呼吸机流量传感器

收稿日期：2013－01－10呼吸机流量传感器的测量原理与维护保养陈荣，黄焕炜（中山市中医院设备科，广东中山528401）〔中图分类号〕TH777〔文献标识码〕B〔文章编号〕1002－2376（2013）04－0085－03〔摘要〕本文介绍了几种常见进口呼吸机流量传感器的测量原理与维护保养。

〔关键词〕呼吸机；流量传感器；机械通气；定标；细菌过滤器流量传感器是一种能感受流体流量并转换成可用输出信号的传感器。

传感器技术应用于临床医学，主要用来检测人体生物信号，在呼吸机上作为容量和流量的监测部件得到了广泛的应用，它的精确度决定呼吸机送气的控制精度，它的应用方便医务人员了解病人的呼吸状况，然后进行一个用药或机械通气的治疗。

从检测技术上来分，主要有如下三种。

1压差式流量传感器是通过二个测压孔和专门的孔板、流量喷嘴和文丘里管等限流装置产生与流量有关的压降，压力传感器检测压降，依据贝努利定律和质量守恒原理换算出流量，此类传感器低流量时检测曲线呈非线性，需要配置软件校正，从而将使用范围提高，结构上部分呼吸机在限流装置上还安装了限流片。

2热丝式流量传感器（或称作晶体热膜式流量传感器）是把气体流过热丝（或热膜）时的温度变化量转换为流量进行检测，热量控制系统通过增加电流保持热丝恒温，气体流速与电流产生量成比例，流量和电流是非线性关系；线性化的实现通过微处理器及软件进行，以便产生可重复性流速的分布。

3超声式流量传感器目前市场上常见的超声流量传感器有两种：时差法和多普勒法。

时差法指通过测量超声波脉冲顺流和逆流时往返于两个换能器之间的时间，来确定管道内气体流速的技术；多普勒法是通过测量超声信号从流体中运动的颗粒上反射回来的频率变化，来确定流体流速的技术。

在呼吸机中使用的超声流量传感器大多采用时差法。

时差法原理是利用超声波在流体中传播速度与在静止媒介中传播速度不同，其变化值与媒介流速有关，通过测量流动气体中超声传播速度的变化来测定流速和流量。

呼吸机流量传感器的工作原理及故障分析惠强，王权，王鹏（通信作者）徐州医学院第二附属医院设备科（江苏徐州221006)〔关键词〕呼吸机；流量传感器；原理；常见故障；检修过程〔中图分类号〕TH789 〔文献标识码〕B〔文章编号〕1002 -2376 (2017) 08 -0049 -02呼吸机主要功能是利用呼吸机自身的机械动作人工地协 助患者进行吸气和呼气，但它无法替代肺生理功能中的通气 作用（气体的吸人和呼出）和换气作用（吸收〇2和排出 C02)[1]，而是作为对患者的呼吸支持和治疗。

呼吸机主要包括电路部分、气路部分和操作控制面板，通过这三部分完成了控制、指挥、监测、显示、报警、参数调节设定以及气体 的供给。

同时还包括许多传感器，如流量传感器、压力传感 器、氧传感器（氧电池）、温度传感器等，这些传感器起到 了监测患者端通气情况的至关重要作用。

本研究介绍流量传 感器的作用原理及与流量监测相关的常见故障维修案例[2]。

1工作原理流量传感器在呼吸机中主要对潮气量和流速进行监测控 制，通过监测出的信号帮助微处理器对阀门进行控制，以提 供患者所需的氧浓度；监测到的流速和流量还直接影响到呼 气与吸气时相的切换、分钟通气量上下限的报警、流量触发 灵敏度、气流实时波形和P- V环的监测显示等等[3]。

从检测技术上来分，流量传感器可分为电热丝式流量传 感器、热模式流量传感器、压差流量传感器和超声式流量传 感器。

其中电热丝流量传感器较为常用，其基本原理是将金 属丝（随着温度的变化金属丝的阻值也发生相应的变化）放 置在被测气流中，并使金属丝流过电流产生热量，使其温度 高于流体的温度。

当被测气体流过加热的金属丝时，会带走 热丝的一部分热量，导致热丝温度下降，而热丝在气体中的 散热量与流速有关，散热量导致热丝温度变化同时引起电阻 值发生相应变化，电阻的变化值反映出的就是流速信号随即 转变成电信号，最后经过电信号处理后就完成了实时监测气体流量大小[4]。

气体流量传感器产品手册AFM3020特性低压损流量范围：-10～200slm精度2.5%读数(典型值)快速响应完全校准和温度补偿零位漂移小产品概述AFM3020传感器是奥松电子的流量传感器，专为呼吸机应用而设计。

它以高超的精确度测量空气，氧气和其他非侵蚀性气体的流量。

风道内采用特殊设计，使得通过传感器的流动体的压损非常低，使其性能适用于各种苛刻的应用场景，例如医疗通风和呼吸应用。

AFM3020采用5V电源电压工作，具有数字I2C接口。

输出测量结果经过内部校准和温度补偿。

这款传感器的卓越性能基于奥松电子的传感器技术，内部由一个热式传感芯片和一个高性能集成24位AD采集的CMOS微处理器相连接。

气体流量由热传感器芯片测量，确保了非常快的信号处理时间和相比同类产品有最佳精度。

应用范围医疗、过程自动化、燃烧器控制、燃料电池控制、光谱学、环境监测、实验室。

专业应用解决方案我司致力于各类传感器的研发制造，有专业的研发实验室及仪器设备，配套多种仿真环境实验条件，打造高品质产品生产与检验工艺。

流量传感芯片是我司自主研发生产制造的芯片之一，可根据应用现场与客户需求定制流量量程和设计独立的风道结构，专业为客户提供整套应用解决方案。

目录一、传感器性能 (3)二、传感器电气特性 (4)三、传感器通信 (4)3.1I2C通信接口特征与时序 (4)3.2传感器数据采集 (5)3.3读取设备ID (5)3.4复位指令 (6)3.5AFM3020传感器I2C命令定义 (6)3.6AFM3020微流量传感器CRC计算例程 (6)3.7流量换算公式 (7)四、引脚定义 (8)五、传感器典型电路 (8)5.1典型电路连接 (8)六、外形尺寸（单位：mm） (9)6.1AFM3020外形尺寸 (9)6.2机械配件 (9)七、流量计型号列表 (10)八、注意事项 (10)8.1校准方向 (10)8.2入口流动条件 (10)8.3温度补偿 (10)8.4传感器处理 (11)8.5ESD (11)九、精度声明 (11)十、重要警告 (11)一、传感器性能表1：AFM3020精度条件性能表1参数条件数值单位流量范围空气/N2/O2-10～+2002slm3最大典型精确度4，5，6，7跨度±4±2.5%读数偏移量±0.1±0.05slm重复性4，7跨度±1±0.5%读数偏移量±0.05±0.02slm噪声电平4，7跨度±1±0.5%读数偏移量±0.1±0.05slm温度变化导致的精度偏移8跨度±0.75±0.25%读数/10℃偏移量±0.0±0.0slm位置灵敏度非水平位置<0.05slm表2：介质兼容性和材料参数数值校准空气，N2，O2介质兼容性空气（非冷凝），N2，O2，非侵蚀性气体材料成份PPE+PS混合物（医用级:生物相容性；ISO10993或USP Class VI），硅，氮化硅，氧化硅，铂，金，环氧树脂，聚氨酯，不锈钢RoHS，REACH符合RoHS和REACH标准传感器重量<25克1除非另有说明，否则所有传感器规格均在25℃且VDD=5V且绝对压力=966mbar的条件下有效2AFM3020-200型号为200slm量程，其它型号见表103在20℃和1013mbar下以每分钟标准升4在理想的入口和出口条件下，VDD=5V，25℃，绝对压力=966mbar5包括偏移，非线性，滞后6传感器水平位置（请参阅第8.1节）7跨度或偏移值，以较大者为准8与校准温度相比，温度变化引起的偏移二、传感器电气特性电气特性，如休眠功耗，测量功耗等，都取决于电源。

团体标准《呼吸机用流量传感器技术要求》征求意见稿编制说明1.工作概况1.1任务来源根据中国机械工业标准化技术协会《关于印发2023年第二批团体标准制修订计划的通知》（中机标字[2023]14号），《呼吸机用流量传感器技术要求》列入2023第二批团体标准计划。

流量传感器是呼吸机、麻醉机、制氧机、咳痰机、肺活量计、吸氧计等医疗设备关键核心部件，国产的流量传感器在精度和响应速度等性能方面尚无法满足医用呼吸机、麻醉机等医疗设备要求，长期依赖进口，且供应短缺、不稳定，TSI和SENSIRION 等进口高性能流量传感器的垄断地位凸显。

尽快打破该卡脖子状态已迫在眉睫。

本标准总结了我国产品生产与使用实践的经验，汲取了最新的科研成果，同时考虑了不同产品与应用环境，将对本行业内的产品起到优化生产流程、规范生产标准、提高生产质量、促进技术创新的作用，有利于促进产业化进程，对指导产品的发展方向与拓展应用领域将发挥积极作用。

经标准起草工作组讨论，为了推动《呼吸机用流量传感器技术要求》项目落地，经协商一致，同意将本标准命名为《呼吸机用流量传感器技术要求》。

1.2标准起草单位和起草人本标准起草单位包括：机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、汉威科技集团股份有限公司、深圳高性能医疗器械国家研究院有限公司、深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司、郑州炜盛电子科技有限公司、河南中敏传感器技术研究院有限公司,北京谊安医疗系统股份有限公司、北京东土科技股份有限公司、首都医科大学附属北京友谊医院。

本标准起草人包括：周学良、刘帅、李钟琦、金贵新、武传伟、周小勇、江洪伟、郭琦、陈伟、渠娜娜、刘建钢、李靖、尹红霞、吴礼进、万丽雯、刘加龙。

1.3主要工作过程2022年3月6日，《呼吸机用流量传感器技术要求》标准起草会议在线上召开，16名标准起草工作组专家参与了本次会议，会议讨论了标准的技术框架和任务分工，并于6月23日完成了材料汇总，形成了标准草案。

2022年10月24日，《呼吸机用流量传感器技术要求》标准起草工作组第二次会议以网络的形式召开，会议详细讨论了标准的主体内容，各参与单位提出了修改意见，并责成机械工业仪器仪表综合技术经济研究所刘帅进行技术审查和修改。

呼吸机维护保养注意事项
一、呼吸机表面清洁
保持主机表面清洁，如有污物在关机情况下用中性液体擦拭。

二、滤网的清理
环境中的粉尘无法避免，定期清理呼吸机滤网能够改良呼吸机工作环境，使呼吸机使用更长久可靠。

长时间未清理的滤网
滤网取出后：
三、流量传感器更换
有些品牌呼吸机流量传感器为消耗品，使用一段时间后可能失效或者不准，这时候需要定标更换流量传感器，并进行定标。

德尔格Evtita系列流量传感器：
如果流量传感器上有残留水滴，切忌用棉花或者餐巾纸擦拭内部，我院就出现过护士因呼吸机报流量传感器检测失灵，一看流量传感器上有残留水滴就用餐巾纸擦拭，结果弄断内部加热丝。

四、呼出阀的定期清理
Evita 系列呼吸机呼出阀：
呼出阀使用久了内部容易积累残留物，需定期清理消毒。

呼出阀取出步骤图
五、氧电池定期更换 18
182014/3/26/D a t e i n a m e n /A u t o r 呼出阀的拆卸→→→→
氧电池作为氧浓度检测的消耗品需要定期更换（一般为一年），氧浓度的准确性直接影响呼吸机的使用安全。

六、对于使用空压泵而不是中心压缩空气的呼吸机，空压泵的过滤器需要定期更换
更换下来的德尔格空压泵进气过滤器
更换下来的PB840空压泵进气过滤器
空压泵进气过滤器堵塞，空气供应不洁净，同时会加大泵的工作压力，可能会出现供气压力报警。

七、后备电池
呼吸机后备电池能在交流电切断后提供半小时供电时间，如果有条件最好能配备电池并定期更换，提高安全保障能力。

流量传感器的原理和应用概述流量传感器是一种用于测量流体（液体或气体）流动速度和流量的设备。

它使用各种原理和技术来进行测量，可以应用于多种行业和领域。

本文将介绍流量传感器的原理和应用，并提供一些常见的流量传感器类型和其优缺点。

原理流量传感器的测量原理根据其类型和技术而有所不同。

以下是几种常见的流量传感器原理：1.机械流量计：机械流量计基于测量液体或气体通过管道或管道截面积的变化来计算流速和流量。

常见的机械流量计包括涡轮流量计、涡街流量计和节流装置。

机械流量计适用于粘稠流体和高温环境。

2.电磁流量计：电磁流量计利用法拉第电磁感应原理来测量液体的流量。

它通过在流体中产生一个垂直于流动方向的磁场，并测量液体中感应电动势的大小来计算流速和流量。

电磁流量计适用于导电液体，如水和液体金属。

3.超声波流量计：超声波流量计利用超声波的传播速度与流速的关系来测量液体或气体的流量。

它通过发送和接收超声波脉冲来计算流速和流量。

超声波流量计适用于广泛的液体和气体。

4.热式流量计：热式流量计利用测量流体散热量的变化来计算流速和流量。

它通过在流体中加热一个细丝，并测量细丝的温度变化来计算流速和流量。

热式流量计适用于低流速和低温流体。

应用流量传感器在许多行业和领域中都有广泛的应用。

以下是一些常见的应用领域：1.工业过程控制：流量传感器可用于监测和控制工业流程中的流速和流量，例如化工厂中的原料供应和产品流动。

2.供水和排水系统：流量传感器可用于监测供水和排水系统中的水流量，帮助水务部门管理供水和排水质量和流量。

3.能源管理：流量传感器可用于测量供暖、制冷和通风系统中的液体和气体流量，以帮助优化能源管理和减少能源消耗。

4.医疗设备：流量传感器可用于医疗设备中，如呼吸机、输液器和洗肾机，以监测和控制气体和液体的流量。

5.环境监测：流量传感器可用于监测大气和水体中的气体和液体流量，以帮助环境保护和监测。

流量传感器类型和优缺点下面是几种常见的流量传感器类型和它们的优缺点：1.涡轮流量计：–优点：高精度、线性性好、适用于高温和高粘稠度流体。

呼吸机潮气量计量校准问题的探讨本文对不同类型呼吸机流量传感器[1]的工作原理进行了介绍，从理论和实践上对影响呼吸机潮气量示值的因素进行了分析，为更好更精确地校准呼吸机的潮气量示值提供了方法和建议。

标签：流量传感器;呼吸机潮气量;计量校准0 引言在呼吸机的众多参数中，潮气量[2]（Tidal V olume，TV）是其中最重要的使用参数，其计量精度直接关系着呼吸机的质量和患者的使用安全。

了解呼吸机的通气原理、模式以及影响潮气量的因数对相关医护人员和计量校准工作者来说尤为重要。

1 潮气量的监测原理呼吸机潮气量的监测主要靠流量传感器，目前各种呼吸机中的流量传感器主要分为三大类：第一类是压差式气体流量计，如美国鸟牌呼吸机。

第二类是热敏电阻丝式气体流量计，如德国德尔格Evita系列呼吸机。

第三类是涡扇式气体流量计，如Datex-Ohmeda呼吸机。

这三种传感器的工作原理分别如下：（1）压差式传感器[3]，它是利用气体通过设置在管道中的节流器时，气流局部收缩而使气流速度变大，导致其压力减小，因此在节流器前后产生压力差。

由于压力差容易测量，因此大部分的呼吸机采用这种传感器。

（2）热敏电阻丝传感器，它的工作原理是通过加热热敏电阻丝达到某个设定的高温值，当气流通过时引起热敏电阻丝的温度下降，温度与电阻丝的电阻有关，而电阻的变化引起通电电阻丝的电流大小变化，电流信号经过相应的信号处理变成呼吸机的潮气量参数。

（3）涡扇式传感器，它的工作原理是呼吸气流使安装在通气管道内的风扇产生旋转，再利用红外线等来检测风扇的转速从而计算出潮气量。

2 呼吸机自身因素的影响呼吸机潮气量的校准是根据JJF1234-2010《呼吸机校准规范[6]》计算输出误差，通常情况下都没有考虑到呼吸机传感器的工作方式带来的误差。

（1）湿度对潮气量的影响。

如果在检测中管道里面有水或者湿化瓶开启，那么湿化水就会粘附在涡扇上使得风扇的转速变慢，同时会降低红外线检测器的灵敏度;湿化水如果进入压差传感器的测压管则会造成管路部分的水堵，引起误差;湿化水气经过发热电阻丝时带走更多的热量，也会引起误差。

呼吸机流量传感器的原理和应⽤呼吸机流量传感器的原理和应⽤西南医院设备科王义辉何⾦环［摘要］本⽂介绍了呼吸机使⽤的流量传感器的原理、结构、种类及应⽤。

［关键词］传感器；热丝；热膜；1 流量传感器在呼吸机中的作⽤流量传感器在呼吸机中的应⽤已有近30年的历史，在中⾼档呼吸机中被普遍使⽤。

它作为呼吸机⽓路系统的重要部件，负责将吸⼊和呼出的⽓体流量转换成电信号，送给信号处理电路完成对吸⼊和呼出潮⽓量、分钟通⽓量、流速的检测和显⽰。

根据呼吸机功能和设计的不同，流量传感器的检测值不仅仅提供显⽰，还对呼吸机的控制、报警等起着决定作⽤，如流量传感器将测量到的实际值馈送到电⼦控制部分与⾯板设置值⽐较,利⽤两者间的误差控制伺服阀门来调节吸⼊和呼出⽓体流量；安装在吸⽓系统前端的空⽓和氧⽓流量传感器⽣成的信号能帮助微处理器对阀门进⾏控制，以提供病⼈所需要的氧浓度；流速和流量的检测值还直接影响到呼⽓与吸⽓时相的切换、分钟通⽓量上下限的报警、流量触发灵敏度、⽓流实时波形和P-V-环的监测显⽰等等，流量传感器性能的好坏直接影响到呼吸机参数的准确性和可靠性。

2 流量传感器的原理和应⽤⽬前呼吸机的种类和型号很多，采⽤的流量传感器也各不相同，主要有热丝式、晶体热膜式、超声式、压⼒感应式、压差式。

2.1 热丝式流量传感器：基本原理是将⼀根细的⾦属丝（在不同的温度下⾦属丝的电阻不同）放在被测⽓流中,通过电流加热⾦属丝,使其温度⾼于流体的温度,当被测⽓体流过热丝时，将带⾛热丝的⼀部分热量,使热丝温度下降，热丝在⽓体中的散热量与流速有关，散热量导致热丝温度变化⽽引起电阻变化，流速信号即转变成电信号，经适当的信号变换和处理后测量出⽓体流量的⼤⼩。

测量原理图如图1：图1：热丝式流量传感器原理图在图1中,放置于测量通道中的热丝Rh作为惠斯登电桥的⼀个桥臂,由运算放⼤器A1差分放⼤电桥输出的电压信号;运算放⼤器A2提供三极管T⼯作所需要的偏置电压,并使A1 输出信号能够叠加在三极管T的偏置电位上,并被T放⼤给电桥供电。

Ohmeda 7100麻醉呼吸机流量传感系统故障检修作者：未知来源：未知浏览次数：11 发布时间：2008-10-27Ohmeda 7100麻醉呼吸机流量传感系统故障检修Datex—ohlneda Aestiva／5 Compact 7100型麻醉呼吸机的使用性能一般比较稳定，潮气量在正常使用时误差有10％，但在使用时间较长了以后，会出现潮气量误差大的现象，并引起潮气量过低报警，它主要与麻醉呼吸机的流量传感系统有关。

Aestiva／5 7100型麻醉呼吸机的流量传感系统由流量传感模块和监测控制模块组成。

它使用的是压差型流量传感器，呼出、吸人气流通过传感器有一定压力，压力的高低与气流的大小有关。

传感器测得的信号输送至监测控制模块，由监测控制模块根据每次呼吸的频率、气体的流量计算出每分钟潮气量。

出现潮气量值过低的现象，在排除了系统外部管路漏气的原因后，首先可以检查流量传感模块中是否有水汽。

如果检修后仍然不能恢复正常，我们可以开机进入“sevice mode8”模式，选择“calibrations”(校准)选项，再选择“ZeID flow and airway sensors” (流量和气道传感器校零)工作模式，根据屏幕上方的提示，将传感器模块取出，然后进行校零，结果是“failed”。

那么有两种情况，一种是流量传感系统的侧压管内有水汽堵塞，另一种是监测控制模块损坏。

1 检查流量传感器内的积水在较长时间的手术中，积累于呼吸回路中的水汽常使流量传感器失效，导致麻醉呼吸机潮气量测量不准确。

这时，要及时取出流量传感器模块，先将积水倒掉，然后用氮气轻轻地将传感器里的水汽吹干，或者用棉签将表面的水份擦拭干净。

有条件时可另换一个流量传感器模块先使用，取下的流量传感器模块让其自然蒸发水份，留待下次可重新使用。

2 检查流量传感系统管路的通畅情况流量传感系统测压管中可能有水汽堵塞，引起潮气量监测不准确。

首先可以不拆开呼吸系统，在呼吸气管接病人的端口接一个人工气囊，在流量传感器模块呼气端口接一个人工鼻，将机器开机在自动模式下运行几分钟，把管道内的水汽吹干。

呼吸机的流量控制原理
呼吸机的流量控制原理是通过控制气流的流量来调节患者的呼吸。

具体原理可以分为以下几个方面：
1. 风机控制：呼吸机内部配备了一个风机，通过调节风机转速来控制气流的流量。

当需要增加气流时，增加风机转速；相反，降低风机转速可以减少气流。

2. 压力传感器：呼吸机内部设置了一个压力传感器来感知患者的呼吸需求。

根据患者的吸气和呼气压力情况，系统可以自动调整风机转速，以满足患者的呼吸需求。

3. 流量传感器：呼吸机还配备了一个流量传感器，用于测量患者的气流情况。

通过读取流量传感器的反馈信号，系统可以根据需要调整风机转速和气流流量。

4. 压力调节阀：呼吸机还配备了一个压力调节阀，用于控制气流的压力。

当患者需要更高的气流压力时，调节阀会增加压力；相反，减少阀门开度可以降低气流压力。

通过以上的流量控制原理，呼吸机可以根据患者的呼吸需求，调节气流的流量和压力，以提供合适的通气支持。

呼吸机零部件构成
呼吸机的零部件构成如下：
控制面板：用于控制和调节呼吸机的各项功能。

压力传感器：用于监测呼吸机的压力，确保患者得到适当的压力支持。

流量传感器：用于监测患者呼吸的流量，确保患者得到足够的氧气供应。

气路：用于输送氧气和呼出的气体，确保患者得到顺畅的呼吸。

涡轮：用于产生气流，为患者提供呼吸支持。

氧气源入口：用于连接外部氧气源，为呼吸机提供充足的氧气。

呼气阀：用于控制呼气的排出，确保患者顺利呼气。

吸气阀：用于控制吸气的进入，确保患者顺利吸气。

湿化器：用于将氧气湿化，减少对患者呼吸道的不良刺激。

此外，有些高端呼吸机可能还配备有温度传感器、报警系统、机械臂等辅助功能模
块，以确保患者的安全和舒适。

总之，呼吸机的零部件构成比较复杂，每个部分都有其独特的作用，共同协作才能实现呼吸机的正常运转和患者的正常呼吸。

呼吸机流量传感器的原理和应用西南医院设备科王义辉何金环［摘要］本文介绍了呼吸机使用的流量传感器的原理、结构、种类及应用。

［关键词］传感器；热丝；热膜；1 流量传感器在呼吸机中的作用流量传感器在呼吸机中的应用已有近30年的历史，在中高档呼吸机中被普遍使用。

它作为呼吸机气路系统的重要部件，负责将吸入和呼出的气体流量转换成电信号，送给信号处理电路完成对吸入和呼出潮气量、分钟通气量、流速的检测和显示。

根据呼吸机功能和设计的不同，流量传感器的检测值不仅仅提供显示，还对呼吸机的控制、报警等起着决定作用，如流量传感器将测量到的实际值馈送到电子控制部分与面板设置值比较,利用两者间的误差控制伺服阀门来调节吸入和呼出气体流量；安装在吸气系统前端的空气和氧气流量传感器生成的信号能帮助微处理器对阀门进行控制，以提供病人所需要的氧浓度；流速和流量的检测值还直接影响到呼气与吸气时相的切换、分钟通气量上下限的报警、流量触发灵敏度、气流实时波形和P-V-环的监测显示等等，流量传感器性能的好坏直接影响到呼吸机参数的准确性和可靠性。

2 流量传感器的原理和应用目前呼吸机的种类和型号很多，采用的流量传感器也各不相同，主要有热丝式、晶体热膜式、超声式、压力感应式、压差式。

2.1 热丝式流量传感器：基本原理是将一根细的金属丝（在不同的温度下金属丝的电阻不同）放在被测气流中,通过电流加热金属丝,使其温度高于流体的温度,当被测气体流过热丝时，将带走热丝的一部分热量,使热丝温度下降，热丝在气体中的散热量与流速有关，散热量导致热丝温度变化而引起电阻变化，流速信号即转变成电信号，经适当的信号变换和处理后测量出气体流量的大小。

测量原理图如图1：图1：热丝式流量传感器原理图在图1中,放置于测量通道中的热丝Rh作为惠斯登电桥的一个桥臂,由运算放大器A1差分放大电桥输出的电压信号;运算放大器A2提供三极管T工作所需要的偏置电压,并使A1 输出信号能够叠加在三极管T的偏置电位上,并被T放大给电桥供电。