《微电子学概论》课程教学大纲
课程名称：微电子学基础 / Conspectus of Microelectronics
课程代码：020727
学时：32 学分：2 讲课学时： 32 上机/实验学时： 0 考核方式：考查
先修课程：模拟电子技术
适用专业：电子信息工程等电类专业
开课院系：电子电气工程学院电子信息系
教材：张兴黄如刘晓彦主编.微电子学概论（第二版）.北京：北京大学出版社,2005年主要参考书：
[1] 郝跃主编.微电子学概论.北京：高等教育出版社,2003年
[2] 吴德馨主编.现代微电子技术.北京：化学工业出版社,2003年
[3] （美）Donald A.Neamen编.半导体器件导论.北京：清华大学出版,2006年
一、课程的性质和任务
本课程是电子信息工程类专业的一门专业基础课。该门课程主要介绍了微电子学发展史、半导体器件、制造工艺、集成电路和SOC电路的设计以及计算机辅助设计技术。该课程为学生进行微电子技术研究和集成电路的开发提供了理论基础。
二、教学内容和基本要求
对本课程的学习，要求掌握集成电路的器件、组成、制造工艺及基本设计方法。教学内容如下：
第一章绪论
1.晶体管的发明和集成电路的发展史
2.集成电路的分类
3.微电子学的特点
第二章半导体物理和器件物理基础
1.半导体及其基本特性
2.半导体中的载流子
3. pn结
4.双极晶体管
5.MOS场效应管
第三章大规模集成电路基础
1.半导体集成电路概述
2.双极集成电路基础
3.MOS集成电路基础
第四章集成电路制造工艺
1.双极集成电路工艺流程
2.MOS集成电路工艺流程
3.光刻与刻蚀技术
4.氧化
5.扩散与离子注入
6.化学气象淀积
7.接触与互联
8.隔离技术
第五章集成电路设计
i.集成电路设计特点与设计信息描述
ii.集成电路的设计流程
iii.集成电路的设计规则和全定制设计方法iv.专用集成电路的设计方法
v.集中集成电路设计方法的比较
vi.可测性设计技术
第六章集成电路设计的EDA系统
1. VHDL及模拟
2.综合
3. 逻辑模拟
4．电路模拟
5．时序分析和混合模拟
6．版图设计
7．器件模拟
8．工艺模拟
9．计算机辅助测试（CAT）技术
第七章系统芯片（SOC）设计
1．系统芯片的基本概念和特点
2．SOC设计过程
第八章光电子器件
1．固体中的光吸收和光发射
2．半导体发光二极管
第九章微机电系统
1．基本概念
2. 几种重要的MEMS器件
3．MEMS加工工艺
4．MEMS技术发展的趋势
5．纳机电系统
第十章纳电子器件
1．纳电子器件概述
2．碳纳米管和半导体纳米管
3．量子电、量子线
4．单电子晶体管
5．分子结器件
6．场效应晶体管
7．逻辑器件及其电路
第十一章微电子技术发展的规律和趋势
1．基本规律
2．趋势和展望
三、实验（上机、习题课或讨论课）内容和基本要求
1.各章课后均有习题
2．关于微电子发展、集成电路设计、光电子、微机电系统及纳电子等方面撰写小论文。
五、对学生能力培养的要求
通过本课程的学习，学生应能基本掌握微电子学发展、半导体器件的物理基础、制造工艺及集成电路设计方法。
六、说明
1.在学习本课程之前要求学生已掌握基本的模拟电子技术知识
本课程的重点、难点是集成电路的设计和工艺流程。
