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基于光纤技术的传感器设计与制作随着传感技术的日益发展，基于光纤技术的传感器越来越受到人们的关注。
光纤传感器具有高灵敏度、高精度、无电磁干扰等优点，可以广泛应用于国防、航天、交通、环保、生物等领域。
因此，本文将介绍基于光纤技术的传感器的设计与制作。
一、光纤传感器的工作原理光纤传感器是通过测量光纤中的光学信号来实现对物理量的测量，其工作原理基于光纤的两个基本特性：光纤中光的传输和散射。
光纤中的光的传输是指光信号的传输过程，光信号进入光纤后，会在光纤中不断地反射和折射，并沿着光纤的轴线传播，直到到达光纤的另一端。
光纤中的散射是指光的弹性散射和非弹性散射。
其中弹性散射仅改变了光的方向，频率和相位等基本性质不变，非弹性散射则会改变这些基本性质。
这些散射现象都会引起光的衰减和光强的分布变化，因此可以用来测量物理参量。
二、基于光纤技术的传感器分类光纤传感器可以根据测量物理量的不同而分为各种类型，例如温度传感器、压力传感器、加速度传感器、位移传感器等。
其中，光纤光栅传感器和拉曼光纤传感器的应用最为广泛。
1.光纤光栅传感器光栅传感器是利用光学光栅上的“反射率分布”或“折射率分布”来实现对光的干涉和散射衍射的控制，从而测量物理参量的变化。
常见的光纤光栅传感器有布拉格光栅传感器和长周期光纤光栅传感器。
布拉格光栅传感器利用薄膜布拉格反射镜，通过控制反射率分布进行光的干涉，从而实现对物理参量的测量。
长周期光纤光栅传感器则利用周期性光纤中的衍射，通过调制光纤表面的折射率分布，从而实现对物理参量的测量。
2.拉曼光纤传感器拉曼光纤传感器是利用拉曼光谱原理，通过测量物质分子的振动和旋转引起的光谱特征来实现对物理参量的测量。
光纤传感器与样品接触，激发样品中的分子振动和旋转，产生拉曼散射光，再经过光谱仪分析和处理，最后测量物理参量的变化。
三、基于光纤技术的传感器的设计与制作基于光纤技术的传感器设计与制作需要考虑材料、光学参数、结构和制造工艺等因素。
光纤光学传感器的设计与制造随着科技的不断发展，传感技术也越来越成熟和广泛应用。
其中，光纤光学传感器因其高灵敏度、高分辨率、抗干扰等特性，在工业、医疗、环保等领域受到越来越多的关注和应用。
本文将着重介绍光纤光学传感器的设计与制造方法。
一、光纤光学传感器的工作原理光纤光学传感器是一种利用光学原理实现测量或监测的传感器。
其工作原理基于光纤的特性，即在光纤中传输的光信号能够被外部物理量的变化所影响。
一般来说，光纤光学传感器可以分为两类：干涉式和散射式。
干涉式光纤光学传感器利用的是干涉现象，即光线的折射、反射或穿透引起的光程差。
它可以测量温度、压力、应力等物理量，并且具有高精度和实时性的优势。
散射式光纤光学传感器则是利用光纤中散射光的特性进行测量。
当光线经过光纤时，会不断地与光纤内部的微小杂质发生散射作用。
这些散射光经过适当的处理，能够反映出外部物理量的变化。
散射式光纤光学传感器能够测量温度、应力、形变、液位等多种物理量。
二、光纤光学传感器的设计与制造1. 光纤的选择光纤作为光纤光学传感器的核心部分，其选择直接决定了传感器的性能。
一般来说，传感器需要选择具有高传输效率、低损耗、低非线性等特点的光纤。
在选择光纤时，需根据具体应用需求选择不同的光纤类型。
例如，对温度测量需要使用耐高温的光纤，对液位测量需要使用抗腐蚀的光纤。
此外，还需考虑光纤的尺寸、长度、连接方式等因素。
2. 光源和光电信号处理器光源和光电信号处理器是光纤光学传感器的重要组成部分。
光源需要满足稳定、功率高、噪声低等要求。
光电信号处理器则需要具有高速度低误差、宽工作范围等特点。
在设计光纤光学传感器时，需选择合适的光源和光电信号处理器，以确保传感器在不同工作条件下能够稳定可靠地工作。
3. 光纤传感器的结构设计光纤光学传感器的结构设计主要包括传感器头部、拉长特殊光纤和固定件等组件。
传感器头部包括被测物理量与光纤的相互作用部分，而拉长特殊光纤和固定件起到固定和保护作用。
MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析MEMS光纤压力传感器是一种基于光纤传感技术的压力传感器，具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点，被广泛应用于医疗、工业、航空航天等领域。
本文将介绍MEMS光纤压力传感器检测电路系统的设计分析。
MEMS光纤压力传感器主要由压力敏感元件、光纤、光源和光检测器等组成。
传感器的工作原理是通过敏感元件的应变导致光纤的光学路径发生改变，进而产生光强信号的变化，通过光检测器将光强信号转换为电信号进行处理。
1. 光源选择：光源的选择影响了传感器的灵敏度和信噪比。
常用的光源有LED和激光二极管。
LED具有价格低、功耗低的优点，适用于低灵敏度的传感器；而激光二极管具有高功率、高光强度的优点，适用于高灵敏度的传感器。
3. 信号放大和滤波：由于光强信号微弱，需要对信号进行放大和滤波处理。
放大电路可以采用运算放大器或差分放大器进行放大，滤波电路可以采用低通滤波器进行滤波。
4. 数据采集和处理：传感器输出的电信号经过模数转换器进行数字化，然后通过微处理器进行数据采集和处理。
微处理器可以实现对压力信号的采样、滤波、计算和输出等处理功能。
5. 温度补偿：压力传感器的输出信号受到温度的影响，需要进行温度补偿。
常用的方法是通过温度传感器对温度进行监测，并通过校正算法将温度影响进行补偿。
6. 电源供应：传感器系统需要稳定的电源供应。
可以采用锂电池、电压稳压器或者直流电源稳定模块等方式提供电源。
设计MEMS光纤压力传感器检测电路系统需要考虑光源选择、光检测器选择、信号放大和滤波、数据采集和处理、温度补偿和电源供应等方面的问题。
通过合理的设计和优化，可以提高传感器的灵敏度和稳定性，实现精确的压力测量。
光电子技术中的光纤传感器设计与制备光电子技术的发展为我们提供了许多实现智能化、自动化和高精度的传感器解决方案。
其中，光纤传感器作为一种新兴而广泛应用的传感器技术，已经在各个领域展现出巨大的优势。
本文将重点介绍光纤传感器的设计原理、制备工艺以及应用实例。
光纤传感器是基于光纤的光学信号传输特性，通过测量光信号的变化来实现对环境参数或物理量的测量。
其工作原理主要包括光纤的引入、光的传输和光的检测三个部分。
通过选择不同的传感机制和材料，可以实现温度、压力、位移、应力、流速等多种物理量的测量。
在光纤传感器的设计过程中，首先需要选择适合的光纤材料和结构。
光纤材料常见的有单模光纤和多模光纤，而光纤结构主要包括单纤单角、多纤多角、单纤多角等。
选择不同的材料和结构可以适应不同的测量需求。
制备光纤传感器的关键是光纤的制备和传感层的制备。
光纤的制备一般使用光纤拉制机进行，通过熔融拉伸得到所需尺寸和参数的光纤。
而传感层的制备则需要根据不同的测量需求选择不同的方法。
常用的制备方法包括电镀、溅射、化学沉积等。
此外，为了提高传感器的灵敏度和可靠性，还需要对光纤进行表面处理、包覆等工艺。
光纤传感器具有许多优势，如高温度稳定性、抗电磁干扰、远距离传输等。
在工业生产中，光纤传感器可以应用于温度、压力、应力等参数的在线监测。
在石油化工领域，光纤传感器可以实现对管道泄漏、流速、液位等的监测和预警。
在医疗器械中，光纤传感器可以应用于血压、心率等参数的测量。
在环境保护领域，光纤传感器可以用于空气质量、水质污染等的监测。
除了传统的光纤传感器，近年来光纤光栅传感器也得到了广泛的应用。
光纤光栅传感器是一种基于光纤光栅的传感技术，通过光纤中光纤光栅的布拉格反射原理实现对环境参数的测量。
光纤光栅传感器具有高灵敏度、高信噪比、远距离传输等优势，被广泛应用于温度、压力、应变等参数的测量。
在航空航天、海洋监测等领域，光纤光栅传感器已经成为不可或缺的测量工具。
光纤压力传感器探头的设计张奕林1,俞建荣2,廖延彪3,赖淑蓉3(1.北京石油化工学院数理部,北京102617; 2.北京石油化工学院机械工程学院,北京102617; 3.清华大学电子工程系,北京100084) 摘要:介绍了一种光纤压力传感器探头的设计和计算。
利用平膜片实现压力与位移的转换,其位移由光纤传感器检测出来。
探头中两光纤呈 角度放置,能使系统的灵敏度达到41.6mV/M Pa。
传感器探头的最大承压为3M Pa。
关键词:光纤;压力传感器;平膜片中图分类号:T N253;T N247 文献标识码:A 文章编号:1005-0086(2002)05-0477-03The Design of Optic Fiber Pressure SensorZHANG Yi-lin1,YU Jian-ro ng2,LIAO Yan-biao3,LAI Shu-rong3(1.Departm ent o f M athematic and P hy sics,Beijing Inst itute of P etro-chemical T echno log y,Beijing102617,China; 2.Depart ment of M echanical Engineering,Beijing Institute o f Petr o-chemical T echno lo-gy,Beijing102617,China; 3.Depar tment of Elect rical Engineer ing,T singhua U niv ersit y,Beijing100084,China)Abstract:T his paper pr esnets a study o n the design and calculatio n of a optic fiber sensing head.Studyshow s the displacement which is tr ansfo rm ed by the flat diaphrag m can be detected by the optic fibersenso r.T he sensitiv ity o f the system will be raised m arkedly to41.6mV/M P a w hen the angle o f the op-tic fiber s in t he o ptic fiber sensing head is ,and its bigg est pr essur e bear ing capacit y can r each3M P a.Key words:Optic fiber;Pr essure sensor;F lat diaphr agm1 引 言 光纤压力传感器探头是光纤压力传感器的关键部件。
光纤传感系统的设计与制造光纤传感系统是一种基于光纤传输和光学原理的传感器系统，它通过利用光纤的特殊性能来实现对环境参数的高灵敏度、实时监测和远程传输。
光纤传感系统的设计与制造涉及到光纤传感器的选择和优化、传感信号的处理和分析、以及系统的可靠性和性能测试等方面。
下面将从这些方面对光纤传感系统的设计与制造进行详细的探讨。
首先，光纤传感系统的设计需要选择适合的光纤传感器。
光纤传感器主要有两种类型，即基于干涉效应的光纤传感器和基于光纤光栅的光纤传感器。
干涉效应的光纤传感器通常利用光纤的干涉现象来实现对环境参数的测量，如温度、压力、位移等。
而光纤光栅传感器则是将光栅结构嵌入到光纤中，通过对光栅的光谱特性的检测来实现对环境参数的测量，如应力、应变、温度等。
在选择光纤传感器时需要考虑所需测量参数的范围、灵敏度、响应时间等因素。
同时，还需要考虑光纤传感器的可靠性、稳定性和耐用性等方面的要求。
其次，光纤传感系统的设计还需要考虑传感信号的处理和分析。
传感器所感知到的光信号需要经过光电转换器转换为电信号，再通过信号调理器进行放大和滤波等处理，最后经过数据采集和分析系统进行信号分析和处理。
在传感信号的处理和分析中，需要注意信号的噪声抑制、增益的控制和采样率的选择等问题。
同时，还需要根据实际应用需求设计和开发相应的算法和软件，实现对传感信号的实时监测和远程传输。
最后，光纤传感系统的设计与制造还需要进行系统的可靠性和性能测试。
在系统的可靠性测试中，需要对光纤传感器的灵敏性、稳定性和重复性等方面进行验证。
对于光纤传感系统的性能测试，需要考虑系统的测量范围、分辨率、精度、响应时间等指标。
同时，还需要确保系统在不同环境条件下的工作稳定性和抗干扰能力。
为了确保系统的设计和制造质量，还可以通过试验和验证等方法对光纤传感系统进行测试和验证。
综上所述，光纤传感系统的设计与制造涉及到光纤传感器的选择与优化、传感信号的处理与分析、以及系统的可靠性和性能测试等方面。
MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析MEMS光纤压力传感器是一种基于MEMS技术制造的微型传感器，可以用于测量各种物体的压力。
在光纤压力传感器中，光纤作为传感元件，通过测量光纤的弯曲程度来获取被测物体施加的压力。
光纤压力传感器检测电路系统设计的目标是实现对光纤弯曲程度的检测和压力值的测量。
主要包括光纤弯曲检测电路和压力测量电路两部分。
光纤弯曲检测电路主要用来检测光纤的弯曲程度。
一种常见的设计方法是采用光电二极管和激光二极管构成的传感电路。
光纤上的激光光束被光电二极管接收后会产生电流信号，信号的强弱与光纤的弯曲程度成正比。
该电流信号经过放大和滤波处理后送至微处理器进行数字化处理。
微处理器可以根据光纤弯曲程度的变化来判断被测物体施加的压力。
压力测量电路主要用来测量被测物体施加的压力值。
一种常见的设计方法是采用压电传感器和放大电路构成的压力测量电路。
压电传感器能够将压力信号转换为电荷信号，然后通过放大电路对电荷信号进行放大。
将放大后的信号送至模数转换器进行数字化处理。
经过数字处理后，可以得到被测物体施加的压力值。
在光纤压力传感器检测电路系统中，还需要设计和实现一种快速数据采集和处理的方法。
一种常见的设计方法是使用高速模数转换器和专用芯片进行数据采集和处理。
高速模数转换器能够以较高的采样率对压力信号进行数字化处理，而专用芯片则可以实现对数字信号的快速处理和分析。
为了提高系统的准确性和可靠性，还可以采用校准技术对传感器进行校准，以消除电路中的误差和非线性问题。
在设计光纤压力传感器检测电路系统时，需要考虑传感器的灵敏度、精度和稳定性等因素。
可以通过采用优质的传感器材料和精确的电路元件，以及合理的电路布局和参数设置来提高系统的性能。
还需要进行系统的可靠性和稳定性测试，以确保系统能够在各种工作环境和条件下正常运行。
光纤电压传感器传感头的设计娄凤伟1,郑绳楦1,席政宏2(1.燕山大学信息与工程学院,河北 秦皇岛 066004;2.秦皇岛天和有限公司,河北 秦皇岛 066004) 摘要:基于逆压电效应原理,介绍了光纤电压传感器的工作原理,提出了一种全新的传感头设计方案,为光纤电压传感器测量高电压提出了理论依据。
关键词:光纤电压传感器;逆压电效应;石英晶体中图分类号:T N251 文献标识码:A 文章编号:1002-1841(2004)12-0003-03T ransducer Probe Design of Optical Fiber V oltage T ransducersLOU Feng2w ei1,ZHENG Sheng2xuan1,XI Zheng2hong2(1.C ollege of In formation and Engineering,Y anshan University,Qinhuangdao066004,China;2.T ianhe C ompany Ltd,Qinhuangdao066004,China)Abstract:It was based on the converse piezoeletric effect theory and introduced a operating principle of optical fiber v oltage trans2 ducers.Put forward a s ort of bran2new design schema of transducer probe.The schema offer theory for measuring high v oltage of optical fiber v oltage transducers.K ey Words:Optical Fiber V oltage T ransducers;C onverse Piezoelectric E ffect;Quartz Crystal1 引言1880年居里兄弟首先在α石英晶体上发现了压电效应[1],压电效应反映了晶体的弹性性能与介电性能之间的耦合。
当在压电晶体上加一电场时,晶体不仅要产生极化,还要产生应变和应力,这种由电场产生应变或应力的现象称为逆压电效应。
近年来,有许多文献[2]介绍了利用BG O、BS O等块状晶体的电光效应来实现光学电压传感器(OVT)的设计,虽然它有许多优点,如:具有较强的抗电磁干扰能力;能实现高、低电位之间的电隔离;而且测量频带宽,能很好的与计算机、DSP等现代信号处理系统兼容;体积小、质量轻。
但是这种OVT本身具有一定的局限性,它需要自聚焦透镜、起偏器、波片、电光晶体等光学部件组合粘接而成。
光学器件的加工和粘接工艺都比较复杂,不利于大规模生产。
由于光学部件材料自身的原因,在安装、运输等过程中材料易损坏,给现场安装、运行和调试带来了一定的困难;OVT还受温度和振动的影响。
为了进一步提高光学传感器的性能,克服以上的缺点,一种以石英晶体和光纤为敏感器件的新型光纤电压传感器已被研究,它是利用地与高电势间电场的线积分来测量高电压的,通过光纤来检测和传输信号,这种传感器不需要自聚焦透镜、起(检)偏器、波片、电光体等光学元件,加工工艺大大简化,这种传感器的抗外界干扰能力大大增强,不受振动的影响,低耗、简单、易于安装,能集成在GIS等高压设备中,便于智能化。
1999,Bohnert K研制出一种基于石英晶体逆压电效应的170kV光纤电压传感器,它的全部电压施加在一个100mm长的圆柱形石英晶体上[3]。
2002年,史东军等又提出一种利用4个长150mm石英晶体的布局形成4个串联电容器,沿每个晶体的电压降之和等于待测电压420kV[4]。
文献[3]中加在石英晶体上的电压不能太大,否则高电压会导致传感材料击穿,测量精度不准确。
文献[4]中虽然能在420 kV高压电场下工作,但它需要4个石英晶体的串联,这样造价高且复杂,很难保证测量精度的准确性。
文中提出一种提高极间距离,降低作用到石英晶体上的电场强度的方法。
2 工作原理光纤电压传感器中的石英晶体属于三方晶系,32点群,它属于无对称中心的晶体,当它在某一方向受压时,电平衡被破坏,而产生压电效应,所以石英晶体是一种常见的压电材料,具有较高的阻抗,介电常数低,对场的失真小。
石英晶体在高电压应用中的突出优点是压电常数和介电常数对温度的依赖性小,且能对其进行温度补偿。
另外,与其他压电材料相比,石英晶体的最大安全温度高,具有很高的机械强度和稳定的机械性质,能够提拉出较理想的尺寸[5]。
如图1所示,光纤电压传感器是利用石英晶体的逆压电效应来测量电压的,它是1个圆柱形石英晶体,有1个三重晶轴(Z轴)和3个二重晶轴(X轴)。
纵向传感轴与1个二重晶轴重合。
交流电压沿传感 2004年 第12期仪表技术与传感器Instrument T echnique and Sens or2004 No112 收稿日期:2004-03-01 收修改稿日期:2004-07-09轴(X 轴)加上时,沿Y 轴产生交变压电应变,从而导致晶体的圆周长度l t 发生变化,其相对长度变化为Δl t /l t =-d 11E x /2(1)式中:E x 为沿X 轴的电场强度;d 11为石英晶体的压电系数,d 11=2131×10-12m/V.图1 光纤电压传感器的结构图 垂直于传感纵轴的电场分量不产生传感信号,这个压电形变由缠绕在晶体表面的椭圆形芯双模光纤来传感,该光纤以不变的间距和确定的张力绕在传感晶体的表面上。
由于晶体的形变引起的光纤应变的变化,使光纤中传播的两空间模(LP 01和LP 11)的相差发生变化,相位的变化与电场的线积分∫E d s 成比例,积分路径沿着传感轴。
椭圆芯光纤工作波长低于偶数LP 11模的截止频率,可传递两个空间模LP 01(基模)和LP 11高阶偶数模,它们平行主芯轴或副芯轴偏振。
这些空间模的不同光学相位差由于压电晶体形变引起的移动由下式给出:Δ<=2πN (Δl t /δl 2π)(2)式中:N 为光纤匝数;δl 2π为2π相移所要求的光纤长度的改变。
将式(1)代入式(2)可得:Δ<=-πNd 11E x (Δl t /δl 2π)(3)从式(3)中可看出,Δ<正比于被测电场或电压,因此,只要测出Δ<就可以求出被测电压或电场。
一般来说,对Δ<进行精确的直接测量是比较困难的,可以通过干涉的方法,将相位差转化为光强的变化来进行间接的测量。
光纤电压传感器中的传感光纤和作为探测系统一部分的双模光纤分别用作非平衡传感器和接收干涉仪(见图1),单模光纤用作传导光纤,光源输出功率为4mW ,波长为780nm 低相干多模激光二极管。
光纤电压传感器中信号的检测是通过干涉的方法,将相位差转化为光强的变化来进行间接的测量。
传感光纤的两个空间模积累光程差为ΔL s =l s Δn g ,s式中:l s 为传感器光纤长度;Δn g ,s 为波群折射率之差。
所以,接收光纤中积累的非平衡光程差为ΔL r =l r Δn g ,r调整Δl s 和Δl r 使其相等,所以模干涉在传感光纤端是非相干的,而在接收光纤端是部分相干的。
接收光纤端的模干涉花样两翼的光强I +和I -可表示为I ±=I 0[1+h cos (<r -<s )](4)式中:I 0为与激光二极管的输出功率成正比;h 为接收光纤端部分相干干涉的条纹可见度;<r 为接收光纤中模积累的相位差;<s 为传感光纤中模积累的相位差。
传感光纤相位<s 的时间表示式为<s (t )=<0,s sin ωt +θs (t )式中:<0,s 为外加交流电压产生的应变信号的振幅;ω为外加交流电压产生的应变信号的角频率;θs (t )为准静模相位差,可随温度变化而逐渐变化。
由式(1)～式(4)可知,被测电压越高,传感器的输出也越大。
但实际上加到传感器的电压要受到以下方面的限制:(1)电压太高,电极间距太小,有可能使传感材料和绝缘材料击穿;(2)由于电压的加大,传感器的精度受温度的影响也随之增大,在SF 6气体中发现传感器信号随温度升高而减小。
3 传感晶体的改进额定线电压是指两相间的电压,这里所讨论的线电压为765kV ,频率为50H z 或60H z ,加到传感器上的电压(即对地电压)为765kV/3,即4411685kV.根据IEC (国际电子技术委员会)标准,传感器不仅必须能经受得住4411685kV 额定线电压,而且还必须能分别承受1min 的1550kV 短期交流电压和峰值为2100kV 的闪电冲击电压。
在一个给定的场强下,击穿的可能性随样品的长度增加而增大,这是由于静态分布的材料所决定的,在这里取石英晶体长100mm ;为了传感器能传感高的电场强度,必须提高极间距离,降低电场强度。
如图2所示,假设晶体的一个端面紧靠电极(地端),另一端面与另一电极之间被拉开一定的距离,中间为另一种气体介质(SF 6),假设极间电场均匀,忽略边缘效应。
根据电磁场理论,应有下列关系:E 1d 1+E 2d 2=Vε1E 1=ε2E 2由上两式解得:E 1=ε2V/(ε1d 2+ε2d 1)(5)E 2=ε1V/(ε1d 2+ε2d 1)(6) 4 Instrument T echnique and Sens orDec 12004 图2 晶体放在电极间的位置 设晶体的高度d2=100mm,电极之间的距离d= d1+d2,ε1=11002≈1为SF6气体的介电常数,石英晶体的介电常数ε2=415,V=4411685kV,将参数代入式(6)得:E2=4411685/(100+415×d1)(kV/mm)(7)在峰值为2100kV的闪电冲击电压时的电场强度为E2m=12121471/(100+415×d1)(kV/mm)石英晶体上所施加的电压V2=E2×d2=4416815/(100+415×d1)kV(8)求E2对d1的导数,得:d E2/d d1=-19871586/(100+415d1)2<0由式(7)可知:(1)增大极间距离,可以减小电场强度;(2)场强的变化随极间距离的增大而减小。
极间距离越小,场强变化率越大;极间距离越大,场强变化率越小。
为分析方便,将计算数据列于表1。
表1 d1,E2,E2m,V2和d E2/d d1之间的关系d1/ mmE2/(k V・m m-1)E1/(k V・m m-1)E2m/(k V・m m-1)E1m/(k V・m m-1)V2/kVd E2/d d1d E2m/d d1041416919187591211247541561244116859-011988-013797 103104611317075813619371628430416110-010945-014220 202132471014610613814281716423214663-010551-014472 30118795814578511595231217518719514-010360-014638 40115774710985413303191486115717450-010254-014757 50113590611157317307161788113519034-010188-014845 60111937513719312769141746311913746-010145-014914 70110643417894219216131147310614303-010115-014969 8001960241320821635811186119610187-010094-015014 9001874631935821400910180428714626-010078-015051 1000180313161382120459192028013065-010066-015082 1100174233134052103789116997412329-010056-015109 1200169013110561189458152526910134-010049-015132 1300164482190161177007196516414797-010042-015153 1400160502172271166097147416015049-010037-015171 1500156992156461156457104025619917-010033-015187 1600153862142391147866165385318641-010030-015201 1700151062129781140176130775110620-010027-015214 1800148542118421133245199574815369-010024-015225 1900146252108121126965171324612498-010022-015236 2000144171198761121255145614411686-010020-015246 根据表1绘出图3。
