5.4 晶体光学元件
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激光用非线性光学晶体元件性能测量方法1 范围本文件规定了非线性光学晶体元件低温相偏硼酸钡(β-BaB2O4,简称BBO)、三硼酸锂(LiB3O5,简称LBO)、磷酸二氢钾(KH2PO4,简称KDP)、磷酸钛氧钾(KTiOPO4,简称KTP)、铌酸锂(LiNbO3,简称LN)、硫镓银(AgGaS2,简称AGS)、碘酸钾(KIO3)的质量测试方法。
本文件适用于BBO、LBO、KDP、KTP、LN、AGS和KIO3晶体元件。
能满足本文件要求的其它非线性光学晶体元件也可参照使用。
2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 11297.1 激光棒波前畸变的测量方法GB/T 16601.4 激光器和激光相关设备激光损伤阈值测试方法第4部分:检查、探测和测量3 主要测试项目物理性能散射、光学不均匀性、特定波长吸收、紫外截止波长、I类相位匹配波长、有效非线性光学系数、倍频转换效率、弱吸收系数、双折射率、激光损伤阈值、减反膜剩余反射率、波前畸变。
加工质量尺寸公差、角度偏差、平行度、平面度、垂直度、有效通光孔径、膜层牢固度、膜层的抗高湿性能、膜层的抗温度冲击、粗糙度、崩边、崩口及崩裂、倒角、表面疵病。
4 测试的环境要求洁净等级:10000级温度:(23±2)℃湿度:(55±5)%5 测试方法散射5.1.1 测试原理利用单晶元件内部的包络、气泡等缺陷对激光束的散射作用,观测单晶元件内部质量。
当激光通过元件的光路被散射变粗或出现发散光,表明元件存在包络、气泡等缺陷。
5.1.2 测试条件样品:单晶元件的激光入射面、出射面及观测面抛光。
环境:在暗室内测量。
5.1.3 测试仪器He-Ne激光器(波长632.8nm,功率40mW~50mW,光斑直径大于等于2mm),三维调节平台,带标尺的50倍显微镜。