杜炳鑫06031113 高能束流加工技术简析(可编辑)
- 格式:doc
- 大小:39.50 KB
- 文档页数:16
加速器中高质量束流的产生与控制加速器是用于将带电粒子加速到高能状态的设备。
在实验设备中,高能束流是非常关键的,因为它们提供了研究当今物理学的许多基础问题所需的高质量粒子束。
然而,要实现高质量束流仍然是一个重要的挑战。
本文将探讨在加速器中产生和控制高质量束流的方法和技术。
一、束流的定义束流指的是一堆粒子(电子、质子、重离子等等)以特定的速度和方向进行聚集所形成的流。
在加速器物理中,束流往往是由加速器中的电子鼓动所产生的。
束流的特性与产生它们的加速器、发射源和聚焦元件有关。
二、束流中质量的重要性高质量束流对于大多数实验室来说都是非常重要的,因为它们可以提供几个方面的优势,如:更高的粒子聚焦度、更好的粒子束跟踪能力、更小的束流周围环境扰动、更高的研究信噪比等等。
因此,高质量束流的生产和控制一直是加速器物理中的核心问题之一。
三、产生高质量束流的技术和方法实现高质量束流的两个基本步骤是产生和聚焦。
对于加速器,产生高质量束流往往是通过以下手段来实现的。
1.电子枪电子枪是利用金属极板上的光电效应来产生极低能量的电子。
这些电子可以在一定程度上被加速,并进一步聚焦到束流中。
电子枪的另一项优点是它们可以精确控制束流的时间结构,使这些束流高重复率的应用也得以实现。
2.离子注入离子源通常使用电离器,或者能够通过激光或加热获得离子的其他方法。
这些离子聚焦到束流中时它们必须与电子枪不同程度的电子束混合,因此同时也控制着初步束流的横向和纵向尺寸。
3.加速器关井加速器关井,也称之为“关井斗”或“束扇”,在加速器系统中的作用是让束流压缩或支持高质量束流的切片。
加速器关井通常是由金属几何设计得到的井形结构,然后通过电压梯度进行加速。
这些关井被定位在加速器的固定位置,以适当实现后续的聚焦和切出。
四、束流聚焦技术束流聚焦技术是实现高质量束流的另一项目标。
在此处,需要特定的元件用于维持束流的横向和纵向度。
两种类型的聚焦器——电子光学和磁学——被广泛地应用于加速器中。
国外高能束流加工技术的发展概况集团公司文件内部编码:(TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-国外高能束流加工技术的发展概况高能束流加工技术是当今制造技术发展的前沿领域,是武器装备研制中不可缺少的特种加工技术。
高能束流加工技术是利用以光量子、电子、等离子体为能量载体的高能量密度束流对材料和构件进行加工。
它是一个典型的多学科交叉领域,研究内容极为丰富,涉及光学、电学、热力学、冶金学、金属物理、流体力学、材料科学、真空学、机械设计和自动控制以及计算机技术等多种学科。
它的主要技术领域有激光束加工技术、电子束加工技术、离子束及等离子体加工技术以及高能束流复合加工技术等。
一、国外高能束流加工技术的发展概况美、日及西欧的发达国家在七八十年代就将高能束流加工技术做为先进制造技术的重要组成部分列入相应的工业发展计划,并先后成立了相应的开发研究机构。
日本大阪大学、德国阿亨大学的焊接研究所、英国焊接研究所、法国焊接研究所以及乌克兰巴顿焊接研究所等均有高能束流加工研究中心。
通过对上述研究中心的考察及资料研究,可看出高能束流加工技术在未来的发展趋势。
(一)电子束加工技术电子束加工技术的主要应用是电子束焊(EBW),经过30多年的发展,现已成为较成熟的技术,处于平稳发展、扩大应用阶段。
目前的研究工作集中在焊缝实时跟踪、电子束加热温度场计算机模拟计算、大功率二极枪的研究(间热式阴极、高压放电保护)、电子束能量密度测试、电子束焊接专家系统等方面,在应用研究方面,主要是对大气条件下电子束焊接的设备和工艺的研究以及电子束焊接大厚件的研究。
另外在电子束加工设备开发中,采用了体积更小的高压电源,并采用当代先进的计算机控制以及工业电视监控等技术,使商品化的EBW 设备外形更美观,操作更方便。
电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在航空发动机制造业日益受到重视。
俄罗斯、乌克兰等国先后把该技术用于航空发动机叶片的热障涂层以及叶片的制造、金属材料的制备等方面。
瞄准航空制造需求聚焦高能束流加工——走进高能束流加工技术国家级重点实验室佚名【期刊名称】《《航空制造技术》》【年(卷),期】2019(062)014【总页数】2页(P88-89)【正文语种】中文重要进展与课题任务(1)开展激光双光束焊接技术研究,突破了双光束激光焊接焊缝成形与缺陷控制、焊接过程稳定性与质量一致性控制、大尺寸复杂壁板结构应力变形控制等关键技术,保证了壁板内纵横交错的长桁、隔框的“净尺寸”连接,焊后变形量小于0.5mm,在国内首次实现了双光束焊接技术在飞机机体结构上的应用。
此技术的突破与应用,不仅增加了有效接合率,提高了结构强度,而且结构减重可达16%。
技术达到国际先进水平。
(2)在国内率先研发了电子束熔丝成形技术,建立了电子束熔丝增材制造技术成形功率、速度等关键成形参数与堆积形貌特征参量之间关系的数学模型;开发出具有自主知识产权的电子束增材制造近净成形工艺装备样机,最大稳定成形速度5kg/h。
根据强韧化理论研究成果,开发了900MPa、930MPa、960MPa、1000MPa、1050MPa、1100MPa 系列强度级别合金的性能调控技术体系,实现了钛合金结构力学性能调控。
(3)高质量高效率超短脉冲激光制孔技术研究。
该项技术主要针对我国现代高性能航空发动机对高质量、高效率气膜冷却小孔加工技术的迫切需求,尤其是热障涂层在发动机热端部件应用中先涂层后制孔的发展趋势,结合窄脉冲激光器,尤其是皮秒、飞秒等超短脉冲激光器技术的最新成果,开展高质量高效率超短脉冲激光制孔技术研究。
通过研究实现了纳秒脉冲激光高质量加工涡轮叶片气膜孔;实现了超短脉冲激光在表面制备热障涂层的高温合金材料上加工小孔无热致缺陷;突破了薄壁结构大倾角(>80°)和大长径比(>20)空间分布密集小孔加工技术。
研究成果为叶片气膜孔激光高质量加工提供了新的技术途径。
近年来,实验室共承担国家任务、国防任务等各类课题135 项。
高能束流焊接技术研究论文高能束流焊接的功率密度(PowerDensity)达到105W/cm2以上。
束流由单一的电子、光子、电子和离子或二种以上的粒子组合而成。
属于高功率密度的热源有:等离子弧、电子束、激光束及复合热源激光束+Arc(TIG、MIG、Plasma)。
当前高能束流焊接被关注的主要领域是:①高能束流设备的大型化—功率大型化及可加工零件(乃至零件集成)的大型化。
②新型设备的研制,诸如,脉冲工作方式以及短波长激光器等。
③设备的智能化以及加工的柔性化。
④束流品质的提高及诊断。
⑤束流、工件、工艺介质相互作用机制的研究。
⑥束流的复合。
⑦新材料的焊接。
⑧应用领域的扩展。
1、激光焊接的最新进展1.1新型激光器(1)直流板条式(DCSlab)CO2激光器、(2)二极管泵浦的YAG 激光器、(3)CO激光器、(4)半导体激光器、(5)准分子激光器。
1.2激光器功率的大型化、脉冲方式以及高质量的光束模式以美国PRC公司为例,几年前,用于切割的CO2激光器功率主要是1500~2000W,而近期的主导产品是4000~6000W,6000W可切割的不锈钢厚度、碳钢厚度分别为35mm和40mm.1.3设备的智能化及加工的柔性化尤其是对YAG激光,由于可用光纤传输,给加工带来了极大的方便。
其主要特点是:①一机多用。
②采用一台激光机可进行多工位(可达6个)加工。
③光纤长度最长可达60m.④开放式的控制接口。
⑤具有远距离诊断功能。
1.4束流的复合最主要的是激光-电弧复合。
深熔焊接时,熔池上方产生等离子体,复合加工时,激光产生的等离子体有利于电弧的稳定;复合加工可提高加工效率;可提高焊接性差的材料诸如铝合金、双相钢等的焊接性;可增加焊接的稳定性和可靠性;通常,激光加丝焊是很敏感的,通过与电弧的复合,则变的容易而可靠。
激光-电弧复合主要是激光与TIG、Plasma以及GMA.通过激光与电弧的相互影响,可克服每一种方法自身的不足,进而产生良好的复合效应。
高能束流加工技术的课程改革与实践随着科学技术的进步,高能束流加工技术在工业制造和科学研究中起着越来越重要的作用。
在高能束流加工技术领域,曾经意味着高昂的成本和高度专业的培训,然而现在,企业和研究机构通常都能够拥有这种技术,而且培训课程也已经成为普及的趋势。
本文将介绍高能束流加工技术的课程改革与实践。
高能束流加工技术是指利用高能的束流作用于材料表面或内部,以通过吸收和散射来加工和改变材料性质的一种技术。
该技术通过束流中的快速电子束、离子束、等离子束、激光束等加工工具,使材料表面或内部受到高能束的撞击和热作用,从而在材料表面或内部形成微细的结构变化,使材料表面或内部的性能得到改善。
目前,高能束流加工技术在航空、航天、汽车、机械、新材料等领域得到了广泛的应用。
例如,在生产过程中,可以利用高能束加工技术来制造出高强度、高硬度、高耐磨性和高精度的各种零部件,从而提高生产效率和产品质量。
在科学研究方面,高能束流加工技术可以用于研究物质结构和材料性质等领域。
为了提高高能束流加工技术的实践应用和推广,许多大专院校及相关机构开始开展相关的引导课程和实验室培训,适应当前工业制造和科学研究的需求,培养高能束流加工技术产业推广和应用研发的专门人才。
在高能束流加工技术的课程改革和实践方面,主要的工作重点包括:教材体系改革、师资队伍建设、实践教学方法创新等。
在教材体系改革方面,需要将工学、理论学型统一起来,建立起完整的高能束流加工技术科学体系。
在师资队伍建设方面,需要针对实际需求培养具有较强实践和经验的骨干教师。
在实践教学方法创新方面,需要引入各种现代化教育手段和技术手段,通过实践模拟的方式进行学习和练习,建立“学生主体、教师导师”的教育模式。
在高能束流加工技术的实践课程中,主要包括实验课、工程实践课、毕业实习等不同的学习方式。
实验课和工程实践课主要是基于高能束流加工技术的理论和实际操作,通过引导学生参与实验项目以获取更真实的实践操作经验。
国外高能束流加工技术的发展概况随着制造业的快速发展,高能束流加工技术作为一种新型的加工工艺,逐渐受到了广泛的关注。
这种技术能够对任意形状、材质的工件进行高精度、无损伤的加工处理,被广泛应用于航空、航天、军工等领域。
本文将从国外的角度,简单介绍高能束流加工技术的发展概况。
高能束流加工技术的分类高能束流加工技术主要分为电子束加工、激光束加工和离子束加工三种类型。
电子束加工是利用电子加速器加速电子,形成高速电子束,然后通过一系列的磁透镜进行聚焦,将电子束集中在被加工的材料表面,使其瞬间蒸发或转化成等离子体,从而实现对材料的加工。
激光束加工是利用高能量、高光束质量的激光束,对被加工材料进行熔化、气化、消融和蒸馏等一系列物理化学反应,从而实现对材料的加工处理。
离子束加工是利用离子加速器将高能量离子束加速到极高速度,形成一条细束,在经过几次退火和淬火处理后,达到与材料界面的接触,并将材料表面的原子进行瞬间弹射、溅射,从而完成对材料表面的加工。
国外高能束流加工技术的发展高能束流加工技术源于上世纪50年代初期,当时主要是以电子束加工为主,但由于该工艺的限制和不稳定性,导致其无法得到广泛应用。
20世纪70年代中期,随着激光技术和计算机技术的发展,激光束加工逐渐成为了高能束流加工技术的主流技术。
至今,各种高能束流加工技术都得到了很大的发展。
在欧洲,德国是高能束流加工技术的领头羊。
在该领域的研究上,德国的大学和研究机构与企业合作得非常密切,他们采用多技术的交叉整合,推动了高能束流加工技术往更高端技术、更高加工精度和更复杂结构的方向发展。
在美国,高能束流加工技术从上世纪70年代开始进入快速发展时期,该领域的科研机构林立,如美国能源部、航空航天局和国防部等机构的高能束流加工实验室,致力于开发新型材料、新型加工工艺和高性能部件的制造。
在亚洲地区,日本是高能束流加工技术的开发最为活跃和成熟的国家之一。
日本工程院通过多年的技术积累和合作研发,成功研制了一系列高能束流加工设备,并将其应用于航空、航天、医疗等领域。
杜炳鑫06031113 高能束流加工技术简析(可编辑)杜炳鑫06031113 高能束流加工技术简析高能束流加工技术简析高能束流加工技术简析1 .1 高能束流加工技术简介1 .1 高能束流加工技术简介1 2 高能束流加工技术分类1 2 高能束流加工技术分类1 3 高能束流加工技术横向详解1 3 高能束流加工技术横向详解1 4 高能束流加工技术纵向浅解1 4 高能束流加工技术纵向浅解1 5 尾语1 5 尾语1 .1 高能束流加工技术简介1 .1 高能束流加工技术简介高能束流加工技术是当今制造技术发展的前沿领域,高能束流加工技术是当今制造技术发展的前沿领域, 是武器装备研制中不可缺少的特种加工技术。
高能是武器装备研制中不可缺少的特种加工技术。
高能束流加工技术是利用以光量子、电子、等离子体为束流加工技术是利用以光量子、电子、等离子体为能量载体的高能量密度束流对材料和构件进行加工。
能量载体的高能量密度束流对材料和构件进行加工。
它是一个典型的多学科交叉领域,研究内容极为丰它是一个典型的多学科交叉领域,研究内容极为丰富,涉及光学、电学、热力学、冶金学、金属物理、富,涉及光学、电学、热力学、冶金学、金属物理、流体力学、材料科学、真空学、机械设计和自动控流体力学、材料科学、真空学、机械设计和自动控制以及计算机技术等多种学科。
back制以及计算机技术等多种学科。
back 1.2 高能束流加工技术分类1.2 高能束流加工技术分类从横向看高能束流加工技术包括激光束加工从横向看高能束流加工技术包括激光束加工技术、电子束加工技术、离子束及等离子体技术、电子束加工技术、离子束及等离子体加工技术以及高能束流复合加工技术等。
从加工技术以及高能束流复合加工技术等。
从纵向看高能束流加工技术包括高能束流焊接、纵向看高能束流加工技术包括高能束流焊接、高能束流切割、高能束流打孔、高能束流热高能束流切割、高能束流打孔、高能束流热处理等领域。
杜炳鑫06031113 高能束流加工技术简析(可编辑)杜炳鑫06031113 高能束流加工技术简析高能束流加工技术简析高能束流加工技术简析1 .1 高能束流加工技术简介1 .1 高能束流加工技术简介1 2 高能束流加工技术分类1 2 高能束流加工技术分类1 3 高能束流加工技术横向详解1 3 高能束流加工技术横向详解1 4 高能束流加工技术纵向浅解1 4 高能束流加工技术纵向浅解1 5 尾语1 5 尾语1 .1 高能束流加工技术简介1 .1 高能束流加工技术简介高能束流加工技术是当今制造技术发展的前沿领域,高能束流加工技术是当今制造技术发展的前沿领域, 是武器装备研制中不可缺少的特种加工技术。
高能是武器装备研制中不可缺少的特种加工技术。
高能束流加工技术是利用以光量子、电子、等离子体为束流加工技术是利用以光量子、电子、等离子体为能量载体的高能量密度束流对材料和构件进行加工。
能量载体的高能量密度束流对材料和构件进行加工。
它是一个典型的多学科交叉领域,研究内容极为丰它是一个典型的多学科交叉领域,研究内容极为丰富,涉及光学、电学、热力学、冶金学、金属物理、富,涉及光学、电学、热力学、冶金学、金属物理、流体力学、材料科学、真空学、机械设计和自动控流体力学、材料科学、真空学、机械设计和自动控制以及计算机技术等多种学科。
back制以及计算机技术等多种学科。
back 1.2 高能束流加工技术分类1.2 高能束流加工技术分类从横向看高能束流加工技术包括激光束加工从横向看高能束流加工技术包括激光束加工技术、电子束加工技术、离子束及等离子体技术、电子束加工技术、离子束及等离子体加工技术以及高能束流复合加工技术等。
从加工技术以及高能束流复合加工技术等。
从纵向看高能束流加工技术包括高能束流焊接、纵向看高能束流加工技术包括高能束流焊接、高能束流切割、高能束流打孔、高能束流热高能束流切割、高能束流打孔、高能束流热处理等领域。
此外随着科技的进步 , 高能束处理等领域。
此外随着科技的进步 , 高能束流加工在抛光等方面也有应用。
back流加工在抛光等方面也有应用。
back1.3 高能束流加工技术横向详解1.3 高能束流加工技术横向详解1.3.1 激光加工? 1.3.1 激光加工? 1.3.2 电子束加工1.3.2 电子束加工1.3.3 离子束加工 1.3.3 离子束加工 1.3.4 高能束流加工技术最新进展 1.3.4 高能束流加工技术最新进展 1.3.1 激光加工1.3.1 激光加工激光加工是利用光能经透镜聚焦以极高激光加工是利用光能经透镜聚焦以极高的能量密度靠光热效应加工各种材料的的能量密度靠光热效应加工各种材料的一种新工艺(简称LBM )。
一种新工艺(简称LBM )。
1.3.1.1 激光加工的原理 1.3.1.1 激光加工的原理激光是一束相同频率、相同方向和严格位相关系的激光是一束相同频率、相同方向和严格位相关系的高强度平行单色光。
由于光束的发散角通常不超过高强度平行单色光。
由于光束的发散角通常不超过 0.1? ,因此在理论上可聚焦到直径为光波波长尺寸 0.1? ,因此在理论上可聚焦到直径为光波波长尺寸相近的焦点上,焦点处的能量密度可达108 ~ 相近的焦点上,焦点处的能量密度可达108 ~ 1010W/cm2 ,温度可高达摄氏1 万度,从而使任何 1010W/cm2 ,温度可高达摄氏1 万度,从而使任何材料均在瞬时(<10 -3s )被急剧熔化乃至汽化, 材料均在瞬时(<10 -3s )被急剧熔化乃至汽化, 并产生强烈的冲击波被喷发出去,从而达到切除材并产生强烈的冲击波被喷发出去,从而达到切除材料的目的。
料的目的。
常用的激光器按激活介质的种类可分为固体激光常用的激光器按激活介质的种类可分为固体激光器和气体激光器。
如图8-6 为固体激光器结构示意图器和气体激光器。
如图8-6 为固体激光器结构示意图固体激光器结构示意图1? 全反射镜 2? 工作物质 3? 玻璃套管4? 部分反射镜 5? 聚光镜 6? 氙灯 7? 电源1.3.1.2. 激光加工的特点和应用1.3.1.2. 激光加工的特点和应用 1 )由于激光加工的功率密度高,几乎可以加工1 )由于激光加工的功率密度高,几乎可以加工任何材料;任何材料;2 )激光束可调焦到微米级,其输出功率可以调2 )激光束可调焦到微米级,其输出功率可以调节,因此,激光可用于精细加工;节,因此,激光可用于精细加工;3 )激光属非接触式加工,无明显机械切削力,3 )激光属非接触式加工,无明显机械切削力,因而具有无工具损耗、加工速度快、热影响区小、因而具有无工具损耗、加工速度快、热影响区小、热变形和加工变形小,易实现自动化等优点;热变形和加工变形小,易实现自动化等优点;4 )能透过透视窗孔对隔离室或真空室内的零件4 )能透过透视窗孔对隔离室或真空室内的零件进行加工。
进行加工。
1.3.2 电子束加工1.3.2 电子束加工利用高功率密度的电子束冲击工件利用高功率密度的电子束冲击工件时所产生的热能使材料熔化、气化时所产生的热能使材料熔化、气化的特种加工方法, 简称为EBM 。
电的特种加工方法, 简称为EBM 。
电子束加工是由德国的科学家K.H. 施子束加工是由德国的科学家K.H. 施泰格瓦尔特于1948 年发明的。
泰格瓦尔特于1948 年发明的。
1.3.2.1 电子束加工的加工原理1.3.2.1 电子束加工的加工原理? 电子束加工的基本原理是:在真空中从灼热的灯丝电子束加工的基本原理是:在真空中从灼热的灯丝阴极发射出的电子, 在高电压30 ~200 千伏作用下阴极发射出的电子, 在高电压30 ~200 千伏作用下被加速到很高的速度,通过电磁透镜会聚成一束高被加速到很高的速度,通过电磁透镜会聚成一束高功率密度的电子束。
当冲击到工件时,电子束的动功率密度的电子束。
当冲击到工件时,电子束的动能立即转变成为热能,产生出极高的温度,足以使能立即转变成为热能,产生出极高的温度,足以使任何材料瞬时熔化、气化,从而可进行焊接、穿孔、任何材料瞬时熔化、气化,从而可进行焊接、穿孔、刻槽和切割等加工。
由于电子束和气体分子碰撞时刻槽和切割等加工。
由于电子束和气体分子碰撞时会产生能量损失和散射,因此,加工一般在真空中会产生能量损失和散射,因此,加工一般在真空中进行进行. 电子束加工原理图1? 电源及控制系统 2? 抽真空系统 3? 电子枪系统4? 聚焦系统 5? 电子束 6? 工件 1.3.2.2 电子束加工的特点和应用1.3.2.2 电子束加工的特点和应用? 电子束加工的主要特点是: ? 电子束能聚焦成很小的斑点电子束加工的主要特点是: ?电子束能聚焦成很小的斑点直径一般为 0.01 ~0.05 毫米 ,适合于加工微小的圆孔、异直径一般为 0.01 ~0.05 毫米 ,适合于加工微小的圆孔、异形孔或槽; ?功率密度高, 能加工高熔点和难加工材料如钨、形孔或槽; ? 功率密度高, 能加工高熔点和难加工材料如钨、钼、不锈钢、金刚石、蓝宝石、水晶、玻璃、钼、不锈钢、金刚石、蓝宝石、水晶、玻璃、陶瓷和半导体陶瓷和半导体材料等; ? 无机械接触作用,无工具损耗问题; ?加工速度材料等;? 无机械接触作用,无工具损耗问题; ?加工速度快, 如在0.1 毫米厚的不锈钢板上穿微小孔每秒可达3000 个, 切快, 如在0.1 毫米厚的不锈钢板上穿微小孔每秒可达3000 个, 切割1 毫米厚的钢板速度可达240 毫米/分。
主要缺点是: ? 由割1 毫米厚的钢板速度可达240 毫米/分。
主要缺点是: ?由于使用高电压,会产生较强 X 射线,必须采取相应的安全措于使用高电压,会产生较强 X 射线,必须采取相应的安全措施;?需要在真空装置中进行加工; ?设备造价高等。
电子施;?需要在真空装置中进行加工;?设备造价高等。
电子束加工广泛用于焊接(见电子束焊),其次是薄材料的穿孔束加工广泛用于焊接(见电子束焊),其次是薄材料的穿孔和切割。
穿孔直径一般为0.03 ~1.0 毫米, 最小孔径可达和切割。
穿孔直径一般为0.03 ~1.0 毫米, 最小孔径可达0.002 毫米。
切割0.2 毫米厚的硅片,切缝仅为0.04 毫米,因 0.002 毫米。
切割0.2 毫米厚的硅片,切缝仅为0.04 毫米,因而可节省材料。
而可节省材料。
1.3.3 离子束加工1.3.3 离子束加工1.3.3.1 离子束加工原理和特点1.3.3.1 离子束加工原理和特点离子束加工的物理基础是 , 当离子束打击离子束加工的物理基础是 , 当离子束打击到材料表面上 , 会产生所谓撞击效应、溅射到材料表面上 , 会产生所谓撞击效应、溅射效应和注入效应 , 从而达到不同的加工目的。
效应和注入效应 , 从而达到不同的加工目的。
离子束加工装置中的主要系统是离子源 ,离子束加工装置中的主要系统是离子源 ,如图8-8 是其中一种 , 称为考夫曼型离子源。
如图8-8 是其中一种 , 称为考夫曼型离子源。
考夫曼型离子源1? 真空抽气口 2? 灯丝 3? 惰性气体注入口4? 电磁线圈 5? 离子束流6? 工件 7? 阴极 8? 引出电极 9? 阳极 10?电离室1.3.3.2 离子束加工应用1.3.3.2 离子束加工应用1 ) 刻蚀加工 ;1 ) 刻蚀加工 ;2 ) 镀膜加工 ;2 ) 镀膜加工 ;3 ) 离子注入加工。
3 ) 离子注入加工。
1.3.4 高能束流加工技术最新进展1.3.4 高能束流加工技术最新进展1.3.4.1 电子束加工技术最新进展1.3.4.1 电子束加工技术最新进展1.3.4.2 激光加工技术最新进展1.3.4.2 激光加工技术最新进展1.3.4.3 等离子加工技术最新进展1.3.4.3 等离子加工技术最新进展1.3.4.1 电子束加工技术最新进展1.3.4.1 电子束加工技术最新进展电子束加工技术的主要应用是电子束焊EBW ,经过30 多年电子束加工技术的主要应用是电子束焊EBW ,经过30 多年的发展,现已成为较成熟的技术,处于平稳发展、扩大应用的发展,现已成为较成熟的技术,处于平稳发展、扩大应用阶段。
目前的研究工作集中在焊缝实时跟踪、电子束加热温阶段。
目前的研究工作集中在焊缝实时跟踪、电子束加热温度场计算机模拟计算、大功率二极枪的研究度场计算机模拟计算、大功率二极枪的研究间热式阴极、间热式阴极、高压放电保护高压放电保护、电子束能量密度测试、电子束焊接专家系、电子束能量密度测试、电子束焊接专家系统等方面,在应用研究方面,主要是对大气条件下电子束焊统等方面,在应用研究方面,主要是对大气条件下电子束焊接的设备和工艺的研究以及电子束焊接大厚件的研究。