一种微通道矩阵光波导平板及其制备方法

微通道阵列产品制备
微通道阵列产品制备是一种新兴的微流体工程技术，它可以用来准确地控制各种生物和小分子的结构和功能。

它提供了一种有效的、科学可靠的纳米制造平台，在这种平台上可以实现精密的控制，从而获得更高的质量、性能和水平。

1. 定义微通道阵列：微通道阵列是一种利用微流体技术在微米级尺度上同时制备一系列通道的方法，它可以将一个大型的系统分割成多个小型的通道来进行操作，以达到最佳的效果。

2. 优点：微通道阵列很小，因此在功耗和空间占用等方面具有很大的优势，此外，还可以实现精确，可靠和可控性，可将数据进行分开存储，逐一进行计算处理，还可以控制和实现各种先进的科学应用。

3. 生产工艺：微通道阵列制备以硅晶元件制备为基础，需要先将硅片抛光和清洗，保证表面均匀度和粗糙度；接着，进行电阻热蒸镀，将各种材料蒸镀在硅晶元件的表面，再进行纳米刻蚀制备通道；最后，进行封闭测试，保证制备出的微通道阵列稳定，无漏气、无漏液。

4. 应用：微通道阵列制备可以用于生物医学、环境监测和生物传感等领域，可以有效检测病毒、蛋白质和DNA等分子；此外，微通道阵列的应用还扩大到了能
源转换、分子计算机、风险评估和资源管理等领域。

5. 研究前景：微通道阵列制备技术的未来具有巨大的发展空间，目前正在进行的研究主要集中在原料改进、微通道设计优化以及阵列结构制备等方面。

另外，还将继续开展着相关性能分析以提高生物分子制备的精度和灵活性。

专利名称：一种制备光波导器件的模板及其制备方法、应用专利类型：发明专利
发明人：唐江,刘嘉蕙,杜海南,高亮,徐凌,宋博翔
申请号：CN202210114101.6
申请日：20220130
公开号：CN114488399A
公开日：
20220513
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本申请公开了一种制备光波导器件模板的方法，并进一步公开了采用该方法制备的光波导器件模板、利用该模板制造光波导器件的方法，以及利用该方法制备的光波导器件及应用。

本申请所提供的以氟化聚酰亚胺作为制备可应用于光互联的光波导器件的材料，可以耐受PCB版制备时较为严苛的高温高压条件，且制备的光波导器件使用温度从100℃提高到200℃及以上。

本申请所制备的光波导器件在光通信波段1330nm、1550nm光吸收损耗极小，可有效满足光通信器件的应用需求。

申请人：华中科技大学
地址：430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号华中科技大学
国籍：CN
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微通道阵列是一种微结构技术，用于在微米尺度上制备通道阵列。

它通常使用光刻技术在基材上制作出微细的通道，用于对液体样品进行分离、浓缩和分析。

制备微通道阵列的常见步骤如下：
1. 准备基材：选择合适的基材，如玻璃、塑料或硅板。

2. 制备掩膜：制备光刻掩膜，以确定通道的形状和尺寸。

3. 光刻：通过暴露掩膜并使用化学蚀刻法在基材上制作出微通道。

4. 清洗和干燥：清洗微通道以去除残余的化学物质，并干燥以保证通道的完整性。

5. 连接：连接微通道阵列与其他仪器，以实现样品处理和分析。

微通道阵列制备需要先进的微结构技术和设备，并且需要严格控制制备参数，以确保微通道阵列的质量和性能。

专利名称：光波导元件及其制备方法以及全息光波导显示设备专利类型：发明专利
发明人：雍海波,陈淑丹,魏一振,张卓鹏
申请号：CN201911002010.8
申请日：20191021
公开号：CN112764159A
公开日：
20210507
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及一种光波导元件及其制备方法以及全息光波导显示设备。

所述光波导元件包括至少两个载体与光致聚合物膜形成的层叠体，其中所述光致聚合物膜位于至少两个载体之间；所述光致聚合物膜具有至少一个光耦入区域和至少一个光耦出区域；所述光耦入区域与光耦出区域不相连；并且所述光耦入区域和光耦出区域的位置分别具有光栅结构。

本发明的光波导元件具有较高的折射率调制度，衍射效率，灵敏度以及透光率，具有优异的光波导成像效果。

申请人：杭州光粒科技有限公司
地址：310012 浙江省杭州市滨江区长河街道聚才路88号1幢第2层201室
国籍：CN
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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专利名称：光波导器件及其制备方法
专利类型：发明专利
发明人：蔡艳,俞文杰,王书晓,刘强,余明斌申请号：CN201910689392.X
申请日：20190729
公开号：CN112305667A
公开日：
20210202
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供一种光波导器件及其制备方法。

制备方法包括：形成图形化的复合衬底，其自下而上依次包括底部半导体层、绝缘层及顶部半导体层；复合衬底内形成有凹槽，凹槽贯穿绝缘层且被顶部半导体层所覆盖；对凹槽上方的顶部半导体层进行光刻刻蚀以形成光波导；对光波导进行第一浓度的离子注入以于光波导中形成第一P型注入区和与第一P型注入区相邻的第一N型注入区；对光波导外围的顶部半导体层进行第二浓度的离子注入以分别形成第二P型注入区和第二N型注入区；于第二P型注入区及所述第二N型注入区表面形成金属电极。

本发明有利于简化光波导器件的制备工艺和降低生产成本，有助于提高器件性能。

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：200050 上海市长宁区长宁路865号
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：余明伟
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专利名称：光波导单元、阵列及平板透镜专利类型：发明专利
发明人：范超,韩东成
申请号：CN201910559485.0
申请日：20190626
公开号：CN110286494A
公开日：
20190927
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种光波导单元，包括：多个反射单元，所述反射单元的构成均相同，所述反射单元为金属层、全反射层、介质反射层中的任意一种或任意两种的组合；彼此层叠设置的多个子波导，每个所述子波导的两侧分别具有一个所述反射单元，且在所述多个子波导的层叠方向上，所述多个子波导的高度中的至少两个不同，所述子波导的不同高度值对应不同的入射角方向。

根据本发明实施例的光波导单元，通过设置多个高度的子波导，分别对多个高度下针对不同视角进行调制，从而可以实现对多个无损耗区角度的能量进行分配，从而可以提高成像光束在整个成像视角范围内能量的均匀性。

本发明还公开了具有所述光波导单元的光波导阵列、以及平板透镜。

申请人：安徽省东超科技有限公司
地址：230088 安徽省合肥市高新区望江西路5089号中国科学技术大学先进技术研究院嵌入式开发楼204-A5
国籍：CN
代理机构：北京景闻知识产权代理有限公司
代理人：卢春燕
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