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PLC操作规程一、引言PLC（可编程逻辑控制器）是一种广泛应用于工业自动化领域的控制设备，它能够根据预先编写好的程序实现对工业过程的自动控制。
为了确保PLC的正常运行和操作，制定PLC操作规程是非常必要的。
本文将详细介绍PLC操作规程的内容和要求。
二、PLC操作规程的目的PLC操作规程的目的是确保PLC系统的安全可靠运行，保护设备和人员的安全，提高生产效率和产品质量。
同时，PLC操作规程还有助于规范操作流程，减少人为错误和操作失误，提高工作效率。
三、PLC操作规程的内容1. PLC系统的启动与关闭a. 启动PLC系统前，应先检查电源和接地路线是否正常连接，确保设备的电源稳定。
b. 启动PLC系统时，按照正确的操作顺序打开电源开关和PLC控制器开关，并等待系统自检完成。
c. 关闭PLC系统时，应先住手所有运行的程序，并按照正确的操作顺序关闭PLC控制器开关和电源开关。
2. PLC程序的编辑与修改a. PLC程序的编辑和修改应由经过相应培训的操作人员进行，确保其具备足够的技术知识和经验。
b. 在编辑和修改PLC程序之前，应先备份原有程序，以防止操作失误导致数据丢失。
c. 编辑和修改PLC程序时，应遵循编程规范和标准，确保程序的逻辑正确性和可读性。
3. PLC程序的上传与下载a. 在上传PLC程序之前，应先备份原有程序，以防止操作失误导致数据丢失。
b. 上传PLC程序时，应使用合适的软件和通信协议，确保数据传输的稳定和可靠。
c. 下载PLC程序时，应先进行程序校验，确保程序的完整性和正确性。
4. PLC系统的监控与调试a. 在PLC系统运行期间，应定期监控其运行状态，包括输入输出信号、程序执行情况等。
b. 如发现异常情况，应及时记录并进行故障排查，确保系统的正常运行。
c. 在调试PLC系统时，应先制定详细的调试计划和步骤，遵循安全操作规程，防止意外事故的发生。
5. PLC系统的维护与保养a. 定期对PLC系统进行维护和保养，包括清洁设备、检查电源路线、紧固连接件等。
PLC操作规程一、引言PLC（可编程逻辑控制器）是一种常见的自动化控制设备，广泛应用于工业生产中。
为了确保PLC的正常运行和操作安全，制定PLC操作规程是非常必要的。
本文将详细介绍PLC操作规程的内容和要求。
二、操作人员资格要求1. 操作人员应具备相关的电气、自动化或者机械专业知识，并接受过相应的培训。
2. 操作人员应熟悉PLC的基本原理、功能和操作方法，并了解PLC系统的组成和工作流程。
3. 操作人员应具备一定的电气安全意识，能够正确使用相关的安全设备和工具。
三、PLC操作准备1. 操作人员在进行PLC操作前，应先检查PLC设备的运行状态，确保设备正常工作。
2. 操作人员应按照操作规程的要求，佩戴个人防护装备，如安全帽、防护眼镜和防护手套等。
3. 操作人员应确保PLC设备周围的工作环境整洁、干燥，并远离易燃、易爆物品。
四、PLC操作步骤1. 打开PLC设备的电源开关，并观察设备的指示灯是否正常亮起。
2. 使用合适的编程软件连接到PLC设备，并进行必要的参数设置和程序编写。
3. 检查PLC设备的输入和输出模块是否正确连接，并确保连接稳固可靠。
4. 根据实际需求，编写PLC程序，并将程序下载到PLC设备中。
5. 检查PLC设备的输入信号和输出信号是否正常，确保与实际设备的运行状态一致。
6. 进行PLC设备的调试和测试，确保设备能够按照预期的逻辑进行控制和操作。
7. 在PLC设备正常运行后，操作人员应定期对设备进行巡检和维护，及时处理设备故障和异常情况。
五、PLC操作安全注意事项1. 操作人员在进行PLC操作时，应遵循相关的安全操作规程，不得擅自更改PLC程序或者参数设置。
2. 操作人员应注意避免PLC设备受到外界干扰，如电磁干扰或者静电干扰等。
3. 操作人员应定期备份PLC程序和参数，以防止数据丢失或者意外情况发生。
4. 操作人员应注意PLC设备的运行状态，及时处理设备故障和异常情况，并做好相应的记录。
PLC操作规程一、引言PLC（可编程逻辑控制器）是一种常用的自动化控制设备，广泛应用于工业生产和制造过程中。
为确保PLC的正常运行和操作，制定PLC操作规程是必要的。
本文将详细介绍PLC操作规程的内容和要求。
二、目的本操作规程的目的在于规范PLC的操作流程，确保PLC的安全、稳定和高效运行。
同时，通过遵守操作规程，减少人为错误和操作失误，提高工作效率和生产质量。
三、适用范围本操作规程适用于所有使用PLC进行自动化控制的工作岗位。
包括PLC的日常操作、维护、故障排除和系统升级等。
四、操作流程1. 准备工作a. 确保PLC设备处于正常工作状态，检查供电电源、通信线路和外部设备连接是否良好。
b. 根据实际需求，选择合适的PLC程序，并将其下载到PLC设备中。
c. 确保操作人员具备必要的PLC操作知识和技能，并佩戴个人防护装备。
2. PLC上电操作a. 按照PLC设备的操作手册，正确连接供电电源，并确保电源稳定。
b. 打开PLC设备的电源开关，等待PLC设备启动完成。
c. 检查PLC设备的指示灯状态，确保各个模块正常运行。
3. PLC程序运行a. 根据实际需求，选择合适的PLC程序运行模式，如自动模式、手动模式或调试模式。
b. 启动PLC程序运行，观察设备的运行状态和指示灯显示。
c. 定期监控PLC程序运行情况，确保设备正常工作。
4. PLC程序修改a. 在进行PLC程序修改前，务必备份原始程序，以防止数据丢失。
b. 使用合适的PLC编程软件，对PLC程序进行修改和调整。
c. 修改后的程序需经过严格测试和验证，确保其在实际应用中的稳定性和可靠性。
5. PLC故障排除a. 当PLC设备出现故障时，及时记录故障现象和相关信息。
b. 根据故障现象和记录的信息，采取相应的故障排除措施，如检查电源、更换故障模块等。
c. 若无法解决故障，请及时联系专业技术人员进行维修。
6. PLC维护保养a. 定期检查PLC设备的工作状态和指示灯显示，发现异常及时处理。
PLC实训室操作规程
一、目的
1.为了创造一个有序安全的PLC实训室，防止可能发生的各种安全和损坏事故，保障PLC实训室的安全，保障每一位来实训室参与实训活动的人员安全第一
2.为了使实训室的正常运行，达到学习的效果，确保实训室设施的完好。
二、权限
1.本操作规程对实训室内的所有人员负责，任何人不得违反规定。
2.在实训室内严禁：
（1）吸烟、饮酒、赌博及其他明知有害行为；
（2）弄脏实训室内设备、破坏设施、烧开水、丢弃杂物；
（3）任何形式的玩乐，例如美式高尔夫或者垒球等；
（4）任何形式的弹性项目，例如跳跃或者跑步等；
（5）打破训练室内设备的使用规则；
（6）在实训室内随意发表政治性意见、宗教性意见、谩骂等；
（7）未经许可将实训室内设备带出；
（8）在实训室内堆放杂物；
（9）发表任何谩骂、攻击、威胁他人、诽谤他人的言论
3.实训室内应保持安静，让不同的学生能够轻松地参与实训活动。
三、设施
1.实训室内应配备PLC训练设备及其它必要设备，以确保学生能够安全、高效地参与实训
2.实训室内配有有效救援设备，如灭火器、消防灭火饮料等。
PLC操作规程引言概述：PLC（可编程逻辑控制器）是一种用于自动化控制的电子设备，广泛应用于工业生产过程中。
PLC操作规程是指在使用PLC时需要遵守的一系列操作规定，以确保设备的正常运行和安全性。
本文将从六个大点来阐述PLC操作规程的重要性和具体内容。
正文内容：1. 设备检查与维护1.1 定期检查设备的电源和连接线路，确保其无损坏和松动现象。
1.2 检查输入输出模块的状态，确保信号正常传输。
1.3 清洁设备表面，防止灰尘和污垢影响设备的正常运行。
1.4 定期检查和更换设备的电池，以保证PLC的实时时钟和存储数据的可靠性。
1.5 根据设备说明书，进行必要的维护操作，如更换风扇、清洁内部组件等。
2. 程序编写与调试2.1 编写PLC程序前，需明确控制逻辑和功能需求。
2.2 采用结构化编程方法，使程序清晰易懂，方便维护。
2.3 在编写程序时，注意使用注释进行解释和说明，方便后续修改和维护。
2.4 编写完程序后，进行逐步调试，确保程序的正确性和稳定性。
2.5 进行完整的功能测试，包括正常工作、异常处理和故障恢复等情况。
3. 参数设置与备份3.1 对PLC进行参数设置前，需了解设备的具体功能和性能要求。
3.2 根据实际需求，设置PLC的输入输出信号类型和参数。
3.3 对PLC进行参数备份，以防止设备故障或意外丢失参数。
3.4 定期进行参数的比对和更新，确保设备的稳定性和一致性。
3.5 对于重要参数的修改，需进行严格的验证和测试，确保设备的安全性和可靠性。
4. 安全防护与操作权限4.1 设备安装位置应符合相关安全标准，远离火源和易燃物。
4.2 对PLC进行密码保护，限制操作权限，防止未经授权的操作。
4.3 定期更改密码，防止密码泄露和非法入侵。
4.4 配备防雷设备和过载保护装置，确保设备的安全运行。
4.5 进行设备的定期巡检，及时发现和排除安全隐患。
5. 故障排除与维修5.1 对于PLC设备的故障，应根据设备手册进行故障排查。
操作规程编号：LX-FS-A38659 PLC安全操作规程标准范本In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall BehaviorCan Reach The Specified Standards编写：_________________________审批：_________________________时间：________年_____月_____日A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑PLC安全操作规程标准范本使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。
资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。
1、接到操作工的异常报告，立即赶到；工作服和鞋子要擦干净，在室内交谈不能大声。
2、进入主控室工作，首先要向操作工了解当时情况，未经同意，不得操作任何开关、按钮、键盘。
3、每次检修内容、情况都要认真记录，每个月一次设备运行情况分析。
4、修改程序参数要经领导同意，并详细记录，功能性修改需向生产部申请。
5、电器元件不能随便用参数不同的元件代替，紧张情况下的临时措施要及时处理，并做好记录。
6、检修中遵守优先更换元件，离线分析维修元件的原则。
7、作业后要清理现场一切东西，关好柜门。
8、不准随便触摸PLC模板，不准带电拉、插模件，遵守先检查外围，再检查PLC的原则。
确认外围完好后，方可对PLC进行检查。
PLC的维修应由专门人员执行。
9、PLC出现死机，需查明原因，未明确原因时，切勿盲目重新启动，严禁随意修改各种地址、跳线、屏蔽信号、取消联琐等。
Guide operators to deal with the process of things, and require them to be familiar with the details of safety technology and be able to complete things after special training. PLC安全操作规程正式版PLC安全操作规程正式版下载提示：此操作规程资料适用于指导操作人员处理某件事情的流程和主要的行动方向，并要求参加施工的人员，熟知本工种的安全技术细节和经过专门训练，合格的情况下完成列表中的每个操作事项。
文档可以直接使用，也可根据实际需要修订后使用。
1、接到操作工的异常报告，立即赶到；工作服和鞋子要擦干净，在室内交谈不能大声。
2、进入主控室工作，首先要向操作工了解当时情况，未经同意，不得操作任何开关、按钮、键盘。
3、每次检修内容、情况都要认真记录，每个月一次设备运行情况分析。
4、修改程序参数要经领导同意，并详细记录，功能性修改需向生产部申请。
5、电器元件不能随便用参数不同的元件代替，紧张情况下的临时措施要及时处理，并做好记录。
6、检修中遵守优先更换元件，离线分析维修元件的原则。
7、作业后要清理现场一切东西，关好柜门。
8、不准随便触摸PLC模板，不准带电拉、插模件，遵守先检查外围，再检查PLC 的原则。
确认外围完好后，方可对PLC进行检查。
PLC的维修应由专门人员执行。
9、PLC出现死机，需查明原因，未明确原因时，切勿盲目重新启动，严禁随意修改各种地址、跳线、屏蔽信号、取消联琐等。
10、更换模件要特别注意防静电工作。
11、更换按钮等元件，要认真了解自动化等相关问题，以免造成设备事故。
12、检修结束后，要有一定的时间监护，确认无问题后，方可离开。
13、编程器不能当个人机使用，不准在机器上操作其它磁盘或装入其它操作系统。
——此位置可填写公司或团队名字——。
PLC操作规程一、引言PLC（可编程逻辑控制器）是一种广泛应用于工业自动化领域的控制设备，它能够根据预设的程序和逻辑条件，实现对工业过程的自动控制。
为了确保PLC的正常运行和操作的安全性，制定PLC操作规程是至关重要的。
本文将详细描述PLC操作规程的相关要求和步骤。
二、PLC操作规程的目的PLC操作规程的目的是确保PLC系统的安全运行，降低操作错误和事故的发生概率，提高工作效率和生产质量。
通过规范PLC操作流程，减少人为因素对PLC系统的影响，保障设备和人员的安全。
三、PLC操作规程的适用范围本PLC操作规程适用于所有使用PLC系统进行自动控制的工业生产过程。
所有相关工作人员，包括操作员、维护人员和管理人员，都应遵守本规程。
四、PLC操作规程的具体要求1. 操作员资质要求a. 操作员必须经过相关培训，掌握PLC系统的基本原理、操作方法和常见故障处理技巧。
b. 操作员应具备一定的电气和自动化知识，了解PLC系统的硬件结构和软件编程。
c. 操作员应持证上岗，定期进行技能培训和考核。
2. 操作前准备a. 操作员应仔细阅读PLC系统的操作手册和相关说明，熟悉系统的功能和参数设置。
b. 操作员应检查PLC系统的供电和接地情况，确保电源稳定和接线正常。
c. 操作员应确认PLC系统的备份和恢复机制正常运行，确保数据的安全性。
3. 操作流程a. 操作员应按照操作手册的要求，正确启动PLC系统，并进行必要的登录和身份验证。
b. 操作员应根据工艺要求，选择合适的程序和参数设置，确保PLC系统能够正确控制工业过程。
c. 操作员应定期监测PLC系统的运行状态，及时处理异常情况，如报警、故障等。
d. 操作员应记录PLC系统的运行数据和事件，包括报警记录、故障处理过程等，以备后续分析和改进。
4. 安全措施a. 操作员应遵守相关的安全操作规程，如穿戴个人防护设备、遵守禁止吸烟和禁止饮食等规定。
b. 操作员应定期检查PLC系统的安全设备和保护装置，确保其正常运行。
文件编号：RHD-QB-K5770 （操作规程范本系列）编辑：XXXXXX查核：XXXXXX时间：XXXXXXPLC安全操作规程标准版本PLC安全操作规程标准版本操作指导：该操作规程文件为日常单位或公司为保证的工作、生产能够安全稳定地有效运转而制定的，并由相关人员在办理业务或操作时必须遵循的程序或步骤。
，其中条款可根据自己现实基础上调整，请仔细浏览后进行编辑与保存。
1、接到操作工的异常报告，立即赶到；工作服和鞋子要擦干净，在室内交谈不能大声。
2、进入主控室工作，首先要向操作工了解当时情况，未经同意，不得操作任何开关、按钮、键盘。
3、每次检修内容、情况都要认真记录，每个月一次设备运行情况分析。
4、修改程序参数要经领导同意，并详细记录，功能性修改需向生产部申请。
5、电器元件不能随便用参数不同的元件代替，紧张情况下的临时措施要及时处理，并做好记录。
6、检修中遵守优先更换元件，离线分析维修元件的原则。
7、作业后要清理现场一切东西，关好柜门。
8、不准随便触摸PLC模板，不准带电拉、插模件，遵守先检查外围，再检查PLC的原则。
确认外围完好后，方可对PLC进行检查。
PLC的维修应由专门人员执行。
9、PLC出现死机，需查明原因，未明确原因时，切勿盲目重新启动，严禁随意修改各种地址、跳线、屏蔽信号、取消联琐等。
10、更换模件要特别注意防静电工作。
11、更换按钮等元件，要认真了解自动化等相关问题，以免造成设备事故。
12、检修结束后，要有一定的时间监护，确认无问题后，方可离开。
13、编程器不能当个人机使用，不准在机器上操作其它磁盘或装入其它操作系统。
这里写地址或者组织名称Write Your Company Address Or Phone Number Here。
PLC操作规程一、引言PLC（可编程逻辑控制器）是一种广泛应用于工业自动化领域的计算机控制系统。
为了确保PLC操作的安全、可靠和高效，制定本操作规程。
本规程适合于所有使用PLC进行控制的设备及相关人员。
二、PLC操作准备1. 确保PLC设备处于正常工作状态，检查电源、通信和输入/输出模块是否正常。
2. 确认PLC程序已经正确加载到PLC设备，并进行必要的备份。
3. 确保PLC设备与其他设备（如传感器、执行器等）正确连接，并检查连接是否坚固。
三、PLC操作步骤1. 启动PLC设备a. 将电源开关置于ON位置，确保电源供应正常。
b. 检查PLC设备的指示灯，确认设备已经启动。
2. 登录PLC程序a. 打开PLC编程软件，并选择相应的PLC型号和通信接口。
b. 输入正确的用户名和密码，登录PLC程序。
3. 监控PLC运行状态a. 在PLC编程软件中，查看PLC的实时状态，包括输入/输出状态、程序运行状态等。
b. 检查报警信息，及时处理异常情况。
4. 修改PLC程序a. 在PLC编程软件中，选择需要修改的程序模块。
b. 根据实际需求，修改程序逻辑、输入/输出配置等。
c. 对修改后的程序进行验证，确保修改正确无误。
5. 上传/下载PLC程序a. 在PLC编程软件中，选择需要上传/下载的程序模块。
b. 确认上传/下载的目标设备，并进行相应的操作。
c. 确认上传/下载完成后，进行验证。
6. 调试PLC程序a. 在PLC编程软件中，选择需要调试的程序模块。
b. 设置断点，观察程序运行过程中的变量值、输入/输出状态等。
c. 根据调试结果，进行程序优化和错误修复。
7. 备份PLC程序a. 定期对PLC程序进行备份，确保程序的安全性和可恢复性。
b. 将备份文件存储在安全可靠的地方，防止意外损坏或者丢失。
8. 关闭PLC设备a. 在PLC编程软件中，选择关闭PLC设备的命令。
b. 将电源开关置于OFF位置，断开电源供应。
PLD设备安装、调试及维护操作规程(一)沉积室的拆卸与加热灯的更换1、法兰（frange）的拆卸与安装对称松动法兰盘上的螺栓，取出螺栓，拿下法兰盘和密封圈（gasket，Cu材料）。
更换新的密封圈，用酒精清洗干净法兰与密封圈，观察表面是否干净、光滑且无明显划痕，然后装好法兰与密封圈，对称上好螺栓。
先用手拧紧，再用扳手轻轻拧紧（严禁用死力，每次每个螺栓拧紧约1/8周，顺时针拧紧螺栓，共循环4~6次）。
2、排除基板加热系统内的冷却水打开空气压缩机，通过压力表调节气体总压力为0.5MPa，通过拉下旋钮调节排水用的气体压力到0.05MPa。
关掉冷却机，停止冷却水循环，打开冷却机上的进、出水阀门。
将气体压力表旁边的进、出水旋钮由开打至排水，用空气将基板加热系统内的水排出。
3、卸掉冷却水管、热电偶线、基板加热电源线、基板转动马达线，拔掉2根控制遮板（shutter）动作的气管。
按1所示的操作打开沉积室上盖的法兰（该法兰有24个螺栓），用升降机将上盖取下，去掉加热灯罩外面的4个螺丝，然后放在台架上，并用两个螺栓固定住。
4、拆开加热灯电源线，打开固定灯的螺丝，从下面取出加热灯。
用万用表检查新灯的好坏，然后擦干净加热灯。
5、反顺序安装新的加热灯，通过镜子观察调整加热灯在罩子的中心位置并固定好。
用万用表检查电源有无短路，加热灯与上盖有无联通。
(二)沉积室和样品交换室由大气状态抽至高真空1、关闭2、20Pa，按下TC2表显示的压力又下降到10Pa时，开启3、等2进行一段时间后，如下降至20Pa，按下和10Pa时，再开启4、待90％、Normal”时）5、开始显示沉积室内的真空度（最高真空度可以达到10-7Pa）。
真空度10-5Pa）。
(三)激光器的安装与调试1、打开激光器背面的螺丝，取下上盖，将底脚三个螺丝松开，转成45度角，拧紧螺丝固定在底板上，再扣上上盖。
2、打开激光器的能源机箱，加入冷却激光器用的高纯纯净水。
拔出机箱上的匙打开电源，此时冷却水开始在激光器中循环，造成水位下降，需继续加水至满。
激光器使用一段时间后，应检查水位情况，不够时要及时加水。
3、激光遥控器（Remote control）的操作接通遥控器，此时15按下激光遥控器的configuration”和下拉菜单“flashlamp—internal”、“Q-switch—internal”，表示为手动控制激光发射。
通过遥控器中间的按钮可改变flashlamp—internal→external、Q-switch—internal→external（同时，此时为计算机控制，手动遥控器不起作用。
4、本系统所用激光的波长为355nm，频率为10Hz，都为固定值。
最大能量为200mJ，可通过旋转激光器顶部的两个旋钮来调节能量大小（听激光打到纸上时声音的大小，声音越大，表示激光能量越大），但初次调整后一般不要再调整。
5、激光束的调整通过两个反射镜（反射角分别为45︒和22.5︒）和一个凸透镜来调整激光束照射在靶的边缘部分。
激光能量密度可以通过调整透镜位置（焦点位置）以改变激光束的大小来调整（注意不要将焦点置于靶上，防止能量过大）。
调整时，用有颜色的纸来观察激光束的照射斑点的形状（为防止激光打下的纸屑飘落污染环境，该纸要装在封闭的塑料袋中），一般圆点或近似圆点比较好。
(四)基板加热操作1、获得加热电流—达到温度的对应关系曲线打开控制柜上的off-on）。
将温控表中目标温度CV设为一较大值（1000℃以上），分别调整值。
记录下不同的电流值与其对应的温度，做二者的关系曲线（一般为直线关系）备查。
2、自整定操作按下▲、▼设定目标温度值，然后按住温控表上的2秒钟，当屏幕显示PID/ATU时，选择ATU。
先手动升温接近目标温度，然后按Run键，此时AT灯闪灭，开始自整定（电流加大，温度升高至目标温度，然后电流突降至零）。
随后电流重新开始上升，开始第二次整定。
自整定3次后，即确定了适用于目标温度的最优PID值并记录下来，此时升温由PID控制。
若目标温度相差不大（100℃以内），可不必每次都进行自整定。
实验前，可以通过自整定得到不同温度的PID值，然后按2秒钟，通过调整▲、▼找到PID1，输入不同温度的PID值就可以不必进行新的自整定。
注意事项：1、空压机的三个作用：（1）用于开启、关闭靶与基板之间的遮板，该遮板用于遮挡羽辉（激光对靶照射预处理时，阻挡开始产生的脏羽辉沉积在基片上，以免影响成膜的质量）。
（2）控制FV1、FV2、FV3三个阀门。
（3）更换加热灯前排除基板加热系统内的残留冷却水。
2、激光器应使用高纯度的纯净水冷却，该纯净水经过过滤器进行循环，配有两个水管：一根用于换水用，另一根用于排除水中的空气。
如长期不用，每周至少开水循环两次，每次1小时左右。
3、两个反射镜的反射角不同，使用时注意区别。
反射镜圆周上箭头所指的方向为激光照射方向，其表面有七种不同材料的涂层，反射率达99.5%。
为防止污染，反射镜和透镜的表面禁止用手触摸。
4、冷却机中的循环水用于冷却基板加热系统，应尽量使用纯净水，正常使用温度为20~24︒C。
加水时要没过冷却水管少许，水不流动或较脏时必须更换（放水开关在冷却机的背面）。
5、沉积室应时刻保持高真空（10-6Pa），RP1、TMP1泵必须24小时运转。
停电时，沉积室可自动封闭，来电后请重新启动抽真空。
6、为快速抽真空，事先可用加热带缠在沉积室和样品交换室的外表面，加热到150℃左右，保温20小时以上。
7、RP泵所使用的泵油（型号：ALLATEL2000）要4~6个月更换一次，其价格约为20~50元/升。
PLD日常操作规程(一) 开启冷却水1、接通总电源；2、按下冷却机背面的off/on键开启冷却机；3、打开冷却机面板上的设定使用温度（20~24 C）；4、按下5、按下；6、检查水管接头是否牢固，接头处是否漏水。
(二) 安装基板与靶1、实验前几天先用无水乙醇将基板（厚度一般<1mm）与靶（厚度一般3~5mm）清洗干净，放置一段时间，待乙醇挥发后备用；2、将靶用胶粘在靶托上，用热风把靶吹干，放置15min，使胶凝固；3、将基板托上的螺丝松开后，放上基板并固定在上面。
基板托上的其它螺丝孔也要从背面拧上螺丝，防止蒸发的羽辉通过这些孔进入加热灯造成污染；4、将基板和靶放入样品交换室内的样品台上，每次可同时放入2个基板和4个靶。
(三) 抽真空1、关闭2、20Pa，按下TC2表显示的压力又下降到10Pa时，开启3、等2进行一段时间后，如下降至20Pa，按下和10Pa时，再开启4、待90％、Normal”时）慢慢开启打开控制柜和(四) 送入基板和靶1、旋转样品交换室下部的旋钮，使样品台上升至与取样杆在同一水平位置。
再转动另一个旋钮，调节基板或靶与取样杆吻合。
伸入取样杆，用其托住基板或靶；2、旋转控制样品台升降的螺扭，慢慢下降样品台，使基板或靶完全由取样杆托住，抽回取样杆，再继续降低样品台至交换室的底部；3、当控制柜上的10-4Pa室与沉积室；4、慢慢将已装有基板或靶的取样杆送入沉积室，并通过观察镜监测取样杆的位置，逐渐靠近沉积室顶部的基板台或底部的靶台；5、通过旋转沉积室顶部或底部的旋钮，调整基板台或靶台到合适位置，使基板或靶刚好放入。
慢慢旋转旋钮，使基板台或靶台上升托起基板或靶，再完全退出取样杆，最后关闭(五) 接通激光器1、2、接通遥控器，此时“configuration”，通过调整遥控器中间的按钮使下拉菜单显示“flashlamp—external”、“Q-switch—external”，设定操作由计算机控制，手动操作禁止；3、约15待计算机控制激光发射。
(六) 加热基板1、检查冷却水是否正常；2、打开控制柜上的off-on）；3、按下温控表中的Reset，按Set，出现ET1，设定升温曲线；4、调节控制柜上的应关系曲线查到，此加热电流应取曲线上目标温度所对应电流的1.2倍）；5、按下Run键（Out灯亮），开始由PID稳定控制升温过程直至目标温度CV。
(七) RHEED操作1、打开控制柜上的2、确认RHEED遥控器上的HV、Filament仪表指示都为零（若不为零，则HV不起作用），按下控3、将遥控器上的HV旋钮慢慢调整到20~25KV，调Filament旋钮将呈现在窗口的电子束由多点聚集成一点（此时Filament的值约为2.5），调节Focus旋钮使电子束聚焦；4、通过DEFX、DEFY调整电子束与基片的位置，当电子束接触基片时，开始出现电子衍射花样，此时可在计算机上对沉积过程进行监测；5、关闭RHEED时，调节遥控器上的Filament、HV至零，将Focus调为零，而DEFX、DEFY不用调节；6、关闭控制柜上的(八) 开始沉积1.通过计算机控制沉积过程，可选择靶（6个）、脉冲次数（每个脉冲0.1s）等参数；2.沉积可以在真空下进行，也可以在反应气体下进行（如O2等）。
此时，打开O2，根据真空度情况开启不同的阀门：如果真空度大于10－2Pa，则要关闭空度大于100Pa3.如在沉积后要继续通入反应气进行退火处理，应关闭(九) 取出基板和靶1、开启部的基板台或底部的靶台；2、通过旋转沉积室顶部或底部的旋钮，调整基板台或靶台到合适位置，使基板或靶刚好插入取样杆。
慢慢旋转旋钮下降基板台或靶台，使取样杆完全托起基板或靶，再慢慢退出取样杆至交换室；3、旋转样品交换室下部的旋钮，使样品台上升，托住取样杆上的基板或靶，再慢慢抽出取样杆；4、关闭5、5～10min后，开启N2；6、打开样品交换室上盖，取出基板和靶。
