集成制造系统优秀课件

CMOS工艺
适用广泛，消耗低功率，集成 度高
光刻和电子束刻蚀工 艺
芯片制造中影响巨大，直接决 定芯片精度和质量
IC封装技术
通过引线焊接连接芯片与外部 电路
集成电路制造工艺的未来发展方向
量子计算机
利用量子位的并行性，比传统计 算机更快速、更准确
纳米技术
更加精细的芯片制造和量子效应 的应用
3D打印
高质量、低成本的芯片制造和量 产
1 革命性
集成电路是现代科技的基础。无集成电路，无现代智能设备。
2 市场需求
集成电路产业是信息产业的核心，随着通讯和计算机的快速发展，需求量将节节攀升
集成电路制造工艺的发展历程
1
早期阶段
简单的扩散工艺和光刻工艺，可制造简单
集成度提高
2
的逻辑门和模拟器件
计算机辅助设计、离子注入、金属蒸镀等
新技术的应用，集成度不断提高
《集成电路制造工艺》 PPT课件
课程介绍：本课程将深入浅出地介绍集成电路制造的核心流程和未来发展方 向。欢迎大家学习！
什么是集成电路？
定义
集成电路是由数百万个微小电子元器件组成的电子 电路系统，它可以完成特定的功能。
历史
集成电路的起源可以追溯到20世纪60年代，它是计 算机和通讯技术的重要基础。
为什么集成电路制造工艺如此重要？
3
现代集成电路工艺
光刻、浸没/化学机械抛光、等离子刻蚀 等高级技术的应用，如今我们拥有极复杂 的芯片设计和制造工艺。
集成电路制造工艺的工作流程
芯片设计
设计加工工艺，布图加工
芯片构造
渗透、离子注入、扩散、腐蚀
芯片掩膜制作制作掩Fra bibliotek板、晶圆复制封装测试

信息化总体解决方案
方案交流
信息化建设的总体需求
企业决策层
经营管理层
生产执行层
过程控制层
利用综合信息，分析企业动态 制订各种绩效考核指标，随时分析差距，科学决策，保证企业健康发展
规范经营管理、降低成本和费用，创造盈利空间 掌握企业外部环境，如供应和产品销售信息，为决策层提供信息
制订优化的生产计划，科学调度生产 及时、准确的物料平衡计算，跟踪物流、跟踪每日生产成本动态 提高企业日常生产精细化管理水平
数据集中，信息安全
传统IT平台
数据可被用户自由存取
云平台
数据集中管控
数据安全
多种安全措施，保证数据安全 网络传输加密 数据加密 接入认证安全 防病毒
自动调度，节能减排
APP1
APP2
APP3
APP4
APP2
APP3
APP4
APP1
APP1
APP2
APP3
APP4
APP1
APP2
APP3
APP4
夜晚：自动节能减排
白天：监控资源负载情况，自动负载均衡
基于负载策略
基于时间策略
智能化、自动化资源调度: 白天，基于负载策略进行资源监控，自动负载均衡，实现高效热管理 夜晚，基于时间策略进行负载整合，将不需要的服务器关机，最大限度降低耗电量
降温去噪，绿色办公
说明： 1分贝是人类耳朵刚能听到的声音；20分贝以下的声音，我们可以认为他是安静；20—40分贝大约是在耳边喃喃细语；40—60分贝属于我们正常的交谈；60分贝以上就属于吵闹范围了
内部网络与外部网络之间的网络安全系统。一项信息安全的防护系统，依照特定的规则，允许或是限制传输的数据通过。

制造过程 绿色化率(%) (前一年度)
(目标要求:比基期提高20
个百分点 以上，如从20% 提高到40%)
绿色制造资源环 境影 响度(%)
(前一年度)
(目标要求:比基期下降15 个百分点 或低于90%，如 从110%下降到95%)
绿色设 计平台 建设
**参考 工业和 信息化
申报方 绿向色关
键工艺 联突合破体
成立 省市级 评审 工信部 评定
绿色供
应链系 统构建
省市 级
推送 通名过单 名公单示 公示
指标
基期值
预期值
制造技术 绿色化率(%)
(前一年度，基期值 不为零，新建项目 应参考 行业平均水 平，下同)
(目标要求:比基期提高20 个百分点 或达到90%以上) 注:上述两项目标达一即可， 下同
专业化绿色制造服务机构 绿色制造市
场化推进机
制基本形成
• 行业出台100项绿色设计产 品评价标准; 10-20项绿色工 厂标准; 建立绿色园区、绿 色供应链标准
绿色制造相
关的标准体
系和评价体
系基本建成
发布绿色制 造第三方评 价实施规则、 • 遴选一批第三方评价机构; 程序
制定第三方评价机构管理 办法
通知》
(工信厅节
函〔2016〕586号)
• 绿色工厂; • 绿色园区; • 绿色设计产品; • 绿色供应链 ；
《财政部工业和信
息化部关于组织开展 绿色制 造系统集成工 作的通知》
(财建 [2016]797号)
• 绿色设计平台建设; • 绿色关键工艺突破; • 绿色供应链系统构建；
• 逐步建立集信息交流传递、 示范案例宣传等为一体的 线上绿色制造公共服务平 台; 培育一批具有特色的

图形制备
图形制备是指在晶圆表面涂覆一层光 刻胶，然后通过光刻技术将电路图形 转移到光刻胶上，为后续的掺杂、刻 蚀等工艺做准备。
这一阶段需要确保电路图形的精度和 一致性，以实现集成电路的微细化和 小型化。
薄膜制备
薄膜制备是指在晶圆表面沉积一层或 多层薄膜材料，以实现电路元件之间 的隔离和连接等功能。
06 集成电路制造工 艺未来展望
新材料的应用
硅基材料的突破
随着集成电路制造工艺的不断进步， 硅基材料的应用将得到进一步优化， 以提高集成电路的性能和稳定性。
新型材料的探索
科研人员正在积极探索新型材料，如 氮化镓、碳化硅等，这些材料具有更 高的电子迁移率和耐高温特性，有望 在未来取代硅基材料。
新技术的研发
硅片的规格和型号有多种，根 据不同的应用需求选用合适的 硅片。
掩模版
01
掩模版是集成电路制造中的关键 材料之一，用于定义芯片上的图 形。
02
掩模版通常由石英或玻璃材料制 成，表面镀有金属薄膜。
掩模版的精度和稳定性直接影响 到集成电路的性能和良品率。
03
在制造掩模版时，需要采用高精 度的光刻和刻蚀技术，确保图形
这一阶段还需要对制造过程中的各种问题和故障进行预测和 预防，以确保制造过程的稳定性和可靠性。
晶圆制备
晶圆制备是集成电路制造的重要环节之一，主要是通过切 割、研磨、抛光等工艺手段将原材料硅锭加工成可用于制 造集成电路的晶圆。
这一阶段需要控制晶圆的表面质量和尺寸精度，以确保后 续制造工艺的稳定性和可靠性。
金属材料
01
金属材料在集成电路制造中扮演着重要的角色，用于制造引脚、电极 、互连线等。
02
常用的金属材料包括金、银、铜、铝等，具有导电性能好、延展性好 、焊接性能优良等特点。

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集成电路的发展
• 从此IC经历了：
– SSI – MSI – LSI
• 现已进入到：
– VLSI – ULSI – GSI
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小规模集成电路(Small Scale IC，SSI) 中规模集成电路(Medium Scale IC，MSI) 大规模集成电路(Large Scale IC，LSI)
减小特征尺寸是提高集成度、改进器件性能的关键。特征尺 寸的减小主要取决于光刻技术的改进。集成电路的特征尺寸 向深亚微米发展，目前的规模化生产是0.18μm、0.13μm 工艺， Intel目前将大部分芯片生产制程转换到0.09 μm 。
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2. 晶片直径(Wafer Diameter)
• 中芯国际集成电路制造有限公司 • 上海华虹(集团)有限公司 • 华润微电子(控股)有限公司 • 无锡海力士意法半导体有限公司 • 和舰科技(苏州)有限公司 • 首钢日电电子有限公司 • 上海先进半导体制造有限公司 • 台积电(上海)有限公司 • 上海宏力半导体制造有限公司 • 吉林华微电子股份有限公司
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❖Intel 公司CPU—386TM
电路规模：275,000个晶体管 生产工艺：1.5um 最快速度：33MHz
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❖Intel 公司最新一代CPU—Pentium® 4
电路规模：4千2百万个晶体管
生产工艺：0.13um
可编辑课件PPT 最快速度：2.4GHz
wafers are in a 13 wafer Teflon cassette co-designed by Process Specialties

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•计算机集成制造技术（CIMT）第三讲 柔性制造系统 （FMS）
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•计算机集成制造技术（CIMT）第三讲 柔性制造系统 （FMS）
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•计算机集成制造技术（CIMT）第三讲 柔性制造系统 （FMS）

它旨在提高企业运营效率、降低 成本、增强企业竞争力。
系统集成项目涉及多个领域和专 业知识，如信息技术、业务流程
重组、项目管理等。
项目背景和目的
随着制造业的快速发展，制造业对环境的影响日益严重。
为了应对这一挑战，绿色制造成为制造业发展的必然趋势。
绿色制造系统集成项目旨在将绿色制造理念和技术应用于制造业，提高资源利用效 率，减少环境污染，促进可持续发展。
以创新为驱动，例如3D打印技术、智能制 造技术等。
系统集成项目的关键技术
系统工程技术
包括系统分析、设计、优化、 实施和管理等技术，是实现绿
色制造系统集成的基础。
物联网技术
通过物联网技术可以实现制造 过程的实时监控和数据采集， 为后续的数据分析和优化提供 基础。
云计算技术
通过云计算可以将大量的数据 存储在云端，方便数据的分析 和处理。
绿色制造系统集成项目课件
目 录
• 绿色制造系统集成项目概述 • 绿色制造系统集成项目的技术原理 • 绿色制造系统集成项目的实施过程 • 绿色制造系统集成项目的应用场景与效果 • 绿色制造系统集成项目的挑战与对策 • 绿色制造系统集成项目的未来发展趋势
01 绿色制造系统集成项目概 述
绿色制造的概念
02 绿色制造系统集成项目的 技术原理
绿色制造技术分类
资源节约型技术
能源节约型技术
这类技术以减少制造过程对资源消耗和环 境影响为主要目标，例如绿色供应链管理 、节能环保的制造设备等。
重点在减少能源消耗，例如能源高效的制 造设备、余热回收技术等。
循环利用型技术
创新型绿色制造技术
主要涉及再利用和回收制造过程中产生的 废弃物，例如再制造、废弃物资源化等。

ERP在MRP-Ⅱ原有功能的基础上，向内、 外两个方向延伸，
向内主张以精益生产方式改造企业生产管理系 统，
向外则增加战略决策功能和供需链管理能力。
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ERP的五个基本功能
生产规划系统 物料管理系统 财务会计系统 销售、分销系统 企业情报系统
四个扩展模块
SCM（供应链管理） CRM(客户关系管理) SFA（销售自动化） EC(电子商务)
工程设计、管理信息系统等各子系统的集成。 企业与企业间的网络化，实现企业间的资源共享、组合与优
化利用。 通过网络，实现异地制造。 基于Internet/Intranet的制造已成为重要的发展趋势
制造虚拟化 制造虚拟化主要指虚拟制造，又称拟实制造。 虚拟制造(Virtual manufacturing) 将现实制造环境及
ERP打破了MRP-Ⅱ只局限于传统制造 业的旧的观念和格局，把触角伸向各个 行业，特别是金融业、通信业、高科技 产业、零售业等。ERP的应用范围大大 扩展了。
①供应链 ②子系统
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ERP系统的结构
ERP的基本构架和基本逻辑与MRP-Ⅱ并没 有本质的不同。ERP从功能上看仍是以制 造过程为中心，其核心是MRP，它体现了 制造业的通用模式。
制造绿色化
绿色制造是一个综合考虑环境影响和资源效率的现代制 造模式，其目标是使得产品从设计、制造、包装、运输 、使用到报废处理的整个产品生命周期中，对环境的影 响(负作用)最小，资源效率最高。绿色制造是可持续发 展战略在制造业中的体现，或者说绿色制造是现代制造 业的可持续发展模式。
21
2.3 企业管理与电子商务系统
24
企业MIS的基本结构
25
ERP系统

实 施
到客户现场？
监
控
国内采购
用户场地环
通知单
境确认表
3.5 多方位监控项目实施
所有项目目前
三 、
我该出面 协调
状况如何？公 司应收款？
有无 风险
我的项目 实施情况
如何？
集
成
项
上级领导
何时启动国
目
内采购？
销售人员
实 施
领导请看合同 进程简表，有
何时工程师 进场？
监
无潜在风险？
控
老兄请看反馈 表，有无潜在
成会议纪要
作好计 划！！！
工作范围 时间分析 费用分析 资源分析 沟通分析 风险分析
以往项目分析
项目计划 机房环境要求 启动国内采购
2.2.3 项目策划组织_商务运作
国内采购
二
通知书
、
集
成
设备状态跟
项
踪
目
实
施
项目协调会
流
通报设备状态
程
沟通
及时分析项目风险
商务：
清关 运输 错漏处理 突发事件
2.3 项目实施
• 日常沟通
目
• 项目会议
成
功
• 项目报告
实
• 项目文件
施
关
键
因
素
•沟通形式
*书面 *口头
•沟通方式
*电话 *留言 *电子邮件 *信函 *备忘录 *会议 *记要
4.4 培养优秀的项目经理
四 、
• 项目沟通的作用
集
成 项
促使团队形成合力,工作更加有效
目
成
功
实
施
关