• 声光调Q是一种广泛使用的 Q开关方式,其有重复频率高、性能可靠的优点。
激光调制前
激光调制后
4.机械运动系统
• 基片送入后,高精度伺服电机在微机的控制下转动振镜的角度;
• 激光束通过扫描镜的反射,由f-θ场镜聚焦到基片的边缘位置上;
• 在微机上通过专用的控制软件输入总的清边面积、激光束的行走速度 和需要重复的次数;
E2
E2
E1
E1
自发辐射跃迁
自发辐射光子
c. 受激辐射(激光): 当频率为=ν(E2-E1)/h的光子入射时,会引发粒子以一定的概率,迅 速地从能级E2跃迁到能级E1,同时辐射一个与外来光子频率、相位、偏振态以及传播方向都 相同的光子。
E2
E2
入射光子
E1
E1
受激辐射光子 入射光子
受激辐射跃迁 3-2 粒子数反转
(Top flat)
高斯
多元高斯
• 减少脉冲时间,高的峰值能量,更多的能量密度
Less pulse time, high peak power more energy density
能量密度=功率/频率/光斑面积
pulse
1.1uW/um=220W/20KHz/900um2
Hz
4.重叠率计算——Overlap
全反光镜
反光镜: (越75%
)
Shutter
激光器外形 接光纤
Q-Switch
晶体腔
功率计
激光器内部分解图(P4)
Q-Switch 半反镜
晶体腔 光纤耦合器
镜头聚焦原理——凸透镜
激光刻划原理——以P1为例
光斑
1.Beam Shaping (激光束形状)
• 一般的激光都为高斯分布的波形,即高斯光束,为实现特殊的制程需求,需要转变 成为扁平式波形的平顶光束,即Top Hat,通过透镜组改变光束质量和形状产生。