FM 7-7安全规范
- 格式：doc
- 大小：362.50 KB
- 文档页数：82
FM DATA SHEET 7-7 半导体制造厂相关设备（update）※ 1.”Factory Mutual Research Approached”以下简称为”经FM核准”※ 2.”Listed”代表经登录之产品1.0范围本篇损害防阻数据包含一般半导体制造流程及其危害。
2.1结构2.1.1厂址选择2.1.1.1洁净室及相关附属设备(如subfab，电力设施，废弃物设施，化学品设施等)应避免下列暴露：a.避免来自洁净室区域内其它区域的暴露，在洁净室建筑的区域内应无其它用途之区域；b.天灾(包括暴风、地层事故、寒冷天气、冰雹、洪水等)；c.厂内或厂外的火源，包括邻近区域、外部建筑、闪电、大火等；d.由管线或设备造成的液体危害，如排水系统或液体输送系统；e.通风设备的进气入口附近是否有污染物。
2.1.1.2洁净室及及相关附属设备厂址的选择最好在具有高度的位置上，避免因涨潮或排水系统倒灌而造成地下层损失的可能。
2.1.2洁净室结构2.1.2.1洁净室应与其它邻近地区隔开，或者对于原本的危害威胁有一小时的抵抗时间(1-hour rated~)，但介于洁净室与邻近区域之间的airshower(入口处)除外(应为不可燃材质)；有窗户的走廊或墙亦应为不可燃材质；当邻近区域的危害大于原有区域的危害时，邻近区域应安排于另一独立建筑。
2.1.2.2洁净室内部隔间的材质应为不可燃材质，并能避免烟(smoke)及熏烟(fume)等污染物扩散，黄光区(photolithography)及邻近区域间、生产区之间、湿式蚀刻与邻近区域之间应由天花板到地板作完全区隔。
2.1.2.3装修楼地板及墙的材料应与洁净室一样，同为不可燃材质，或经FM核准或FM特殊测试合格，适用于洁净室的材质。
2.1.2.4设计洁净室与洁净室下层(subfab)的区隔楼板应为坚固的不可燃材料，其穿透处(penetration)应该以可耐火一小时经FM核准的防火填塞材料(fire stop materials)进行填塞。
2.1.2.5任何耐火墙之楼板穿透处应使用经FM核准的防火填塞材料进行填塞。
2.2.1.6应计划并每半年检查楼板穿透处的防火填塞情形，而所有隔间(板)也要检查，防火门应每年测试，MFL墙则每半年测试。
2.2.1.7使用于新设洁净室内的HEPA(High Efficiency Particulate Air，对于0.3 m以上的微粒有99.97%之去除效率)及UEPA(Ultra-highEfficiency Particulate Air，对于0.3 m以上的微粒有99.999%之去除效率)module应为经FM核准。
2.2.1.8滤材(filter housing)、百叶窗与天花板应为不可燃材质或经FM核准或FM特殊测试合格者。
2.2.1.9洁净室屋顶的结构：a.防火：如强化混凝土或钢骨结构。
b.不可燃材质：于钢骨结构上增加混凝土及钢板强化。
c.符合Class I（可燃性隔板用钢板保护）可燃性气体等级。
而可燃性结构，包括石膏板(gypsum，具一小时耐火时效)并不建议使用。
2.1.2.10屋顶的材质应为FM核准，对于暴风、排水、冰雹、下雨及下雪等有保护能力。
2.1.2.11不属于洁净室内的设备及化学品区不可设置于洁净室上方(见2.5.17 Liquid damage exposure)。
楼层应该有良好排水设施，防止水或污染物由楼板上方造成的液体泄漏，如HVAC设备之排水。
2.1.2.12空调风扇设备内用来封住声音的内衬材质应为不可燃材质或经FM核准/测试合格者。
2.1.2.13在洁净室的管线及附件，应该将液体泄漏的灾害缩减到最小，例如循环系统(re-circulation air handlers)、排水管(drains)及其它管路。
2.1.2.14新设计的洁净室或进行改建的既存洁净室若有特殊危害暴露仍应考良其危害。
一个完整的损害防阻计划应依据FM data sheet 1.0Safeguards during construction alternation and demolition所述。
2.2设施2.2.1洁净室的空调系统(air handling system)2.2.1.1每个生产区(fabrication area)的回风系统(return air system)不应与建筑物的其它空调系统连接。
2.2.1.2进气设备(makeup air，以下简称OAC)的进气口应该避开污染源，以避免在洁净室内扩散，而且应避免与scrubber或排烟/污染物系统(smoke/contaminated control system，以下简称S/C)直接连通。
当邻近区域的烟/熏烟而可能成为潜在污染源时，设计OAC系统应考虑并计算之。
2.2.1.3a在OAC单元、回风单元(recirculating air handler unit，AHU)或空调设备中下游(downstream)应设置经FM核准之侦烟系统连续监测，并依据警报关闭AHU，以避免污染空气持续循环。
2.2.1.3b对于回风区filter，FM尚无可以认证及测试的标准及方法，目前只有UL900可供使用，因此有关filter的规格应符合UL900。
2.2.1.4回风路径应设置经FM认证之空气采样器及侦烟系统(linear beamsmoke detection system)，当生产区的S/C与空调系统为同一套，则这些侦测器应可与节气阀(damper)连锁，并可依据警报切断循环空气，进而转向排出洁净室，侦测器应进行连续监测。
2.2.1.5 OAC风扇的紧急手动开关应设置于洁净室外。
2.2.1.6于循环空气系统及洁净室filter间(ie. Elephant trunks)之空调进气的导管应为金属材质。
2.2.1.7每个空调风扇或零件应该至少安装一套备品(n+1)，包括建筑物的OAC，垂直层流风扇(vertical laminar flow，VLF)，及不同的排气系统(scrubbed sys.，general sys.，VOC sys.，calamity exhaust等)。
2.2.1.8空调设备应透过自动切换开关(automatic transfer switch)连接紧急电源以保持洁净室正压，避免常用电力中断。
2.2.1.9 VLF风扇之电力供应应至少有两个来源，各自供应约一半的区域，如此当某一电源失效或MCC(motor control centers)失效时，气流仍可送至每一处。
2.2.2洁净室的排烟/污染物的控制系统2.2.2.1于火灾及化学品泄漏等状况发生时，洁净室应有移除烟及污染物的控制系统，以减少扩散区域。
2.2.2.2洁净室内专用的S/C应与侦烟系统连锁并受其引发。
例外1.参照表一，S/C可用来作熏烟排气系统的情形如下：当熏烟排气系统之材质经由FM核准，并且无防火节气阀(fire damper)及阻碍物(interrupter)时；或当排气系统材质为不可燃，且无防火节气阀(fire damper)及阻碍物(interrupter)时(如图一及图二)。
例外2.参照表一，当洁净室的空气会经由导管回流到RCF时，S/C可与洁净室之空调系统整合。
2.2.2.3于洁净室外显明易见的地方设置S/C的次要(secondary)手动开关。
2.2.2.4当生产区已使用service aisle(公用设施信道)当作回风信道时，使用导管系统较好。
2.2.2.5 S/C应有良好设计，以确定于操作及功能测试时不会干扰空调系统。
表1 生产区烟雾/污染物控制之安排(配合图1~7)管路材质：Type 1：无内衬之含铁金属Type 2：经FM核准，不需加装自动洒水系统、防火节气阀(damper)或其它阻断装置之熏烟排除系统及烟雾控制系统材质2.2.2.6新厂建造完成时，应就S/C最末端处做完整的功能测试，包括S/C的侦测系统，S/C风扇及damper等，可用SF6等气体作追踪气体测试空调系统。
2.2.2.7 S/C应每年测试一次，包括侦测系统、控制系统、风扇及damper等。
2.2.3熏烟排除系统（fume exhaust systems）2.2.3.1新建厂房之排气可能产生有腐蚀性物质时，要使用经FM核准，无防火节气阀或其它阻断装置之熏烟/烟排气系统(fume/smoke exhaustduct sys.，以下简称F/S)。
2.2.3.2经FM核准之管路材质不可用来排除液态物质。
2.2.3.3当排管低处可能沉积目标物时，应设有排管以排除之。
2.2.3.4所有经FM核准之导管要依制造商的施工方法接合。
2.2.3.5对于以前存在而非经FM核准认可使用的设备：a.所有PVC、PP(polypropylene)与可燃材质的软管应以FM核准之F/S系统取代。
在热环境下，未经FM核准之物质可能会损坏或失效。
另外，燃烧PVC时会产生腐蚀性熏烟。
如果改善有困难，应依照FM data sheet 7-78工业排气系统(industry exhaust sys.)加装自动洒水系统进行保护。
b.口径6 in(150 mm)（含）以上非金属材质的导管，于内部应装自动洒水系统保护，其设计安装请参阅DATA SHEET 7-78。
c.口径6 in(150 mm)以下非金属材质的导管应做更换。
2.2.3.6排气中若不含腐蚀性成分(如热排气或一般排气)，则既存之导管或设备可使用不可燃材质(如无内衬的含铁金属)或经FM核准之导管。
a.有机溶剂的排气应使用不可燃材质的导管。
2.2.3.7经FM核准产品之外表面不可擅自油漆或涂覆物质，除非该产品有明确指示。
2.2.3.8熏烟排除系统应该连接紧急电源，且当紧急电源操作时，排气量不少于正常状态的50%。
2.2.4电力系统2.2.4.1建立新厂之前，应由合格的工程顾问公司指导以进行”稳定、可信赖的电力来源”研究，此研究应着眼于主要设备的数量、使用时间等，以确保10年间的稳定供应；2.2.4.2半导体厂与电力供应设备厂应建立密切关系，并确保有多重电力供应源。
若无法达到此目的，如一些电力缺乏的城市，则应有自身的发电设备，该设备应有完整的维护与测试计划；2.2.4.3对于输入电力之电力供应设施，应有calibration power disturbanceanalyster确保电力供应质量，监测仪器及参数应合理而可接受。
变电所(站)（substations）2.2.4.4设施的主要变电站应至少有两条绝缘之电力传输线(来自不同的变电站)提供电力。
变电站之间有良好绝缘(electrically isolated)，以免相互影响而失效(图6)。
这些输电线应由不同方向连接不同电极。
