OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明
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OPTORUN离子源的维护保养说明1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。
石英杯的清扫周期通常是50~100小时。
（根据使用状况更改维护的周期）。
注意：请注意石英杯很容易损坏。
在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2M Ｐａ的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。
1．1 绝缘子的清洁长时间使用后，Grid Assy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。
并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。
由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。
注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。
①②维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。
Grid维护周期为每50~100小时确认其外观?绝缘，如有异常请及时清扫或交换。
如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。
（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。
）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。
1．2 Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是Decel Grid膜层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。
ACC Grid和SCR Grid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。
注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。
1) 浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡5~10小时。
（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。
）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。
注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。
用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。
2) 边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。
3) 用干燥机干燥。
4) 利用Grid固定夹具（参考照片1，2），并使用#300的砂纸摩擦Grid表面直到表面的赃物和变色消失为止。
注意：不要使Grid变形。
照片１Grid固定夹具(凸侧)照片2 Grid固定夹具(凹侧)5) 再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗20分钟以上，洗净附着的NaOH和赃物等。
6) 用Air Gun吹散Grid上的水分。
注意：使用Air Gun时注意使用不含油的清洁空气。
压力在0.05～0.1Mpa之间以防Grid变形。
7) 用干燥机干燥后，维护清洗结束。
注意：作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。
本清洗仅对酸化膜(SiO2、Ta2O5)有效，因使用状态不同，也会出现洗不净的场合。
2．中和器的维护方法（1）放电室（陶瓷放电室、陶瓷盘）的清扫长时间运转后，放电室内会被镀上导电性膜，因此会引起放射电流下降需较高RF输出,此时用打砂的方式去除膜层。
但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。
打砂时请注意用胶带等进行保护。
注意：有关分解，组装请参考添附资料。
请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状，转动放电室然后再取下。
（2） RFN收集器(Collector)的清扫长时间运转后，collector表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降,并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。
注意：不要使收集器(Collector)变形。
组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector之间的缝隙。
（3） Keeper和中和器主体的清扫长时间运转后，keeper表面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。
请使用测试仪确认附资料1 离子源Grid的分解和组装方法※请参照添附图纸进行作业。
分解１拆下Grid Mount Assy.Grid Mount Assy.作业内容注意点从离子源主体上拆下Grid Mount Assy.分解２拆下Quartz ChamberQuartz ChamberMount Ring作业内容注意点先拆下六角螺钉，然后拆下石英杯Quartz Chamber和Mount请注意石英杯很容易碎裂。
Ring。
分解３拆下Grid Assy. 1六角螺母（M4）六角螺钉Grid Mount Plate （M5×L8―４个）六角螺钉（M4×L6）作业内容注意点拆下六角螺钉和六角螺母后再将Grid Mount Plate拆下。
分解４拆下Grid Assy. 2Grid RetainerPlate六角螺钉（M4×L6）作业内容注意点拆下六角螺钉後，再拆下Grid Assy. 和Grid Retainer Plate.分解５Grid的分解六角螺母（M4）六角螺母（M3）和六角螺钉（M3×L5）作业内容注意点请注意Grid很容易变形。
拧松Grid Assy.的六角螺母后，分解Grid。
拆下ACC Grid 的ACC Connector。
分解６Grid的说明GRID №校正孔校正孔Grid No.S○○○: Screen GridA○○○: Acc GridD○○○: Decel Grid（○○○为制造番号）只有1个地方方向不同１个所のみ向きが违います。
作业内容注意点Grid如上所示注有标记。
组装时请注意。
组装１Grid的组装1六角螺钉（M4×L20）Insul ator2作业内容注意点将Grid组装夹具水平放置，装上六角螺钉和Insulator2。
组装2 Grid的组装2Decel Connector作业内容注意点Decel Connector如图放置。
对准Grid组装夹具和Decel Connector 的孔。
组装3 Grid的组装3对准孔的方向不同Decel Grid作业内容注意点Decel Grid的凸面向下，对准孔的位置。
（発散GRID的场合）収束Grid的凸面向上放置。
组装4 Grid的组装4Shield Insulator Grid Insulator1(t=1.0)作业内容注意点Shield Insulator和Grid Insulator1如图放置。
请注意Grid Insulator的厚度有两种（t＝1.0、1.2）。
组装5 Grid的组装5六角螺钉（M3×L5）和六角螺母（M3）Acc Connector Acc Grid（根据组装夹具的孔决定方向）作业内容注意点将Acc Grid如图安装，注意对准孔的位置。
（根据组装夹具的孔决定Acc Connector的方向，然后再安装。
组装夹具的孔和Acc Connector孔要对准。
组装6 Grid的组装6Shield Insulator Grid Insulator2 (t=1.2)作业内容注意点将Shield Insulator和Grid Insulator2如图放置。
注意Grid Insulator的厚度有2种（t= 1.0, 1.2）组装7 Grid的组装7对准孔Screen Connector对准孔Screen Grid作业内容注意点如图所示，根据4个对准孔放置Screen Grid。
组装8 Grid的组装8六角螺母（M4）平型垫圈（4）和波形垫圈（4）Insulator1作业内容注意点Insulator1，平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。
组装9 Grid的组装9对准钉作业内容注意点将对准钉插入Grid的对准孔。
若对准钉不能向下插入，说明Grid安装错误，请再度确认。
对准钉穿过后，旋转对准钉，确认各对准钉并不是强行才能旋转。
组装10 Grid的组装10作业内容注意点如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。
确认各Grid之间的Shield Insulator 和Grid Insulator没有重叠。
8 15 42 7 36组装11 Grid Retainer Plate的安装GRID ASSY六角螺钉（M4×L6）Screen Connector平型垫圈（4）Grid Retainer Plate作业内容注意点如图所示将Screen Connector和Grid Assy.,Grid Retainer Plate组合。
组装12 Grid Mount Plate的安装Acc Touch FlakeAcc ConnectorDecel Connector Grid Mount Plate波型垫圈（12）作业内容注意点如图所示将Acc Connector和Decel Connector组合後，将GridAssy.装在Grid Mount Plate上，然后装上Acc Touch Flake和绝缘子。
确认波型垫圈（12）是否装上。
组装13 Quartz Chamber的组装Quartz ChamberMount Ring作业内容注意点组装Quartz Chamber和Mount Ring。
组装14 导通?绝缘测试Decel Grid – Acc Grid: 绝缘Acc Grid – Screen Grid: 绝缘Screen Grid – Decel Grid: 绝缘Decel Grid – Grid Mount Plate: 绝缘Screen Grid – Grid Retainer Plate: 绝缘Acc Touch Flake – Acc Grid: 导通作业内容注意点组装完成后，使用测试仪进行导通?绝缘测试。
上记测试，如有异常时，请再次确认。
添附资料2 中和器分解?组装方法※请参照添附图纸进行分解?组装作业。
分解1 Keeper的分解Keeper Nut(2pcs) Keeper作业内容注意点拆下Keeper Nut和Keeper。
分解2 拆下Shroud六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈各４个作业内容注意点先拆下六角螺钉（M3×L5），然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。
分解３Insulator Plate的分解和清洗六角螺钉（M3×L8 4个）作业内容注意点Insulator Plate很容易碎裂。
先拆下六角螺钉，然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。
如Insulator Plate附有赃物，请用打砂纸去除。
分解4 Collector的分解和清洁螺母（M4）Collector作业内容注意点Collector很容易变形。
拆下六角螺母後，分解Collector。
如Collector附有赃物，请用打砂纸去除。
分解5 Discharge Chamber分解和清洗Discharge Chamber作业内容注意点如Discharge Chamber附有赃物，请用打砂纸去除。
