常用气体中英文对照名称
符号中文名称英文名称
HF 氟化氢 hydrogen fluoride
BF3 三氟化硼 boron trifluoride
WF6 六氟化钨 Tunglsten Hexafluoride
NF3 三氟化氮 nitrogen trifluoride
SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride
CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride
P0CL3三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride HF 氟化氢 hydrogen fluoride
BF3 三氟化硼 boron trifluoride
WF6六氟化钨 Tunglsten Hexafluoride
SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride
CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride POCL3三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride PH3 磷化氢 phosphine
C4F6 Hexafluorobutadiene
CH2F2二氟甲烷 Difluoromethane
C5F8 八氟环戊烯 octafluoroyclopentene CH3F 氟代甲烷 methyl fluoride(r41)
SF6 六氟化硫 Sulfur Hexafluoride
CO 一氧化碳 carbon monoxide
CL2 氯 chlorine
F2 氟 fluorine
HCL 氯化氢 hydrogen chioride
DCS二氯甲硅烷 DiChlorosilane
BCL3 三氯化硼 boron trichloride
HBr 溴化氢 hydrogen bromide
B2H6 硼乙烷 diborane
GeH4 锗烷 germaniumtrtrahydride
NH3 氨 ammonia
O2 氧气 Oxygen
SIH4 硅烷 silane
SI2H6 乙硅烷 disilane
TMB 三甲硼 Trimethoxy Boro n(TMB) B(OCH3)3
TMP三甲亚磷 Trimethyl Phosphite (TMP) P(OCH3)3
TEOS TEO四乙基原硅酸酯 Tetraethoxysilane (TEOS) SI(OC2H5)4 ASH3 砷化三氢 Arsine
O3 臭氧 ozone
Br2 溴 bromine
CLO2 二氧化氯 chlorine dioxide
CO2 二氧化碳 Carbon Dioxide
H2S 硫化氢 hydrogen sulphide
HCN 氰化氢 hydrogen cyan ide
CH4 甲烷 Methane
NO2 二氧化氮 nitrogen trifluoride
NO 一氧化氮 nitric oxide
SO2 二氧化硫 sulfur dioxide
BF3 三氟化硼 Boron Trifluoride
HF 氟化氢 Hydrogen Fluoride
NF3 三氟化氮 Nitrogen Trifluoride
WF6 六氟化钨 Tungsten Hexafluoride
SiH4 硅烷 Silane (SiH4) (Low Level)
ASH3 砷化三氢 Arsine
PH3 磷化氢 phosphine
B2H6 硼乙烷 diborane
SIH4 硅烷 SiH4 silane
GeH4 锗烷 GeH4 germaniumtrtrahydride
H2Se 硒化氢 H2Se Hydrogen Selenide TBA 特丁基砷化三氢 TBA Tertbutylarsine AsH3 砷化三氢 AsH3 (干) Arsine
Cl2 氯气 II Cl2 chlorine
NO2 二氧化氮 NO2 nitrogen trifluoride
CLO2 二氧化氯 CLO2
Cl2 氯气 III Cl2 chlorine
Cl2 氯气 III Cl2 chlorine
NO2 二氧化氮 NO2 nitrogen trifluoride
HCL 氯化氢 HCI hydrogen chioride
HF 氟化氢 HF Hydrogen Fluoride
HCL 氯化氢 HCI （低级别 l） hydrogen chioride
HBr 溴化氢 HBr hydrogen bromide
HI 碘化氢 HI Hydriodic acid
MMH一甲基肼MMH
NH3 氨 II NH3 ammonia
C0CL2碳酰氯 C0CL2 Phosgene
H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide
HCN氰化氢 HCN hydrogen cyanide
N2H4 肼 N2H4/Hydrazine
H2S 硫化氢 H2S hydrogen sulphide
H2S 硫化氢 H2S （低级别） hydrogen sulphide
COCL2碳酰氯-高范围 XP COL2 Phosgene
NF3 三氟化氮 NF3 （CM4-Ponly） nitrogen trifluoride BF3 三氟化硼 BF3 （低级别） boron trifluoride AsH3 砷化三氢 XP AsH3 Arsine
PH3 磷化氢 XP PH3 phosphine
SiH4 硅烷 XP SiH4 silane
B2H6 硼乙烷 XP B2H6 diborane
GeH4 锗烷 XP GeH4 germaniumtrtrahydride
COCL2碳酰氯 XP COCL2 Phosgene
F2 氟 F2 fluorine
AsH3 砷化三氢 /LL XP AsH3 （低级别 I） Arsine
HBr 溴化氢 HBr （低级别） hydrogen bromide TDMAT四（二甲基氨）钛 TDMAT Titanium dimethylamide Cl2 氯气 Cl2 chlorine
