第四章的高速电子束轰击样品表射线波谱仪或能谱仪检测从试样表面有限深度和侧向扩展的微区体积内产生的特征μ m3电子探针仪的镜筒构造和扫描电镜大体相似，扫描电扫描电镜电子束相对于样品表面的入入射电子束流强度较低，一-12A，能使入射电子束斑直径小于10-5~10-13A。
为屏蔽系数。
Z为原子序数射线强度与该元素在样品中的浓度成比例射线的入射角固定，对样品进行微区扫描，即可得到某一元素的线分布或面射线谱仪用的波谱仪有多旋转式波谱仪用磨制的弯晶(分光晶体)，将光源(电子束在样品上的照射点)发射出的射线束会聚在X射线探测器的接收狭缝处。
通过将弯晶沿聚焦圆转动来改变角的大小，探测器也随着在聚焦圆上作同步运动。
光源、弯晶反射面和接收狭缝始终落在聚焦圆的圆周上。
图4.73 旋转式波谱仪，则出射较为ϕ2的透路程较长，其强度较低，计算时须增加修正系数，比较直进式波谱仪它的特点是x射线出射角 固定不变。
弥补了旋转式波谱仪的缺点。
因此虽然结构上比较复杂，但它是目前常用的一种谱仪。
弯晶在某一方向上作直线运动并转动，探测器也随着运动。
聚焦圆半径不变，圆心在以光源为中心的圆周上运动，光源、弯晶和接收狭缝也都始终落在聚焦圆的圆周上。
图4.74 直进式波谱仪存在着简单的线性关系。
因此，只要读出谱仪上的20~223.5~11.913.724~4024~3737~6551~92检测器将所有波长(能量射线光子几乎同时接收进来，每一能量为E的为产生一对电子空穴对所需要的能量=3.8eV)检测器将它们接收后经过数据能谱仪示意图图4.75 能谱仪电子束流小，束斑尺寸小，对样品的污染作用小，；而波谱仪大分钟内完成元素定性全分析能谱仪工作时，不需要象波谱仪那样聚焦，因而不（波谱仪可达~ U921000；（图护费用高，用超纯锗探测器虽无此缺点，但其分辨能谱仪与波谱仪的比较(b) 波谱仪(a)能谱仪 (b)图4.81 角闪石定点元素全分析I-λ记录曲线样品表面须具有良好的导电性。
