介观尺度铜膜力学行为尺度效应研究进展
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介观尺度下材料的物理性质研究在纳米科技和微纳电子领域的快速发展下,材料的研究进入了一个全新的阶段。
除了在宏观和微观尺度上研究材料的物理性质之外,介观尺度的研究也变得越来越重要。
这一领域的研究主要关注的是材料的特殊结构和性质,对于理解材料的基本行为和开发新型功能材料具有重要意义。
在介观尺度下,材料的物理性质与其微观结构之间存在着密不可分的关系。
介观结构是处于宏观和微观之间的一种中间状态,它通常具有与大小相当的特征尺寸,如纳米尺度的颗粒、纳米线和纳米膜。
这些介观结构的形成和发展对于材料的性能具有重要影响。
在介观尺度下,材料的力学性质是研究的一个重点。
传统上,人们研究材料的力学性质主要关注其宏观特征,如强度、硬度和韧性等。
但是,在介观尺度下,材料的力学性质可能会出现与宏观行为不同的现象。
例如,纳米颗粒在受力时可能表现出高硬度和低韧性的特点,这与宏观材料的力学行为不同。
了解和控制这些介观尺度下的特殊力学性质对于设计新型材料和改进材料的性能具有重要意义。
除了力学性质,介观尺度下的电学性质也是材料研究的关键方面之一。
电学性质涉及到材料在电场下的响应行为。
传统上,人们通过测量材料的电导率、电容率等宏观特征来研究材料的电学性质。
然而,在介观尺度下,材料的电学行为可能会发生显著变化。
例如,纳米材料由于其特殊的电子结构和尺寸效应,可能呈现出与宏观材料不同的导电性。
了解和利用这些介观尺度下的特殊电学性质,有助于开发新型的电子器件和能源材料。
除了力学和电学性质,介观尺度下的热学性质也备受关注。
热学性质研究了材料在温度变化下的热传导、热膨胀等行为。
在介观尺度下,材料的热传导性能可能会显著提高。
例如,纳米材料由于其较大的比表面积和尺寸效应,可以实现更有效的热传导。
这使得纳米材料在热电材料和热管理领域具有重要应用潜力。
除了力学、电学和热学性质,介观尺度下的光学性质也备受关注。
光学性质研究了材料对于光的吸收、发射和散射等行为。
尺度效应在生物学中的应用和发现尺度效应是指在不同尺度下,同一现象或物理量的表现形式不同。
在生物学领域中,尺度效应几乎涉及到了所有的生命现象和物理量,并拥有着异常巨大的研究空间。
在本文中,我们将会介绍一些尺度效应的应用和发现,以进一步了解该效应在生物学中的重要性。
尺度效应的物理学背景在了解尺度效应在生物学中的应用和发现之前,我们需要先了解一些相关的物理学背景。
尺度效应被解释为,物理量的表现形式相对于观察的尺度而言是不同的。
换句话说,物理量的大小、结构、组成和功能随着不同的尺度而变化。
例如,在生命科学中,我们可以考虑蛋白质的功能是如何在分子水平上工作,但同样也可以考虑整个组织和器官在机体水平上是如何协同工作的。
尺度效应的生物学应用尺度效应在生物学中有着广泛的应用。
从组织学、生殖学到生态学、从分子学到整体生理学都不例外。
组织学组织学是生物学领域中研究细胞组织结构及其功能的一门学科。
以细胞为基础的组织在不同尺度上表现出不同的结构与功能。
如血管在组织水平上有不同的支配方式和血流构成,而又在单一细胞层次上表现出不同的细胞伸展和血管生成的特性,这是因为在不同尺度下,血管的表现形式和功能也是不同的。
生殖学生殖学是研究生殖和繁殖现象的学科。
在生殖学中,尺度效应可以帮助我们了解生产卵和精子的细胞是如何在分子水平上运作的。
例如,卵和精子在分子层次上表现出不同的基因表达模式,在单一细胞层次上也表现出不同的运动性和旅程。
这些性质是通过研究卵和精子的尺度效应被确定的。
生态学生态学是一门研究关于生命体与其环境互动关系的学问。
在生态学中,尺度效应可以帮助我们了解同一物种在不同尺度下的行为模式和能量交换。
例如,在生态系统层次上,同一物种展现出不同的数量随时间变化的趋势,在个体层次上,表现出不同的营养选择和天敌逃脱形态。
这些性质可以通过尺度效应帮助我们识别,以更好地理解生态系统的稳定性和健康状况。
分子学分子学是研究生物体分子结构与功能以及它们所扮演的角色的学科。
介观尺度模拟方法在材料科学中的应用实例材料科学是一门研究材料性质和结构以及其在各种工程应用中的表现的学科。
随着计算机技术和模拟方法的进步,介观尺度模拟方法逐渐成为材料科学研究中的重要手段之一。
本文将以介观尺度模拟方法在材料科学中的应用实例为主题,深入探讨其在材料领域的价值和意义。
材料的性质和行为是由微观结构和相互作用决定的,而微观结构又受到材料的制备工艺和条件的影响。
传统实验方法难以直接观测和控制材料微观结构,而介观尺度模拟方法则能够通过物理和数学模型模拟材料的微观结构和行为,帮助研究人员深入了解和预测材料的性质和行为。
在材料科学中,介观尺度模拟方法主要包括分子动力学模拟(Molecular Dynamics, MD)、蒙特卡罗模拟(Monte Carlo, MC)、相场方法(Phase Field Methods, PFM)、格子玻尔兹曼方法(Lattice Boltzmann Methods, LBM)等。
这些方法基于不同的理论和原理,适用于不同的材料以及不同尺度和时间范围的模拟问题。
以分子动力学模拟为例,该方法利用牛顿运动方程对材料中原子或分子的运动进行模拟。
通过分子动力学模拟,可以研究和预测材料的微观结构、热力学性质、力学性能等。
比如,研究人员可以通过模拟黏土材料中水分子与黏土颗粒之间的相互作用,进一步理解黏土的力学行为和水分迁移特性。
蒙特卡罗模拟则利用随机抽样和概率统计方法,研究材料中的随机过程和热力学平衡。
例如,在合金材料中,研究人员可以通过蒙特卡罗模拟来预测不同元素的分布和相互作用,为合金材料的设计和优化提供指导。
相场方法是一种基于自由能的连续介观模型,广泛应用于界面和相变等领域的研究。
相场方法能够描述材料的相分离、晶体生长和相界面的演化。
研究人员可以利用相场模拟来研究复杂体系中的相变行为,例如合金凝固、聚合物相分离等。
格子玻尔兹曼方法是一种基于微观粒子动力学的介观模拟方法,适用于模拟多孔介质中流体的传输行为。
介观系统与尺度效应尺度效应是自然界中的一种普遍现象,涉及到介观系统的研究。
介观系统是指处于微观和宏观之间的中等规模的系统,它具有独特的性质和行为。
尺度效应则描述了系统在不同尺度下的性质和行为的变化。
介观系统与尺度效应之间的关系引起了科学家们的广泛兴趣,并推动了许多研究的发展。
介观系统通常包括大约10^3到10^6个相互作用的个体或元素。
这些个体之间的互动产生了新的组织和功能,与宏观系统的行为相比,又涉及到更多的细节和微观调节。
由于介观系统的复杂性,它们充满了意想不到的行为和动力学。
例如,许多复杂网络(如脑网络、社交网络等)都可以看作是介观系统的例子。
在这些网络中,通过微小的变动或节点间的相互作用,可以出现重大的影响和变化。
尺度效应描述了系统性质和行为随着观测和分析的尺度的变化而变化。
从微观尺度来看,个体和元素的细节和特征得到了凸显。
而在宏观尺度上,系统的整体行为和模式成为主要关注的对象。
尺度效应的理解需要考虑到不同尺度下的相互作用和耦合。
例如,在生态系统中,小尺度的物种间的关系可以影响大尺度的生态过程。
尺度效应的研究有助于深入理解系统的多层次架构和组织原则。
介观系统与尺度效应的关系对各个学科领域具有重要意义。
在物理学中,研究介观系统和尺度效应可以揭示微观和宏观之间的链接,例如在凝聚态物理中的相变现象。
在生物学中,介观系统的研究有助于理解生命的自组织机制和生态系统的稳定性。
在社会科学中,介观系统的研究可以帮助我们理解群体行为和集体决策的规律。
近年来,随着大数据和计算能力的不断增强,对介观系统和尺度效应的研究取得了巨大的进展。
研究者们通过模型构建、仿真实验和现实世界的观测数据分析等方法,揭示了介观系统的复杂行为和尺度效应的机制。
这些研究为我们理解和掌握介观系统的性质和行为提供了新的视角和工具。
在未来,对介观系统和尺度效应的研究将继续深入,并扩展到更多的学科和领域。
通过深入理解介观系统的性质和尺度效应,我们可以更好地理解自然界和社会系统的复杂性,为问题解决和决策制定提供更有效的方式。
材料力学行为的多尺度模拟与分析材料力学行为是研究材料在外力作用下的变形、破坏和失效等现象的学科。
多尺度模拟与分析则是一种研究方法,旨在从不同尺度上理解和解释材料力学行为的本质。
本文将介绍多尺度模拟与分析在材料力学领域的应用,并探讨其意义与前景。
一、尺度效应与多尺度模拟材料存在着尺度效应,即材料在不同尺度上具有不同的力学行为。
以纳米材料为例,由于其尺寸接近原子尺度,其力学性质受到原子间作用的影响,具有明显的尺度效应。
随着材料研究的深入,人们逐渐认识到单纯从宏观尺度上研究材料的力学行为是不够全面和准确的,因此出现了多尺度模拟方法。
多尺度模拟是一种将材料力学行为从宏观到微观各个尺度上进行综合建模和仿真的方法。
其核心思想是将材料分为不同层次的子系统,通过子系统间的相互作用来模拟和分析材料的力学行为。
常见的多尺度模拟方法包括分子动力学模拟、有限元方法和连续介质力学模拟等。
二、多尺度模拟的应用多尺度模拟在材料力学领域有着广泛的应用。
首先,多尺度模拟能够帮助人们深入研究材料的本质力学行为。
通过将材料分解为不同尺度的子系统,并建立相应的物理数学模型,可以揭示材料在微观尺度上的内部机制和动力学过程。
这对于理解材料的结构、性能与行为之间的关系具有重要意义。
其次,多尺度模拟能够预测材料的宏观力学性能。
通过模拟材料在不同尺度下的行为,可以得到材料在宏观尺度上的物理性质,如强度、刚度和韧性等。
这将有助于人们设计出更高性能的材料,并指导实际工程中的材料选择和应用。
此外,多尺度模拟还可以研究材料的破坏与失效机制。
在材料受到外界载荷作用下,通过模拟和分析材料在不同尺度下的破坏模式和损伤演化过程,可以识别材料的弱点,并提出相应的改进措施,以提高材料的破坏韧性和可靠性。
三、多尺度模拟的挑战与前景多尺度模拟虽然在材料力学领域有着广泛的应用,但仍然面临着一些挑战。
首先,多尺度模拟的建模和计算过程较为复杂,需要耗费大量的时间和计算资源。
介观尺度两相流动的数值方法与机理在研究流体力学中,介观尺度两相流动是一个备受关注的话题。
它涉及到气体或液体在微观尺度上与固体颗粒或液滴相互作用的过程,对于理解多种自然和工程现象至关重要。
为了研究这一复杂的现象,数值方法与机理成为了不可或缺的工具。
数值方法是通过计算机模拟来预测和分析介观尺度两相流动的工具。
在过去的几十年中,随着计算机技术的发展和性能的提高,各种数值方法被开发出来。
其中一些方法包括拉格朗日方法、欧拉方法和格子玻尔兹曼方法等。
这些方法都有各自的优缺点,可以根据具体问题和研究目标选择适合的方法。
在介观尺度两相流动的数值模拟中,选择合适的物理模型是非常重要的。
物理模型的选择要考虑流体与固体颗粒或液滴之间的相互作用、流动中的湍流现象以及其他可能的复杂因素。
常用的物理模型包括连续介质模型、颗粒模型和界面模型等。
通过具体问题的分析和实验结果的验证,可以确定最合适的物理模型。
除了数值方法和物理模型,理解介观尺度两相流动的机理也是非常重要的。
介观尺度两相流动的机理是指流体与固体颗粒或液滴之间相互作用的基本规律和机制。
研究人员通过实验、数值模拟和理论分析等手段,探索介观尺度两相流动的机理,以便更好地理解这一复杂的现象。
介观尺度两相流动的机理研究可以帮助我们深入了解多种自然和工程现象。
在岩石力学中,介观尺度两相流动的机理对于油气田开发和水资源管理等具有重要意义。
在生物医学领域,了解介观尺度两相流动的机理有助于我们理解血液循环、癌细胞转移等生理过程。
在我个人的理解中,介观尺度两相流动的数值方法与机理是一个非常有挑战性但又充满潜力的领域。
通过深入研究和理解,我们可以更好地预测和控制介观尺度两相流动的行为,从而提高工程设计和自然现象的理解。
介观尺度两相流动的数值方法与机理是一个复杂而重要的研究领域。
通过选择合适的数值方法和物理模型,并深入研究介观尺度两相流动的机理,我们可以更好地理解和应用介观尺度两相流动的知识。
介观尺度的计算模拟方法摘要:一、引言1.介观尺度的概念及重要性2.计算模拟方法的必要性二、介观尺度计算模拟方法的基本原理1.计算方法概述2.模拟方法概述三、常见介观尺度计算模拟方法1.分子动力学模拟2.蒙特卡洛模拟3.有限元分析四、介观尺度计算模拟方法的应用领域1.材料科学2.生物医学3.环境工程五、我国在介观尺度计算模拟领域的研究进展1.政策支持与资金投入2.代表性研究成果与团队六、面临的挑战与未来发展方向1.计算资源与算法优化2.数据驱动与人工智能的融合3.多尺度、多物理场的耦合模拟正文:一、引言随着科学技术的不断发展,介观尺度的研究越来越受到广泛关注。
介观尺度作为微观世界与宏观世界的桥梁,不仅具有理论价值,而且在新材料、生物医学、环境工程等领域具有广泛的应用前景。
为了深入研究介观尺度的性质和规律,计算模拟方法应运而生。
本文将介绍介观尺度的计算模拟方法及其在我国的研究进展。
二、介观尺度计算模拟方法的基本原理介观尺度计算模拟方法主要包括计算方法和模拟方法。
计算方法主要包括第一性原理计算、密度泛函理论等,通过求解微观粒子间的相互作用方程,获得介观尺度的物理性质。
模拟方法则是通过构建介观尺度的模型,借助计算机技术模拟实际系统的演化过程,从而揭示其宏观性质。
三、常见介观尺度计算模拟方法1.分子动力学模拟:通过求解牛顿方程,模拟分子在介观尺度下的运动轨迹,从而研究系统的热力学性质和力学行为。
2.蒙特卡洛模拟:通过随机抽样方法,模拟粒子在介观尺度下的输运过程,分析系统的统计性质。
3.有限元分析:将介观尺度问题分解为有限个单元,利用数值方法求解单元内的场变量,从而获得整个系统的宏观性能。
四、介观尺度计算模拟方法的应用领域1.材料科学:通过计算模拟研究新材料的力学、热学、电学等性能,为材料设计提供理论依据。
2.生物医学:模拟细胞、组织等生物体系的结构和功能,揭示疾病发生和发展机制,为药物研发和治疗方法提供指导。
“介尺度”的起源及其发展现状作者:何彦东来源:《中国科技术语》2014年第07期摘要:“介尺度”体系的研究作为科技前沿已经深入科学研究的各方面。
通过介绍介尺度的含义、起源及其产生背景,并结合中国发明专利,阐述介尺度研究的方法及其发展现状。
关键词:介尺度,微观尺度,宏观尺度,多尺度中图分类号:N04;G633.8 文献标识码:A 文章编号:1673-8578(2014)S1-0110-03The Origin and Development Status of MesoscaleHE YandongAbstract:“Mesoscale” system, as a technological frontier, has penetrated many aspects of scientific research. This article introduces the concept, origin, and background of mesoscale. Combined with the Chinese invention patent, the approaches and development of mesoscopic research are also described in this article.Keywords: mesoscale, microscale, macroscale, multiscale收稿日期:2014-06-14作者简介:何彦东(1981—),女,吉林通化人,国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心光电部审查员,主要从事光化学领域的专利审查。
通信方式:heyandong@。
一“介尺度”的起源随着科学研究的进步,人们逐渐发现一些单纯用宏观经典物理学或微观量子力学无法解释的现象,从而,应运而生了一个介于宏观和微观之间的新领域——介尺度。
介尺度,即“mesoscale”或者“mesoscopic”,是由N. G. van Kampen于1976年在其一篇关于物理和化学上的随机过程的文章中首次提到,并于1981年明确定义指介乎于微观和宏观之间的一种尺度,从物理意义上讲,该尺度是与相位相干长度接近的电子系统[1]。
介观尺度金属孪晶变形的强烈晶体尺寸效应以介观尺度金属孪晶变形的强烈晶体尺寸效应为题,我们来探讨一下在金属结构中晶体尺寸对变形行为的影响。
金属材料的晶体结构是由许多晶粒构成的,而晶粒的尺寸则决定了材料的宏观性能。
在介观尺度上,晶体尺寸对金属的力学性能具有显著的影响,这种影响被称为晶体尺寸效应。
晶体尺寸效应会导致金属材料的力学性能发生显著变化。
在微观尺度上,晶体内部存在晶界,晶界是相邻晶粒之间的界面,其结构和性质与晶体内部存在差异。
当晶体尺寸减小到一定程度时,晶界所占比例将增加,从而导致整体材料的强度和塑性发生变化。
晶界的存在会阻碍位错的移动和滑移,从而提高材料的强度,但同时也会增加材料的脆性。
晶体尺寸效应还会影响金属材料的变形机制。
在大尺寸晶体中,变形主要通过位错的滑移和扩散来实现,而在小尺寸晶体中,由于晶界的存在,位错的滑移受到限制,因此变形机制会发生改变。
小尺寸晶体中常常发生晶界滑移、晶界扩散和晶界活性等变形机制,这些机制与晶体尺寸密切相关。
晶体尺寸的减小会导致晶界数量的增加,从而增加这些特殊的变形机制的贡献。
晶体尺寸效应还会对材料的力学行为和性能提供新的设计思路。
通过调控材料晶体的尺寸,可以有效地调节材料的力学性能,例如提高材料的强度和硬度。
这为材料的设计和制备提供了新的途径,可以制备出具有特定性能的金属材料。
然而,晶体尺寸效应也存在一些挑战和问题。
首先,晶体尺寸的调控需要精确的加工和控制技术,这对材料的制备过程提出了更高的要求。
其次,晶体尺寸的减小也会导致晶粒内部应力的集中,从而增加晶体的脆性和断裂风险。
因此,在材料设计和制备过程中需要综合考虑材料的晶体尺寸和力学性能之间的平衡。
介观尺度金属孪晶变形的强烈晶体尺寸效应对金属材料的力学性能和变形机制有着重要的影响。
通过调控晶体尺寸,可以实现对金属材料性能的调节和优化,为新材料的设计提供了新的思路和方法。
然而,晶体尺寸效应也存在一些挑战和问题,需要进一步研究和解决。
介观科学桥接不同尺度理解自然现象自然界中存在着众多复杂且多元化的现象,从分子和原子的微观世界到生态系统和地球的宏观世界。
理解自然现象和解释它们的行为需要从不同的尺度和角度进行研究。
然而,理解不同尺度之间的关系和相互作用是一项具有挑战性的任务。
在过去的几十年中,介观科学的兴起为我们提供了一种桥接不同尺度理解自然现象的方法。
介观科学是一门研究介于微观和宏观之间的现象和系统的学科。
它的研究对象包括生物、物理、化学、社会和经济系统等。
介观科学的核心思想是关注系统中的相互作用和组织,而不是单个部分。
通过研究系统内部和系统之间的相互作用,我们可以揭示出不同尺度上的规律和现象。
在不同科学领域中,介观科学的应用广泛而深远。
举个例子,物理学家利用介观科学的工具和方法来研究材料中的相变现象。
相变是一种物质从一种状态转变为另一种状态的过程,如固体到液体、液体到气体等。
通过研究材料中的介观结构和相互作用,科学家可以理解不同尺度上的相变行为,从而设计新材料和改进现有材料的性能。
在生物学领域,介观科学的应用也是非常重要的。
生物系统由许多分子和细胞组成,而这些分子和细胞之间的相互作用决定了生物体的结构和功能。
通过研究生物系统的介观层次,科学家可以深入了解生物现象的机制和原理。
例如,在神经科学中,介观科学的研究揭示了神经元之间的相互作用如何导致复杂的信息处理和神经网络的形成。
除了物理学和生物学,介观科学还在社会和经济系统中发挥着重要作用。
社会和经济系统是由许多个体组成的复杂系统,个体之间的相互作用决定了整个系统的行为。
通过研究社会网络和经济网络的结构和演化规律,我们可以更好地理解社会和经济现象的本质,并设计出更有效的政策和管理策略。
介观科学在桥接不同尺度理解自然现象方面的价值不仅在于提供了对系统的新视角,还在于为多学科交叉研究提供了一种框架。
不同学科领域的研究者可以通过介观科学的方法和理论来共同探索和解决复杂问题。
例如,在生态学和环境科学领域,介观科学的应用促进了对生态系统的层次结构和相互作用的理解,从而推动了可持续发展和生态保护的研究和实践。
第28卷 第1期2009年1月中国材料进展MA TER I A LS CH I N AVol 128 No 11Jan 12009收稿日期:2008-11-25基金项目:国家重点基础研究发展计划(973)项目(2004CB619303)作者简介:孙 军,男,1959年生,教授,博导介观尺度铜膜力学行为尺度效应研究进展孙 军,刘 刚,丁向东(西安交通大学金属材料国家强度重点实验室,陕西 西安 710049)摘 要:以作者课题组近期的研究结果为基础,以集成电路中互连线用金属Cu 薄膜为模型材料,分别介绍了金属薄膜延性和疲劳寿命评价方法及相关测试结果的最新进展,讨论了介观尺度Cu 薄膜力学性能的尺度效应,分析了薄膜材料中准静态力学性能对动态性能的影响,并简述了多场耦合对薄膜力学性能及变形行为的影响。
关键词:金属薄膜;延性;疲劳;尺度效应;评价方法中图法分类号:TG111 文献标识码:A 文章编号:1674-3962(2009)01-0049-05Progress i n the S i ze -D ependen tM echan i ca lProperti es of Cu F il m s a tM esosca leS UN Jun,L I U Gang,D I N G X iangdong(State Key Laborat ory f orM echanical Behavi or ofM aterials Xi πan J iaot ong University,Xi πan 710049,China )Ab s tra c t:Based on the recent experi m ental results achieved in the p resent authors’gr oup,this paper p resents a reviewon the evaluati on methods and s ome measurement results of the ductility and fatigue lifeti m e of metal fil m s .M easurementson mes oscale Cu fil m s have been perf or med and the size -dependent mechanical p r operties,including yield strength,the critical strain for m icr ocrack nucleati on,and related fatigue lifeti m e,have been clearly revealed .The relati onshi p be 2t w een the quasi -static mechanical p r operties and the dynam ic p r operties has been analyzed w ithin the thickness range fr om m ir on -scale t o nano -scale .I n additi on,the influence of ther mo -mechanical coup ling field on the mechanical p r oper 2ties and defor mati on behavi or of the Cu fil m s has been als o briefly discussed .Ke ywo rd s:metal fil m s;ductility;fatigue;size effect;evaluati on methods 前 言微电子元器件和微机电系统具有的多层异质膜结构所用材料尺度逐渐减小到微米至纳米级,即处于宏观与微观之间的介观范畴,加之其电/热/力的多场环境,材料性能与服役行为的尺度、界面和异质约束效应等愈加凸现,成为影响微器件服役可靠性的重要因素。
而上述效应是基于宏观连续介质与微观量子学说的经典材料性能表征理论均无法完全阐述的。
材料介观性能的表征是当前材料科学研究的前沿和热点之一,集成电路和微器件的不断小型化是促使其不断发展的一个重要因素。
例如,近年来集成电路制造工艺已经开始采用铜薄膜作为金属互连材料。
就介观尺度下铜薄膜的力学性能对微器件性能的影响也已进行了大量的研究,发现材料的介观性能及其尺度性变异对其可靠性具有极其重要的影响。
现有的介观尺度铜薄膜力学性能的多种表征方法,如单轴拉伸法、纳米压痕法、鼓泡法、微梁弯曲法等[1]都只能测量薄膜的强度和/或残余应力,并证明薄膜强度一般随其厚度减小而明显提高。
但上述测试技术却均无法对薄膜的延性进行表征,而薄膜延性及其介观尺度依赖性对于微器件服役可靠性也是至关重要的。
此外,金属薄膜疲劳性能、特别是疲劳寿命及其尺度效应、多场耦合下薄膜的热机械疲劳行为等对于集成电路服役行为有着关键性影响的材料,介观性能表征研究仍然是被关注的焦点问题。
本文以作者课题组近期的研究结果为基础,以金属Cu 薄膜为模型材料,分别介绍了金属薄膜延性和疲劳寿命表征方法及相关测试结果的最新进展,讨论了介观尺度Cu 薄膜力学性能的尺度效应,分析了薄膜材料中准静态力学性能对动态性能的影响,并简述了多场耦合对薄膜力学性能及变形行为的影响。
中国材料进展第28卷 薄膜延性表征及延性尺度效应通过自由膜的单拉伸可以直接得到薄膜发生变形损伤的临界应变值,但是自由膜在制备和进行拉伸试验时存在很大的困难,而且自由膜在变形时极易形成局部颈缩导致薄膜早期断裂,难以得到准确的薄膜延性指标。
对于附着膜,如果沉积在Si等刚性基板上进行单拉伸,由于基板过脆薄膜的本征延性同样不能如实地表现出来;然而当薄膜沉积在高分子材料等高弹性柔性基板上时,基板的均匀大变形将驱动薄膜整体变形,在抑制局部变形的基础上可以很好地反映出薄膜的本征延性。
柔性基板上金属薄膜材料变形延性的合理表征不但具有理论背景,同样具有很重要的应用背景,例如可用于评价柔性显示器用金属薄膜的变形能力。
众所周之,有机电致发光技术是目前全球显示设备制造业的顶尖技术之一。
利用这项技术制造的柔性显示器及电视机具有轻薄、可挠曲、自发光、高画质、省电等优点。
其中大量使用的金属薄膜导线是其关键部分之一,在卷曲变形时其变形延性性能直接决定其服役性能,特别是其可靠性,因此金属薄膜变形延性性能的正确表征及其膜厚尺度依赖性就成为其安全长寿命设计中亟待解决的关键问题之一。
裂纹萌生临界应变(εc)是一个重要的薄膜延性指标,因为一旦萌生裂纹,意味着薄膜已产生损伤,同时伴随着传输性能(如电学性能)的突变。
对薄膜/柔性基板体系进行拉伸加载,在小应变裂纹萌生以前可认为薄膜始终处于纯弹性变形。
此时假设薄膜体积恒定,薄膜电阻相对变化(ΔR/R=(R-R0)/R0,R0为拉伸前薄膜电阻,R为瞬时电阻)与应变(ε)的关系为ΔR/R≈2ε(1)即电阻相对变化与应变大致成线性关系。
而产生微裂纹后,薄膜的电阻将显著增大,电阻相对变化率随应变的变化曲线将偏离原来的线性部分,此时可定义偏离点的应变为εc[2],如图1曲线a所示。
这一方法是从宏观电阻性能变化上进行定义,对应在微观分析上,可以统计薄膜表面微裂纹密度随应变的变化曲线,将该曲线反推至微裂纹密度为零时的应变同样可定义为εc,如图1曲线b所示。
由该两种方法确定的裂纹萌生临界应变理论上为同一临界点,因此应具有相近的测量值,图1仅仅给出了示意说明,不代表实际测试结果。
通过磁控溅射制备方法在聚酰亚胺柔性基板上沉积了厚度为60nm至700nm不等的系列厚度Cu薄膜,分别采用薄膜原位电阻变化测定法和微裂纹密度统计测定法测得了各厚度Cu薄膜的裂纹萌生临界应变εc,如图2所示[2]。
由图可知,两种方法得到的εc相近,表明此图1 薄膜延性的电阻变化测定法和微裂纹密度统计测定法示意图Fig11 Schematic diagram of ductility of poly mer-supported metal fil m s by using both electrical resistance method and statisticalm icr ocrack density change method两种方法可适用于金属薄膜延性的评价表征,并可相互佐证。
测试结果同时显示出了明显的尺度效应,即随着薄膜厚度的降低,薄膜延性逐渐减小,εc由700nm厚的12%左右减小到60nm的215%左右。
图2中同时给出了由应力分离法[3]测得的薄膜屈服强度RP012。
屈服强度随薄膜厚度的变化趋势与延性正好相反,这与通常的块体材料强度和延性之间此长彼消的变化规律是相一致的。
图2 Cu薄膜屈服强度和裂纹萌生临界应变随薄膜厚度的变化Fig12 Dependence of copper fil m yield strength and critical strain f or m icr ocrack nucleati on on fil m thickness随薄膜厚度的降低,强度增大延性减小的原因一方面在于位错受界面或表面约束难以自由运动。
另一方面在于薄膜晶粒尺寸减小,位错的萌生和运动均受到制约。
尽管薄膜厚度从700nm减小到60nm屈服强度增加了一倍,但是延性却减小到了原来的1/5左右。
因此,强度和延性的合理匹配将是薄膜具有最优服役性能的保障,这将在下节的薄膜疲劳结果中得到体现。
此外,薄膜延性尺度效应的测试结果还可以用于理解薄膜其它变形行为随薄膜厚度的变化,例如最近提出的热场05 第1期孙 军等:介观尺度铜膜力学行为尺度效应研究进展下金属薄膜H ill ock 形成的变形机制及其厚度效应[4],由于篇幅关系此处不做详叙。
由于柔性基板对局部变形的抑制作用,薄膜萌生裂纹后并不会立刻发生失稳,而是在原有裂纹逐渐扩展的同时萌生更多的裂纹,如此演化直至大裂纹之间发生逾渗聚合导致薄膜失稳。
失稳点的应变即裂纹聚合临界应变(εco )同样是一个重要的延性指标,因为该临界值反映了薄膜“带伤作业”的能力,也反映了薄膜抵抗裂纹扩展的阻力。
通过前述的薄膜电阻相对变化-应变曲线(图3中插图),做电阻相对变化率d (ΔR /R 0)/d ε随应变的变化曲线,如图3所示。
该曲线明显地可以分为三部分:第I 部分是薄膜弹性变形阶段,该阶段的终点处对应于裂纹萌生临界点εc ;第Ⅱ部分为裂纹扩展阶段,此阶段随裂纹的扩展和更多新裂纹的形成,薄膜电阻相对变化率逐渐增大至最高值,在最高值处发生大裂纹的聚合,此时对应于裂纹聚合临界点εco ;而在第Ⅲ阶段,更多的裂纹发生聚合,电阻随应变增大的程度减小,因此电阻相对变化率逐渐降低。