材料表面表征方法
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原子力显微技术(AFM)
通过微悬臂上的针尖在样品表面扫描,使针 尖与凹凸不平的样品表面的顶端原子相互摩 擦产生原子力。在扫描过程中,微悬臂的上 下起伏与等位面的样品形貌相互对应,所以 可通过针尖与微悬臂之间的隧道电流变化, 得到样品表面形貌信息
其分辨率可与透射电镜相比拟 AFM不但能通过探测原子间作用力观察绝缘
红外吸收光谱(Infrared Spectrometry)
红外光谱又称分子振动转动光谱,属分子吸收光谱。 样品受到频率连续变化的红外照射时,分子吸收其 中的一些频率的辐射,分子振动或转动引起偶极矩 的净变化,使振-转能级从基态跃迁到激发态,相 应于这些区域的透射光强减弱,记录百分透过率T %对波数或波长的曲线,即为红外光谱。
0.2mm
0.2mm
0.2nm
Sewing needle diameter Razor blade edge thickness Most cells
Bacteria
Viruses
Macromolecules Atoms
<0.1nm
6/19/2016 31
Why use electrons?
• The resolution of light microscopy is limited by the
扫描电子显微镜( SEM )
扫描电子显微镜,简称扫描电镜,英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。SEM与电子探 针(EPMA)的功能和结构基本相同,但SEM一 般不带波谱仪(WDS)。它是用细聚焦的电子束 轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的 二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌 进行观察和分析。现在SEM都与能谱(EDS)组 合,可以进行成分分析。所以,SEM也是显微结 构分析的主要仪器,已广泛用于材料、冶金、矿 物、生物学等领域。
U 100kV 120kV 200kV 300kV
32
Relativistic l= 3.7 pm l= 3.4 pm l= 2.5 pm l= 2.0 pm
6/19/2016
Electron Microscopy History
1897: Thompson describes the existence of negatively charged particles (electrons)
由基态跃迁到第一激发态,产生一个强的吸收峰,基频峰 由基态直接跃迁到第二激发态,产生一个弱的吸收峰,倍频峰
常见基团的红外吸收带
=C-H C-H CC C=C
O-H O-H(氢键)
C=O C-C,C-N,C-O
S-H P-H N-O N-N C-F C-X
N-H
CN C=N
C-H,N-H,O-H
3500 3000 2500 2000 1500 1000 500
材料表面表征方法
材料表面的表征
表面形貌:表面“宏观”外形 表面组分:元素组成、化学态、表层分布 表面结构:表面原子排列、吸附层原子排列 表面原子态:表面原子或吸附粒子的吸附能、 振动状态 表面电子态:表面能级的性质以及电子在空 间和能量方面的分布
表征手段
表面形貌:SEM、TEM、STM、AFM 表面组分:XPS、AES、EXAF 表面结构:STM、AFM、TEM 表面原子态:EELS 表面电子态:STM、AFM、EELS、UV-vis spectra
其他信息
入射电子进人样品后,经多次非弹性散射能量损失殆 尽,最后被样品吸收,即吸收电子
如果被分析的样品很薄.那么就会有一部分入射电子 穿过薄样品而成为透射电子
半导体样品在入射电子的照射下,产生电子-空穴对。 当电子与空穴发生复合时,会发射光子,叫做阴极荧 光
SEM的优点
高的分辨率。由于超高真空技术的发展,场发射电子 枪的应用得到普及,现代先进的扫描电镜的分辨率已 经达到1纳米左右
1931: Ruska et al. build the first electron microscope (Nobel Prize in 1986)
原子力显微镜(AFM):表面原子量级观察,原子、分子 操纵、加工,物性测量
电子探针(EPMA):电子探针,主要做微区成分分析
电子显微镜
电子显微镜通常分为透射电子显微 镜(TEM)和扫描电子显微镜( SEM ) 两种类型。利用电子显微镜可对样 品内部结构及样品表面形貌进行超 微结构的观察与研究。
用) 共聚焦方式,适于表面或层面分析,高信噪比 能适合黑色和含水样品 高、低温及高压条件下测量 光谱成像快速、简便,分辨率高 仪器稳固,体积适中,维护成本低,使用简单
红外光谱
光谱范围400-4000cm-1 分子振动谱 吸收,直接过程,发展较早
平衡位置附近偶极矩变化不为零 与拉曼光谱互补 实验仪器是以干涉仪为色散元件 测试在中远红外进行,不收荧光干扰
红外光谱产生的条件
(1)辐射应具有能满足物质产生振动跃迁所需的 能量
(2)辐射与物质间有相互偶合作用
对称分子:没有偶极矩,辐射不能引起共振,无红外活 性,如:N2、O2、Cl2 等。
非对称分子:有偶极矩,红外活性。
峰位、峰数与峰强
峰位 化学键的力常数K越大,原子折合质量越小,键 的振动频率越大,吸收峰将出现在高波数区(短波长区); 反之,出现在低波数区(高波长区) 峰数 峰数与分子自由度有关。无瞬间偶基距变化时, 无红外吸收 峰强 瞬间偶极矩大,吸收峰强;键两端原子电负性相 差越大(极性越大),吸收峰越强
二次电子
入射电子与样品相互作用后,使样品原子较外层电 子(价带或导带电子)电离产生的电子,称二次电 子。二次电子的能量较低,一般都不超过50 ev。大 多数二次电子只带有几个电子伏的能量。
二次电子一般都是在表层5-10 nm深度范围内发射出 来的,它对样品的表面形貌十分敏感,因此,能非 常有效地显示样品的表面形貌。
故通常扫描电镜的工作电压在1-30kV
扫描隧道显微技术(STM)
利用量子力学中隧道效应产生隧道电流信号, 获得反映样品表面原子形态结构和原子排列 图象。
具有原子尺度的高分辨率。 可以观察单原子层的实时结构图象,并能在
大气、真空甚至液体环境中观察自然状态下 的样品表面结构,因而在半导体、金属、无 机材料及生物学研究等方面有广阔的应用前 景。
wavelength of visible light (400 – 700nm)*
• Electrons, that are particles as well as a wave,
have much shorter wavelength, which gives much
better resolution (De Broglie equation: l = h/mv)
核磁共振波谱
磁性原子核在强磁场作用下分裂,利用波长在射频区 、能量很低的电磁波照射分子,可以引起原子核的磁 能级跃迁产生核磁共振谱
电子显微分析概述
透射电子显微镜( TEM):小颗粒、薄样品,可以做结构、 形貌、微区分析
高分辨率的透射电镜(HRTEM):高分辨,可达亚埃级, 1nm的微区分析
扫描电子显微镜(SEM):颗粒、快样,接收反射信号, 形貌,与电子背散射衍射花样EBSD结合可观察表面信息, 微区成分分析
有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调 有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观
察各种试样凹凸不平表面的细微结构 试样制备简单,可以直接观察大块样品 配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形
貌的观察和微区成分分析
扫描电镜(SEM)与透射电镜(TEM)的差别
扫描电镜(SEM)的电子枪与透射电镜(TEM)的电 子枪相似,都是为了提供电子源,但两者使用的电压是 完全不同的
它的产额与原子序数Z没有明显关系,不能进行成分 分析
背散射电子
背散射电子是固体样品中原子核“反射”回来的一部 分入射电子,分弹性散射电子和非弹性散射电子。
背散射电子的产生深度100nm~1μm 背散射电子的产额随原子序数Z的增加而增加,
I∝Z2/3~3/4 利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征,
体,还可在生物环境中直接观察生物样品表 面结构
Resolution difference
Human eye
Light Microscopy
Transmission Electron
Microscopy
1 meter 100mm 10mm
1mm 100 mm 10 mm
1mm 100nm 10nm
1nm 0.1nm
1925: De Broglie theorised that electrons have wave-like characteristics, addressing the wave/particle duality
1927: Thompson and Reid demonstrated the wave nature of electrons by diffraction experiments
还可以作为原子序数程度,进行定性成分分析
X射线
样品原子的内层电子被入射电子激发,原子就会处 于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃 迁以填补内层电子的空缺,从而使具有特征能量的X 射线释放出来。
X射线从样品0.5μm--5 μm发出 波长λ满足莫塞来定律: λ∝1/ (z-σ)2 通过特征波长检测相应元素,进行微区成分分析
俄歇电子
如果在原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量 并不以X射线的形式发射出去,而是用这部分能量把 空位层内的另—个电子发射出去,这个被电离出来的 电子称为俄歇电子
俄歇电子能量各有特征值(壳层),能量很低,一般为 50-1500eV
俄歇电子的平均自由程很小(~1nm)。只有在距离表面 层1nm左右范围内(即几个原子层厚度)逸出的俄歇电 子才具备特征能量,俄歇电子产生的几率随原子序数 增加而减少,因此,特别适合作表层轻元素成分分析