《纳电子学导论》PPT课件
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微电子学概论PPT课件
的分类 微电子学
的特点
集成电路的分类
导论
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
集成电路的分类
器件结构类型 集成电路规模 使用的基片材料 电路形式 应用领域
器件结构类型分类
导论
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
集成电路（IC）产值的增长率（RIC）高于电子 工业产值的增长率（REI）
电子工业产值的增长率又高于GDP的增长率 （RGDP）
一般有一个近似的关系
RIC≈1.5~2REI REI≈3RGDP
微电子学发展情况
导论
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
世界GDP和一些主要产业的发展情况
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
1947年12月13日 晶体管发明 1958年 的一块集成电路 1962年 CMOS技术 1967年 非挥发存储器 1968年 单晶体管DRAM 1971年 Intel公司微处理器
摩尔定律
导论 晶体管的
发明 集成电路
发展历史 集成电路
高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电 子学发展的方向
微电子学的渗透性极强
它可以是与其他学科结合而诞生出一系列新的 交叉学科，例如微机电系统(MEMS)、生物芯 片等
作业
微电子学？
导论 晶体管的
微电子学核心？
发明 微电子学主要研究领域？
集成电路 发展历史
微电子学特点？
集成电路 集成电路？
的分类
例如数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器等
的特点
集成电路的分类
导论
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
集成电路的分类
器件结构类型 集成电路规模 使用的基片材料 电路形式 应用领域
器件结构类型分类
导论
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
集成电路（IC）产值的增长率（RIC）高于电子 工业产值的增长率（REI）
电子工业产值的增长率又高于GDP的增长率 （RGDP）
一般有一个近似的关系
RIC≈1.5~2REI REI≈3RGDP
微电子学发展情况
导论
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
世界GDP和一些主要产业的发展情况
晶体管的 发明
集成电路 发展历史
集成电路 的分类
微电子学 的特点
1947年12月13日 晶体管发明 1958年 的一块集成电路 1962年 CMOS技术 1967年 非挥发存储器 1968年 单晶体管DRAM 1971年 Intel公司微处理器
摩尔定律
导论 晶体管的
发明 集成电路
发展历史 集成电路
高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电 子学发展的方向
微电子学的渗透性极强
它可以是与其他学科结合而诞生出一系列新的 交叉学科，例如微机电系统(MEMS)、生物芯 片等
作业
微电子学？
导论 晶体管的
微电子学核心？
发明 微电子学主要研究领域？
集成电路 发展历史
微电子学特点？
集成电路 集成电路？
的分类
例如数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器等
电子信息技术导论PPT课件
基尔比
研究这些划时代的伟大科学 家，考察他们的发明成就，其 意义是跨出了他们前人还没有 跨出的第一步。他们的成就主 要来源于他们的实践、目标追 求和永不放弃！
1960年梅曼发明红宝石激光器
梅曼
一、读完教材后的思考
（五）思考与作业 1. 对于伟大科学家的才能，是否容易被后人神化？你如何评价他 们的伟大发明？
三、关于能力培养
3，“个人因素”讨论 努力实现自我能力培养和学习的预定目标
学习、增长知识、增长才干 是青年时代的快乐所在！ 明确学习目标 不断调整学习 计划 密切同学间 的交往,相互 促进
关心技术走向 获取新知识
调查研究 了解社会
积极参加 社会活动
自我能力培养方法、内容建议
三、关于能力培养
3，“个人因素”讨论
2. 收集伟大科学家的生平、成就，分析他（她）们的特点，考察 成就他们伟大发明的原因，写一篇心得体会的短文，相信对各人建 立创新思维是有益的。 3. 你如何分类电子信息产业。你对何产业领域最有兴趣？请收集 这一产业的技术现状、产品情况、主要企业、经济效益和今后发展 走向，请写一篇综合分析报告。
4. 你对何产业或者何技术最感兴趣？你对大学四年的学习有何计 划？准备采取哪些措施去实施你的计划？
一、读完教材后的思考
（四）关于科学家
电话发明家贝尔：不懂电，是语言学家，1876年，28岁时发 明电话，开创了有线通信新时代。
贝尔
麦克斯韦尔1854年从剑桥大学毕业，10年的努力，1864年推 导出描述电磁场运动规律的波动方程，开创了无线通信的新 时代。无线通信最初还是由无线电业余爱好者推动的。 弗莱明、弗雷斯特在电灯泡基础上分别于1904、1906年发明 电真空二极管、三极管，从此跨入了电子时代。
研究这些划时代的伟大科学 家，考察他们的发明成就，其 意义是跨出了他们前人还没有 跨出的第一步。他们的成就主 要来源于他们的实践、目标追 求和永不放弃！
1960年梅曼发明红宝石激光器
梅曼
一、读完教材后的思考
（五）思考与作业 1. 对于伟大科学家的才能，是否容易被后人神化？你如何评价他 们的伟大发明？
三、关于能力培养
3，“个人因素”讨论 努力实现自我能力培养和学习的预定目标
学习、增长知识、增长才干 是青年时代的快乐所在！ 明确学习目标 不断调整学习 计划 密切同学间 的交往,相互 促进
关心技术走向 获取新知识
调查研究 了解社会
积极参加 社会活动
自我能力培养方法、内容建议
三、关于能力培养
3，“个人因素”讨论
2. 收集伟大科学家的生平、成就，分析他（她）们的特点，考察 成就他们伟大发明的原因，写一篇心得体会的短文，相信对各人建 立创新思维是有益的。 3. 你如何分类电子信息产业。你对何产业领域最有兴趣？请收集 这一产业的技术现状、产品情况、主要企业、经济效益和今后发展 走向，请写一篇综合分析报告。
4. 你对何产业或者何技术最感兴趣？你对大学四年的学习有何计 划？准备采取哪些措施去实施你的计划？
一、读完教材后的思考
（四）关于科学家
电话发明家贝尔：不懂电，是语言学家，1876年，28岁时发 明电话，开创了有线通信新时代。
贝尔
麦克斯韦尔1854年从剑桥大学毕业，10年的努力，1864年推 导出描述电磁场运动规律的波动方程，开创了无线通信的新 时代。无线通信最初还是由无线电业余爱好者推动的。 弗莱明、弗雷斯特在电灯泡基础上分别于1904、1906年发明 电真空二极管、三极管，从此跨入了电子时代。
12.从微电子器件到纳电子器件PPT课件
微光刻与微纳技术历程和发展趋势
建设一家
光 刻 工 艺 特 征 尺 寸
8.0 um 5.0 um3〞 3.0 um 4〞
45nm技术节点、12英寸
3〞
集成电路制造厂 30-35亿美圆
2.0 um
4〞
1.3 um
16G
0.8 um 0.5 um 0.35um 0.25um 0.18um 0.13um 90 nm 65 nm 45 nm 32 nm 22 nm
1
电子
0
开关一次只要几个电子
•电
子
s
gd
电子自由程与器件的物理长度相比拟
纳电子器件的主要特征
纳电子器件的元件尺寸的与物理长度相比拟，失去了统计平均 性，以量子效应和统计涨落为主要特性，与信息加工有关的量 子系统主要有以下几个基本特性：
• 叠加性 (superposition) • 相干性 (interference) • 牵连性 (entanglement)：一个系统的某个定义态与它的部分
态的牵扯 • 不确定性 (uncertainty): 即使没有干扰，也不能准确知道一
个量子态是否被占据
纳电子器件中的四个基本现象 G
• 电导量子化：即电导或电阻是 量子化的，不再遵循欧姆定律 电导量子化 V
• 库仑堵塞现象：导体中纳米隙小于电子自由程时，会发生电 子隧穿，而隧穿前后隙两侧的电位发生变化。 I
2. DNA 生物计算机： DNA分子上包含大量的遗传密码，它能 通过生化反应来传递信息，这些密码可以被看成是数据。 DNA 计算机是通过控制DNA分子之间的生化反应来完成计算，反应 前的基因代码可作为输入数据，反应后的基因代码可作为运算 结果，反应在瞬间完成，也意味着计算可以在瞬间完成。
电子科学与技术导论PPT
有
1998年已经退休的摩尔从美国前总统布什
关
的手中接过了美国技术奖。今天律”一样，响彻在
人
半导体行业每个人的心中。摩尔定律就像
和
一股不可抗拒的自然力量，统治了硅谷乃
事
至全球计算机业整整三十多年。
安迪 格罗夫(Andy Grove) 微处理器之王狂妄的匈牙利
人
“Only the paranoid
而全的设计生产方式，带来了高成本，高门槛的弊端，
放慢了整个集成电路行业的步伐。
和
集
看到这一商业机会的张忠谋，大胆成为第一家“纯”晶 圆代工公司，不与客户竞争，不设计或生产自有集成电
成
路，只帮助半导体公司生产已经设计成型的集成电路。 正是这种模式为台积电带来巨大财富的同时也创造了两
发
个新的行业－晶圆代工厂，Fabless（无生产线集成电
•
•
•
1947年发明的点接触型晶体管
杰克•基尔比(Jack Kilby )：集成电路鼻祖
大学毕业后，基尔比选择了一家电子器件供应商 制造收音机、电视机和助听器的部件，在工作之余， 基尔比还在在威斯康星大学上电子工程学硕士班夜校 。
和 集
1958年，34岁的基尔比加入德州仪器公司。也正 是德州仪器这一温室，孕育了基尔比的成就。当时公 司的工程师们因为受到晶体管发明的鼓舞，开始尝试
事
摩尔定律的伟大不仅仅是促成了英特尔巨 大的商业成功，半导体行业的工程师们遵
循着这一定律，不仅每１８个月将晶体管
和
的数量翻一翻，更是意味着同样性能的芯
集
片每18个月体积就可以缩小一半，成本减
成 发 展
少一半。也可以说是因为摩尔定律让我们
生活中的电子产品性能越来越强大，体积 越来越轻薄小巧，价格越来越低廉。
纳米技术及其应用第一章PPT课件
纳米技术及其应用
任课教师：赵丽丽
信息技术发展的趋势
• 当前信息技术的不断进步主要 归功于低价格、高速度、高密 度和高可靠的信息表述和处理 方式的进步
• 计算机技术取得成功的关键是 固体电子器件小型化和集成度 的持续不断提高
• 先进的多媒体技术和社会对信 息处理的需求都要求进一步减 小芯片的器件尺寸
1. 绪 论
中国纳米技术国应内外用的纳米战略
• 全国范围
– 各个高等院校和研究所的大范围研究和专利 – 形成三百多家纳米企业 – 以“纳米”注册的企业近百家 – 数十条纳米材料生产线 – 资金约百亿元
1. 绪 论
纳米技术在其它国内国外的家纳米战略
• 韩国：全国纳米技术研究院、纳米显示技术 • 印度：像抓软件产业那样抓纳米科技 • 德国：把发展纳米技术定位在新能源、新环境，全面
黑作为墨的原料以及用于着色的染料，这就是最早
利 的纳米材料。
用
纳
米 ➢中国古代铜镜表面的防锈层，经检验是一层纳米
材 氧化锡颗粒薄膜。 料
1. 绪 论
➢1962年，日本科学家久保（Kubo）及其合作者通过对金属 超微粒子的研究，提出了著名的久保理论 。 ➢1963年，Uyeda及其合作者用气体冷凝法，在高纯惰性气 体中蒸发和冷凝获得清洁表面的超微颗粒，对单个金属超微 颗粒的形貌和晶体结构进行了透射电镜研究。 ➢1970年，江崎和朱兆祥考虑到量子相干区域的尺度，提出 了半导体超微晶格的概念。 ➢1981年，发明了扫描隧道显微镜（STM）。 ➢1984年，德国的Gleiter教授等人首次用惰性气体凝聚法及 原位加压制成纳米固体，并提出了纳米材料界面结构模型。
3、制备与评估
量子点、量子线、量子阱简介 纳米微粒的制备 碳纳米管 纳米阵列的制备 纳米固体的制备与性能 纳米尺寸的评估
任课教师：赵丽丽
信息技术发展的趋势
• 当前信息技术的不断进步主要 归功于低价格、高速度、高密 度和高可靠的信息表述和处理 方式的进步
• 计算机技术取得成功的关键是 固体电子器件小型化和集成度 的持续不断提高
• 先进的多媒体技术和社会对信 息处理的需求都要求进一步减 小芯片的器件尺寸
1. 绪 论
中国纳米技术国应内外用的纳米战略
• 全国范围
– 各个高等院校和研究所的大范围研究和专利 – 形成三百多家纳米企业 – 以“纳米”注册的企业近百家 – 数十条纳米材料生产线 – 资金约百亿元
1. 绪 论
纳米技术在其它国内国外的家纳米战略
• 韩国：全国纳米技术研究院、纳米显示技术 • 印度：像抓软件产业那样抓纳米科技 • 德国：把发展纳米技术定位在新能源、新环境，全面
黑作为墨的原料以及用于着色的染料，这就是最早
利 的纳米材料。
用
纳
米 ➢中国古代铜镜表面的防锈层，经检验是一层纳米
材 氧化锡颗粒薄膜。 料
1. 绪 论
➢1962年，日本科学家久保（Kubo）及其合作者通过对金属 超微粒子的研究，提出了著名的久保理论 。 ➢1963年，Uyeda及其合作者用气体冷凝法，在高纯惰性气 体中蒸发和冷凝获得清洁表面的超微颗粒，对单个金属超微 颗粒的形貌和晶体结构进行了透射电镜研究。 ➢1970年，江崎和朱兆祥考虑到量子相干区域的尺度，提出 了半导体超微晶格的概念。 ➢1981年，发明了扫描隧道显微镜（STM）。 ➢1984年，德国的Gleiter教授等人首次用惰性气体凝聚法及 原位加压制成纳米固体，并提出了纳米材料界面结构模型。
3、制备与评估
量子点、量子线、量子阱简介 纳米微粒的制备 碳纳米管 纳米阵列的制备 纳米固体的制备与性能 纳米尺寸的评估
电子信息导论PPT课件
4，军事信息获取
卡-31 舰载预警直升机
侦 察 卫 星
无 人 侦 察
机
现代军事信息获取工具已发展成了一类复杂的信息获取平台，如预警飞机、 侦察卫星、雷达网和无人侦察飞机，甚至空天飞机等。
按信息获取使用的手段可分为雷达、电视、光学、照相、声纳、微波、红 外和激光等。
二、信息传输 电话、广播、电视、互联网，都是信息传输系统。也称 通信系统。
081103 系统工程 同时有多达千万级的用户接入网络。
从2）64图千像比信/秒息（获光固取定方信电法息话：）光：己电降光摄至像滤1、. 波CCD、成光像、放红大外成、像光、微信波息成像处、理等（由全光学器件实现）
采用相应的参数传感器，广泛用于各工业、工程和国防控制系统中。
5英寸---摄像机中传使媒用。信息：新闻出版、节目制作、图书资料管理、媒体传播学等都属于信 文独字立的计算机并息不能科实学现信技息术化，范而畴必须。有互文联化网的普及应用才能发挥信息的作用；
电话网
电视网
互联网
特点：网络发展初期各网的信号结构、通信体制不同，相互独立， 互不兼容。 当前发展趋势：数字化、IP化，走向三网融合。
5，互联网的拓展
互联网可以打电话（网络电话、视频电话）、看电视（IPTV）、发 邮件（代替传真），同时还可以在网上购物、开视频会议等。
二、信息化社会的产生背景
第一次工业革命（18世纪60年代）：其标志是蒸汽机的发明和使用。
从此人类进入了工业化大生产时代。
第二次工业革命（19世纪70年代）：其标志是电灯炮和电力设备的
发明和使用，之后又发明了电话等。从此人类进入了“电气化时代”。
第三次工业革命（始于20世纪五十年代）：其标志是电子计算机的发
导论--电子信息工程ppt
可能的
内容 发展历程 技术状况 发展走向
帮助 学生了解 专业、选修专业课 电子信息类的专业设置情况 毕业后可能从事的专业技术工作领域
三. 电子信息产业的主要领域及 与学科之间的关系
➢产业分类
计算机硬件
笔记本电脑
曙光超级 计算机
信息服务业
信息检索、电子 商务和娱乐等
集成电路 生产装备
通信产业
固定通信 移动通信
内 获取 容 遥感技术
雷达 GPS定位
等
编码、调 制、检测 固定通信 移动通信 光纤传输 电波天线 微波中继
等
语音处理 图像处理 文字处理 信号处理 信息处理 神经网络 模式识别
等
信息存储
信息利用
磁存储 光存储
半导体存 储
网络存储 纳米存储
等
控制 显示 信息服务 网络信息 检索 等
四、关于电子信息技术
微电子产业
控
信息与通信工程
制
科
学
计算机科学与技术
与
工
程
光学工程
通信产业（含专业软件） 计算机硬件产业
软件产业 数字家电产业 互联网产品
光电子产业
数字媒体技术（新专业）
信息服务业
三. 电子信息产业的主要领域及 与学科之间的关系
➢导论将要介绍的相关内容
图像信息处理
与应用
通信
控制科学与工程
技术 与通
电磁波与无 线电
其归属：技术科学和应用科学。
电子信息技术属于“技术科学”和“应用科学”范畴， 它是“工学”大类各学科中涵盖面最广、渗透力最强的学科。 它和强电结合，产生了“电力电子”，它同机械结合，产生了“机械电子”。
信息技术进步与世界文明发展密切相关！
纳电子学导论
2 纳电子学
Nanoelectronics：纳电子学 ：
Nanoelectronics中文译为纳电子学而不 是纳米电子学，陈芳允院士认为，纳电 子学研究的对象不仅长度是nm，而且 信号处理时间是ns，信号功率是nJ，译 为纳电子学有更多的内涵，更确切。
二 纳米尺度和介观物理
1 小尺寸究竟发生了什么 2 几个特征尺度 3 介观物理
1 小尺寸究竟发生了什么
添加能：将一个电荷添加到一个导体上需要提
供一定的能量，这个能量称之为导体的添加能 （Additional Energy）Ea。
1 小尺寸究竟发生了什么
充电能：库仑充电能Ec（Charging Energy）是
导体增加一个电荷后的静电能的增量
e0 e0 Ec = = 2C 8πεr
2
2
1 小尺寸究竟发生了什么
量子化能：量子化能Eq（Quantizing Energy）
是由于电荷的载体电子被束缚于导体中，电子 能级量子化而产生的束缚态能
1 hπN Eq = 2m D
2
这是量子点中电子的第N个能级的公式，采用 了无限深球方势阱近似。其中m是电子有效质 量，D是量子点直径， h 是约化普朗克常数。
2 纳电子学
纳电子学是在特征长度为0.1~100 nm的纳米器 件中探测、识别与控制单个量子(如单个电子、单 个电子对、单个光子、单个磁通量子、单个原子 和单个分子等)、少数几个量子或量子波的运动规 律;研究原子、分子人工组装和自组装而成的器件; 研究在量子点(人造原子)、量子线和量子点阵内, 单个量子、少数几个量子或量子波所表现的特征 和功能用于信息的产生、传递和交换的器件,电路 和系统及其在信息科学技术中应用的学科也可以 称其为量子功能电子学。
微电子学概论ch纳电子器件PPT课件
第16页/共48页
碳纳米管（Carbon nanotube）
• 含有一层石墨烯片层的称为单壁纳米碳管(Single walled carbon nanotube, SWNT)，直径一般为 1－6 nm，最小直径大约为0.4 nm，SWNT的直径 大于6nm以后特别不稳定，会发生SWNT管的塌陷， 长度则可达几百纳米到几个微米。因为SWNT的最小 直径与富勒烯分子类似，故也有人称其为巴基管或富 勒管。
纳米材料的四大效应
• 小尺寸效应 • 量子尺寸效应 • 表面效应 • 宏观量子隧道效应
第25页/共48页
小尺寸效应
当超细微粒的尺寸与光波波长等物理 特征尺寸相当或更小时，晶体周期性的 边界条件将被破坏；非晶态纳米微粒的 颗粒表面层附近原子密度减小，导致声、 光❖、光电吸、收磁显著、增热加、力学等特性呈现新的 效❖应出。现吸收峰的等离子共振频移
❖ 磁有序态变为磁无序态 ❖ 超导相变为正常相
第26页/共48页
量子尺寸效应
当金属粒子尺寸下降到某一值时，金 属费米能级附近的电子能级由准连续变 为离散能级的现象，并且纳米半导体微 粒存在不连续的被占据分子最高轨道和 未被占据的分子最低轨道能级。
能隙变宽现象称为量子尺寸效应。
第27页/共48页
表面效应
• 在硅上，目前已经生产最小线宽为130nm 的电路，再进一步发展到线宽小于100nm 时，将会遇到两大难题：
1. 光刻技术的限制，刻蚀尺寸已远小于所用光束 波长，而且掩膜的平整度、基板的平整度以及 两者之间的平行度已经成为工艺方面的不可逾 越的障碍。
第33页/共48页
解决的思路
• 目前可分为两种类型：
• 充入一个电子的所需要的能量为：
EC=e2/2C
碳纳米管（Carbon nanotube）
• 含有一层石墨烯片层的称为单壁纳米碳管(Single walled carbon nanotube, SWNT)，直径一般为 1－6 nm，最小直径大约为0.4 nm，SWNT的直径 大于6nm以后特别不稳定，会发生SWNT管的塌陷， 长度则可达几百纳米到几个微米。因为SWNT的最小 直径与富勒烯分子类似，故也有人称其为巴基管或富 勒管。
纳米材料的四大效应
• 小尺寸效应 • 量子尺寸效应 • 表面效应 • 宏观量子隧道效应
第25页/共48页
小尺寸效应
当超细微粒的尺寸与光波波长等物理 特征尺寸相当或更小时，晶体周期性的 边界条件将被破坏；非晶态纳米微粒的 颗粒表面层附近原子密度减小，导致声、 光❖、光电吸、收磁显著、增热加、力学等特性呈现新的 效❖应出。现吸收峰的等离子共振频移
❖ 磁有序态变为磁无序态 ❖ 超导相变为正常相
第26页/共48页
量子尺寸效应
当金属粒子尺寸下降到某一值时，金 属费米能级附近的电子能级由准连续变 为离散能级的现象，并且纳米半导体微 粒存在不连续的被占据分子最高轨道和 未被占据的分子最低轨道能级。
能隙变宽现象称为量子尺寸效应。
第27页/共48页
表面效应
• 在硅上，目前已经生产最小线宽为130nm 的电路，再进一步发展到线宽小于100nm 时，将会遇到两大难题：
1. 光刻技术的限制，刻蚀尺寸已远小于所用光束 波长，而且掩膜的平整度、基板的平整度以及 两者之间的平行度已经成为工艺方面的不可逾 越的障碍。
第33页/共48页
解决的思路
• 目前可分为两种类型：
• 充入一个电子的所需要的能量为：
EC=e2/2C
纳电子技术
(@( 亚 光 刻 技 术 1&ABC9DE>FGHIE9- IHDDJG9<F 保 持 性 能 和 成 本 不 断 改 善"5=的 工 作 频 率 可 达 到 千 兆 赫
DJ-E<>C>FK!
量 级 # TRU
当今最先进的硅基纳米 $%&673是 69<673#鱼鳍宽
表 V 先进结构 WXYZ性能比较
!跨国%电气电子工程师学会 !‘fff%是全球最大最 权 威的电子信息学术团体’他十分重视纳电子技术(2$$$ 年 成立了 ‘fff-MGFVIJKGFEFHOXF]]LVVII!‘fff纳技术 委 员 会 %’ 2$$2年 2月 又 升 格 为 ‘fff -MGFVIJKGFEFHO XFDGJLE!‘fff纳技术专门委员会%’他由 ‘fff下属的 #h 个 分 会 组 成 (为 了 交 流 近 年 来 纳 电 子 技 术 领 域 研 究 开 发 的 成 果和经验’学会请对纳电子技术有重大贡献的 !台湾新 竹%交通大学的沈西门 !QL]FGg_QjI%等三位教授为特 邀 编辑’于 2$$0年 ##月出版了 ‘fff学报 !NUFJIISLGHPFR
c8Ad7<e[& GMGFIEIJVUFGLJP+ JMUaFG GMGFVDaI+ ]FEIJDEMU IEIJVUFGLJ VIJKGFEFHO+ GMGFIEIJVUF]IJKMGLJMEPOPVI]P !-fgQ%+ ]FEIJDEMUPIER MPPI]aEO
i引 言
经 过 近 十 多 年 全 球 范 围 的 纳 米 科 技 热 ’纳 米 技 术 已 逐 渐走向成熟’他对人类社会的诸多方面 !如工业)科研)医 疗 )宇 航 )商 业 和 教 育 等 %’都 产 生 了 和 将 产 生 深 远 的 影 响 ( 随着纳米尺度的制造技术的快速进步和微电子技术的突