鄭石治，朱小蓉 / 華懋科技股份有限公司
蔡尤溪 / 台北科技大學冷凍空調工程系(台灣台北
有機溶劑被廣泛的應用於各工業製程中，隨著使用製程條件的不同，形成濃度不一的揮發性有機氣體(Volatile Organic Compounds，簡稱VOCs，隨著製程排氣排放於大氣中，造成自然生態環境的破壞及對人體的危害，世界各先進國家為防止生態環境的繼續惡化及保護人體的健康，先後對VOCs的排放定了排放標準，並且互相約定，逐年遞減降低其排放量，而達成總量管制的目標。
目前市面上提供之揮發性有氣體處理設備種類極多，但一般而言，其處理方法，均不出洗滌法、冷凝法、吸附法、焚化法、生物處理法…等(見表一所示。且由於處理廢氣多為混合之複雜氣體，為達經濟效益，常綜合兩種以上處理方法共同使用者。由於每種處理方法均有其適用的範圍及優、缺點，在設置前最好能先瞭解待處理廢氣之組成濃度、排放週期，欲達到的處理效益及可設置之地點、空間大小，再行選擇適當處理系統。
[表一：市面上常見的處理設備]
半導體工業製程廢氣處理規劃
一般而言，半導體及其相關產業之製程廢氣，大都具有大風量(風量＞10,000CMH 以上及低濃度(濃度＜500ppm as CH4的特性，但其中幾個製程所排放之廢氣濃度特別高，例如去光阻製程中，有些操作通常在60℃以上，不但造成排放的廢氣濃度特別高，去光阻劑中某些高沸點的化學品，例如二甲基亞砜(Dimethyl sulfoxide，單乙醇胺(Monoethynol amine；PGMEA等，均隨之溢散出，極易造成後續處理系統中的吸附劑快速失去活性。因此，在規劃廢氣處理系統時，最好能先釐清那些製程單元必需先以現場單點處理設備(point of use，簡稱POU處理者，採分流處理後，再併入主廢氣風管。由於廢氣的風量相當大，濃度又不高，直接以焚化的方法操作成本相當高。而廢氣的組成中又含有沸點高、低差異大的化學品，例如，IPA、Acetone、MEA、HMDS、DMSO、PGM…等 (見表二，造成處理的難度增加。IPA及Acetone的沸點極低，採洗滌法時，溶於水中之溶劑反而有被氣提出來的可能，並不適用。而HMDS亦有分解為二氧化矽而將吸附劑孔洞阻塞的可能。此外，其中某些化學品的閃點極低，操作的安全性亦是不可忽略的因素。因此，較為經濟有效的方法是先將廢氣的風量下降，及濃度提升以降低處理成本，再就濃縮後的廢氣選擇適當的處理方法，表三所示為可能的組合方式及特性分析。其它之組合方式例如以固定床、纖維碳床等為濃縮裝置均因工安問題 (因處理溶劑大都為含有氧的化合物，例如：IPA、Acetone…等，易造成碳床著火的困擾，或因再生需求頻繁，又無法線上再生，不但作業上不便，且不易符合目前環保法規的規定而較不適用。
[表二：半導體製造業VOCs廢氣成分特性]
[表三：吸附濃縮及各式後處理組合方式比較]
處理技術簡介
沸石濃縮轉輪 + 焚化處理
此套系統主要係利用吸附及加熱氧化將VOCs的技術分解為二氧化碳及水，吸附設備係以陶瓷纖維為基材做成蜂巢狀之大圓盤之輪狀系統 (如圖一所示，輪子表面塗佈有疏水性的沸石做為吸附劑，整個輪面分為3個區域，吸附區、再生區及吹冷區，以齒輪帶動。含有VOCs的廢氣以風車送入轉輪的吸附區，在VOCs被吸附去除後，成淨化氣體排放。當輪子吸附飽和後轉入脫附區，以170~250℃的溫度加熱使被吸附的溶劑脫附出來，經再生後的輪子，再轉入吹冷區，降溫後繼續進行吸附而被脫附出來的濃縮氣體 (VOCs約被濃縮10~13倍，則送入燃燒機焚化處理。
[圖一：蜂巢狀沸石轉輪示意簡圖]
目前的設計多採用恢復式的燃燒機(Recuperative Thermal Oxidizer，RTO，熱回收效率約80%左右(分兩段熱回收，以節省燃料費。目前可見的系統設計包括以單風車送風的前置風車正壓設計，後置風車抽風的負壓設計系統，及雙風車的前、後風車串連的微負壓設計系統，見圖二所示其中，以雙風車的系統操作最為穩定(2。
[圖二：沸石濃縮轉輪 + 恢復式燃燒機 (雙風車微負壓系統]
由於燃燒機之操作溫度一般在730℃以上，VOCs的破壞率均大於99%，因此影響系統去除效率的因素大都視轉輪的操作條件而定，而影響轉輪性能的因素，則包括有廢氣的特性，廢氣入轉輪之線速度，轉輪的轉速，再生溫度，及設計的濃縮倍數等。
[圖三：Effect of regeneration temperature on the optimal rotation speed]
[圖四：Effect of regeneration temperature on the optimal rotation speed]
[圖五：Comparison high boiling VOC and low boiling VOC on removal efficiency]
[圖六：Relationship between concentration ratio and removal efficiency]
一般而言，廢氣的線速度大都保持在2.5 M/S 以下，轉輪轉速及再生溫度等的影響分別如圖三、圖四、圖五及圖六所示(3。通常廢氣內含有高沸點之化學品時，易將吸附劑的孔洞阻塞而失去吸附能力，使處理效益下降。唯經水洗再生的方式可恢復其性能(4，圖七所示，即為某兩廠實際操作之結果，表四所示即為其中幾個廠運轉的狀況(5。圖八至圖九為處理系統之外觀相片。
[圖七a：水洗改善對去除效益之影響 *THC測量,濃度有瞬間大於800ppm之狀況]
[圖七b：水洗改善對去除效益影響 *THC測量]
[圖八：(60,000CMH]
[圖九：(80,000CMH]
流體化床吸附系統
本系統主要是利用吸附及冷凝的技術，將廢氣中之VOCs先以球狀活性碳吸附，活性碳吸飽和後，以加熱方式將活性碳孔洞內之VOCs吹出，使VOCs的濃度提高至1000倍以上，再以冷凝方法凝縮為液體去除。處理的流程主要是將排放之廢氣以一風車送入吸附塔之底部，球狀活性碳則由吸附塔的上端落下，形成活性碳在吸附床內的各層浮動之流體化床吸附系統。廢氣中的有機溶劑經以浮動之球狀活性碳吸附後，成為乾淨的氣體排放至大氣中，而吸附飽和後的活性碳球（GBAC），則以空氣輸送方式連續進入一再生爐，以300℃的氮氣脫附再生後，再送回吸附床繼續使用。脫附出來的高濃度氣體，經一冷凝器將其中之溶劑冷凝成液體，未冷凝之攜帶氣體（N2），則送回第二吸附塔回收再利用，冷凝得到的液體可送給代處理中心回收再利用或焚化處理，(詳見圖十。
[圖十]
由於採流動式的吸附床散熱效果佳，在處理高活性溶劑時，不會因反應而局部蓄熱，造成碳床著火。此外，由於所處理的有機溶劑均為易燃之化學品，為了避免熱處理時造成危險，此系統在脫附塔部分設計有以N2保安氣體，使所有高溫操作之流程均在低氧含量之狀態下(O2＜2﹪進行，所以特別安全；另外，設計上最好有隨時監控系統內之氧含量，以確保安全。
此套系統目前在日本的運轉狀況相當良好，唯目前在台使用的結果落差很大，由50~90%均有，可改善的空間極大。可能影響操作效率偏低的因素包括廢氣內含有易分解聚合的化學品，或是吸附塔及脫附塔的設計不佳所致。尤其是脫附塔的設計相當重要，由於需將高沸點的化學品同時脫附出來，要相當高的溫度，一般在300℃左右，脫附塔的加溫功能，溫度分佈的均勻性等均影響到球狀活性碳的再吸附功能。目前日本方面已將脫附塔改進為電熱分段間接加熱的方式，大大提昇了活性碳再生的效益。
結論
不論沸石濃縮轉輪+焚化系統或是流體化床之活性碳吸附系統，均可達到VOCs去除之效益。在半導體業應用之結果顯示，良好設計的系統大都可符合環保法規之規定。在廢氣內含有高沸點之物質時，會降低沸石轉輪的性能，經由水洗再生可恢復其性能，且長期運轉仍能保持良好的效率。唯觀各廠使用的狀況，發現有沸石轉輪悶燒的記錄，雖然轉輪為無機材質的物質由於處理的VOCs本來即為易燃之化學品，閃點極低，在轉輪表面累積有大量之有機物質時，稍有不當即會引起起火事件，唯有加強安全措施設計的產品，才是最佳的處理系統。
參考文獻
(1華懋科技股份有限公司，專利申請編號：089108173
(2日本西部技研提供資料。
(3華懋科技股份有限公司，專利申請編號：88100309
(4華懋科技股份有限公司內部統計資料。
作者
(1朱小蓉為化工博士，現任華懋科技總經理
Shiao-Jung Chu, President of Desiccant Technology Corporation
可透過以下電話與作者聯絡：
華懋科技股份有限公司
台灣龍潭 Tel：886-3-4718481
台灣新竹 Tel：886-3-5832511
(2 鄭石治，現任職於華懋科技
(3 蔡尤溪，台北科技大學冷凍空調工程系
Yew Khoy Chuah, Dept. of Air-conditioning and Refrigeration, National Taipei U. of Technology
《晶圆处理制程介绍》 基本晶圆处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗（Cleaning）之后，送到热炉管 （Furnace）内，在含氧的环境中，以加热氧化（Oxidation）的方式在晶圆的表面 形成一层厚约数百个的二氧化硅层，紧接着厚约1000到2000的氮化硅层 将以化学气相沈积Chemical Vapor Deposition；CVP）的方式沈积（Deposition）在刚刚长成的二氧化硅上，然后整个晶圆将进行微影（Lithography）的制程，先在 晶圆上上一层光阻（Photoresist），再将光罩上的图案移转到光阻上面。接着利用蚀刻（Etching）技术，将部份未被光阻保护的氮化硅层加以除去，留下的就是所需要的线路图部份。接着以磷为离子源（Ion Source），对整片晶圆进行磷原子的植入（Ion Implantation），然后再把光阻剂去除（Photoresist Scrip）。制程进行至此，我们已将构成集成电路所需的晶体管及部份的字符线（Word Lines），依光罩所提供的设计图案，依次的在晶圆上建立完成，接着进行金属化制程（Metallization），制作金属导线，以便将各个晶体管与组件加以连接，而在每一道步骤加工完后都必须进行一些电性、或是物理特性量测，以检验加工结果是否在规格内（Inspection and Measurement）；如此重复步骤制作第一层、第二层．．．的电路部份，以在硅晶圆上制造晶体管等其它电子组件；最后所加工完成的产品会被送到电性测试区作电性量测。 根据上述制程之需要，FAB厂内通常可分为四大区： 1）黄光本区的作用在于利用照相显微缩小的技术，定义出每一层次所需要的电路图，因为采用感光剂易曝光，得在黄色灯光照明区域内工作，所以叫做「黄光区」。 2）蚀刻经过黄光定义出我们所需要的电路图，把不要的部份去除掉，此去除的步骤就> 称之为蚀刻，因为它好像雕刻，一刀一刀的削去不必要不必要的木屑，完成作品，期间又利用酸液来腐蚀的，所 以叫做「蚀刻区」。 3）扩散本区的制造过程都在高温中进行，又称为「高温区」，利用高温给予物质能量而产生运动，因为本区的机台大都为一根根的炉管，所以也有人称为「炉管区」，每一根炉管都有不同的作用。 4）真空
产业特点: 合成橡胶企业排放包括：烃类、醇类、醛类、酸类、酮类和胺类、丁二烯、二氯甲烷等有机物废气。 选择治理方案的几个基本要素： 根据废气成分（是否含有水分、固态物、油状物，及处理难易程度）、浓度（高、低）、排放形式（连续或间歇排放）选择处理方案。 以下情况适用等高温离子焚烧处理方案： 有机物含量较高、成分复杂、易燃易爆（丁二烯等）、较难分解物质如二硫化碳，含有颗粒物、油状物、连续大剂量排放的工业废气。 如凹版印刷、胶板印刷、涂装、化学合成、石油化工、香精、香料等行业。 以下情况需要增加旋风除尘装置： 含有颗粒物的工业废气，如涂装行业废气。 以下情况需要增加冷凝器： 废气温度超过70℃且含有大量水分，需要加装冷凝器。 以下情况需要增加气、液（油）分离装置： 1、含有油状物的工业废气，如垃圾焚烧装置排放尾气。 2、含有大量水分。 以下情况需要加装防爆阻火器：（天然气防爆阻火器） 废气中含易燃易爆成分，工作场所有防爆要求。 高温等离子焚烧技术: 高温等离子焚烧技术是高频（30KHz）高压（100KV）大功率电源在特定条件下的聚能放电，产生3千℃等离子态高温气流。 待处理气体在反应器中经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。处理过程中气体由常温急剧上升至3千度高温，反应器压力增高，气体体积也因此急剧膨胀，在极短的时间里完成物质的裂解过程。 经高温等离子焚烧处理，废气中长分子链有机物裂解成单质原子。处理设备排出气体主要成分为二氧化碳、水蒸气。 高温等离子焚烧技术能够处理高浓度、成分复杂、易燃易爆、含有固态、油状物的工业废气。
工艺流程： 天然气防爆阻火器（定制）： 该产品适用输送可燃性气体、加热炉燃料气、石油液化气、煤矿瓦斯及民用煤气管道管网，防止在非正常情况下火焰于管道中的逆向传播，防止外部火焰窜入存有易燃易爆气体的设备，阻止火焰在设备管道间蔓延，避免灾难性事故的发生。 该产品基于金属波纹板之间狭缝间隙对管道中传播的亚音速或超音速火焰具有淬熄作用的原理设计制造。 阻火器带有配对法兰，法兰采用化工部HG20592-97标准制造主体材料碳钢采用20钢，波纹阻火芯采用不锈钢1Cr18Ni9Ti。 工作原理： 阻火器由能够通过气体的许多细小、均匀或不均匀的通道或孔隙的固体材质所组成，对这些通道或孔隙要求尽量的小，小到只要能够通过火焰就可以。火焰进入阻火器后就分成许多细小的火焰流被熄灭。火焰能够被熄灭的机理是传热作用和器壁效应。
废气处理方案 太阳能电池线的生产过程中涉及制绒、扩散、镀膜、印刷等工艺，在生产过程中会使用大量的化学试剂，如盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸、氢氧化钾（或氢氧化钠）、硅烷、氨气、醇类等，这些化学试剂在使用过程中会释放出大量的有害废气，所排放的废气主要为氯化氢、氟化氢、氯气、氮氧化物、氨气、硅烷、醇类废气等，这些废气需要被有效的处理，完全达到国家和地方的排放标准后才能排入大气中。 （一）废气分析 1、制绒工艺废气分析 在制绒工艺过程中，废气源主要为制绒及清洗设备，废气种类因工艺不同而有区别，主要废气为氮氧化物、氟化氢气体（多晶工艺）；碱蒸汽及醇类（单晶）。 2、扩散工艺废气分析 扩散工艺涉及废气排放的设备主要是：扩散炉、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。扩散炉排出的废气是酸性废气及热废气，本项目酸性废气主要为含氯废气，如氯气等。石英管清洗机、石墨舟清洗机产生的废气主要为含氟化氢及氯化氢成分的酸性气体。 3、镀膜工艺废气分析 镀膜工艺涉及的主要设备为去磷硅玻璃清洗机及PECVD等。去磷硅玻璃清洗机产生的废气主要成分为氟化氢及氯化氢等；PECVD尾气主要包含硅烷、氨气等。 4、印刷工艺废气分析 印刷工艺涉及的主要设备为印刷机和烧结炉，产生的废气主要是一些以脂类和醇类废气为主的有机废气。 （二）废气抽风量设计及设备选择
根据上述废气分析，太阳能电池生产线产生的废气以处理方式来分可分为三类：酸碱废气、硅烷及氨气等特气、有机废气。 1、酸碱废气净化系统 本项目涉及的酸碱废气来自制绒清洗机、扩散炉、去磷硅玻璃清洗机、石英管清洗机及石墨舟清洗机等，主要成分为HF/HCl/Cl2/碱蒸汽等，这些废气均可溶于水，可以采用酸碱中和的方式进行废气处理。一般采用碱液喷淋方式进行废气净化。本项目废气处理分为二部分：扩散间及其他废气。扩散间的酸碱废气为15000m3/h，选一套DGS-B-15型废气洗涤塔进行处理；其他的酸碱废气采用一套DGS-B-40型废气洗涤塔进行处理其处理风量为40000m3/h。废气洗涤塔主要有以下几部分组成：洗涤塔、自动加药系统、玻璃钢离心风机、玻璃钢风管、排风烟囱及保护钢架、电气控制柜等组成。 设备工艺流程如下图： 从车间工艺段抽出的酸碱废气在离心风机的作用下进入洗涤塔。在洗涤塔内部，中和液经喷淋系统喷洒而下，与废气中的酸性气体发生中和反应从而起到净化效果。为了提高净化塔的净化效率废气洗涤塔填料
昱明实业 玻璃胶生产有机废气治理技术方案 山东索源环保科技有限公司 二〇一六年八月
设计单位：山东索源环保科技有限公司方案编号：20160816 设计： 校对： 审核： 项目负责人： 电话：传真： 总工程师：签发：
一、项目背景 业主在玻璃胶生产过程中会产生一些挥发性有机污染物，非常容易随风扩散,其中部分污染物有一定的腐蚀性的，如不对其进行处理，将对环境和人体健康产生一定影响。 1、挥发性有机溶剂的毒害性： 有机化合物不仅对人体有刺激作用，而且其中不少对内脏有毒害作用，还有的是致突变物与致癌物。有机化合物中的烯烃和某些芳香烃化合物，在大气中，在阳光的作用下，还可以和氮氧化物发生反应形成洛杉矶型的光化学烟雾或工业型光化学烟雾，造成二次污染。2、生产车间通风的重要性： 人类的生存离不开空气，而空气物理性质的变化和化学成分的改变都直接影响到人体的健康。在业主玻璃胶生产过程中，散发出的有机废气，对企业和人员的健康造成一定的威胁，为改善工作环境和保障工人的身体健康，提高工人的劳动积极性,需对其进行合理的通风或装置必要的净化系统。 因此，企业的有机废气治理不仅能改善工人的劳动条件，提高劳动生产率，而且也是企业工业生产能正常进行，产品能达到质量标准的保证。 二、设计依据、执行标准及设计原则
（一）设计依据 1、《中华人民共和国环境保护法》； 2、《中华人民共和国大气污染防治法》； 3、《大气污染控制设计手册》； 4、《工业企业设计卫生标准》； 5、同类企业中的成功经验； 6、该公司提供的的现场实际情况及设计要求； （二）执行标准 处理后废气排放符合《大气物污染综合排放标准》（GB16297-1996）和《山东省固定源大气颗粒物综合排放标准》（DB37/1996-2011），颗粒物≤50。 （三）设计原则 1、严格按照各相关的国家设计规范、标准、要求进行设计，确保废气处理后达标排放。 2、本着技术先进、经济节约的原则，采用高效节能、成熟可靠的工艺技术，节省工程投资和降低运行费用。 3、设备外形美观，便于操作和维修保养，运行稳定、安全、可靠，使用寿命长，运行费用低。 4、将车间内的废气有组织的净化排放，减少车间内的异味，促
定型机余热回收+废气净化处理方案
定型机废气余热回用 设 计 方 案
****科技有限公司 定型机废气余热回用 设计方案 一、公司简介 本厂将兼者“共创价值、共享成就”的经营理念，竭诚为客户提供优质的产品和服务，热忱欢迎社会各界有志人士前来考察、洽谈。因印染企业的定型机烟囱排放废气，污染着周边的空气，影响着人类的生活，空气质量的下降及危害人们身体的健康。因此废气的治理关系着企业的今后持续发展和壮大。也是政府、环保部门和公司领导极为关注的问题。每家企业都在寻求较好地解决这一问题，是个自然和必然的趋势。 二、工艺流程 我公司的定型机余热回用净化装置由三大件组成：余热回用器、喷淋静电一体化废气净化器、油水分离器。废气净化器采用喷淋静电一体化技术,是与多所大学环境工程研究所的合作成果,为国内最先进.最安全.最环保的净化设备之一，该流程为最新流程。装置流程为：定型机外排废热空气集中通过余热回用器，加热外部的新鲜空气，通过风管回用到定型机前一二节烘房，阻止定型机进布口的冷空气进入，提高前一二节烘房温度，从而提高车速，节约能源。经过冷热交换后的废气进入废气净化器后，即被多重水幕净化,然而经高频电子进一步除尘除雾,达到环保要求。由于废气中含有多种复杂的有害物质，（包括染化料、助剂、
硬化剂、阻燃剂、纤维油等等）这些物质被混于水中，通过油水分离器、回收纤维油脂（现市场价约在2000-2500元/吨）废水定期排入污水管网。详见流程图。 三、主要技术参数 余热温度回用率 ≥85% 如果排烟温度150℃则回用温度135℃以上 热风回用量（小时） 1800立方/小时～3600立方/小时，满足定型要求 废气净化率（企标） 低于国标排放限值油烟 85% ～95％ 颗粒物 90%～95% 油烟收集率 98.5%以上 用电量 数码高 1.KW 高低压2KW 回用风 1.1KW 饱和增湿 洗涤单元 清液循环利用 定型机烟气 排放 废油回收 热交换器 湿式静电处理单元 新鲜空气 去定型室 油水分离器 冷却水 /再生水 废油 含油污水 热能回收部份 气体净化部份 去污水处理厂 ② ① ③ ④ T
目录1、概况 2．设计依据 3、污染源分析 4．治理措施 4．1处理工艺 4．2流程说明 5、主要设施及工艺参数 6、机械、电气、自控设计 7.本污水处理站主要动力设备一览表 8、运行费用 9、工程预算
1、概况 东莞准致制品厂在生产过程中,生产部分粉尘，该粉尘由于较轻可以漂浮在空气中，当人通过呼吸道，吸入肺部后，它就会沉积在人的肺部，使人形成尘肺，严重的影响人体的健康及周围的环境针对上述问题，贵有限公司委托我公司对该项污染源进行工程设计，治理设备安装后以达到消除污染的目的。 2．设计依据 2．1、《大气污染物排放标准》（DB16297—1996）及其相关标准和DB4427-89标准的要求； (1)、二氧化硫550ml/M3 (2)、氮氧化物80 ml/M3 （3）、颗粒物120 ml/M3 2．2根据提供资料的现场勘测分析； 2．3有关的设计技术规范。 3、污染源分析 根据现场勘测及厂方所提供的资料，该厂的打磨工序在打磨过程中，由于机械的高速运行，在打磨片的切线方向，形成一个扇面状的污染源，对车间及周围环境形成很大一个的粉尘漂浮区，严重污染周边的环境。 4．治理措施
4．1处理工艺 4．2流程说明 根据实际情况，拟定采用负压除尘系统来解决，在打磨工序的工作台前增加吸风罩，接通风管路吸尘,防止粉尘外溢，经风机进口强大负压将粉尘送入除尘塔，含尘废气在塔内的从下而上经筛孔进入筛板上的液层，通过气体的鼓泡进行吸收有害物质，然后经气水分离器分离出水，净化后的气体通过排气管排入大气。 5、主要设施及工艺参数 5．1离心风机风量计算：
吸风口:66个 进风控制截面尺寸；0.35*0.15M 污染源控制风速：选4M/S 安全系数: 1.2 设计风量；40000M3/H， 根据现场实际情况拟定采用二套系统,每套系统选用为4-72NO8D离心风机， 风量为20332M3/H，风压为1960Pa。 5．2除尘器 筛板塔形式钢结构；尺寸φ2200*4700MM，空塔速度为1.5M/S，筛板开孔率为10%，二层筛板，全塔压降；800-1000Pa 液相负荷60M3/H。 5.3气水分离器； 钢结构，安装在吸收塔顶部。 5.4循环泵；选用GD100-21泵。流量60M3/H，功率5.5KW 5.5管道 主管路采用1000*250毫米铁管制成，风速为22米/秒，支管路300*100毫米，支管风速10米/秒以上， 5.6吸尘罩内风速为5米/秒。 5.7烟囱直径、高度的确定； 即要满足大气污染污物的扩散稀释要求，又要考虑节省投资。取排放出口空气流速为20M/S，根据风机风量为
（润华环保设备制造商） 1、净化目标 汽车零部件行业在产品生产中，发泡成型、焊接、及烘干工序，塑料材质在高温情况下会挥发非甲烷总烃等VOCs，现在为了保护环境及工人工作环境，我们的目的就是把各部分产生非甲烷总烃等有机挥发气体收集后经光触媒技术光氧催化氧化设 备处理后，设备对含苯、甲苯、 二甲苯及非甲烷总烃等挥发性 有机物进行光催化氧化分解后， 再经活性炭吸附后排放达到国 家工业排放标准；《大气污染物 综合排放标准》二级排放标准； 2、设计内容 有机废气处理系统设计内容 包括：发泡成型工序、焊接工序、 真空复合工序、烘干工序产生的挥发性有机物的处理设施（工艺、设备、电气、控制系统）的工程设计、安装与调试。 3、设计规范 （1）严格遵守国家环境保护的政策和地方政府相关的法律法规、规范和标准。 （2）按照业主方的要求，通过分析比较和调查研究，选用符合实际的工艺方案，以期获得较大的社会效益、经济效益和环境效益。 （3）遵照国家对环境质量的总体要求，与环境协调发展,减少废气污染物
排放，维护和改善周边环境，提倡清洁生产，顺应我国经济建设与环境保护协调发展的总体要求。 （4）采用先进可靠的废气治理工艺，选用安全可靠的废气处理系统和工程材料，提高防御自然灾害风险的能力，确保废气治理工艺和装置的技术上的先进性、经济上的合理性和操作上的可靠性。 （5）结合本项目的特点，按照区域不同浓度的废气的不同情况和治理需求，采用与之相应的废气治理工艺技术，在确保实现治理目标的同时，以降低废气治理系统综合运行费用和节约能耗，使治理后的废气排放的影响降到环境可接受程度，满足国家对环境保护的总体要求，为方案设计的出发点和实现目标。 （6）妥善处理废气处置过程中产生的废水及固体废物，杜绝二次污染。（7）努力提高和保证供电、仪表、自动控制系统安全可靠性。 （8）全面贯彻节能减排、环保、安全、卫生、防火原则。 2.3 主要污染物：VOCs 苯、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃 2.4 通风量及设备选型： 1、根据现场实际情况分析，现采取废气处理措施： 将各工位产生的有机废气，在排风机作用下，经收集管道体进入光触媒催化氧化设备，光触媒催化氧化设备对废气分子进行吸附分解转化，再经活性炭吸附，最后通过15米排风管道达标排放。 2、根据客户提供数据要求，此方案按照风量进行设计。 废气产生位置及风量工况情况 发泡间：首先将主要原料多元醇、异氰酸酯、水以及少量助剂，从贮罐（或贮桶）经泵送入计量系统，计量准确送入机械混合头（在混合过
江苏某某实业股份有限公司车间生产废气处理工程 技 术 方 案 江苏蓝晨环保科技有限公司 2011 年 12 月
目录 第一章项目概况 .............................................................................................. 错误 ! 未指定书签。第二章工程设计内容 ...................................................................................... 错误 ! 未指定书签。 2.1 工程范围 .............................................................................................. 错误 ! 未指定书签。 2.2 技术规范 ............................................................................................. 错误 ! 未指定书签。 2.3 设计依据 ............................................................................................. 错误 ! 未指定书签。 2.4 设计原则 ............................................................................................. 错误 ! 未指定书签。第三章设计参数 ............................................................................................ 错误 ! 未指定书签。 3.1 污染源分析 ......................................................................................... 错误 ! 未指定书签。 3.2 设计处理能力 ..................................................................................... 错误 ! 未指定书签。 3.3 设计排放标准 ..................................................................................... 错误 ! 未指定书签。第四章废气处理工艺分析及确定 ................................................................ 错误 ! 未指定书签。 4.1 污水处理工艺方案的选择 .................................................................. 错误 ! 未指定书签。 4.2 生物氧化技术介绍 ............................................................................. 错误 ! 未指定书签。 4.3 工艺流程及简介 ................................................................................. 错误 ! 未指定书签。 4.4 处理单元设计 ..................................................................................... 错误 ! 未指定书签。第五章建设工期和实施进度 .......................................................................... 错误 ! 未指定书签。第六章投资估算 .............................................................................................. 错误 ! 未指定书签。 6.1 土建工程投资估算 ............................................................................. 错误 ! 未指定书签。 6.2 主要工艺设备投资估算 ..................................................................... 错误 ! 未指定书签。第七章运行成本分析 ...................................................................................... 错误 ! 未指定书签。 7.1 废气处理系统设备能耗 ..................................................................... 错误 ! 未指定书签。 7.2 运行费用分析 (15) 第八章质量保证计划与措施 .......................................................................... 错误 ! 未指定书签。 8.1 质量保证计划 ..................................................................................... 错误 ! 未指定书签。 8.2 质量保证措施 ..................................................................................... 错误 ! 未指定书签。 第一章项目概况 江苏某某实业股份有限公司是专业生产覆膜金属板、彩涂板的企业，创建于
有机废气回收设计方案 Company Document number：WTUT-WT88Y-W8BBGB-BWYTT-19998
有机废气处理回收项目 设 计 方 案 2016 年3 月17日
目录 一、总论 2 二、设计依据2 三、动力条件4 四、气候条件4 五、工作内容4 六、排放标准5 七、生产工艺和污染物发生状况5 八、废气处理工艺选择7 九、有机废气回收净化装置技术参数说明15 十、运行费用估算17 十一、工程界定表17 十二、验收细则18 十三、工程进度19 十四、交货期及运输方式19 十五、买卖双方的设计分工和设计联络20 十六、售后服务计划20 十七、设备投资估算21
一．总论 装饰材料有限公司（以下简称客户）在生产过程中，会排放含丙烯酸稀释剂类和PE稀释剂类的废气，该类废气主要含有100#、150#、二甲苯和正丁醇、丁脂、丁醚等有机溶剂，该类有机溶剂的排放不仅污染了环境，而且造成资源的极大浪费。为了保护环境，实现废物资源化，降低生产成本，设计、制造、安装废气全自动回收装置。据此提出本方案，本方案是以丙烯酸稀释剂设计的。 二．设计依据 1．方案设计的基本原则 技术的先进性； 工艺的适用性； 系统运行的可靠性； 操作的简便性； 设备的可维护性； 运行能耗成本的节约性； 性能价格比的经济性 2．方案设计遵守的标准规范
(1)根据该公司的产品结构及生产废气特征，结合已有的工程实例，在确保有机废气回收效 率的前提下，尽可能采用简单、成熟、可靠的处理工艺，达到功能可靠、经济合理、管理方便； (2)污染调查结合企业介绍与实际勘察，尽可能真实反应企业污染状况，为工艺选择提供充 分依据； (3)处理工艺有针对性。应根据企业的具体情况及发展规划，有针对性地提出综合整治技 术路线，对恶臭、有毒化学品防治优先考虑，分析其达标排放的可行性，减轻对大气环境的影响； (4)清洁生产与末端治理相结合，以提高处理效果，降低运行成本，减轻企业负担； (5)主要机电设备选用优质、低能耗的国产设备，设置必要的自控装置，尽最大可能 地减少维修费用。 三．动力条件
Bubbler Wet Thermal Oxidation Techniques
Film Deposition Deposition is the process of depositing films onto a substrate. There are three categories of these films: * POLY * CONDUCTORS * INSULATORS (DIELECTRICS) Poly refers to polycrystalline silicon which is used as a gate material, resistor material, and for capacitor plates. Conductors are usually made of Aluminum although sometimes other metals such as gold are used. Silicides also fall under this category. Insulators refers to materials such as silicon dioxide, silicon nitride, and P-glass (Phosphorous-doped silicon dioxide) which serve as insulation between conducting layers, for diffusion and implantation masks,and for passivation to protect devices from the environment.
慈溪市宏轩电机有限公司漆雾净化工程 设 计 方 案 编制人：姬国华手机： 目录 第一章总论···················································
第二章项目概况············································· 第三章项目设计依据及执行标准························ 第四章项目改造综述 现状··············································要求及设计原则······························· 工程设计范围·································· 供应商责任····································· 项目可行性叙述······························· 第五章项目细述 设计依据········································ 设备规格名称·································· 主要设备原理及说明·························第六章刷胶
房主要设备原理····························第七章 喷胶房主要设备原理···························· 第八章打磨房主要设备原理示························第九章风干房散发气体处理废气工艺···············第十章 处理设备排风与控制系统····················第十一章车间水系统工程案例第十二章····························净化工艺····················展示··············第一章总论 项目名称：慈溪市宏轩电机有限公司喷涂废气净化方案 设计单位：上海兴创环保设备有限公司 施工单位：上海兴创环保设备有限公司 项目负责人：姬国华 设计人员：韩为涂（工程师） 朱卫忠（助理工程师） 曾向洪（成本核算师） 方案编排：姬国华
一、半導體製程氣體介紹: A.Bulk gas: ---GN2 General Nitrogen : 只經過Filter -80℃ ---PN2 Purifier Nitrogen ---PH2 Purifier Hydrgen (以紅色標示) ---PO2 Purifier Oxygen ---He Helium ---Ar Argon ※“P”表示與製程有關 ※台灣三大氣體供應商: 三福化工(與美國Air Products) 亞東氣體(與法國Liquid合作) 聯華氣體(BOC) 中普Praxair B.Process gas : Corrosive gas (腐蝕性氣體) Inert gas (鈍化性氣體) Flammable gas (燃燒性氣體) Toxic gas (毒性氣體) C.General gas : CDA : Compressor DryAir (與製程無關，只有Partical問題)。 ICA : Instrument Compressor Air (儀表用壓縮空氣)。 BCA: Breathinc Compressor Air (呼吸系統用壓縮空氣)。 二、氣體之物理特性: A.氣體分類: 1.不活性氣體: N2、Ar、He、SF6、CO2、CF4 , ….. (惰性氣體) 2.助燃性氣體: O2、Cl2、NF3、N2O ,….. 3.可燃性氣體: H2、PH3、B2H6、SiH2Cl2、NH3、CH4 ,….. 4.自燃性氣體: SiH4、SC2H6 ,….. 5.毒性氣體: PH3、Cl2、AsH3、B2H6、HCl、SiH4、Si2H6、NH3 ,…..
某企业有机废气处理工程 设 计 方 案 2019年10月
第一章有机废气处理工程工艺设计概况 一、工程概况 厂方生产车间内的工件焊锡工序会产生有机废气污染，须处理后才能排放，否则会对周围环境造成污染。 二、设计依据及标准 1、《中华人民共和国环境保护法》； 2、《广东省大气污染物排放标准》(DB44/27-2001)二级标准； 3、《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) 新污染源二级排放标准； 4、国家及地区颁发的其它有关设计规范； 5、厂方提供的有关设计的原始资料。 三、设计范围 1、有机废气处理工艺设计； 2、有机废气处理系统平面布置设计； 3、有机废气处理系统设备选型； 4、有机废气处理系统工程投资概算； 四、设计条件 1．设计处理量： 设计生产线有7条废气收集管引至楼顶排放，所配风机3套，风压约为750Pa，每套排风量为10000 m3/h。 根据该厂提供资料，现拟将7条排风管分别连接3套离心风机，将废气引入有喷
淋塔，然后接至除雾器去除水雾后连接至活性炭吸附装置进行吸附处理，共设3台活性炭吸附器，活性炭吸附装置设计处理量为8000 m3/h。 五、工艺设计 废气处理工艺流程如下： 工作点????排放 1、活性炭吸附工作原理 a. 吸附现象是发生在两个不同相界面的现象，吸附过程就是在界面上的扩散过程，是发生在固体表面的吸附，这是由于固体表面存在着剩余的吸引力而引起的。吸附可分为物理吸附和化学吸附；物理吸附亦称范德华吸附，是由于吸附剂与吸附质分子之间的静电力或范德华引力导致物理吸附引起的，当固体和气体之间的分子引力大于气体分子之间的引力时，即使气体的压力低于与操作温度相对应的饱和蒸气压，气体分子也会冷凝在固体表面上，物理吸附是一种放热过程。化学吸附亦称活性吸附，是由于吸附剂表面与吸附质分子间的化学反应力导致化学吸附，它涉及分子中化学键的破坏和重新结合，因此，化学吸附过程的吸附热较物理吸附过程大。在吸附过程中，物理吸附和化学吸附之间没有严格的界限，同一物质在较低温度下可能发生物理吸附，而在较高温度下往往是化学吸附。活性炭纤维吸附以物理吸附为主，但由于表面活性剂的存在，也有一定的化学吸附作用。 b. 活性炭对废气吸附的特点： （1）、对于芳香族化合物的吸附优于对非芳香族化合物的吸附。 （2）、对带有支键的烃类物理的吸附优于对直链烃类物质的吸附。 （3）、对有机物中含有无机基团物质的吸附总是低于不含无机基团物质的吸附。 （4）、对分子量大和沸点高的化合的的吸附总是高于分子量小和沸点低的化合物的吸附。 （5）、吸附质浓度越高，吸附量也越高。
有机废气处理工程设计方案 RTO处理工艺 ******* 二〇一八年四月
目录 一、工程概况 (3) 二、工况参数 (4) 三、设计及排放标准 (4) 四、设计范围及原则 (6) 4.1工程范围 (6) 4.1.1卖方 (6) 4.1.2买方 (6) 4.2设计原则 (7) 五、有机废气处理方法的确定 (8) 5.1废气治理方案的比较 (8) 5.2有机废气处理方法的适用性与经济性比较 (9) 5.3 本项目拟采用工艺技术 (10) 六、RTO主体设备简介 (11) 6.1 蓄热式热氧化炉(RTO) (11) 6.1.1 RTO运作结构 (11) 6.1.2 RTO内部空气流动 (12) 6.2蓄热陶瓷 (12) 6.3 RTO热氧化室 (13) 6.4 蓄热室 (13) 6.5保温与绝热 (14) 6.6旋转分配门 (14) 6.7燃烧机 (15) 6.8风机 (16) 6.9电气控制系统 (16) 6.10 安全设计 (18) 6.10.1设计安全 (18) 6.10.2防爆设计 (18) 6.10.3管路系统的安全设计 (19) 6.10.4电气控制设计 (19) 七、主要设计参数 (20) 八、能耗计算 (20) 8.1 热平衡计算 (20) 8.2运行成本分析 (21) 九、主要设备及工程估价 (22) 十、质量保证、操作培训及售后服务 (23) 10.1质量保证 (23) 10.2操作培训 (23) 10.3售后服务 (23) 十一、提供的相关文件资料 (24)
一、工程概况 *******位于*******英红镇，主要从事胶粘带及相关产品的生产于制造，其涂布生产线及烘烤生产线有机废气的产生，其主要成份为苯类及脂类。 计划三条生产线，根据现场实测数据，单条生产线排气在未稀释的工况下：11059.2m3/h, 3240ppm (13307mg/m3),温度大于50℃。 根据HJ 2000-2010 《大气污染治理技术导则》第6.5.3.3条进入热力燃烧工艺的有机废气浓度应控制在其爆炸极限下限的25%以下，对于混合有机化合物，其有机物浓度应根据不同有机化合物的浓度比例和其爆炸下限值进行计算与校核。甲苯的爆炸极限1.2%～7.0%（体积），其爆炸极限下的限的25%为3000ppm(12321 mg/m3)。贵司在该工况下排气浓度超过其爆炸极限下的限的25%，为不安全工况，因此应对其排气在进入处理设备前进行稀释，根据其稀释后的实测数据为：21196.8m3/h, 8214mg/m3，取整后：单套排放废气25000m3/h, 7000mg/m3，3套共计排放风量为：75000 m3/h。 排放的有机废气在大气中如超过一定浓度，除直接对人体健康有害外，在一定条件下经日光照射还能产生光化学烟雾，对环境和人造成危害，须净化达标处理后才能排放。现根据国家环保政策和排放标准要求，结合贵公司的实际情况，特编制本工程设计方案，供贵公司选择。
废气处理方案 无锡德尔迅实验设备有限公司 2018年5月14日 第一章概述 一、概况 业主实验室工作过程中有酸性废气、有机废气散发，这些气体影响了员工的工作环境和周边地区的居住环境，因此不能直排而污染大气层，为了改善这种状况，气体排放达到国家环保标准，该公司拟针对挥发性废气进行净化处理。 无锡德尔迅实验设备有限公司提供废气处理方案，供贵公司审核、选用。 （1）活性炭处理箱（抽屉式）尺寸：L3600*W1500*H1600（外径尺寸） （2）处理风量：23000≈30000风量、 （3）排放标准：处理完可以达到80%≈90% （4）可接受废气浓度90%以上 1、本项工程技术方案按废气挥发状况设计废气处理系统，同时对废气处理系统的设备和材料作选型。 2、合理性：全面规划，合理建设，统筹安排，充分考虑利用设施，使设施与格局和谐共存。根据技术成熟、经济合理的原则进行总体设计和单元设备设计，并充分注意节能，力求减少动力消耗，以节约能源，降低处理成本及运行费用。既要体现技术发展水平，又要脚踏实地立足厂情。 3、可靠性：采用技术可靠成熟的工艺；工程设计合理并留有余量；充分设置调节措施，工艺调节措施和配套措施；采用运行稳定可靠的设备，效率高，管理方便，维护维修工作量少；充分考虑冬季低温等各种不利因素下的系统稳定运行要求，设置必要的监控仪表，运行管理应结合实际，运行自动化，减少人为操作失误。监控仪表和自动化设备应维修维护方便。确保废气处理装置的稳定性和可靠性。 4、经济性：针对所有废气的特点和处理要求，进行各种高效处理设施的优化组合，以达到占地面积少、适用性强的目的，专用设备的选型进行充分比选，达到性能价格比的最优化，在保证质量和安全可靠的前提下，尽量降低系统造价和运行管理费用。充分发挥项目的社会效益、环境效益和
综合废气工艺设计 编制依据 公司有关领导的情况介绍和我方技术人员实地考察。 《中华人民共和国环境保护法》。 《中华人民共和国大气污染防治法》。 《环境空气质量标准》（GB3095-1996）。 《大气污染物排放标准》（GB16297-1996）。 《建筑结构荷载规范》（GBJ9-87）。 《通用设备安装工程质量检验评定标准》（TJ305-79） 工艺流程选择 针对废气排放所含物质，治理方案考虑采用填料喷淋塔进行处理。喷淋塔是利用吸收的原理来达到处理废气的目的。吸收法处理是利用液态吸收剂处理气体混合物以除去其中某一种或几种气体的过程。在这过程中会发生某些气体在溶液中溶解的物理作用，这是物理吸收。也有气液中化学物质之间发生化学反应，这是化学吸收。吸收作用常用于气体污染物的处理与回收。 吸收法的特点是既能吸收有害气体，又能除掉排气中的粉尘，吸收法分为物理吸收和化学吸收两种。物理吸收是用液体吸收有害气体和蒸气时纯物理溶解过程。它适用于在水中溶解度比较大的有害气体和蒸气,一般吸收效率较低。化学吸收是在吸收过程中伴有明显的化学反应,不是纯溶解过程。化学吸收效率较高,是目前应用较多的有害气体处理方法。本工艺采用的方法就是利用物理与化学的
方法处理废气的，化学吸收过程采用NaOH 溶液做吸收剂。 反应原理： 吸收是中和反应,尾气中的二氧化硫被氢氧化钠溶液吸收.在吸收塔内化学反应方程为: SO2+2NaOH=Na2SO3+H2O SO3+2NaOH=Na2SO4+H2O 应用碱液吸收有害气体时，碱液浓度的高低对化学吸收的传质速度有很大的影响。当碱液的浓度较低时，化学传质的速度较低；当提高碱液浓度时，传质速度也随之增大；当碱液浓度提高到某一值时，传质速度达到最大值，此时碱液的浓度称为临界浓度；当碱液浓度高于临界浓度时传质速度并不增大。 工艺流程的说明 用吸收法处理有害气体在真空泵房上设密闭罩，密闭罩上部设排风口将房内产生的废气排出，保持房内一定负压，废气排出后进入填料喷淋吸收塔。废气进入吸收塔，塔体上部喷淋碱性吸收液，下部进入塔体的有害气体与喷淋液呈逆流流动，废气由风机压入净化塔内的匀压室，经过不等速迂回式的二道喷雾处理，进入净化塔内筒处理器，废气穿过有填料组成的填料层，再经过二道喷雾处理，使气液两相充分接触发生吸收反应，达到高效净化之目的。经处理后的废气再经过脱水器脱液处理，然后排入大气。净化后的废气达到排放标准。吸收了废气后的吸收液流入塔底循环碱液槽中，用耐腐蚀的碱液泵抽出重新送进吸收塔，这样循环往复，不断地对废气
半导体全制程介绍 《晶圆处理制程介绍》 基本晶圆处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗 （Cleaning）之后，送到热炉管（Furnace）内，在含氧的 环境中，以加热氧化（Oxidation）的方式在晶圆的表面形 成一层厚约数百个的二氧化硅层，紧接着厚约1000到 2000的氮化硅层将以化学气相沈积Chemical Vapor Deposition；CVP）的方式沈积（Deposition）在刚刚长成的二氧化硅上，然后整个晶圆将进行微影（Lithography）的制程，先在晶圆上上一层光阻（Photoresist），再将光罩上的图案移转到光阻上面。接着利用蚀刻（Etching）技术，将部份未被光阻保护的氮化硅层加以除去，留下的就是所需要的线路图部份。接着以磷为离子源（Ion Source），对整片晶圆进行磷原子的植入（Ion Implantation），然后再把光阻剂去除（Photoresist Scrip）。制程进行至此，我们已将构成集成电路所需的晶体管及部份的字符线（Word Lines），依光罩所提供的设计图案，依次的在晶圆上建立完成，接着进行金属化制程（Metallization），制作金属导线，以便将各个晶体管与组件加以连接，而在每一道步骤加工完后都必须进行一些电性、或是物理特性量测，以检验加工结果是否在规格内（Inspection and Measurement）；如此重复步骤制作第一层、第二层的电路部份，以在硅晶圆上制造晶体管等其它电子组件；最后所加工完成的产品会被送到电性测试区作电性量测。 根据上述制程之需要，FAB厂内通常可分为四大区： 1）黄光本区的作用在于利用照相显微缩小的技术，定义出每一层次所需要的电路图，因为采用感光剂易曝光，得在黄色灯光照明区域内工作，所以叫做「黄光区」。