第十二章 硅和锗的化学制备优秀课件
- 格式:ppt
- 大小:866.00 KB
- 文档页数:43


锗和硅反应温度
锗和硅是两种常见的半导体材料,它们在电子工业中具有重要的应用价值。本文将从锗和硅反应温度这一话题展开,介绍锗和硅的特性以及它们在不同温度下的反应情况。
锗是一种化学元素,其化学符号为Ge,原子序数为32。它是一种灰色的金属loid,具有良好的导电性和热导性能。锗在常温下是稳定的,但在高温下会发生与其他物质的反应。
硅是另一种常见的化学元素,其化学符号为Si,原子序数为14。硅是地壳中含量最丰富的元素之一,具有良好的导电性和热导性能。硅在常温下也是稳定的,但在高温下会发生与其他物质的反应。
锗和硅都属于半导体材料,具有带隙能带结构。在室温下,锗和硅的带隙能带分别为0.67电子伏特和1.12电子伏特。带隙能带是指材料中电子的能量状态,影响着材料的导电性能。锗和硅的带隙能带结构使它们具有半导体特性,即在特定条件下可以导电或绝缘。
锗和硅在高温下会发生与氧气的反应,生成相应的氧化物。锗与氧气反应生成锗氧化物(GeO2),而硅与氧气反应生成二氧化硅(SiO2)。这些氧化物在半导体工业中有着广泛的应用,例如用作绝缘层、薄膜和介质等。
锗和硅的反应温度与氧气的浓度、反应时间等因素有关。一般来说,锗和硅在较高温度下更容易与氧气反应。例如,锗和氧气在800摄氏度左右的温度下反应较为剧烈,生成大量的锗氧化物。而硅和氧气的反应温度则更高一些,需要达到约1000摄氏度才能进行。
在半导体工业中,锗和硅的反应温度是非常重要的参数。高温反应可以使锗和硅与氧气充分反应,形成致密的氧化物层,提高器件的绝缘性能和稳定性。此外,在制备半导体材料和器件过程中,锗和硅的反应温度也会影响到材料的结晶性、晶界和缺陷等特性。
锗和硅是常见的半导体材料,在高温下与氧气发生反应,生成相应的氧化物。锗和硅的反应温度取决于多种因素,包括氧气浓度、反应时间等。在半导体工业中,锗和硅的反应温度对于材料的性能和制备过程有着重要的影响。通过合理控制反应温度,可以获得理想的半导体材料和器件。
鲁科版高中化学必修第一册《1、硅 无机非金属材》优质课公开课课件、教案
第4章元素与材料世界
第1节 硅 无机非金属材料
一、【教学目标】
(一)、知识与技能
1、了解硅和二氧化硅在自然界中的物理性质和存在,用途。
2、掌握硅和二氧化硅的化学性质。
(二)、过程与方法
1、自主学习,培养学生自学能力。
2、活动探究,通过硅与碳、二氧化硅与二氧化碳的比较,培养学生的归纳能力、比较能力。
(三)、情感、态度与价值观
1、培养学生学习元素化合物的正确方法:结构决定性质、性质决定用途。
2、通过对硅及其用途的学习使学生热爱自然、热爱化学。
3、联系生产生活及新科技,学以致用,培养学生对化学学习的兴趣。
二、【教学重点】 1、硅和二氧化硅的物理、化学性质
2、硅和二氧化硅的特殊性质
三、【教学难点】 硅和二氧化硅的性质、结构
四、 【教学准备】
1.查阅相关资料,常见半导体材料有哪些?硅有哪些主要用途? 2.光导纤维的主要成分是什么?光通信比普通电缆通信有哪些优点?光纤除用于通信外,还可用于哪些领域?
3.查阅有关资料,说明消防员穿的棉布衣服为什么比普通棉布衣服不易着火燃烧?
五、【学法指导】
学习从不同的角度出发对常见材料进行分类的方法,能根据同一类别不同物质的性质归纳出该类物质的通性,并能运用通性简单预测其他物质的性质。
六、【教学过程】
第1课时 硅和二氧化硅
一、半导体材料和单质硅
导入新课:
计算机的芯片,传导电话、电视的光缆,化学实验室里的玻璃仪器,你能想像的
出它们都是以硅或硅的化合物为材料制成的吗?
质疑:除了以硅酸盐为主要成分的传统无机非金属材料外,你还知道其他无机非金属材料吗?自然界中的岩石、沙子、土壤是由什么构成?
1. 存在
硅元素在自然界中全部以化合态 存在,硅元素在地壳中的含量居第 二 位,仅次于 氧 。最早使用的半导体材料
1 第一章 硅的基本性质
硅属元素周期表第三周期ⅣA族,原子序数l4,原子量28.085。硅原子的电子排布为1s22s22p63s23p2,原子价主要为4价,其次为2价,因而硅的化合物有二价化合物和四价化合物,四价化合物比较稳定。地球上硅的丰度为25.8%。硅在自然界的同位素及其所占的比例分别为:28Si为92.23%,29Si为4.67%,30Si为3.10%。硅晶体中原子以共价键结合,并具有正四面体晶体学特征。在常压下,硅晶体具有金刚石型结构,晶格常数a=0.5430nm,加压至l5GPa,则变为面心立方型,a=0.6636nm。
硅是最重要的元素半导体,是电子工业的基础材料,它的许多重要的物理化学性质,如表1.1
所示。
表1.1 硅的物理化学性质(300K)[4,6] 性 质 符号 单位 硅(Si)
原子序数
原子量或分子量
原子密度或分子密度
晶体结构
品格常数
熔 点
熔化热
蒸发热
比热
热导率(固/液)
线胀系数
沸点
密度(固/液)
临界温度
临界压强
硬度(摩氏/努氏)
弹性常数
表面张力
延展性
折射率
体积压缩系数 Z
M
a
Tm
L
cP
K
ρ
Tc
Pc
γ
n 个/cm3①
A
℃
kJ/g
kJ/g
J/(g·K)
W/(m·K)
1/K
℃
g/cm3
℃
MPa
N/cm
mN/m
m2/N 14
28.085
5.00×1022
金刚石型
5.43
1420
1.8
16(熔点)
0.7
150(300K)/46.84(熔点)
2.6×10-6
2355
2.329/2.533
4886
53.6
6.5/950
C11:16.704×106
C12:6.523 ×106
C44:7.957×106
736(熔点)
脆性
3.87
0.98×l0-11
①本书中关于分子、原子、离子密度、浓度的单位简写为cm-3或cm-2。
2
第二章 硅和硅片制备
硅是用来制造芯片的主要半导体材料,也是半导体产业中最重要的材料。锗是第一个用做半导体的材料,它很快被硅取代了,这主要有四个原因:
1) 硅的丰裕度: 硅是地球上第二丰富的元素,占到地壳成分的25%,经合理加工,硅能够提纯到半导体制造所需的足够高的纯度而消耗更低的成本。
2) 更高的熔化温度允许更宽的工艺容限: 硅1412℃的熔点远高于锗937℃的熔点,使得硅可以承受高温工艺。
3) 更宽的工作温度范围: 用硅制造的半导体元件可以用于比锗更宽的温度范围。
4) 氧化硅的自然生成: 硅表面有自然生长氧化硅(SiO2)的能力。SiO2是一种高质量、稳定的电绝缘材料,而且能充当优质的化学阻挡层以保护硅不受外部沾污。
现在,全世界芯片的85%以上都是由硅来制造的。
2.1 半导体级硅
用来做芯片的高纯硅被称为半导体级硅(semiconductor-grade silicon), 或者SGS,有时也被称做电子级硅。从天然硅中获得生产半导体器件所需纯度的SGS要分几步。现介绍一种得到SGS的主要方法:
第一步,在还原气体环境中,通过加热含碳的硅石(SiO2),一种纯沙,来生产冶金级硅。
SiC(固体)+SiO2(固体)→ Si(液体)+SiO(气体)+CO(气体)
在反应式右边所得到的冶金级硅的纯度有98%。由于冶金级硅的沾污程度相当高,所以它对半导体制造没有任何用处。
第二步,将冶金级硅压碎并通过化学反应生成含硅的三氯硅烷气体。
Si(固体)+3HCl(气体)→ SiHCl3(气体)+H2(气体)+加热
第三步,含硅的三氯硅烷气体经过再一次化学过程并用氢气还原制备出纯度为99.9999999%的半导体级硅。
2SiHCl3(气体)+2H2(气体)→ 2Si(固体)+6HCl(气体)
这种生产纯SGS的工艺称为西门子工艺。(图2.1)半导体级硅具有半导体制造要求的超高纯度,它包含少于百万分之(ppm)二的碳元素和少于十亿分之(ppb)一的Ⅲ、Ⅴ族元素(主要的掺杂元素)。然而用西门子工艺生产的硅没有按照希望的晶体顺序排列原子,所以也不能用在半导体制造中。