度(lm)进行外观、厚度和宽度的检验。

简述薄膜包衣操作过程概述薄膜包衣是一种在制药、化妆品等行业中常用的包装技术，通过在药片或颗粒状产品外层涂覆一层薄膜，以提高药物的稳定性、改善溶解性和控制药物释放速度等。

本文将详细介绍薄膜包衣操作的过程。

薄膜包衣操作步骤1. 药片准备1.准备需要包衣的药片，并确保其表面光滑、无毛刺及杂质。

2.将药片按照需要的数量进行分类和标记，以方便后续操作。

2. 包衣材料准备1.根据药片的性质和应用要求，选择合适的薄膜材料。

常用的薄膜材料包括羟丙基甲基纤维素（HPMC）、聚乙烯醇（PVA）等。

2.将薄膜材料切割成适当大小的片剂，以便涂覆到药片表面。

3. 薄膜包衣工艺1.薄膜涂布：将薄膜片剂平铺在工作台上，然后将药片逐一放置在薄膜上。

使用手套、无尘布或棉花棒等工具，轻轻按压薄膜，使其覆盖在药片表面，确保较好的粘附。

2.干燥处理：将涂有薄膜的药片放置在通风良好的干燥区域，让其自然晾干。

时间长度根据药片的要求而异，通常需要几分钟到几个小时。

3.补涂处理：如果薄膜的覆盖不均匀或存在瑕疵，可以进行补涂处理。

将薄膜材料重新切割成小片剂，按照上述涂布步骤进行补涂。

4.热处理：对于需要通过加热来固化薄膜的情况，可以使用热风、红外线照射等方式进行热处理。

这有助于提高薄膜的附着力和溶解性。

4. 包衣质检1.外观检查：对包衣后的药片进行外观检查，包括颜色、光泽、形状等方面，以确认包衣的质量是否符合要求。

2.厚度测量：使用厚度测量仪对包衣药片进行测量，以确保薄膜的厚度在可接受范围内。

3.遗漏检查：检查是否有漏斗、气泡等问题。

可以将药片投入水中观察是否有气泡产生，以判断是否存在孔隙。

4.部署受理：将合格的包衣药片进行分类、包装，并标记相关信息。

小结薄膜包衣是一项关键的制药技术，可以提高药片的质量和性能。

它需要经过药片准备、包衣材料准备、薄膜包衣工艺、包衣质检等多个步骤。

每个步骤都需要严格控制和操作，以确保包衣的质量和稳定性。

只有这样，才能生产出优质的薄膜包衣药片。

覆膜砂检测标准(一)覆膜砂检测标准背景介绍•覆膜砂是指在水泥砂浆表面加上一层薄膜，也称为涂面砂浆。

•覆膜砂的使用可以提高砂浆的防水性和装饰性，但因其与基层之间存在一体不良的粘结或覆膜过薄等情况，可能会导致覆膜砂脱落等问题。

检测标准•覆膜砂的检测应按照《建筑装饰涂料质量检验规程》（GB／T 9755）的相关规定进行。

•检测的主要内容包括评定覆膜质量、覆膜的黏结强度和覆膜的厚度。

•覆膜砂的质量应符合以下标准：1.覆膜砂表面应平整，没有明显的裂纹、起泡、嵌袋、鼓泡等现象。

2.覆膜的颜色、色调和亮度应与标准色卡相符。

3.覆膜砂饰面应匀称、美观。

•覆膜砂的黏结强度应符合以下标准：1.幂制格网试验：在试样表面描画一套间距为5mm的正方形图案，然后在此基础上画一个5mm的连续圆周，试样表面应呈现出一套5mm高的阶梯状图案。

2.膜剥强度试验：覆膜砂与基层分离的力矩应大于2N·m。

•覆膜砂的厚度应符合以下标准：1.用测厚仪在覆膜砂的不同部位各测5个点，然后计算平均值。

2.覆膜砂的厚度应符合产品标准的要求。

结论•按照上述标准对覆膜砂进行检测，可有效降低覆膜砂脱落等问题的发生率。

•企业在生产覆膜砂时应根据检测结果及时对生产过程进行调整，以提高产品质量。

检测方法•评定覆膜质量：检测人员应观察覆膜砂的表面是否平整，有没有裂纹、起泡、鼓泡等瑕疵。

还需比较覆膜砂的颜色、色调和亮度与标准色卡是否相符，以及饰面是否均匀、美观。

•检测黏结强度：幂制格网试验和膜剥强度试验是两种常用的检测黏结强度的方法。

–幂制格网试验：将一套间距为5mm的正方形图案描画在覆膜砂的一侧，然后在此基础上画一条5mm的连续圆周。

最终试样表面应呈现阶梯状的5mm高图案，以达到合格标准。

–膜剥强度试验：将试样固定在底板上，然后施加一定的拉力，记录膜剥离的力值。

如果力矩值大于2N·m，那么该试样的黏结强度符合标准。

•检测覆膜厚度：使用测厚仪在覆膜砂的不同部分各测量5个点，然后计算平均值，使其符合产品标准的要求。