ANSYS电热耦合分析

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ANSYS电热耦合分析

一、 Electric-Thermal Analysis

ANSYS中电热耦合分析主要焦耳热效应(Joule heating)、塞贝克效应

(Seebeck effect)、珀尔帖效应(Peltier effect)、珀尔帖效应(Thomson

effect)。我们这里的分析主要是Joule heating分析,即通电产生热量,用于加热双层薄片。

1. ANSYS电-热耦合知识点

1.1、Element DOFs选项:UX, UY, UZ, and TEMP:

可用于Thermal-Electric Analysis 的单元类型如上表所示,其中LINK68, PLANE67,

SOLID69, and SHELL157 是专用的thermal-electric elements,专用于Joule heating

effects,SOLID5, SOLID98, PLANE223, SOLID226, and SOLID227 则需要选择DOFs选项为TEMP and VOLT。

For SOLID5 or SOLID98, set KEYOPT(1) to 1;

For PLANE223, SOLID226, or SOLID227, set KEYOPT(1) to 110。

1.2、Material Properties设置:

对于Joule heating effects,需要设置材料参数:

电学参数:electric permittivity电阻率RSVX、RSVY、RSVZ 热学参数:thermal

conductivity导热系数KXX, KYY, KZZ 若考虑瞬态热效应,需设置密度DENS、比热C或焓ENTH

1.3、Load载荷设置:

设置Applied Voltage or Current 设置对流、辐射、传热等边界条件

1.4、Solve求解

进行ANSYS三维电热分析,选择SOLID69单元,为专用于焦耳热分析的单元,只需设置电阻率RSVX、导热系数KXX,加载电压VOLT、对流系数CONV即可进行求解,不考虑加热元件本身的热变形;选择SOLID98,除以上参数外,还可以设置弹性模量EX、泊松比PRXY、热膨胀系数ALPX,即可分析加热元件本身的变形。

2. 实践操作: 以多晶硅polysilicon作为加热元件材料,选择SOLID69单元,设计简单的元件结构,设置材料参数RSVX、KXX,加载5V电压,空气对流系数为12.5W/(m2�q℃),外界温度为20℃。 2.1、ANSYS命令流

/FILNAME,Ex Eletric Thermal PolySi /PREP7 ! Define problem parameters !

E3=155e9 P3=0.22 K3=150 A3=2.9e-6 R3=2.3e-3 C3=700 D3=2330 U=5 ! Choose

Element and define MP ! ET,1,SOLID69 KEYOPT,1,1,0 MP,RSVX,1,R3 MP,KXX,1,K3 !

Finite element model ! BLOCK,0,5E-6,0,5E-6,0,0.5E-6 BLOCK,0,4.5E-6,0.5E-6,4.5E-6,0,0.5E-6 /PNUM,VOLU,1 VPLOT VSBV,1,2 SAVE MAT,1 VMESH,P EPLOT SAVE !

Define Load and boundary conditions ! /PNUM,AREA,1 APLOT ASEL,S,,,13

DA,ALL,VOLT,0 ASEL,S,,,14 DA,ALL,VOLT,U ALLSEL ASEL,S,,,3,4

SFA,ALL,1,CONV,12.5,20 ASEL,S,,,6 SFA,ALL,1,CONV,12.5,20 ASEL,S,,,15,16

SFA,ALL,1,CONV,12.5,20 ALLSEL SAVE FINISH /SOL /STATUS,SOLU SOLVE

LESIZE,ALL,0.5e-6 TYPE,1 /POST1 PRNSOL,TEMP 2.2、部分分析结果视图 3D-Nodal

Temperature

3D-Potential Distribution

3D-Nodal Temperature:稳定状态下加热元件的温度可以达到762859℃,实际应该无法达到,仿真中之所以出现可能与加载电压过大、与外界传热不足、电阻率大小选择不当等有关系。

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